CN112005358A - 基板收纳容器 - Google Patents

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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Shin Etsu Polymer Co Ltd
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Abstract

本发明涉及一种基板收纳容器，能够确保相对于内部的正压的密封性，并且减少由于盖体的开闭引起的摩擦而产生的颗粒。基板收纳容器具备：容器主体，用于收纳基板；以及盖体，用于封闭容器主体的开口；其中，容器主体中的开口的周围的第一部位和盖体中的与第一部位相对的第二部位是非接触地配合，以形成曲径式密封结构。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及一种基板收纳容器。
背景技术
基板收纳容器具备：容器主体，其用于收纳基板；以及盖体，其用于封闭容器主体的开口；以及环状的密封件，其被设置于容器主体和盖体之间；以气密状态收纳所述基板。
作为这样的密封件，已知的有延伸片形成为在其延长线上与密封面之间形成大致锐角的密封件、延伸片形成为与密封面接触并在基板收纳容器的外侧弯曲的密封件、以及延伸片形成为朝向开口正面的外侧弯曲的密封件等(例如，参照专利文献1和专利文献2)。
这些密封件在基板收纳容器的内部为负压的情况时，换言之，当外部的压力高的情况时，由于延伸片在被按压向密封面的方向上变形，因此具有良好的密封性能。
现有技术
专利文献
专利文献1：日本特许公开2002-068364号公报
专利文献2：日本特许公开2008-062979号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，在如上所述的传统技术中，难以在确保相对于内部的正压的密封性的同时，减少由于盖体的开闭引起的摩擦而产生的颗粒。密封件由弹性体等形成，并且由于摩擦而相对容易产生颗粒。另外，当向基板收纳容器的内部供给惰性气体等的吹扫气体的情况时，即，当基板收纳容器的内部变为正压的情况时，由于延伸片在从密封面剥离的方向上变形，所以密封性可能降低。
因此，在一个技术方案中，本发明的目的在于确保相对于内部的正压的密封性，并且减少由于盖体的开闭引起的摩擦而产生的颗粒。
解决技术问题的技术手段
在一个技术方案中，提供一种基板收纳容器，其具备：容器主体，其用于收纳基板；以及盖体，其用于封闭所述容器主体的开口；其中，所述容器主体中的所述开口周围的第一部位和所述盖体中的与所述第一部位相对的第二部位至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构。
发明效果
在一个技术方案中，根据本发明，能够确保相对于内部的正压的密封性，并且能够减少由于盖体的开闭引起的摩擦而产生的颗粒。
附图说明
图1是表示一个实施方式的基板收纳容器的分解示意性立体图。
图2是表示一个实施方式所涉及的曲径式密封结构的示意性剖视图。
图3是表示图2所示的曲径式密封结构的密封效果的说明图。
图4是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构的示意性剖视图。
图5是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构的示意性剖视图。
图6是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构的示意性剖视图。
图7A是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构的示意性剖视图。
图7B是表示图7A的结构的效果的说明图。
图8是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70的示意性剖视图。
图9是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70的示意性剖视图。
图10是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70的示意性剖视图。
图11是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70的示意性剖视图。
图12是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70的示意性剖视图。
图13是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70的示意性剖视图。
图14是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70的示意性剖视图。
图15是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70的示意性剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的各实施方式进行详细说明。
图1是表示一个实施方式的基板收纳容器1的分解示意性立体图。
如图1所示，基板收纳容器1具备用于收纳基板W的容器主体10，以及用于封闭容器主体10中的开口11的盖体20。
容器主体10为箱状体，并且为开口11形成于正面的前开口型。开口11以朝向外侧扩展的方式形成为带有台阶的弯曲形状，并且该台阶部的表面作为密封面12形成在开口11的正面的内周缘处。此外，从容易进行直径为300mm或450mm的基板W的插入操作考虑，尽管容器主体10优选为前开口型，但是也可以为开口11形成在下表面的底开口型。
在容器主体10的内部的左右两侧配置有支撑体13。支撑体13具有载置以及定位基板W的功能。在支撑体13中，沿高度方向形成有两个以上的凹槽，以构成所谓的凹槽齿。并且，基板W载置于相同高度的左右两处的凹槽齿上。支撑体13的材料可以与容器主体10的材料相同，但是也可以使用不同的材料以提高洗净控水性能和滑动性能。
另外，在容器主体10内部的后侧(里侧)配置有后保持器(未图示)。在盖体20被封闭的情况时，后保持器与后述的前保持器30成对地保持基板W。然而，在变形例中，也可以不具备后保持器，而使支撑体13在凹槽齿的里侧具有例如呈“く”形状或直线形状的基板保持部，从而利用前保持器30与基板保持部保持基板W。这里的支撑体13和后保持器等通过嵌件成型或嵌合等设置在容器主体10。
基板W由该支撑体13支撑并收纳在容器主体10中。此外，作为基板W的一个例子，可以列举出硅晶圆，但是没有特别的限制，例如可以是石英晶圆、砷化镓晶圆等。
在容器主体10的顶部的中央部，可拆装地设置有机器人凸缘14。以洁净状态收纳基板W的基板收纳容器1由工厂中的搬送机器人夹持机器人凸缘14，从而被搬送到加工基板W的每个工序的加工装置。
另外，在容器主体10的两侧部的外表面中央部，分别可拆装地安装有供作业者把持的手动握柄15。
例如，在容器主体10的底面上设置有具有止回阀功能的供气阀18和排气阀19。通过从供气阀18向由盖体20封闭的基板收纳容器1的内部供给氮气等的惰性气体或干燥空气，并从排气阀19排出，由此置换基板收纳容器1的内部的气体、或维持气密状态。此外，优选供气阀18和排气阀19位于与基板W投影于底面上的位置偏离的位置，但是供气阀18以及排气阀19的数量或位置不限于图中所示的数量或位置。另外，供气阀18和排气阀19具有用于过滤气体的过滤器。
内部气体的置换是为了吹除所收纳的基板W上的杂质或降低内部的湿度，从而保持搬送中的基板收纳容器1的内部的洁净性。气体的置换可以通过检测排气阀19侧的气体，从而确认是否被切实进行。并且，当置换内部的气体时，或者将盖体20安装到容器主体10上并封闭时，基板收纳容器1的内部成为正压，相反，当将盖体20从容器主体10上卸下时，基板收纳容器1的内部成为负压。
盖体20安装在容器主体10的开口11的正面，并且具有大致矩形的形状。如图1所示，盖体20具备：盖部主体21；以及一对锁定机构26，其被设置在盖部主体21上用于锁定；以及一对板27，其可拆装地覆盖各锁定机构26；并且可拆装地嵌合到容器主体10的开口正面部。盖体20通过锁定机构26，将锁定爪嵌合到形成在容器主体10的锁定孔(未图示)中而被锁定。此外，盖体20的盖部主体21、一对锁定机构26以及一对板27使用与容器主体10相同的成型材料而成型。
另外，盖体20具有可拆装地安装或一体形成的弹性前保持器30，用于将基板W的前部周缘水平地保持在中央部。
由于该前保持器30与支撑体13的凹槽齿以及基板保持部等相同，是直接与晶圆接触的部位，因此使用具有良好的洗净控水性和滑动性的材料。前保持器30也可以通过嵌件成型或嵌合等设置在盖体20上。
作为该等容器主体10以及盖体20的材料，例如可以列举：聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、液晶聚合物等的热塑性树脂。该热塑性树脂中进一步可以适当地添加含有导电性碳、导电纤维、金属纤维、导电聚合物等组成的导电剂、各种抗静电剂、紫外线吸收剂等。
这里，在本实施方式中，基板收纳容器1在容器主体10和盖体20之间，未设置本来使用的环状密封件。取而代之的是，在容器主体10和盖体20之间形成曲径式密封结构。以下，针对曲径式密封结构的各个示例进行说明。
图2是表示一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70A的示意性剖视图。图2(后述的图3以后也相同)是沿图1所示的容器主体10的线A-A的部分的剖视图(盖体20封闭容器主体10的状态的剖视图)。在图2中，作为两个正交的方向被定义为X和Y方向。在X方向上，X1侧对应于内侧，X2侧对应于外侧。X方向对应于开口11周围的径向方向。另外，在Y方向上，Y1侧对应于内侧，Y2侧对应于外侧。此外，当容器主体10中收纳基板W时(参照图1)，Y方向(第一方向的一个示例)是与基板W的表面基本平行的方向。
如图2所示，容器主体10中的开口11周围的第一部位110和盖体20中的与第一部位110相对的第二部位210至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70A。
具体而言，第一部位110具有：在Y方向上与第二部位210相对的表面101(第一表面的一个示例)，以及在X方向上与第二部位210相对的表面102。此外，表面101形成密封面12(参照图1)。同样，第二部位210具有：在Y方向上与第一部位110相对的表面211(第一表面的一个示例)，以及在X方向上与第一部位110相对的表面212。这样，第一部位110和第二部位210在Y方向上彼此相对，并且在X方向上也彼此相对。
此外，在图2中，表面101和表面211之间的间隙δ2与表面102和表面212之间的间隙δ1(最小间隙)大致相同，但也可以不同。间隙δ2以及间隙δ2被设定为不会因为公差等而产生表面101和表面211之间的接触或表面102和表面212之间的接触。间隙δ1以及间隙δ2优选为大于0mm，且为1.0mm以下，更优选为0.5mm以下。这是因为当大于1.0mm时，无法有效获得密封性的原因。
对于容器主体10中的开口11周围的第一部位110和盖体20中的与第一部位110相对的第二部位210的非接触程度，分别进行如下评价，在接触程度为0％的情况时，由于未产生颗粒，因此评价为“优”、在接触程度为0-10％的情况时，评价为“良”、在接触程度为10-50％的情况时，评价为“可”(因为尽管可以使用，但对颗粒的优越性降低)、在接触程度为50％以上的情况时，评价为“差”。
在图2中，曲径式密封结构70A由第一部位110的表面101以及第二部位210的表面211所形成。
具体而言，第二部位210具有朝向第一部位110突出的肋部群710。图2中，尽管肋部群710具有3个肋部710-1、710-2、710-3，但是肋部的个数是任意的。例如，可以省略3个肋部710-1、710-2、710-3中的任意1个或2个，也可以设定进而追加的肋部。
肋部710-1、710-2、710-3遍及开口11周围的全周而形成。例如，肋部710-1、710-2、710-3也可以遍及开口周围的全周以等剖面而形成。此外，在变形例中，肋部710-1、710-2、710-3可以为在开口11周围的周向的一部分上剖面发生变化，或者也可以为在开口11周围的周向的一部分上不连续。
肋部710-1、710-2、710-3优选具有考虑到盖部主体21的成型性的形状，即从模具中脱出的形状。此外，肋部710-2、710-3如图2所示，外侧的周面在朝向Y1侧的方向上向内侧倾斜。在这种情况时，与内侧的周面在朝向Y1侧的方向上向外侧倾斜的情况相比，能够提高相对于内部的正压的密封性(关于原理将在下文进行说明)。但是，在变形例中，肋部710-2、710-3可以为内侧的周面在朝向Y1侧的方向上向外侧倾斜，也可以不倾斜。
肋部710-1、710-2、710-3优选具有10mm以内的高低差(参照图2中的高度H)，例如，也可以在1mm～10mm的范围内。如果高低差(参照图2的高度H)为间隙δ2的5倍以上时，优选为10倍以上时，则可以期待大的密封效果。此外，可以使盖部主体21侧的第二部位210的形状和容器主体10侧的第一部位110的形状相反。此外，在附图中，为了易于清楚地说明曲径式效果，相对于H的高度，较大的显示了δ1和δ2的距离。
图3是表示图2所示的曲径式密封结构70A的密封效果的说明图。
如图3所示(图2也相同)，曲径式密封结构70A沿着X方向重复狭小部701和扩大部702。因此，例如，当容器主体10的内部为正压时，在气体从容器主体10的内部P0到外部P1的流动中，如图3的箭头示意性所示的那样，通过重复进行从狭小部701向扩大部702过渡时的流路面积的急剧扩大，以及从扩大部702向狭小部701过渡时的流路面积的急剧缩小，从而产生压力损失。另外，在气体从容器主体10的内部P0向第一个狭小部701过渡时，由于流路面积也急剧缩小，因此产生压力损失。另外，当向容器主体10的外部P1过渡时，由于流路面积急剧扩大，因此产生压力损失。以此方式，在曲径式密封结构70A中，压力在内部P0和外部P1之间逐渐变化。结果，经由曲径式密封结构70A的内部P0和外部P1之间的气体流动减低或消失，发挥了密封功能。即，确保了相对于内部的正压的密封性。
另外，当容器主体10的内部为负压时，也同样发挥密封功能。这是因为，从容器主体10的外部P1到内部P0的流动中，通过重复进行从狭小部701向扩大部702过渡时的流路面积急剧扩大，以及从扩大部702向狭小部701过渡时的流路面积急剧缩小，从而产生压力损失。
此外，急剧扩大和急剧缩小的重复次数，包括从容器主体10的内部P0的急剧缩小和向容器主体10的外部P1的急剧扩大，优选至少为3次以上。即，如上所述，肋部的数量只要为1个以上即可。然而，为了提高密封性，肋部的数量较佳为2个以上。
这里，基板收纳容器1是可以多次使用的容器，并且盖体20的开闭也可以进行多次。在这方面，在通过使用由弹性体等形成的密封件来确保密封性的比较例的情况时，由于摩擦而容易产生颗粒。即，由于伴随着盖体的开闭而密封件相对于密封面滑动，因此容易产生颗粒。在产生颗粒的状态下，如果打开盖体时容器主体的内部为负压，则颗粒可能进入容器主体内部而污染基板W。
另外，在使用由弹性体等形成的密封件来确保密封性的比较例的情况时，密封件贴合到容器主体的密封面，盖体20的开闭扭矩变得过大，成为制造工序中产生误差等的原因。
与此相对，根据图2所示的示例，由于不使用密封件，因此可以避免因使用密封件而引起的上述问题(即，比较例引起的问题)。此外，根据图2所示的示例，由于第一部位110和第二部位210之间是非接触的，所以因摩擦而从第一部位110和第二部位210产生颗粒的可能性低。
另外，根据图2所示的示例，尽管第一部位110和第二部位210之间是非接触的，但可以通过曲径式密封结构70A确保高密封性。曲径式密封结构70A的密封效果如上文参照图3所述。
以此方式，根据图2所示的示例，可以确保相对于容器主体10的内部的正压以及负压的密封性，并且还可以减少由于盖体20的开闭引起的摩擦而产生的颗粒。
此外，在图2所示的示例中，曲径式密封结构70A形成于第一部位110的表面101和第二部位210的表面211之间，然而，也可以取代这种方式或者除此之外，在第一部位110的表面102和第二部位210的表面212之间形成相同的曲径式密封结构。
另外，在图2所示的示例中，尽管肋部群710形成于第二部位210，然而，也可以取代这种方式，在第一部位110形成相同的肋部群710。
图4是表示另一实施方式所涉及的曲径式密封结构70B的示意性剖视图。此外，在图4所示的示例中，对于与上述图2所示的示例相同的构成要素，以相同的附图标记表示，有时省略对其进行说明。
图4所示的示例相对于图2所示的示例的不同之处在于，盖体20被盖体20B所替换。盖体20B相对于盖体20的不同之处在于，盖部主体21B上安装有第二部位210B。即，在盖体20中，第二部位210是盖部主体21的一部分，与此相对(相对于以一体形成)，在图4所示的盖体20B中，第二部位210B并非盖部主体21B的一部分，而是通过安装在盖部主体21B上而一体化。
盖部主体21B由聚碳酸酯、环烯烃聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚丙烯等的树脂材料形成。另一方面，第二部位210B除了聚丙烯外，还可以由聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二酯或者聚缩醛等的滑动性较高的树脂材料形成。另外，即使对盖体20B要求低吸湿性的情况下，由于第二部位210B是盖体20B的较小的部位，因此也可以由非吸湿性的材料形成。
另外，作为第二部位210B的材料，还可以使用包含聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、硅酮橡胶等的弹性体。从改变密接性的观点出发，也可以选择性地向这些材料中添加规定量的包含碳、玻璃纤维、云母、滑石、二氧化硅、碳酸钙等的填充剂，以及聚乙烯、聚酰胺、聚缩醛、氟树脂、硅树脂等的树脂。另外，从赋予导电性以及抗静电性的观点出发，可以适当添加碳纤维、金属纤维、金属氧化物、各种抗静电剂等。
第二部位210B，例如通过与盖部主体21B嵌合而一体化。或者，第二部位210B也可以通过与盖部主体21B黏合而一体化。或者，第二部位210B也可以与盖部主体21B一体成型(例如双色成型)。
在图4中，容器主体10中的开口11周围的第一部位110和盖体20B中的与第一部位110相对的第二部位210B至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70B。
曲径式密封结构70B自身也可以与图2所示的曲径式密封结构70A相同。但是，在图4中，由于第二部位210B与盖体主体21B为不同的构件，所以其可以与盖部主体21B分开成型。因此，第二部位210B可以无需考虑盖部主体21B的成型性而进行设计。
此外，第二部位210B也可以设置在容器主体10侧。
根据图4所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。另外，根据图4所示的示例，由于第二部位210B与盖体主体21B为不同的构件，所以可以通过不同于盖部主体21B的材料形成。因此，第二部位210B可以由滑动性高的树脂材料形成。在这种情况时，即使由于构件公差等的原因使得设计值(标称值)时本应非接触的第一部位110和第二部位210B彼此接触的情况时，也可以将颗粒的产生保持在最小限度。
另外，即使第二部位210B的一部分接触到第一部位110，如果是弹性体，则也可以将其吸收，由于能够确保其他的间隙δ2，所以可以宽泛地确保成型品的尺寸精度，因此易于控制、具有稳定性。
图5是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70C的示意性剖视图。此外，在图5所示的示例中，对于与上述图2所示的示例相同的构成要素，以相同的附图标记表示，有时省略对其进行说明。
图5所示的示例相对于图2所示的示例的不同之处在于，容器主体10被容器主体10C所替换，并且，盖体20被盖体20C所替换。
容器主体10C相对于图2所示的容器主体10的不同之处在于，第一部位110被第一部位110C所替换。盖体20C相对于图2所示的盖体20的不同之处在于，盖部主体21被盖部主体21C所替换。盖部主体21C相对于图2所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210被第二部位210C所替换。
如图5所示，容器主体10C中的开口11周围的第一部位110C和盖体20C中的与第一部位110C相对的第二部位210C至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70C。
具体而言，第一部位110C具有在Y方向上与第二部位210C相对的表面101C(第一表面的一个示例)，以及在X方向上与第二部位210C相对的表面102C。此外，表面101C形成密封面12(参照图1)。同样，第二部位210C具有在Y方向上与第一部位110C相对的表面211C(第一表面的一个示例)，以及在X方向上与第一部位110C相对的表面212C。这样，第一部位110C和第二部位210C在Y方向上彼此相对，并且在X方向上也彼此相对。
在图5中，曲径式密封结构70C由第一部位110C的表面101C和第二部位210C的表面211C所形成。
具体而言，第一部位110C具有朝向第二部位210C突出的肋部群120C。在图5中，尽管肋部群120C具有2个肋部120C-1、120C-2，但是肋部的个数是任意的。例如，可以省略2个肋部120C-1、120C-2中的任意1个，也可以设定进而追加的肋部。
另外，第二部位210C具有朝向第一部位110C突出的肋部群710C。在图5中，尽管肋部群710C具有2个肋部710C-1、710C-2，但是肋部的个数是任意的。例如，可以省略2个肋部710C-1、710C-2中的任意1个，也可以设定进而追加的肋部。
肋部120C-1、120C-2以及肋部710C-1、710C-2遍及开口11周围的全周而形成。例如，肋部120C-1、120C-2以及肋部710C-1、710C-2也可以遍及开口周围的全周以等剖面而形成。此外，在变形例中，肋部120C-1、120C-2以及肋部710C-1、710C-2的至少任意一个可以为在开口11周围的周向的一部分上剖面发生变化，或者也可以为在开口11周围的周向的一部分上不连续。
肋部120C-1、120C-2优选具有考虑到容器主体10C的成型性的形状，即从模具中脱出的形状。此外，肋部120C-1、120C-2如图5所示，外侧的周面在朝向Y2侧的方向上向内侧倾斜。但是，在变形例中，肋部120C-1、120C-2可以为内侧的周面在朝向Y2侧的方向上向外侧倾斜。
肋部710C-1、710C-2优选具有考虑到盖部主体21C的成型性的形状，即从模具中脱出的形状。此外，肋部710-2如图5所示，外侧的周面在朝向Y1侧的方向上向内侧倾斜。但是，在变形例中，肋部710-2可以为内侧的周面在朝向Y1侧的方向上向外侧倾斜。
肋部120C-1、120C-2以及肋部710C-1、710C-2优选具有10mm以内的高低差(参照图5中的高度H)，并且例如可以在1mm～10mm的范围内。当高低差为间隙δ2的5倍以上时，优选为10倍以上时，则可以期待大的密封效果。
根据图5所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。在图5所示的示例中，气体的流动路径形成为勾状，另外路径可以被加长，可以期待更高的密封效果。
此外，在图5所示的示例中，尽管曲径式密封结构70C形成于第一部位110C的表面101C和第二部位210C的表面211C之间，然而，也可以取代这种方式或者除此之外，在第一部位110C的表面102C和第二部位210C的表面212C之间也可以形成同样的曲径式密封结构。
图6是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70D的示意性剖视图。此外，在图6所示的示例中，对于与上述图5所示的示例相同的构成要素，以相同的附图标记表示，有时省略对其进行说明。
图6所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，盖体20C被盖体20D所替换。盖体20D相对于盖体20C的不同之处在于，盖部主体21D上安装有第二部位210D。即，在盖体20C中，第二部位210C是盖部主体21C的一部分，与此相对(相对于以一体形成)，在图6所示的盖体20D中，第二部位210D并非盖部主体21D的一部分，而是通过安装在盖部主体21D而一体化。
盖部主体21D由聚醚醚酮或者聚丙烯等的低吸湿性的树脂材料形成。另一方面，第二部位210D除了聚丙烯外，还可以由聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二酯或者聚缩醛等的滑动性较高的树脂材料形成。另外，即使对盖体20D要求低吸湿性的情况下，由于第二部位210D是盖体20D的较小的部位，因此也可以由非吸湿性的材料形成。
另外，作为第二部位210D的材料，还可以使用包含聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、硅酮橡胶等的弹性体。从改变密接性的观点出发，也可以选择性地向这些材料中添加规定量的包含碳、玻璃纤维、云母、滑石、二氧化硅、碳酸钙等的填充剂，以及聚乙烯、聚酰胺、聚缩醛、氟树脂、硅树脂等的树脂。另外，从赋予导电性以及抗静电性的观点出发，可以适当添加碳纤维、金属纤维、金属氧化物、各种抗静电剂等。
此外，即使对盖体20D要求低吸湿性的情况下，由于第二部位210D是盖体20D的较小的部位，因此也可以由非吸湿性的材料形成。
第二部位210D，例如通过与盖部主体21D嵌合而一体化。或者，第二部位210D也可以通过与盖部主体21D黏合而一体化。或者，第二部位210D也可以与盖部主体21D一体成型(例如双色成型)。
图6中，容器主体10C中的开口11周围的第一部位110C和盖体20D中的与第一部位110C相对的第二部位210D至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70D。
曲径式密封结构70D自身也可以与图5所示的曲径式密封结构70C相同。但是，在图6中，由于第二部位210D与盖体主体21D为不同的构件，所以其可以与盖部主体21D分开成型。因此，第二部位210D可以无需考虑盖部主体21D的成型性而进行设计。
根据图6所示的示例，也可以获得与图5所示的示例相同的效果。另外，根据图6所示的示例，由于第二部位210D与盖体主体21D为不同的构件，因此可以通过不同于盖部主体21D的材料形成。因此，第二部位210D可以由滑动性高的树脂材料形成。在这种情况时，即使由于构件公差等的原因使得设计值(标称值)时本应非接触的第一部位110C和第二部位210D彼此接触的情况时，也可以将颗粒的产生保持在最小限度。另外，即使第二部位210D的一部分接触到第一部位110C，如果是弹性体，则也可以将其吸收，由于能够确保其他的间隙，所以可以宽泛地确保成型品的尺寸精度，因此易于控制而具有稳定性。
图7A以及图7B是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70E的示意性剖视图。此外，在图7A以及图7B所示的示例中，对于与上述图5所示的示例相同的构成要素，以相同的附图标记表示，有时省略对其进行说明。
图7A所示的示例相对于图5所示的示例，曲径式密封结构70C被曲径式密封结构70E所替换。具体而言，在图7A以及图7B所示的示例中，相对于图5所示的示例，肋部120C-1、120C-2以及肋部710C-1、710C-2被肋部120E-1、120E-2以及肋部710E-1、710E-2所替换。
肋部120E-1，120E-2以及肋部710E-1，710E-2形成为，使得肋部120E-1和肋部710E-2之间的X方向的间隙δ3和肋部120E-2和肋部710E-1之间的X方向的间隙δ3在Y方向上恒定。优选间隙δ3大于0mm，且为1.0mm以下，更优选为0.5mm以下。这是因为当间隙δ3大于1.0mm时，无法有效获得密封性的原因。
根据图7A所示的示例，当盖体20E封闭时，通过将在X方向上相对配置的相邻肋部的侧面彼此之间的间隙(在图7A中，肋部120E-1和肋部710E-2之间的X方向上的间隙δ3、以及肋部120E-2和肋部710E-1之间的X方向上的间隙δ3)设定为恒定，从而即使盖体不完全处于封闭状态(参照图7B)，也能够保持密封效果。据此，在盖体20E开闭时，可以最大限度的确保密封状态，并且即使盖20E被锁定在中途未密接的状态，也可以确保良好的密封性。
此外，在图7A所示的示例中，与上述图6所示的例相同，也可以为在盖部主体21E单独安装第二部位(形成肋部710E-1、710E-2的部位)的结构。
图8是表示另一实施方式所涉及的曲径式密封结构70F的示意性剖视图。此外，图8所示的示例是在容器主体侧形成肋部的情况的例子。
图8所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，容器主体10C被容器主体10F所替换，并且，盖体20C被盖体20F所替换。
容器主体10F相对于图5所示的容器主体10C的不同之处在于，第一部位110C被第一部位110F所替换。盖体20F相对于图2所示的盖体20C的不同之处在于，盖部主体21C被盖部主体21F所替换。盖部主体21F相对于图2所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210C被第二部位210F所替换。
如图8所示，容器主体10F中的开口11周围的第一部位110F和盖体20F中的与第一部位110F相对的第二部位210F至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70F。曲径式密封结构70F由第一部位110F的表面101F和第二部位210F的表面211F所形成。
具体而言，第一部位110F具有朝向第二部位210F突出的肋部群120F。图8中，尽管肋部群120F具有3个肋部120F-1、120F-2、120F-3，但是肋部的个数是任意的。
肋部120F-1、120F-2、120F-3遍及开口11周围的全周而形成。例如，肋部120F-1、120F-2、120F-3也可以遍及开口周围的全周以等剖面而形成。根据图8所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。此外，可以使盖部主体21F侧的第二部位210F的形状和容器主体10F侧的第一部位110F的形状相反。
图9是表示另一实施方式所涉及的曲径式密封结构70G的示意性剖视图。此外，图9所示的示例是在容器主体和盖部主体的肋部形成微小的高低差的情况的例子。图9所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，容器主体10C被容器主体10G所替换，并且，盖体20C被盖体20G所替换。
容器主体10G相对于图5所示的容器主体10C的不同之处在于，第一部位110C被第一部位110G所替换。盖体20G相对于图5所示的盖体20C的不同之处在于，盖部主体21被盖部主体21G所替换。盖部主体21G相对于图5所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210C被第二部位210G所替换。
如图9所示，容器主体10G中的开口11周围的第一部位110G和盖体20G中的与第一部位110G相对的第二部位210G至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70G。曲径式密封结构70G由第一部位110G的表面101G和第二部位210G的表面211G所形成。
具体而言，第一部位110G具有朝向第二部位210G突出的肋部群120G。图9中，尽管肋部群120G具有3个肋部120G-1、120G-2、120G-3，但是肋部的个数是任意的。另外，第二部位210G具有朝向第一部位110G突出的肋部群710G。图9中，尽管肋部群710G具有3个肋部710G-1、710G-2和710G-3，但是肋部的个数是任意的。
如图9所示，在肋部120G-1、120G-2、120G-3中形成了微小的台阶部G-1、G-2、G-3。在肋部710G-1，710G-2和710G-3上形成微小的台阶部G-11，G-12和G-13。
肋部120G-1、120G-2、120G-3以及710G-1、710G-2、710G-3遍及开口11周围的全周而形成。根据图9所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。
图10是表示另一实施方式所涉及的曲径式密封结构70H的示意性剖视图。图10所示的示例是在容器主体和盖部主体上设置肋部，并且在容器主体的肋部上形成微小的高低差的情况的例子。
图10所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，容器主体10C被容器主体10H所替换，并且，盖体20C被盖体20H所替换。
容器主体10H相对于图5所示的容器主体10C的不同之处在于，第一部位110C被第一部位110H所替换。盖体20H相对于图5所示的盖体20C的不同之处在于，盖部主体21C被盖部主体21H所替换。盖部主体21H相对于图5所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210C被第二部位210H所替换。
如图10所示，容器主体10H中的开口11周围的第一部位110H和盖体20H中的与第一部位110H相对的第二部位210H至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70H。曲径式密封结构70H由第一部位110H的表面101H和第二部位210H的表面211H所形成。
具体而言，第一部位110H具有朝向第二部位210H突出的肋部群120H。图10中，尽管肋部群120H具有3个肋部120H-1、120H-2、120H-3，但是肋部的个数是任意的。另外，第二部位210H具有朝向第一部位110H突出的肋部群710H。
图10中，尽管肋部群710G具有3个肋部710H-1、710H-2以及710H-3，但是肋部的个数是任意的。如图10所示，在肋部120H-1、120H-2、120H-3上形成了微小的台阶部H-1、H-2和H-3。
肋部710H-1、710H-2以及710H-3形成有内侧的周面在朝向Y1侧的方向上向外侧倾斜的倾斜H-11、H-12以及H-13。肋部120H-1、120H-2、120H-3以及710H-1、710H-2、710H-3遍及开口11周围的全周而形成。根据图10所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。
图11是表示另一实施方式所涉及的曲径式密封结构70I的示意性剖视图。此外，图11所示的示例是容器主体的肋部形状与盖部主体的肋部形状不同的情况的例子。
图11所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，容器主体10C被容器主体10I所替换，并且，盖体20C被盖体20I所替换。
容器主体10I相对于图5所示的容器主体10C的不同之处在于，第一部位110C被第一部位110I所替换。盖体20I相对于图5所示的盖体20C的不同之处在于，盖部主体21C被盖部主体21I所替换。盖部主体21I相对于图5所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210C被第二部位210I所替换。
如图11所示，容器主体10I中的开口11周围的第一部位110I和盖体20I中的与第一部位110I相对的第二部位210I至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70I。曲径式密封结构70I由第一部位110I的表面101I和第二部位210I的表面211I所形成。
具体而言，第一部位110I具有朝向第二部位210I突出的肋部群120I。在图11中，尽管肋部群120I具有4个肋部120I-1、120I-2、120I-3、120I-4，但是肋部的个数是任意的。另外，第二部位210I具有朝向第一部位110I突出的肋部群710I。
在图11中，尽管肋部群710I具有2个肋部710I-1、710I-2，但是肋部的个数是任意的。如图11所示，在肋部120I-1、120I-2、120I-3，具有内侧的周面在朝向Y2侧的方向上向外侧倾斜的倾斜I-1、I-2、I-3、I-4。
对应于肋部710I-2、710I-4的肋部120I-2、120I-4形成为低于肋部120I-1、120I-3。肋部120I-1、肋部120I-2形成为比肋部710I-1、肋部710I-2的前端靠近第二部位210I的表面211I。
肋部120I-1、120I-2、120I-3、120I-4以及710I-1、710I-2遍及开口11周围的全周而形成。根据图11所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。此外，可以使盖部主体21I侧的第二部位210I的形状和容器主体10I侧的第一部位110I的形状相反。
图12是表示另一实施方式所涉及的曲径式密封结构70J的示意性剖视图。图12所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，容器主体10C被容器主体10J所替换，并且，盖体20C被盖体20J所替换。
容器主体10J相对于图5所示的容器主体10C的不同之处在于，第一部位110C被第一部位110J所替换。
盖体20J相对于图5所示的盖体20C的不同之处在于，盖部主体21被盖部主体21J所替换。盖部主体21J相对于图5所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210被第二部位210J所替换。
如图12所示，容器主体10J中的开口11周围的第一部位110J和盖体20J中的与第一部位110J相对的第二部位210J至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70J。曲径式密封结构70J由第一部位110J的表面101J和第二部位210J的表面211J所形成。
具体而言，第一部位110J具有朝向第二部位210J突出的肋部群120J。图12中，尽管肋部群120J具有3个肋部120J-1、120J-2、120J-3，但是肋部的个数是任意的。另外，第二部位210J具有朝向第一部位110J突出的肋部群710J。
在图12中，尽管肋部群710J有3个肋部710J-1、710J-2、710J-3，但是肋部的个数是任意的。如图12所示，在肋部120J-1、120J-2、120J-3，具有外侧的周面在朝向Y2侧的方向上向内侧倾斜的倾斜J-1、J-2、J-3。
在肋部710J-1、710J-2、710J-3，具有内侧的周面在朝向Y1侧的方向上向外侧倾斜的倾斜J-11、J-12、J-13。
肋部120J-1、120J-2、120J-3以及710J-1、710J-2遍及开口11周围的全周而形成。根据图12所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。
图13是表示另一实施方式所涉及的曲径式密封结构70K的示意性剖视图。图13所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，容器主体10C被容器主体10K所替换，并且，盖体20C被盖体20K所替换。
容器主体10K相对于图5所示的容器主体10C的不同之处在于，第一部位110C被第一部位110K所替换。盖体20K相对于图5所示的盖体20C的不同之处在于，盖部主体21C被盖部主体21K所替换。盖部主体21K相对于图5所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210C被第二部位210K所替换。
如图13所示，容器主体10K中的开口11周围的第一部位110K和盖体20K中的与第一部位110K相对的第二部位210K至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70K。曲径式密封结构70K由第一部位110K的表面101K和第二部位210K的表面211K所形成。
具体而言，第一部位110K具有朝向第二部位210K突出的肋部120K。另外，第二部位210K具有朝向第一部位110K突出的肋部群710K。在图13中，尽管肋部群710K具有2个肋部710K-1、710K-2，但是肋部的个数是任意的。肋部120K由嵌入构件所形成，被嵌入到盖体10K中。
肋部120K具有突起形状K-1、K-2，使得其前端分别朝向外周侧的肋部710K-1、710K-2。作为肋部120K的材料，也可以使用包含聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、硅酮橡胶等的弹性体。从改变密接性的观点出发，也可以选择性地向这些材料中添加规定量的包含碳、玻璃纤维、云母、滑石、二氧化硅、碳酸钙等的填充剂，以及聚乙烯、聚酰胺、聚缩醛、氟树脂、硅树脂等的树脂。另外，从赋予导电性以及抗静电性的观点出发，可以适当添加碳纤维、金属纤维、金属氧化物、各种抗静电剂等。
肋部120K以及710K-1、710K-2遍及开口11周围的全周而形成。根据图13所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。由于肋部120K具有两个突起形状K-1、K-2，因此即使设置两个狭窄的流路，图13的结构也可以实现在X方向上具有狭窄尺寸的效果。另外，如果以弹性体嵌件成型肋部120K，则尺寸误差的允许范围变大，因此较为有效。此外，可以使盖部主体21K侧的第二部位210K的形状和容器主体10K侧的第一部位110K的形状相反。
图14是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70L的示意性剖视图。图14所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，容器主体10C被容器主体10L所替换，并且，盖体20C被盖体20L所替换。
容器主体10L相对于图5所示的容器主体10C的不同之处在于，第一部位110C被第一部位110L所替换。盖体20L相对于图5所示的盖体20C的不同之处在于，盖部主体21C被盖部主体21L所替换。盖部主体21L相对于图5所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210C被第二部位210L所替换。
如图14所示，容器主体10L中的开口11周围的第一部位110L和盖体20L中的与第一部位110L相对的第二部位210L至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70L。曲径式密封结构70L由第一部位110L的表面101L和第二部位210L的表面211L所形成。
具体而言，第一部位110L具有朝向第二部位210L突出的肋部群120L。在图14中，尽管肋部群120L具有肋部120L-1、120L-2，但是肋部的个数是任意的。另外，第二部位210L具有朝向第一部位110L突出的肋部群710L。在图14中，尽管肋部群710L具有2个肋部710L-1、710L-2，但是肋部的个数是任意的。
肋部120L-1、120L-2由嵌入构件所形成，被嵌入到盖体10L中。2个肋部120L-1、120L-2具有突起形状L-1、L-2，使得其前端分别朝向外周侧的肋部710L-1，710L-2。
肋部120L-1、120L-2由聚碳酸酯、环烯烃聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚丙烯等的树脂材料形成。
肋部120L-1、120L-2以及710L-1、710L-2遍及开口11周围的全周而形成。根据图14所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。
图15是表示另一个实施方式所涉及的曲径式密封结构70M的示意性剖视图。在图15所示的示例中，对于与上述示例相同的构成要素，以相同的附图标记表示，有时省略对其进行说明。图15所示的示例相对于图5所示的示例的不同之处在于，容器主体10C被容器主体10M所替换，并且，盖体20C被盖体20M所替换。
容器主体10M相对于图5所示的容器主体10C的不同之处在于，第一部位110C被第一部位110M所替换。盖体20M相对于图5所示的盖体20C的不同之处在于，盖部主体21C被盖部主体21M所替换。盖部主体21M相对于图5所示的盖部主体21C的不同之处在于，第二部位210C被第二部位210M所替换。
如图15所示，容器主体10M中的开口11周围的第一部位110M和盖体20M中的与第一部位110M相对的第二部位210M至少一部分非接触地配合形成曲径式密封结构70M。曲径式密封结构70M由第一部位110M的表面101M和第二部位210M的表面211M所形成。
具体而言，第一部位110M具有朝向第二部位210M突出的肋部群120M。在图15中，尽管肋部群120M具有肋部120M-1、120M-2，但是肋部的个数是任意的。另外，第二部位210M具有朝向第一部位110M突出的肋部710M。肋部120M-1、120M-2由嵌入构件所形成，被嵌入到盖体10M中。
2个肋部120M-1、120M-2具有分别朝向肋部710M突出的突起形状M-1，M-2。肋部120M-1、120M-2由诸如聚碳酸酯、环烯烃聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚丙烯等的树脂材料形成。
肋部120M-1、120M-2以及710M遍及开口11周围的全周而形成。根据图15所示的示例，也可以获得与图2所示的示例相同的效果。此外，也可以使盖部主体21K侧的第二部位210K的形状和容器主体10K侧的第一部位110K的形状相反。
图13、图14以及图15所示的第二部位210K、210L以及210M，除了聚丙烯外，还可以由聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二酯或者聚缩醛等的滑动性较高的树脂材料形成。此外，即使对盖体20K、20L以及20M要求低吸湿性的情况下，由于第二部位210K、210L以及210M是盖体20K、20L和20M的较小的部位，因此也可以由非吸湿性的材料形成。
另外，作为第二部位210K、210L以及210M的材料，也可以使用包含聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、硅酮橡胶等的弹性体。从改变密接性的观点出发，也可以选择性地向这些材料中添加规定量的包含碳、玻璃纤维、云母、滑石、二氧化硅、碳酸钙等的填充剂，以及聚乙烯、聚酰胺、聚缩醛、氟树脂、硅树脂等的树脂。另外，从赋予导电性以及抗静电性的观点出发，可以适当添加碳纤维、金属纤维、金属氧化物、各种抗静电剂等。
在上述各实施方式中，由于容器主体是大型构件，因此当嵌件成型精细且复杂的结构或者另一构件的情况时，将其设置在盖体侧而不是容器主体侧时则精度更高。所以，优选将复杂的结构或者形状设置在盖体侧。
以上，对各实施方式进行了详细说明，但本发明并不局限于特定的实施方式，在权利要求所记载的范围内，能够进行各种变形和变更。另外，也可以组合上述实施方式的全部构成要素或两个以上的构成要素。
附图标记说明
1 基板收纳容器
10 容器主体
10C 容器主体
11 开口
12 密封面
13 支撑体
14 机器人凸缘
15 手动握柄
18 供气阀
19 排气阀
20 盖体
21 盖部主体
26 锁定机构
27 板
30 前保持器
70A 曲径式密封结构
101 表面
102 表面
110 第一部位
210 第二部位
211 表面
212 表面
701 狭小部
702 扩大部
710 肋部群
A-A 线
P0 内部
P1 外部
W 基板
δ1 间隙
δ2 间隙

Claims (8)

1.一种基板收纳容器，其特征在于，包括：
容器主体，用于收纳基板；以及
盖体，用于封闭所述容器主体的开口；
其中，所述容器主体中的所述开口的周围的第一部位和所述盖体中的与所述第一部位相对的第二部位的至少一部分是非接触地配合，以形成曲径式密封结构。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述曲径式密封结构是遍及所述开口的周围的全周而形成。
3.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述第一部位以及所述第二部位在第一方向上具有彼此相对的第一表面，
所述第一方向与基板被收纳到所述容器主体时的基板的表面基本平行；
所述曲径式密封结构是由所述第一部位的所述第一表面以及所述第二部位的所述第一表面所形成。
4.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述第一部位以及所述第二部位中的至少一个，具有：形成所述曲径式密封结构的肋部，
所述肋部遍及所述开口的周围的全周而形成，并朝向所述第一部位以及所述第二部位中的另一个而突出。
5.根据权利要求4所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述肋部形成为两个以上。
6.根据权利要求4或5所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述肋部的高低差为10mm以内。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述第二部位是由与所述盖体的主体材料不同的材料而形成。
8.根据权利要求7所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述第二部位与所述盖体的主体为不同的构件，而安装于所述盖体的主体。
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