KR102363033B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

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Abstract

기판 수납 용기는, 기판(W)의 가장자리부를 삽입 가능하게 기판(W)의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구(2231)를 갖는 복수의 보호 홈(225)으로서, 적어도 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 가장자리부가 1개씩 삽입되는 복수의 보호 홈(225)이 형성된 기판 가장자리부 보호부(222)를 구비한다. 기판(W)의 가장자리부는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 기판(W)의 가장자리부와 보호 홈(225)을 형성하고 있는 기판 가장자리부 보호부(222)의 홈 형성면(2221) 사이에 공간이 형성되어 기판(W)의 가장자리부가 홈 형성면(2221)에 접촉되지 않은 비접촉 상태로, 보호 홈(225)에 삽입된다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등으로 이루어지는 기판을 수납, 보관, 반송, 수송 등을 할 때에 사용되는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 반송하기 위한 기판 수납 용기로는, 용기 본체와 뚜껑체를 구비하는 구성의 것이 종래부터 알려져 있다.
용기 본체는, 일단부에 용기 본체 개구부가 형성되고, 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부를 갖는다. 용기 본체 내에는 기판 수납 공간이 형성되어 있다. 기판 수납 공간은, 벽부에 의해 둘러싸여 형성되어, 복수의 기판을 수납 가능하다. 뚜껑체는, 용기 본체 개구부에 대해 탈착 가능하고, 용기 본체 개구부를 폐색 가능하다.
뚜껑체의 부분으로서 용기 본체 개구부를 폐색하고 있을 때에 기판 수납 공간을 마주보는 부분에는, 프론트 리테이너가 설치되어 있다. 프론트 리테이너는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하다. 또한, 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 하여, 리어 리테이너가 벽부에 설치되어 있다. 리어 리테이너는, 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하다. 리어 리테이너는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 프론트 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판을 유지한다. 리어 리테이너는, 기판 수납 공간으로부터 이간되는 방향으로 움푹 들어간 복수의 홈을 갖고 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 또한, 홈을 형성하고 있는 리어 리테이너 부분은, 탄성 변형 가능하지만, 기판의 후단부를 지지하는 리어 리테이너 부분은, 탄성 변형 불가능한 구성이 알려져 있다(특허문헌 2 참조).
상기 공보에 기재된 종래의 기판 수납 용기에 있어서는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어, 기판 수납 공간에 수납되어 있는 기판이 반송되고 있을 때에는, 기판의 단부는 상시 리어 리테이너에 맞닿아(當接) 있다. 그러므로, 기판과 리어 리테이너 사이에서 파티클이 발생되기 쉽다. 기판 수납 용기에 의한 기판의 반송 시에, 기판 수납 용기가 충격을 받았을 때에, 리어 리테이너에 대하여 기판의 단부가 슬라이딩하고, 게다가 파티클이 발생하기 쉽다.
따라서, 기판 수납 용기에 의한 기판의 반송 시에, 기판 수납 용기가 충격을 받지 않았을 때에는, 기판의 단부와 맞닿아 있지 않아, 파티클의 발생이 억제되고, 기판 수납 용기가 충격을 받았을 때에 기판을 보호하기 위한 웨이퍼 보호 홈을 갖는 기판 수납 용기가 알려져 있다(특허문헌 3 참조).
일본 등록공보공보 제4338617호 일본 공개특허공보 특개2005-5525호 국제공개공보 제2013/025629호
최근에는, 파티클의 발생을 억제하는 것에 대한 요구뿐 아니라, 또한, 기판 수납 용기에 작용하는 충격에 대한, 추가적인 기판의 보호가 요구되고 있다. 그리고, 기판 수납 용기에 작용하는 충격에 의해, 리어 리테이너의 소정 위치에 지지된 기판이, 해당 소정 위치로부터 벗어나, 해당 소정 위치에 인접하는 위치로 이동하여 삽입되어 배치되어 버리는, 이른바 크로스 슬롯 발생의 억제에 대해서도, 크게 요구되고 있다.
본 발명은, 파티클의 발생이 억제되고, 기판 수납 용기에 작용하는 충격에 대해 기판의 보호가 가능하고, 크로스 슬롯의 발생을 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 일단부에 용기 본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하고 상기 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간이 형성된 용기 본체; 상기 용기 본체 개구부에 대하여 탈착 가능하고, 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 상기 뚜껑체 부분으로서, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에 상기 기판 수납 공간을 마주보는 부분에 배치되고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부; 상기 기판 수납 공간 내에 있어서 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 배치되고, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 협동하여, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 병렬시킨 상태로, 상기 복수의 기판을 지지하는 안쪽(奧側) 기판 지지부; 상기 기판의 가장자리부를 삽입 가능하게 상기 기판의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구를 갖는 복수의 보호 홈으로서, 적어도 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 복수의 기판의 가장자리부가 1개씩 삽입되는 복수의 보호 홈이 형성되고, 상기 안쪽 기판 지지부보다 상기 용기 본체의 벽부의 타단부측에 배치된 기판 가장자리부 보호부;를 구비하고, 상기 기판의 가장자리부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 기판의 가장자리부와 상기 보호 홈을 형성하고 있는 상기 기판 가장자리부 보호부의 홈 형성면의 사이에 공간이 형성되어 상기 기판의 가장자리부가 상기 홈 형성면에 접촉되지 않은 비접촉 상태로, 상기 보호 홈에 삽입되는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
또한, 상기 기판 수납 공간 내에 있어서 쌍을 이루도록 배치되고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때에, 상기 복수의 기판 중 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능한 측방 기판 지지부를 구비하고, 상기 보호 홈은, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되지 않고 상기 측방 기판 지지부에 의해 상기 복수의 기판의 가장자리부가 지지되어 있을 때에는, 상기 보호 홈에 상기 기판의 가장자리부가 삽입되지 않고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에는, 상기 보호 홈에 상기 기판의 가장자리부가 삽입되는 깊이를 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기판은, 디바이스가 형성되는 표면; 상기 표면에 대한 이면;을 갖고, 상기 홈 형성면은, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 상기 표면과 이면을 잇는 방향에 있어서 상기 표면을 마주보는 표면 대향면부; 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 상기 표면과 이면을 잇는 방향에 있어서 상기 이면을 마주보는 이면 대향면부;를 갖고, 상기 표면에서 상기 표면 대향면부까지의 최단 거리는, 상기 이면에서 상기 이면 대향면부까지의 최단 거리보다 긴 것이 바람직하다.
또한, 상기 표면 대향면부와 상기 이면 대향면부는, 상기 보호 홈의 저부로부터 상기 보호 홈의 개구에 가까워짐에 따라 상기 개구가 확장되도록 경사지는 적어도 한 쌍의 경사면을 구성하고, 상기 기판의 표면 또는 이면 중 어느 한쪽의 면과 상기 표면 대향면부가 이루는 각을 a로 하고, 상기 기판의 상기 한쪽의 면과 상기 이면 대향면부가 이루는 각을 b로 하면, a>b의 관계를 갖고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 기판의 가장자리부는, 상기 기판의 반경 방향 바깥쪽에 있어서 상기 보호 홈의 저부를 마주보는 것이 바람직하다.
또한, 상기 뚜껑체측 기판 지지부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 용기 본체의 타단부에서 일단부를 향하는 방향으로 소정의 변위량으로 탄성적으로 변위 가능하고, 상기 보호 홈은, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 용기 본체의 일단부에서 타단부를 향하는 방향으로, 상기 기판의 가장자리부가 상기 소정의 변위량 이상의 양으로 상기 보호 홈에 삽입되는 깊이를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 상기 기판 가장자리부 보호부는 탄성을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 파티클의 발생이 억제되고, 기판 수납 용기에 작용하는 충격에 대하여 기판의 보호가 가능하고, 크로스 슬롯의 발생을 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 기판(W)이 수납된 모습을 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)와 기판(W)의 위치 관계를 나타내는 평면 단면도이다.
도 3은 도 2의 A-A선에 따른 확대 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 기판 가장자리부 보호부(222)의 골(224)에 기판(W)의 가장자리부가 맞닿는 모습을 나타내는 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기의 보호 홈(225A)과 기판(W)의 위치 관계를 나타내는 확대 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기의 보호 홈(225B)과 기판(W)의 위치 관계를 나타내는 확대 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 기판 수납 용기의 보호 홈(225C)과 기판(W)의 위치 관계를 나타내는 확대 단면도이다.
이하, 제1 실시 형태에 의한 기판 수납 용기(1)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 기판(W)이 수납된 모습을 나타내는 분해 사시도이다. 도 2는, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)와 기판(W)의 위치 관계를 나타내는 평면 단면도이다. 도 3은, 도 2의 A-A선에 따른 확대 단면도이다. 도 4는, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 기판 가장자리부 보호부(222)의 골(224)에 기판(W)의 가장자리부가 맞닿는 모습을 나타내는 확대 단면도이다.
여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기 본체(2)에서 뚜껑체(3)로 향하는 방향(도 1에서의 오른쪽 위에서 왼쪽 아래로 향하는 방향)을 전방향(D11)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 후방향(D12)이라고 정의하고, 이들을 아울러 전후 방향(D1)이라고 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)에서 상벽(23)으로 향하는 방향(도 1에서의 윗방향)을 상방향(D21)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 하방향(D22)이라고 정의하고, 이들을 아울러 상하 방향(D2)이라고 정의한다. 또한, 후술하는 제2 측벽(26)에서 제1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 1에서의 오른쪽 아래에서 왼쪽 위로 향하는 방향)을 좌방향(D31)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 우방향(D32)이라고 정의하고, 이들을 아울러 좌우 방향(D3)이라고 정의한다. 도면에는, 이들 방향을 나타내는 화살표를 도시하고 있다.
또한, 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 1 참조)은, 원반형의 실리콘 웨이퍼, 유리 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등으로, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시 형태에서의 기판(W)은, 직경 300 mm의 실리콘 웨이퍼이다. 기판(W)의 표면(W1)(도 3에 나타내는 기판(W)의 좌측의 면)에는 디바이스가 형성된다. 기판(W)의 이면(W2)(도 3에 나타내는 기판(W)의 우측의 면)에는, 디바이스는 형성되지 않는다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는, 상술한 바와 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여, 육상 운송 수단ㆍ항공 운송 수단·해상 운송 수단 등의 수송 수단에 의해 기판(W)을 수송하기 위한 출하 용기로서 이용되거나 하는 것으로, 용기 본체(2)와 뚜껑체(3)로 구성된다. 용기 본체(2)는, 측방 기판 지지부로서의 기판 지지판 형상부(5)와 안쪽 기판 지지부(56)(도 2 등 참조)를 구비하고 있고, 뚜껑체(3)는, 뚜껑체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(7)(도 2 등 참조)를 구비하고 있다.
용기 본체(2)는, 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부(20)를 갖는다. 용기 본체(2) 내에는 기판 수납 공간(27)이 형성되어 있다. 기판 수납 공간(27)은, 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20) 부분으로서 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 기판 지지판 형상부(5)가 배치되어 있다. 기판 수납 공간(27)에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 기판(W)을 수납 가능하다.
기판 지지판 형상부(5)는, 기판 수납 공간(27) 내에 있어서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 기판 지지판 형상부(5)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능하다. 기판 지지판 형상부(5)의 안쪽에는, 안쪽 기판 지지부(56)(도 2 등 참조)가 설치되어 있다.
안쪽 기판 지지부(56)는, 기판 수납 공간(27) 내에 있어서 후술하는 프론트 리테이너(7)와 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 안쪽 기판 지지부(56)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써, 복수의 기판(W)의 가장자리부의 후부를 지지 가능하다.
뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 둘레부(28)(도 1 등)에 대해 탈착 가능하고, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 프론트 리테이너(7)는, 뚜껑체(3) 부분으로서 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에 기판 수납 공간(27)을 마주보는 부분에 설치되어 있다. 프론트 리테이너(7)는, 기판 수납 공간(27)의 내부에 있어서 안쪽 기판 지지부(56)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
프론트 리테이너(7)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써 복수의 기판(W)의 가장자리부의 전부(前部)를 지지 가능하다. 프론트 리테이너(7)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 안쪽 기판 지지부(56)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)을 유지한다.
기판 수납 용기(1)는, 플라스틱재 등의 수지로 구성되어 있고, 특별히 설명이 없는 경우에는, 그 재료의 수지로서는, 예를 들어, 폴리카보네이트, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머 등의 열가소성 수지나 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이러한 성형 재료의 수지에는, 도전성을 부여하는 경우에는, 카본 섬유, 카본 파우더, 카본 나노 튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성 물질이 선택적으로 첨가된다. 또한, 강성을 올리기 위해 유리 섬유나 탄소 섬유 등을 첨가하는 것도 가능하다.
이하, 각 부에 대하여, 상세하게 설명한다.
도 1 등에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(2)의 벽부(20)는 안벽(奧壁)(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)을 갖는다. 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25), 및 제2 측벽(26)은, 상술한 재료에 의해 구성되어 있고, 일체 성형되어 구성되어 있다.
제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)은 마주보고 있고, 상벽(23)과 하벽(24)은 마주보고 있다. 상벽(23)의 후단(後端), 하벽(24)의 후단, 제1 측벽(25)의 후단, 및 제2 측벽(26)의 후단은, 모두 안벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단, 하벽(24)의 전단, 제1 측벽(25)의 전단, 및 제2 측벽(26)의 전단(前端)은, 안벽(22)을 마주보는 위치 관계를 갖고, 대략 직사각형상을 한 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 둘레부(28)를 구성한다.
개구 둘레부(28)는, 용기 본체(2)의 일단부에 설치되어 있고, 안벽(22)은, 용기 본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기 본체(2)의 외형은 상자 형상이다. 벽부(20)의 내면, 즉, 안벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1 측벽(25)의 내면, 및 제2 측벽(26)의 내면은, 이들에 의해 둘러싸인 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있다. 개구 둘레부(28)에 형성된 용기 본체 개구부(21)는, 벽부(20)에 의해 둘러싸여져 용기 본체(2)의 내부에 형성된 기판 수납 공간(27)에 연통하고 있다. 기판 수납 공간(27)에는, 최대 25개의 기판(W)을 수납 가능하다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24) 부분으로서, 개구 둘레부(28)의 근방 부분에는, 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽을 향해 움푹 들어간 래치(latch) 계합 오목부(40A, 40B, 41A, 41B)가 형성되어 있다. 래치 계합 오목부(40A, 40B, 41A, 41B)는, 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩, 합계 4개가 형성되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상벽(23)의 외면에 있어서는, 리브(235)가, 상벽(23)과 일체 성형되어 설치되어 있다. 리브(235)는, 용기 본체(2)의 강성을 높인다.
또한, 상벽(23)의 중앙부에는, 탑 플랜지(236)가 고정된다. 탑 플랜지(236)는, AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송 대차) 등에 있어서 기판 수납 용기(1)를 매달 때에, 기판 수납 용기(1)에 있어서 걸어져 매달아지는 부분이 되는 부재이다.
안벽(22)에는, 리브 형상부(221)가 설치되어 있다. 리브 형상부(221)는, 안벽(22)의 내면에 있어서, 기판 수납 공간(27)의 안쪽으로 돌출되어 있다. 리브 형상부(221)의 돌출 단부에는, 리브 형상부(221)와 동일한 재질에 의해 구성된 기판 가장자리부 보호부(222)가, 리브 형상부(221)와 일체 성형되어 설치되어 있다. 기판 가장자리부 보호부(222)는, 리브 형상부(221)와 일체 성형되는 구성에 한정되지 않고, 리브 형상부(221)와 별도의 재질에 의해 구성되어, 리브 형상부(221)에 대해 끼워 넣음 등에 의해 고정될 수도 있다.
기판 가장자리부 보호부(222)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 공간(27)을 마주보는 표면이 파도 형상을 갖고 있고, 기판 가장자리부 보호부(222)에 있어서는, 상하 방향(D2)에 따라, 산(223)과 골(224)이 번갈아 존재한다. 따라서, 이 산(223)과 골(224)에 의해, 대략 좌우 방향(D3)으로 연장되는 보호 홈(225)이, 상하 방향(D2)으로 25개 형성되어 있다. 인접하는 산(223)의 꼭대기부는, 보호 홈(225)의 개구(2231)를 형성하고, 골(224)의 바닥 부분은, 보호 홈(225)의 저부(2241)를 형성한다. 기판(W)이 프론트 리테이너(7)와 안쪽 기판 지지부(56)에 의해 지지된 상태, 즉, 기판(W)의 표면(W1) 및 이면(W2)이 전후 방향(D1) 및 좌우 방향(D3)으로 평행한 위치 관계가 된 상태로, 보호 홈(225)에 기판(W)의 가장자리부를 삽입 가능하도록, 보호 홈(225)은, 상하 방향(D2)에서의 기판(W)의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구(2231)를 갖는다. 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 보호 홈(225)에는, 복수의 기판(W)의 가장자리부가 1개씩 삽입된다. 다시 말하면, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 도 3에 나타낸 바와 같이, 보호 홈(225)의 개구(2231)를 잇는 가상선(L1)보다 저부(2241)에 가까운 보호 홈(225) 안에, 기판(W)의 가장자리부가 1개씩 들어가 있다.
뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 기판(W)의 가장자리부가 기판(W)의 반경 방향 바깥쪽에 있어서 보호 홈(225)의 저부(2241)를 마주보는 위치 관계를, 보호 홈(225)의 저부(2241)는 갖고 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 보호 홈(225)은, 상하 방향(D2)에 있어서(도 3의 좌우 방향에 있어서), 보호 홈(225)의 저부(2241)를 중심으로 하여 대칭의 형상을 갖고 있다. 그러므로, 보호 홈(225)에 삽입되어 있는 기판(W)의 가장자리부는, 상하 방향(D2)에 있어서 각 보호 홈(225)의 중앙에 위치하고, 이것에 의해, 각 보호 홈(225)에서의 가장 깊은 부분(보호 홈(225)의 저부(2241))을 마주보고 있다.
보호 홈(225)은, 소정의 깊이를 갖고 있다. 구체적으로는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되지 않고, 이 때문에, 측방 기판 지지부로서의 기판 지지판 형상부(5)에 의해 복수의 기판(W)의 가장자리부가 지지되어 있을 때에는, 보호 홈(225)에 기판의 가장자리부가 삽입되지 않는다. 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되고, 기판(W)이 프론트 리테이너(7)와 안쪽 기판 지지부(56)에 의해 지지되어 있을 때에는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 보호 홈(225)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입된 상태가 된다. 또한, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 용기 본체(2)의 일단부에서 타단부를 향하는 방향인 전방향(D11)으로, 후술하는 프론트 리테이너(7)의 리테이너 기판 받이부(73) 및 기판(W)이 소정의 변위량으로 변위되었을 때에(전방향(D11)으로의 리테이너 기판 받이부(73) 및 기판(W)의 변위가 최대가 되었을 때에), 기판(W)의 가장자리부가 보호 홈(225)에 삽입된 상태가 유지되어 있다. 즉, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 기판(W)의 가장자리부가 소정의 변위량 이상의 양으로 보호 홈(225)에 삽입되어 있다. 이러한 상태가 되는 소정의 깊이를, 보호 홈(225)은 갖고 있다.
또한, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되고, 보호 홈(225)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입된 상태일 때에는, 기판(W)의 가장자리부는, 보호 홈(225)을 형성하고 있는 기판 가장자리부 보호부(222)에는 맞닿지 않는다. 즉, 도 3에 나타낸 바와 같이, 기판(W)의 가장자리부와 보호 홈(225)을 형성하고 있는 기판 가장자리부 보호부(222)의 홈 형성면(2221) 사이에 공간이 형성되어 있고, 이것에 의해, 기판(W)의 가장자리부가 홈 형성면(2221)에 접촉되지 않은 비접촉 상태로, 기판(W)은 보호 홈(225)에 삽입된다. 이러한 상태가 되는 소정의 깊이를, 보호 홈(225)은 갖고 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 지지판 형상부(5)는, 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 각각 설치되어, 좌우 방향(D3)에 있어서 쌍을 이루도록 하여 기판 수납 공간(27) 내에 배치되어 있다. 구체적으로는, 기판 지지판 형상부(5)는, 판부(51)와 판부 지지부(52)를 갖고 있다. 판부(51)와 판부 지지부(52)는, 수지에 의해 일체 성형되어 구성되어 있다. 판부(51)는, 판모양의 활 형상을 갖고 있다. 판부(51)는, 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)에, 각각 25개씩 합계 50개 설치되어 있다. 인접하는 판부(51)는, 상하 방향(D2)에 있어서 10 mm~12 mm 간격으로 서로 이간되어 평행한 위치 관계로 배치되어 있다. 그리고 가장 위에 위치하는 판부(51)의 윗쪽에도, 판부(51)와 대략 동일 형상의 것이 배치되지만, 이것은, 가장 위에 위치하여 기판 수납 공간(27) 내에 삽입되는 기판(W)에 대하여, 삽입할 때의 가이드 역할을 하는 부재이다.
또한, 제1 측벽(25)에 설치된 25개의 판부(51)와 제2 측벽(26)에 설치된 25개의 판부(51)는, 서로 좌우 방향(D3)에 있어서 마주보는 위치 관계를 갖고 있다. 또한, 50개의 판부(51), 및, 판부(51)와 대략 동일 형상의 2개의 가이드 역할을 하는 부재는, 하벽(24)의 내면에 평행한 위치 관계를 갖고 있다. 도 2 등에 나타낸 바와 같이, 판부(51)의 상면에는, 볼록부(511, 512)가 설치되어 있다. 판부(51)에 지지된 기판(W)은, 볼록부(511, 512)의 돌출단(端)에만 접촉하고, 면으로 판부(51)에 접촉하지 않는다.
판부 지지부(52)는, 상하 방향(D2)으로 연장되어 있다. 제1 측벽(25)에 설치된 25개의 판부(51)는, 제1 측벽(25) 측에 설치된 판부 지지부(52)에 접속되어 있다. 마찬가지로 제2 측벽(26)에 설치된 25개의 판부(51)는, 제2 측벽(26) 측에 설치된 판부 지지부(52)에 접속되어 있다. 판부 지지부(52)가 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)에 각각 고정됨으로써, 기판 지지판 형상부(5)는, 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)에 각각 고정된다.
이러한 구성의 기판 지지판 형상부(5)에 의해, 복수의 기판(W) 중 인접하는 기판(W)끼리를, 소정 간격으로 이간된 상태이면서 서로 평행한 위치 관계로 한 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능하다.
뚜껑체(3)는, 도 1 등에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 직사각형상을 갖고 있다. 뚜껑체(3)는 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)에 대하여 탈착 가능하고, 개구 둘레부(28)에 뚜껑체(3)가 장착됨으로써, 뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 뚜껑체(3)의 내면(도 1에 나타내는 뚜껑체(3)의 뒤쪽의 면)으로서, 뚜껑체(3)가 용기 본체 개구부(21)를 폐색하고 있을 때의 개구 둘레부(28)의 바로 후방향(D12)의 위치에 형성된 단차 부분의 면(씰링면(281))을 마주보는 면에는, 고리형의 씰링 부재(4)가 부착되어 있다. 씰링 부재(4)는, 탄성 변형 가능한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등에 의해 구성되어 있다. 씰링 부재(4)는, 뚜껑체(3)의 바깥 둘레부를 일주하도록 배치되어 있다.
뚜껑체(3)가 개구 둘레부(28)에 장착되었을 때에, 씰링 부재(4)는, 씰링면(281)과 뚜껑체(3)의 내면 사이에 끼어 탄성 변형되고, 뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 밀폐된 상태로 폐색한다. 개구 둘레부(28)에서 뚜껑체(3)가 분리됨에 의해, 용기 본체(2) 내의 기판 수납 공간(27)에 대하여, 기판(W)을 넣고 빼는 것이 가능해진다.
뚜껑체(3)에 있어서는, 래치 기구가 설치되어 있다. 래치 기구는, 뚜껑체(3)의 좌우 양단부 근방에 설치되어 있고, 도 1에 나타낸 바와 같이, 뚜껑체(3)의 윗변(上邊)에서 상방향(D21)으로 돌출 가능한 2개의 상측 래치부(32A, 32B)와, 뚜껑체(3)의 밑변(下邊)에서 하방향(D22)으로 돌출 가능한 2개의 하측 래치부(32C, 32D)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A, 32B)는, 뚜껑체(3)의 윗변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있고, 2개의 하측 래치부(32C, 32D)는, 뚜껑체(3)의 의 좌우 양단 근방에 배치되어 있다.
뚜껑체(3)의 외면(外面)에 있어서는 조작부(33)가 설치되어 있다. 조작부(33)를 뚜껑체(3)의 전측(前側)에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A, 32B), 하측 래치부(32C, 32D)를 뚜껑체(3)의 윗변, 밑변에서 돌출시킬 수 있고, 또한, 윗변, 밑변에서 돌출시키지 않는 상태로 할 수 있다. 상측 래치부(32A, 32B)가 뚜껑체(3)의 윗변에서 상방향(D21)으로 돌출하여, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(40A, 40B)에 계합하는 한편, 하측 래치부(32C, 32D)가 뚜껑체(3)의 밑변에서 하방향(D22)으로 돌출하여, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(41A, 41B)에 계합함으로써, 뚜껑체(3)는, 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)에 고정된다.
뚜껑체(3)의 내측(도 1에 나타나 있는 뚜껑체(3)의 외면에 대한 반대측)에 있어서는, 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽으로 움푹 들어간 오목부(미도시)가 형성되어 있다. 오목부(미도시) 및 오목부의 외측의 뚜껑체(3) 부분에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 리테이너 계지부(341)가 설치되어 있다. 리테이너 계지부(341)에는, 프론트 리테이너(7)가 고정되어 설치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 프론트 리테이너(7)는, 세로 테두리체(71); 리테이너 다리부(72)와, 리테이너 기판 받이부(73)를 갖고 있다. 세로 테두리체(71)는, 한 쌍이 설치되어 있고, 상하 방향(D2)으로 연장되는 판 형상을 갖고, 리테이너 계지부(341)에 각각 고정되어 있다. 좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)는, 좌방향(D31)측의 세로 테두리체(71)로부터 우방향(D32)을 따라 약간 후방향(D12)으로 연장된다. 계속해서, 좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)는, 도중에 만곡하여 거의 후방향(D12)을 따라 연장된다. 계속해서, 좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)는, 후방향(D12)측의 단부에서 우방향(D32)으로 굴곡된다. 그리고, 좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)는, 그 끝단부에 있어서, 리테이너 기판 받이부(73)의 좌방향(D31)측의 단부에 접속되어 있다.
좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)는, 특히 도중의 만곡부에 있어서, 탄성 변형부(721)를 구성한다. 이 탄성 변형부(721)는, 리테이너 기판 받이부(73)가 뚜껑체(3)의 내측의 면에 대해 접근하는 방향(전방향(D11))으로 외력을 받을 때에, 그 외력에 따라 탄성 변형함으로써 리테이너 기판 받이부(73)를 변위시키는 것이 가능하다.
한편, 우방향(D32)측의 리테이너 다리부(72)는, 우방향(D32)측의 세로 테두리체(71)로부터 좌방향(D31)을 따라 약간 후방향(D12)으로 연장된다. 계속해서, 우방향(D32)측의 리테이너 다리부(72)는, 도중에 만곡하여 거의 후방향(D12)을 따라 연장된다. 계속해서, 우방향(D32)측의 리테이너 다리부(72)는, 후방향(D12)측의 단부에서 좌방향(D31)으로 굴곡된다. 그리고, 우방향(D32)측의 리테이너 다리부(72)는, 그 끝단부에 있어서, 리테이너 기판 받이부(73)의 우방향(D32)측의 단부에 접속되어 있다.
우방향(D32)측의 리테이너 다리부(72)는, 도중의 만곡부에 있어서, 좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)에서의 도중의 만곡부와 마찬가지로, 탄성 변형부(721)를 구성한다. 이 탄성 변형부(721)는, 리테이너 기판 받이부(73)가 뚜껑체(3)의 내측의 면에 대해 접근하는 방향(전방향(D11))으로 외력을 받을 때에, 그 외력에 따라 탄성 변형함으로써 리테이너 기판 받이부(73)를 변위시키는 것이 가능하다.
좌방향(D31)측의 리테이너 기판 받이부(73)의 우방향(D32)측의 단부와, 우방향(D32)측의 리테이너 기판 받이부(73)의 좌방향(D31)측의 단부는, 접속부(74)에 의해 서로 접속되어 있다. 접속부(74)는, 좌방향(D31)측의 리테이너 기판 받이부(73)의 우방향(D32)측의 단부에 접속된 좌방향(D31)측의 단부로부터, 바로 전방향(D11)으로 굴곡되어 거의 전방향(D11)을 따라 연장된다. 계속해서, 접속부(74)는, 굴곡되어 거의 우방향(D32)을 따라 연장된다. 계속해서, 접속부(74)는, 다시 굴곡되어 이번에는 거의 후방향(D12)을 따라 연장된다. 그리고, 접속부(74)는, 그 끝단부에 있어서, 거의 우방향(D32)으로 굴곡되어 우방향(D32)측의 리테이너 기판 받이부(73)의 좌방향(D31)측의 단부에 접속되어 있다. 접속부(74)는, 탄성 변형부(741)를 구성한다. 즉, 접속부(74)는, 리테이너 기판 받이부(73)가 뚜껑체(3)의 내측의 면에 대해 접근하는 방향(전방향(D11))으로 외력을 받을 때에, 그 외력에 따라 탄성 변형함으로써 리테이너 기판 받이부(73)를 변위시키는 것이 가능하다.
상술한 바와 같이, 좌우 방향(D3)에 있어서 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치된 리테이너 기판 받이부(73)는, 상하 방향(D2)으로 25쌍 병렬된 상태로 설치되어 있다. 기판 수납 공간(27) 내에 기판(W)이 수납되어, 뚜껑체(3)가 닫힘으로써, 리테이너 기판 받이부(73)는, 용기 본체(2)의 타단부에서 일단부를 향하는 방향인 전방향(D11)으로, 소정의 변위량으로 탄성적으로 변위 가능하게, 기판(W)의 가장자리부의 끝가장자리를 끼워 지지한다. 즉, 기판 수납 공간(27) 내에 기판(W)이 수납되어 뚜껑체(3)가 닫혀지면, 프론트 리테이너(7)의 탄성 변형부(721, 741)의 탄성 변형에 의해, 리테이너 기판 받이부(73)가 전방향(D11)으로 약간 변위된 상태가 되지만, 이 상태에서 추가로, 전방향(D11)으로 소정 변위량 이하로, 다시 말해, 최대 소정의 변위량으로, 탄성적으로 변형 가능하다. 따라서, 용기 본체(2)에 충격이 작용했을 때에는, 기판(W)은, 리테이너 기판 받이부(73)와 함께, 전방향(D11)으로 최대로 소정 변위량으로, 변위 가능하다. 소정의 변위량이란, 1 mm 정도이다.
상기 구성에 의한 기판 수납 용기(1)에 기판(W)을 수납하여 반송하고 있을 때에는, 아래와 같이, 기판 가장자리부 보호부(222)는 작용한다.
뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때로서, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)나 뚜껑체(3)에 충격이 작용하고 있지 않을 때에는, 기판 가장자리부 보호부(222)의 표면을 파도 형상으로 형성하고 있는 산(223)과 골(224) 중 산(223) 부분은, 상하 방향(D2)에 있어서 인접하는 기판(W)의 가장자리부와 기판(W)의 가장자리부 사이에 들어가 있는 한편, 기판(W)의 가장자리부는, 기판 가장자리부 보호부(222)에서 이간되어, 기판(W)의 가장자리부와 기판 가장자리부 보호부(222) 사이에는 공간이 형성되어 있다. 그러므로, 기판(W)의 가장자리부와 기판 가장자리부 보호부(222)가 맞닿지 않은 비접촉 상태이므로, 기판(W)의 가장자리부와 기판 가장자리부 보호부(222) 사이에 파티클은 발생하지 않는다.
기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)나 뚜껑체(3)에, 주로 상하 방향(D2)에서의 충격이 작용했을 경우에는, 기판(W)의 가장자리부가 해당 산(223) 부분에 맞닿고, 기판(W)이 마주보고 있는 골(224) 부분에서 인접하는 골(224) 부분으로 이동하는 것이 저지되어 이른바 크로스 슬롯의 발생이 억제된다.
또한, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)나 뚜껑체(3)에, 주로 전후 방향(D1)에서의 충격이 작용했을 경우에는, 해당 골(224) 부분, 즉, 보호 홈(225)의 저부(2241)를 형성하고 있는 기판 가장자리부 보호부(222) 부분에 기판(W)의 가장자리부가 맞닿고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 홈 형성면(2221)을 따라 기판(W)의 가장자리부가 미끄러지도록 이동하여 충격을 흡수한다. 이것에 의해, 기판(W)의 가장자리부가 파손되는 것이 억제된다.
상기 구성의 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 의하면, 아래와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는, 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성되고 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부(20)를 구비하고, 벽부(20)의 내면에 의해, 복수의 기판(W)을 수납 가능하고 용기 본체 개구부(21)에 연통하는 기판 수납 공간(27)이 형성된 용기 본체(2); 용기 본체 개구부(21)에 대해 탈착 가능하고, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능한 뚜껑체(3); 뚜껑체(3) 부분으로서 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에 기판 수납 공간(27)을 마주보는 부분에 배치되고 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(7); 기판 수납 공간(27) 내에 있어서 프론트 리테이너(7)와 쌍을 이루도록 배치되어, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능하고, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에 프론트 리테이너(7)와 협동하여, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)을 지지하는 안쪽 기판 지지부(56); 기판(W)의 가장자리부를 삽입 가능하게 기판(W)의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구를 갖는 복수의 보호 홈(225)으로서, 적어도 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부가 1개씩 삽입되는 복수의 보호 홈(225)이 형성된 기판 가장자리부 보호부(222);를 구비한다. 기판(W)의 가장자리부는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 기판(W)의 가장자리부와 보호 홈(225)을 형성하고 있는 기판 가장자리부 보호부(222)의 홈 형성면(2221) 사이에 공간이 형성되어 기판(W)의 가장자리부가 홈 형성면(2221)에 접촉지 않는 비접촉 상태로, 보호 홈(225)에 삽입된다.
이 구성에 의해, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 기판(W)의 가장자리부를, 기판 가장자리부 보호부(222)의 보호 홈(225)을 형성하고 있는 산(223) 부분 및 골(224) 부분 중 산(223) 부분을, 기판 수납 공간(27)에 수납된 복수의 기판(W) 중 인접하는 기판(W)끼리의 사이에 배치시킬 수 있다. 그러므로, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)나 뚜껑체(3)에, 충격이 작용했을 경우에는, 기판(W)의 가장자리부가 해당 산(223) 부분에 맞닿는다. 이것에 의해, 기판(W)의 가장자리부가 안벽(22)에 강하게 맞닿는 것을 방지하여 기판(W)의 가장자리부의 파손을 억제할 수 있고, 또한, 하나의 기판(W)이 마주보고 있는 골(224) 부분에 인접하는 골(224) 부분으로 해당 하나의 기판(W)이 이동하는 것이 저지되어, 이른바 크로스 슬롯의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)나 뚜껑체(3)에, 매우 강한 충격이 작용했을 경우에는, 기판(W)의 가장자리부가 골(224) 부분에 맞닿아, 홈 형성면(2221)을 따라 미끄러지도록 이동하여 충격을 흡수해 완화시킨다. 이것에 의해, 기판(W)의 가장자리부의 파손을 억제할 수 있다.
또한, 기판(W)의 가장자리부는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 기판(W)의 가장자리부와 보호 홈(225)을 형성하고 있는 기판 가장자리부 보호부(222)의 홈 형성면(2221) 사이에 공간이 형성되어 기판(W)의 가장자리부가 홈 형성면(2221)에 접촉하지 않은 비접촉 상태로, 보호 홈(225)에 삽입되어 있으므로, 기판 가장자리부 보호부(222)와 기판(W)의 가장자리부가 맞닿는 것에 의해 발생하는 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 기판 수납 용기(1)는, 기판 수납 공간(27) 내에 있어서 쌍을 이루도록 배치되고, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때에, 복수의 기판(W) 중 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능한 측방 기판 지지부로서의 기판 지지판 형상부(5)를 구비한다. 보호 홈(225)은, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되지 않고 기판 지지판 형상부(5)에 의해 복수의 기판(W)의 가장자리부가 지지되어 있을 때는, 보호 홈(225)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입되지 않고, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때는, 보호 홈(225)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입되는 깊이를 갖는다.
이 구성에 의해, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때에, 기판(W)의 가장자리부로부터 기판 가장자리부 보호부(222)를 이간시킬 수 있고, 기판(W)의 기판 수납 공간(27)에 대한 들어가고 나감을 용이하게 하여, 기판(W)의 기판 수납 공간(27)으로 들어가고 나갈 때의, 파티클 발생을 억제할 수가 있다.
또한, 뚜껑체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(7)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 용기 본체(2)의 타단부에서 일단부를 향하는 방향으로 소정의 변위량으로 탄성적으로 변위 가능하다. 보호 홈(225)은, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 용기 본체(2)의 일단부에서 타단부를 향하는 방향으로, 기판(W)의 가장자리부가 소정 변위량 이상의 양으로 보호 홈(225)에 삽입되는 깊이를 갖는다.
이 구성에 의해, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)나 뚜껑체(3)에, 충격이 작용했을 경우에, 뚜껑체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(7)의 탄성 변형부(721, 741)의 탄성 변형에 의해, 리테이너 기판 받이부(73)가 전방향(D11)으로 변위하지만, 최대 변위량인 소정의 변위량으로 변위했을 경우라도, 도 3에 나타낸 바와 같이, 기판(W)의 가장자리부가 보호 홈(225)에 삽입된 상태를 유지할 수 있다. 이 결과, 이른바 크로스 슬롯의 발생을, 효과적으로 억제할 수 있다.
그 다음, 본 발명의 제2 실시 형태에 의한 기판 수납 용기에 대해 도 5를 참조하면서 설명한다. 도 5는, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기의 보호 홈(225A)과 기판(W)의 위치 관계를 나타내는 확대 단면도이다.
제2 실시 형태에 의한 기판 수납 용기에 있어서는, 기판 가장자리부 보호부(222A)의 구성이, 제1 실시 형태에 의한 기판 수납 용기(1)의 기판 가장자리부 보호부(222)와 상이하다. 기판 가장자리부 보호부(222A)는 탄성을 갖는 부재에 의해 구성되어 있는 점에서, 제1 실시 형태에 의한 기판 수납 용기(1)의 기판 가장자리부 보호부(222)와 상이하다. 이외의 구성에 대해서는, 제1 실시 형태에 의한 기판 수납 용기(1)의 구성과 동일하므로, 제1 실시 형태에서의 각 구성과 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
기판 가장자리부 보호부(222A)는, PP(폴리프로필렌), POM(폴리아세탈), PBT(폴리부틸렌테레프탈레이트), 엘라스토머 등에 의해 구성되는 것이 바람직하고, 본 실시 형태에서는, POM이 이용된다. 따라서, 기판 가장자리부 보호부(222A)는, 용기 본체(2)보다 탄성을 갖고 있다. 기판 가장자리부 보호부(222A)는, 리브 형상부(221)(도 2 참조)와 상이한 재질에 의해 구성되어 있고, 리브 형상부(221)에 대해 끼워 넣음 등에 의해 고정되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 기판 가장자리부 보호부(222A)의 보호 홈(225A)은, 대략 직사각형 형상을 갖고 있다. 즉, 보호 홈(225A)을 형성하고 있는 홈 형성면(2221A)은, 표면 대향면부(2222A); 이면 대향면부(2223A); 저면부(2224A);를 갖고 있다. 표면 대향면부(2222A)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 기판(W)의 표면(W1)에 대략 평행한 위치 관계를 갖고 있고, 표면 대향면부(2222A)의 일부는, 표면(W1)와 이면(W2)을 잇는 방향인 상하 방향(D2)에 있어서 표면(W1)을 마주본다.
이면 대향면부(2223A)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 기판(W)의 이면(W2)에 대략 평행한 위치 관계를 갖고 있고, 이면 대향면부(2223A)의 일부는, 표면(W1)과 이면(W2)을 잇는 방향인 상하 방향(D2)에 있어서 이면(W2)을 마주본다. 저면부(2224A)는, 보호 홈(225A)의 저부(2241A)를 형성하고, 표면 대향면부(2222A)와 이면 대향면부(2223A)에 각각 접속되어 있다. 표면 대향면부(2222A)와 이면 대향면부(2223A)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 보호 홈(225A)의 저부(2241A)에서 보호 홈(225A)의 개구(2231A)에 가까워짐에 따라, 개구(2231A)가 약간 확장되도록, 약간 경사지는 한 쌍의 경사면을 구성한다.
상기 구성의 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 의하면, 아래와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 홈 형성면(2221A)은, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 표면(W1)과 이면(W2)을 잇는 방향에 있어서 표면(W1)을 마주보는 표면 대향면부(2222A)와, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 표면(W1)과 이면(W2)을 잇는 방향에 있어서 이면(W2)을 마주보는 이면 대향면부(2223A)를 갖는다. 그리고, 보호 홈(225A)은, 대략 직사각형 형상을 갖고 있고, 표면 대향면부(2222A)와 이면 대향면부(2223A)는, 보호 홈(225A)의 저부(2241A)에서 보호 홈(225A)의 개구(2231A)에 가까워짐에 따라 개구(2231A)가 확장되도록 경사지는 한 쌍의 경사면을 구성한다. 이 구성에 의해, 대략 직사각형 형상의 보호 홈(225A)에 기판(W)이 삽입된 상태를 유지하기 쉽게 할 수 있어, 이른바 크로스 슬롯의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 기판 가장자리부 보호부(222A)는 탄성을 갖는다. 이 구성에 의해, 기판 가장자리부 보호부(222A)에 기판(W)의 가장자리부가 맞닿았을 경우에, 기판 가장자리부 보호부(222A)는, 기판(W)의 가장자리부를 탄성 변형하여 받아들여 충격을 완화시킬 수가 있어, 기판(W)의 가장자리부가 파손되는 것을 억제할 수가 있다. 또한, 기판 가장자리부 보호부(222A)에 기판(W)의 가장자리부가 맞닿았을 경우에, 기판(W)의 가장자리부를 기판 가장자리부 보호부(222A)에 파고든 상태로 할 수 있다. 그 결과, 이른바 크로스 슬롯의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 보호 홈(225A)은, 탄성체 이외에도, 제1 실시 형태와 같은 용기 본체와 동일한 재질에 의한 일체 형성, 동일한 재질에 의한 별도 부재의 설치, 용기 본체와 상이한 재질로 하는 등, 특허 청구 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.
그 다음, 본 발명의 제3 실시 형태에 의한 기판 수납 용기에 대하여 도 6을 참조하면서 설명한다. 도 6은, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기의 보호 홈(225B)과 기판(W)의 위치 관계를 나타내는 확대 단면도이다.
제3 실시 형태에 의한 기판 수납 용기에 있어서는, 기판 가장자리부 보호부(222B)의 구성이, 제2 실시 형태에 의한 기판 수납 용기의 기판 가장자리부 보호부(222A)와 상이하다. 이외의 구성에 대해서는, 제2 실시 형태에 의한 기판 수납 용기의 구성과 동일하므로, 제2 실시 형태에서의 각 구성과 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 보호 홈(225B)을 형성하고 있는 홈 형성면(2221B)의 표면 대향면부(2222B)는, 이면 대향면부(2223B)와 비교하여, 보호 홈(225B)의 저부(2241B)(저면부(2224B))에서 보호 홈(225B)의 개구(2231B)에 가까워짐에 따라, 보다 개구(2231B)가 확장되도록 경사지는 경사면을 구성하고 있다. 기판(W)의 표면(W1)과 표면 대향면부(2222B)가 이루는 각을 a로 하고, 기판(W)의 표면(W1)과 이면 대향면부(2223B)가 이루는 각을 b로 하면,
a>b
의 관계를 갖고 있다. 따라서, 디바이스가 형성되는 기판(W)의 표면(W1)에서, 표면 대향면부(2222B)까지의 최단 거리(M1)는, 이면(W2)에서, 이면 대향면부(2223B)까지의 최단 거리(N1)보다 길다.
상기 구성의 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 의하면, 아래와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판(W)의 표면(W1)과 표면 대향면부(2222B)가 이루는 각을 a로 하고, 기판(W)의 표면(W1)과 이면 대향면부(2223B)가 이루는 각을 b로 하면,
a>b
의 관계를 갖고 있다. 그리고, 표면(W1)에서, 표면 대향면부(2222B)까지의 최단 거리(M1)는, 이면(W2)에서, 이면 대향면부(2223B)까지의 최단 거리(N1)보다 길다. 이 구성에 의해, 디바이스가 형성되는 표면(W1)에서 표면 대향면부(2222B)를 최대한 이간시킬 수 있다. 이 결과, 표면 대향면부(2222B)에서 방출되는 파티클에 의해, 디바이스가 형성되는 기판(W)의 표면(W1)에 악영향이 부가되는 것을 억제할 수가 있다.
또한, 본 실시 형태의 보호 홈(225B)은, 제2 실시 형태에서의 탄성체 이외에도, 제1 실시 형태와 같은 용기 본체와 동일한 재질에 의한 일체 형성, 동일한 재질에 의한 별도의 부재의 설치, 용기 본체와 상이한 재질로 하는 등, 특허 청구 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.
그 다음, 본 발명의 제4 실시 형태에 의한 기판 수납 용기에 대하여 도 7을 참조하면서 설명한다. 도 7은, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 기판 수납 용기의 보호 홈(225C)과 기판(W)의 위치 관계를 나타내는 확대 단면도이다.
제4 실시 형태에 의한 기판 수납 용기에 있어서는, 기판 가장자리부 보호부(222C)의 구성이, 제3 실시 형태에 의한 기판 수납 용기의 기판 가장자리부 보호부(222B)와 상이하다. 이외의 구성에 대해서는, 제3 실시 형태에 의한 기판 수납 용기의 구성과 동일하므로, 제3 실시 형태에서의 각 구성과 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 보호 홈(225C)을 형성하고 있는 홈 형성면(2221C)의 표면 대향면부(2222C)는, 곡면에 의해 구성되어 있다. 표면 대향면부(2222C)는, 저면부(2224C)(보호 홈(225C)의 저부(2241C))로부터 완만하게 일어나, 수평면(전후 방향(D1) 및 좌우 방향(D3)에 평행한 면)에 가까워지도록, 서서히 만곡되어, 보호 홈(225C)의 개구(2231C)에 도달할 때까지 연장되어 있다. 표면 대향면부(2222C)가 이러한 형상을 갖고 있으므로, 디바이스가 형성되는 기판(W)의 표면(W1)에서, 표면 대향면부(2222C)까지의 최단 거리(M2)는, 이면(W2)에서, 이면 대향면부(2223C)까지의 최단 거리(N2)보다 길다.
상기 구성의 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 의하면, 아래와 같은 효과를 얻을 수 있다.
보호 홈(225C)을 형성하고 있는 홈 형성면(2221C)의 표면 대향면부(2222C)는, 곡면에 의해 구성되어 있고, 저면부(2224C)로부터 완만하게 일어나, 수평에 가까워지도록 서서히 만곡되어, 보호 홈(225C)의 개구(2231C)에 도달할 때까지 연장되어 있다. 이 구성에 의해, 디바이스가 형성되는 기판(W)의 표면(W1)에서, 표면 대향면부(2222C)까지의 최단 거리(M2)를 보다 길게 확보할 수가 있다.
또한, 본 실시 형태의 보호 홈(225C)은, 제2 실시 형태나 제3 실시 형태에서의 탄성체 이외에도, 제1 실시 형태와 같은 용기 본체와 동일한 재질에 의한 일체 형성, 동일한 재질에 의한 별도의 부재의 설치, 용기 본체와 상이한 재질로 하는 등, 특허 청구 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.
본 발명은, 상술한 실시 형태에 한정되지 않고, 특허 청구 범위에 기재된 기술적 범위에 있어서 변형이 가능하다.
예를 들어, 본 실시 형태에 있어서는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때에는, 보호 홈(225)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입되지 않고, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에는, 보호 홈(225)에 기판(W)의 가장자리부가 삽입된 상태가 되도록 구성되어 있었지만, 이에 한정되지 않는다. 적어도 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판의 가장자리부가 1개씩 삽입되면 된다.
또한, 제2 실시 형태, 제3 실시 형태에서는, 표면 대향면부(2222A, 2222B)와 이면 대향면부(2223A, 2223B)는, 보호 홈(225A, 225B)의 저부(2241A, 2241B)에서 보호 홈(225A, 225B)의 개구(2231A, 2231B)에 가까워짐에 따라 개구(2231A, 2231B)가 확장되도록 경사지는 한 쌍의 경사면을 구성했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 표면 대향면부와 이면 대향면부는, 보호 홈의 저부에서 보호 홈의 개구에 가까워짐에 따라 개구가 확장되도록 경사지는 적어도 한 쌍의 경사면을 구성할 수도 있다.
또한, 제3 실시 형태에서는, 기판(W)의 표면(W1)과 표면 대향면부(2222B)가 이루는 각을 a로 하고, 기판의 표면과 이면 대향면부(2223B)가 이루는 각을 b로 하면,
a>b
의 관계를 갖고 있었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기판의 이면과 표면 대향면부가 이루는 각을 a로 하고, 기판의 이면과 이면 대향면부가 이루는 각을 b로 했을 때에,
a>b
의 관계를 갖고 있을 수도 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 디바이스가 형성된 기판(W)의 표면(W1)이 상면으로 되고, 디바이스가 형성되지 않은 기판(W)의 이면(W2)이 하면으로 되었지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기판(W)의 표면(W1)이 하면으로 되고 디바이스가 형성되지 않은 기판(W)의 이면(W2)이 상면으로 될 수도 있다. 단, 이 경우에는, 보호 홈에 있어서, 표면 대향면부가, 이면 대향면부에 대해 아래쪽에 위치하는 위치 관계를 갖도록(예를 들어, 도 6, 도 7에 나타내는 보호 홈(225B, 225C)에 대하여, 표면 대향면부(2222B, 2222C)가, 도 6, 도 7에 있어서 이면 대향면부(2223B, 2223C)보다 우측에 위치하도록, 도 6, 도 7에 있어서 좌우 반대의 위치 관계를 갖는) 구성된다.
또한, 용기 본체 및 뚜껑체의 형상, 용기 본체에 수납 가능한 기판(W)의 개수나 치수는, 본 실시 형태에서의 용기 본체(2) 및 뚜껑체(3)의 형상, 용기 본체(2)에 수납 가능한 기판(W)의 개수나 치수에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 실시 형태에서는, 본 실시 형태에서의 기판(W)은, 직경 300 mm의 실리콘 웨이퍼였지만, 이에 한정되지 않는다. 기판은, 직경 450 mm의 실리콘 웨이퍼일 수도 있다.
1: 기판 수납 용기
2: 용기 본체
3: 뚜껑체
5: 기판 지지판 형상부
7: 프론트 리테이너(뚜껑체측 기판 지지부)
20: 벽부
21: 용기 본체 개구부
27: 기판 수납 공간
56: 안쪽 기판 지지부
222, 222A, 222B, 222C: 기판 가장자리부 보호부
225, 225A, 225B, 225C: 보호 홈
2221, 2221A, 2221B, 2221C: 홈 형성면
2222, 2222A, 2222B, 2222C: 표면 대향면부
2223, 2223A, 2223B, 2223C: 이면 대향면부
2231, 2231A, 2231B, 2231C: 개구
2241, 2241A, 2241B, 2241C: 저부
M1, M2: 표면에서 표면 대향면부까지의 최단 거리
N1, N2: 이면에서 이면 대향면부까지의 최단 거리
W: 기판
W1: 표면
W2: 이면

Claims (6)

  1. 일단부에 용기 본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하고 상기 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간이 형성된 용기 본체;
    상기 용기 본체 개구부에 대하여 탈착 가능하고, 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체;
    상기 뚜껑체 부분으로서, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색 되어 있을 때에 상기 기판 수납 공간을 마주보는 부분에 배치되고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부;
    상기 기판 수납 공간 내에 있어서 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 배치되고, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 협동하여, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 병렬시킨 상태로, 상기 복수의 기판을 지지하는 안쪽 기판 지지부;
    상기 기판의 가장자리부를 삽입 가능하게 상기 기판의 가장자리부의 두께보다 넓은 개구를 갖는 복수의 보호 홈으로서, 적어도 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 복수의 기판의 가장자리부가 1개씩 삽입되는 복수의 보호 홈이 형성되고, 상기 안쪽 기판 지지부보다 상기 용기 본체의 벽부의 타단부측에 배치된 기판 가장자리부 보호부;를 구비하고,
    상기 기판의 가장자리부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 기판의 가장자리부와 상기 보호 홈을 형성하고 있는 상기 기판 가장자리부 보호부의 홈 형성면의 사이에 공간이 형성되어 상기 기판의 가장자리부가 상기 홈 형성면에 접촉되지 않은 비접촉 상태로, 상기 보호 홈에 삽입되는, 기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 수납 공간 내에 있어서 쌍을 이루도록 배치되고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때에, 상기 복수의 기판 중 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 상기 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능한 측방 기판 지지부를 구비하고,
    상기 보호 홈은, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되지 않고 상기 측방 기판 지지부에 의해 상기 복수의 기판의 가장자리부가 지지되어 있을 때에는, 상기 보호 홈에 상기 기판의 가장자리부가 삽입되지 않고, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에는, 상기 보호 홈에 상기 기판의 가장자리부가 삽입되는 깊이를 갖는, 기판 수납 용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판은, 디바이스가 형성되는 표면; 상기 표면에 대한 이면;을 갖고,
    상기 홈 형성면은, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 상기 표면과 이면을 잇는 방향에 있어서 상기 표면을 마주보는 표면 대향면부; 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 상기 표면과 이면을 잇는 방향에 있어서 상기 이면을 마주보는 이면 대향면부;를 갖고,
    상기 표면에서 상기 표면 대향면부까지의 최단 거리는, 상기 이면에서 상기 이면 대향면부까지의 최단 거리보다 긴, 기판 수납 용기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 표면 대향면부와 상기 이면 대향면부는, 상기 보호 홈의 저부로부터 상기 보호 홈의 개구에 가까워짐에 따라 상기 개구가 확장되도록 경사지는 적어도 한 쌍의 경사면을 구성하고,
    상기 기판의 표면 또는 이면 중 어느 한쪽의 면과 상기 표면 대향면부가 이루는 각을 a로 하고, 상기 기판의 상기 한쪽의 면과 상기 이면 대향면부가 이루는 각을 b로 하면,
    a>b
    의 관계를 갖고,
    상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 기판의 가장자리부는, 상기 기판의 반경 방향 바깥쪽에 있어서 상기 보호 홈의 저부를 마주보는, 기판 수납 용기.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 뚜껑체측 기판 지지부는, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 용기 본체의 타단부에서 일단부를 향하는 방향으로 소정의 변위량으로 탄성적으로 변위 가능하고,
    상기 보호 홈은, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 용기 본체의 일단부에서 타단부를 향하는 방향으로, 상기 기판의 가장자리부가 상기 소정의 변위량 이상의 양으로 상기 보호 홈에 삽입되는 깊이를 갖는, 기판 수납 용기.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 가장자리부 보호부는 탄성을 갖는, 기판 수납 용기.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6992240B2 (ja) * 2017-11-16 2022-01-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
CN110239819B (zh) * 2018-03-09 2020-10-23 创意电子股份有限公司 晶圆载运装置
CN112005358A (zh) * 2018-04-19 2020-11-27 信越聚合物株式会社 基板收纳容器
JP7414982B2 (ja) * 2020-05-19 2024-01-16 ミライアル株式会社 基板収納容器

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006120791A (ja) * 2004-10-20 2006-05-11 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5297684A (en) 1976-02-12 1977-08-16 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor element
JP3292800B2 (ja) * 1995-10-12 2002-06-17 信越ポリマー株式会社 密封容器のクランプ構造
WO2004025721A1 (ja) * 2002-09-11 2004-03-25 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. 基板収納容器
JP4233392B2 (ja) 2003-06-12 2009-03-04 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP4584023B2 (ja) * 2005-05-17 2010-11-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
KR20090069450A (ko) * 2007-12-26 2009-07-01 삼성전자주식회사 웨이퍼 캐리어
CN101685788B (zh) * 2008-09-23 2012-05-09 家登精密工业股份有限公司 具门闩及气密结构的前开式晶圆盒
JP2010171297A (ja) * 2009-01-26 2010-08-05 Toyota Motor Corp ウェハ保護部材と保護方法
CN201433088Y (zh) * 2009-02-27 2010-03-31 安徽医学高等专科学校 一种安瓿护具
US8453842B2 (en) 2009-05-13 2013-06-04 Miraial Co., Ltd. Semiconductor wafer container
JP2011060994A (ja) * 2009-09-10 2011-03-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器及び基板の取り扱い方法
JP5717505B2 (ja) * 2011-03-31 2015-05-13 ミライアル株式会社 ウエハ収納容器
KR102011159B1 (ko) 2011-08-12 2019-08-14 엔테그리스, 아이엔씨. 웨이퍼 캐리어
JPWO2013183138A1 (ja) * 2012-06-07 2016-01-21 ミライアル株式会社 衝撃吸収機能を備えた基板収納容器
JP2013258317A (ja) * 2012-06-13 2013-12-26 Mitsubishi Electric Corp 保護用ダイオード組込太陽電池、保護用ダイオード組込太陽電池を搭載した衛星、太陽電池セル及び保護用ダイオード組込太陽電池の組立方法
KR20140092548A (ko) * 2013-01-16 2014-07-24 삼성전자주식회사 웨이퍼 보관 장치
WO2014136247A1 (ja) * 2013-03-07 2014-09-12 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP6190726B2 (ja) * 2014-01-17 2017-08-30 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006120791A (ja) * 2004-10-20 2006-05-11 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器

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