TWI781316B - 基板收納容器 - Google Patents

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TWI781316B
TWI781316B TW108113773A TW108113773A TWI781316B TW I781316 B TWI781316 B TW I781316B TW 108113773 A TW108113773 A TW 108113773A TW 108113773 A TW108113773 A TW 108113773A TW I781316 B TWI781316 B TW I781316B
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小川統
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日商信越聚合物股份有限公司
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Abstract

本發明係一面確保對於內部之正壓之密封性，一面減低因伴隨蓋體開閉之摩擦所致之微粒產生。本發明揭示一種基板收納容器，其係收納基板之容器本體、蓋住容器本體之開口之蓋體、容器本體之開口周圍之第1部位、及蓋體之與第1部位對向之第2部位為非接觸，且協作形成曲徑式密封構造。

Description

基板收納容器
本揭示係關於一種基板收納容器。
基板收納容器係具備如下者：容器本體，其收納基板；蓋體，其蓋住容器本體之開口；及環狀襯墊，其設置於容器本體與蓋體之間，且以氣密狀態收納基板。
作為此種襯墊，已知有延伸片係形成為於其延長線與密封面間形成略為銳角者，與密封面接觸而於基板收納容器之外側彎曲者及向開口正面外方彎曲者等(例如參照專利文獻1及專利文獻2)。
該等襯墊於基板收納容器之內部為負壓之情形時，換言之，外部之壓力較高之情形時，由於延伸片於按壓於密封面之方向變形，故發揮良好密封性。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[特許文献1] 日本專利特開2002-068364號公報
[特許文献2] 日本專利特開2008-062979號公報
但，如上述之先前技術中，難以一面確保對於內部正壓之密封性，一面減低因伴隨蓋體開閉之摩擦所致之微粒產生。襯墊係由彈性體等形成，比較容易因摩擦而產生微粒。又，將惰性氣體等之吹拂氣體供給於基板收納容器內部之情形時，即，基板收納容器內部變為正壓之情形時，由於延伸片於自密封片脫落之方向變形，故有密封性降低之情況。
因此，1個態樣中，本發明之目的係一面確保對於內部正壓之密封性，一面減低因伴隨蓋體開閉之摩擦所致之微粒產生。
1個態樣中，提供一種基板收納容器，其係收納基板之容器本體、蓋住上述容器本體之開口之蓋體、上述容器本體之上述開口周圍之第1部位、及上述蓋體之與上述第1部位對向之第2部位係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造。
1個態樣中，根據本發明，可一面確保對於內部正壓之密封性，一面減低因伴隨蓋體開閉之摩擦所致之微粒產生。
1:基板收納容器
10:容器本體
10C:容器本體
10F:容器本體
10G:容器本體
10I:容器本體
10J:容器本體
10K:容器本體
10L:容器本體
10M:容器本體
11:開口
12:密封面
13:支持體
14:機器人凸緣
15:手動把手
18:供氣閥
19:排氣閥
20:蓋體
20B:蓋體
20C:蓋體
20D:蓋體
20E:蓋體
20F:蓋體
20H:蓋體
20I:蓋體
20J:蓋體
20K:蓋體
20L:蓋體
21:蓋部本體
21B:蓋部本體
21C:蓋部本體
21E:蓋部本體
21G:蓋部本體
21H:蓋部本體
21I:蓋部本體
21J:蓋部本體
21K:蓋部本體
21L:蓋部本體
21M:蓋部本體
26:上鎖機構
27:板
30:前保持器
70A:曲徑式密封構造
70B:曲徑式密封構造
70C:曲徑式密封構造
70D:曲徑式密封構造
70E:曲徑式密封構造
70F:曲徑式密封構造
70I:曲徑式密封構造
70J:曲徑式密封構造
70K:曲徑式密封構造
70L:曲徑式密封構造
70M:曲徑式密封構造
101:表面
101C:表面
101F:表面
101G:表面
101I:表面
101J:表面
101K:表面
101L:表面
101M:表面
102:表面
102C:表面
110:第1部位
110C:第1部位
110F:第1部位
110G:第1部位
110I:第1部位
110J:第1部位
110K:第1部位
110L:第1部位
110M:第1部位
120C:肋部群
120C-1:肋部
120C-2:肋部
120F:肋部群
120F-1:肋部
120F-2:肋部
120G:肋部群
120G-1:肋部
120G-2:肋部
120H:肋部群
120H-1:肋部
120H-2:肋部
120H-3:肋部
120I:肋部群
120I-1:肋部
120I-2:肋部
120I-3:肋部
120I-4:肋部
120J:肋部群
120J-1:肋部
120J-2:肋部
120K:肋部
120L:肋部群
120L-1:肋部
120L-2:肋部
120M:肋部群
120M-1:肋部
120M-2:肋部
210:第2部位
210C:第2部位
210D:第2部位
210G:第2部位
210H:第2部位
210I:第2部位
210J:第2部位
210K:第2部位
210L:第2部位
210M:第2部位
211:表面
211C:表面
211F:表面
211G:表面
211H:表面
211I:表面
211J:表面
211K:表面
211L:表面
211M:表面
212:表面
212C:表面
212E:表面
701:狹小部
702:擴大部
710:肋部群
710-1:肋部
710-2:肋部
710-3:肋部
710C:肋部群
710C-1:肋部
710C-2:肋部
710E:肋部群
710E-1:肋部
710E-2:肋部
710G:肋部群
710G-1:肋部
710G-2:肋部
710H:肋部群
710H-1:肋部
710H-2:肋部
710H-3:肋部
710I:肋部群
710I-1:肋部
710I-2:肋部
710J:肋部群
710J-1:肋部
710J-2:肋部
710K:肋部群
710K-1:肋部
710K-2:肋部
710L:肋部群
710L-1:肋部
710L-2:肋部
710M:肋部
A-A:線
G-1:階部
G-2:階部
G-3:階部
G-11:階部
G-12:階部
G-13:階部
H:高度
H-1:階部
H-2:階部
H-3:階部
H-11:傾斜
H-12:傾斜
H-13:傾斜
I-1:傾斜
I-2:傾斜
I-3:傾斜
I-4:傾斜
J-1:傾斜
J-2:傾斜
J-3:傾斜
J-11:傾斜
J-12:傾斜
J-13:傾斜
K-1:突形狀
K-2:突形狀
L-1:突形狀
L-2:突形狀
M-1:突形狀
M-2:突形狀
P0:內部
P1:外部
W:基板
X:方向
X1:方向
X2:方向
Y:方向
Y1:方向
Y2:方向
δ1:間隙
δ2:間隙
圖1係顯示一實施例之基板收納容器之分解概略立體圖。
圖2係顯示一例之曲徑式密封構造之概略剖視圖。
圖3係圖2所示之曲徑式密封構造之密封效果之說明圖。
圖4係顯示另一例之曲徑式密封構造之概略剖視圖。
圖5係顯示另一例之曲徑式密封構造之概略剖視圖。
圖6係顯示另一例之曲徑式密封構造之概略剖視圖。
圖7A係顯示另一例之曲徑式密封構造之概略剖視圖。
圖7B係圖7A之構造之效果之說明圖。
圖8係顯示另一例之曲徑式密封構造70之概略剖視圖。
圖9係顯示另一例之曲徑式密封構造70之概略剖視圖。
圖10係顯示另一例之曲徑式密封構造70之概略剖視圖。
圖11係顯示另一例之曲徑式密封構造70之概略剖視圖。
圖12係顯示另一例之曲徑式密封構造70之概略剖視圖。
圖13係顯示另一例之曲徑式密封構造70之概略剖視圖。
圖14係顯示另一例之曲徑式密封構造70之概略剖視圖。
圖15係顯示另一例之曲徑式密封構造70之概略剖視圖。
以下，一面參照隨附圖式，一面針對各實施例詳細說明。
圖1係顯示一實施例之基板收納容器1之分解概略立體圖。
如圖1所示，基板收納容器1具備：容器本體10，其收納基板W；及 蓋體20，其蓋住容器本體10之開口11。
容器本體10係箱狀體，係開口11形成於正面之前開型。開口11係以向外側擴展之方式附階差而彎曲形成，其階差部之面係作為密封面12，形成於開口11正面之內周緣。另，為了容易進行300mm徑或450mm徑之基板W之插入操作，容器本體10較好為前開型，但亦可為開口11形成於下表面之底開型。
於容器本體10內部之左右兩側，配置有支持體13。支持體13具有基板W之載置及定位功能。於支持體13，於高度方向形成複數個槽，構成所謂槽齒。並且，基板W載置於相同高度之左右2處槽齒。支持體13之材料可為與容器本體10相同者，但為了提高耐熱性、洗淨性、滑動性，亦可使用不同材料。
又，於容器本體10內部之後方(深側)，配置有後保持器(未圖示)。後保持器於蓋體20被蓋住之情形時，與後述之前保持器30成對，保持基板W。但，變化例中，不具備後保持器，支持體13於槽齒之深側，具有例如呈「ㄑ」字狀或直線狀之基板保持部，從而亦可為如由前保持器30及基板保持部保持基板W者。該等支持體13或後保持器係藉由嵌入成形或嵌合等設置於容器本體10。
基板W由該支持體13支持並收納於容器本體10。另，作為基板W之一例，列舉矽晶圓，但並未特別限定，亦可為例如石英晶圓、砷化鎵晶 圓、玻璃晶圓、樹脂晶圓等。
於容器本體10之頂板中央部，裝卸自如地設有機器人凸緣14。以潔淨狀態收納有基板W之基板收納容器1以工廠內之搬送機器人，把持機器人凸緣14，搬送至對基板W加工之每步驟之加工裝置。
又，於容器本體10之兩側部之外面中央部，分別裝卸自如地安裝有由作業者握持之手動把手15。
於容器本體10之底面，設有例如具有止回閥功能之供氣閥18及排氣閥19。該等自供氣閥18對藉由蓋體20蓋住之基板收納容器1之內部，供給氮氣等惰性氣體或乾燥空氣，自排氣閥19排出，藉此置換基板收納容器1內部之氣體，或維持氣密狀態。另，供氣閥18及排氣閥19較佳位於自使基板W向底面投影之位置偏離之位置，但供氣閥18及排氣閥19之數量或位置不限於圖示者。又，供氣閥18及排氣閥19具有過濾氣體之過濾器。
內部氣體之置換係以吹掉所收納之基板W上之雜質，或降低內部之濕度等目的而進行，保持搬送中之基板收納容器1內部之潔淨性。氣體之置換可藉由於排氣閥19側檢測氣體，而確認是否確實進行。並且，置換內部氣體時，或將蓋體20安裝於容器本體10而閉合時，基板收納容器1之內部成為正壓，相反地，將蓋體20自容器本體10卸下時，基板收納容器1之內部成為負壓。
蓋體20係安裝於容器本體10之開口11之正面之大致矩形狀者。蓋體20如圖1所示，具備蓋部本體21、設置於該蓋部本體21而上鎖之一對上鎖機構26、及裝卸自如地覆蓋各上鎖機構26之一對板27，裝卸自如地嵌合於容器本體10之開口正面部。蓋體20藉由上鎖機構26，藉由扣止爪嵌入形成於容器本體10之扣止孔(未圖示)而被上鎖。另，蓋體20之蓋部本體21、一對上鎖機構26及一對板27係使用與容器本體10相同之成形材料成形。
又，蓋體20係裝卸自如地安裝有或一體形成有將基板W之前部周緣水平保持於中央部之彈性前保持器30。
該前保持器30與支持體13之槽齒及基板保持部等同樣係晶圓直接接觸之部位，故使用洗淨性或滑動性良好之材料。前保持器30亦可以嵌入成形或嵌合等而設置於蓋體20。
作為該等容器本體10及蓋體20之材料，列舉例如聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚碸、聚醚醚酮、液晶聚合物等之熱可塑性樹脂。該熱可塑性樹脂亦可進而適當添加包含導電性碳、導電纖維、金屬纖維、導電性高分子等之導電劑、各種抗靜電劑、紫外線吸收劑等。
此處，本實施例中，基板收納容器1於容器本體10與蓋體20之間，未設置本來使用之環狀襯墊。取代其，於容器本體10與蓋體20間形成曲徑式密封構造。以下，針對曲徑式密封構造之各例進行說明。
圖2係顯示一例之曲徑式密封構造70A之概略剖視圖。圖2(後述之圖3之後亦相同)係沿圖1之容器本體10之線A-A之部分之剖視圖(蓋體20蓋住之容器本體10之狀態下之剖視圖)。圖2中作為正交之2方向係定義X、Y方向。X方向上，X1側與內側對應，X2側與外側對應。X方向與開口11周圍之徑向對應。又，Y方向上，Y1側與內側對應，Y2側與外側對應。另，Y方向(第1方向之一例)係與收納於容器本體10時之基板W(參照圖1)之表面大致平行之方向。
如圖2所示，容器本體10之開口11周圍之第1部位110，及蓋體20之與第1部位110對向之第2部位210係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70A。
具體而言，第1部位110具有於Y方向與第2部位210對向之表面101(第1表面之一例)，及於X方向與第2部位210對向之表面102。另，表面101形成密封面12(參照圖1)。同樣地，第2部位210具有於Y方向與第1部位110對向之表面211(第1表面之一例)，及於X方向與第1部位110對向之表面212。如此，第1部位110及第2部位210於Y方向相互對向，且於X方向相互對向。
另，圖2中，表面101與表面211間之間隙δ2，及表面102與表面212間之間隙δ1(最小間隙)大致相同，但亦可不同。間隙δ2及間隙δ2係設定為不會因公差等，而產生表面101與表面211間之接觸或表面102與表面212 間之接觸。間隙δ1及間隙δ2較佳為大於0mm，1.0mm以下，更佳為0.5mm以下。其原因係大於1.0mm時無法有效獲得密封性之故。
對於容器本體10之開口11周圍之第1部位110，與蓋體20之對向於第1部位110之第2部位210之非接觸程度，分別於接觸程度為0%之情形時，未產生微粒，故可評估為「最佳」，0-10%之情形時評估為「佳」，10-50%之情形時評估為「可」(雖可使用但對微粒之優勢降低之故)，50%以上之情形時評估為「NG」。
圖2中，曲徑式密封構造70A係藉由第1部位110之表面101及第2部位210之表面211形成。
具體而言，第2部位210具有向第1部位110突出之肋部群710。圖2中，肋部群710具有3根肋部710-1、710-2、710-3，但肋部之根數為任意。例如，可省略3個肋部710-1、710-2、710-3中之任意1個或2個，亦可進而設定追加之肋部。
肋部710-1、710-2、710-3遍及開口11周圍之全周而形成。例如，肋部710-1、710-2、710-3亦可遍及開口周圍之全周，以等剖面而形成。另，變化例中，肋部710-1、710-2、710-3可為於開口11周圍之周向之一部分剖面產生變化，亦可為於開口11周圍之周向之一部分不連續。
肋部710-1、710-2、710-3較好具有考慮到蓋部本體21之成形性之形態，即，自模具脫拔之形態。另，肋部710-2、710-3係如圖2所示，外側 之周面愈朝向Y1側，愈向內側傾斜。該情形時，比於內側之周面愈朝向Y1側愈向外側傾斜之情形，更可提高對於內部之正壓之密封性(關於原理於下文敘述)。另，變化例中，肋部710-2、710-3可係內側之周面愈朝向Y1側愈向外側傾斜，亦可不傾斜。
肋部710-1、710-2、710-3較佳為高低差(參照圖2之高度H)在10mm以內，例如亦可在1mm~10mm之範圍內。若高低差(參照圖2之高度H)為間隙δ2之5倍以上，較佳為10倍以上，則可期待較大密封效果。另，蓋體本體21側之第2部位210之形狀及容器本體10側之第1部位110之形狀亦可相反。另，圖式中，為易於了解地說明曲徑式效果，相對於H高度，較大地記載δ1與δ2之距離。
圖3係圖2所示之曲徑式密封構造70A之密封效果之說明圖。
曲徑式密封構造70A如圖3(圖2亦相同)所述，沿X方向重複狹小部701及擴大部702。因此，例如容器本體10之內部為正壓時，自容器本體10之內部P0至外部P1之流動中，如圖3箭頭模式性所示，重複自狹小部701向擴大部702移行時之流路面積之急遽擴大，及自擴大部702向狹小部701移行時之流路面積之急遽縮小，從而產生壓力損失。又，自容器本體10之內部P0向第1個狹小部701移行時，流路面積亦急遽縮小，故產生壓力損失。又，向容器本體10之外部P1移行時，流路面積亦急遽擴大，故產生壓力損失。如此，曲徑式密封構造70A中，壓力於內部P0與外部P1間逐漸變化。其結果，經過曲徑式密封構造70A之內部P0與外部P1間之氣體 流動減低或消失，發揮密封功能。即，確保對於內部之正壓之密封性。
又，容器本體10之內部為負壓時，亦同樣地發揮密封功能。此理由係，自容器本體10之外部P1至內部P0之流動中，重複狹小部701向擴大部702移行時之流路面積急遽擴大，及自擴大部702向狹小部701移行時之流路面積之急遽縮小，從而產生壓力損失之故。
另，急遽擴大與急遽縮小之重複數較好包含自容器本體10之內部P0之急遽縮小，及向容器本體10之外部P1之急遽擴大，至少3次以上。即，如上述，肋部之根數為1根以上即可。但，為提高密封性，肋部之根數較佳為2根以上。
此處，基板收納容器1係使用多次者，蓋體20之開閉亦多次進行。該方面於使用藉由彈性體等形成之襯墊，確保密封性之比較例之情形時，易因摩擦而產生微粒。即，因伴隨蓋體開閉而襯墊對於密封面之滑動，而容易產生微粒。該微粒產生之狀態下，若蓋體打開時容器本體之內部為負壓，則微粒進入容器本體之內部，有污染基板W之虞。
又，使用藉由彈性體等形成之襯墊，確保密封性之比較例之情形時，襯墊貼合於容器本體之密封面，蓋體20之開閉扭矩變得過大，成為製造步驟中產生錯誤等之原因。
相對於此，根據圖2所示例，由於不使用襯墊，故可避免因使用襯墊 而產生之上述問題(即，比較例之問題點)。另，根據圖2所示例，由於第1部位110與第2部位210間非接觸，故因摩擦而自第1部位110及第2部位210產生微粒之可能性較低。
又，根據圖2所示例，儘管第1部位110與第2部位210間非接觸，亦可藉由曲徑式密封構造70A確保高密封性。曲徑式密封構造70A之密封效果參照圖3而如上述。
如此，根據圖2所示例，可確保對於容器本體10內部之正壓及負壓之密封性，且減低因伴隨蓋體20開閉之摩擦所致之微粒產生。
另，圖2所示例中，曲徑式密封構造70A形成於第1部位110之表面101與第2部位210之表面211間，但亦可取代其或除此以外，於第1部位110之表面102與第2部位210之表面212間，形成相同之曲徑式密封構造。
又，圖2所示例中，肋部群710形成於第2部位210，但亦可取代其，於第1部位110形成相同之肋部群710。
圖4係顯示另一例之曲徑式密封構造70B之概略剖視圖。另，圖4所示例中，對於與上述圖2所示例相同之構成要素，有標註相同參照符號而省略說明之情形。
圖4所示例相對於圖2所示例之差異點，在於以蓋體20B置換蓋體 20。蓋體20B相對於蓋體20之差異點，在於蓋部本體21B安裝有第2部位210B。即，蓋體20中，第2部位210係蓋部本體21之一部分，相對於此(相對於以一體形成)，圖4所示之蓋體20B中，第2部位210B並非蓋部本體21B之一部分，而是藉由安裝於蓋部本體21B而一體化。
蓋部本體21B係藉由如聚碳酸酯、環烯烴聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚丙烯等之樹脂材料形成。另一方面，第2部位210B除了聚丙烯外，係藉由如聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二酯及聚縮醛等般滑動性較高之樹脂材料形成。另，對於蓋體20B要求低吸濕性之情形時，由於第2部位210B係蓋體20B之較小的部位，故亦可藉由非低吸濕性之材料形成。
又，作為第2部位210B之材料，亦可使用包含聚酯系彈性體、聚烯烴系彈性體、氟系彈性體、聚胺酯系彈性體等熱可塑性彈性體、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、矽氧系橡膠等彈性體。基於改質密著性之觀點而言，亦可對該等材料選擇性添加特定量之包含碳、玻璃纖維、雲母、滑石、二氧化矽、碳酸鈣等填充劑、聚乙烯、聚醯胺、聚縮醛、氟系樹脂、矽氧樹脂等樹脂。又，基於賦予導電性或抗靜電性之觀點而言，亦可適當添加碳纖維、金屬纖維、金屬氧化物、各種抗靜電劑等。
第2部位210B例如藉由與蓋部本體21B嵌合而一體化。或者，第2部位210B亦可藉由與蓋部本體21B接著而一體化。或者，第2部位210B亦可與蓋部本體21B一體成形(例如二色成形)。
圖4中，容器本體10之開口11周圍之第1部位110，及蓋體20之與第1 部位110對向之第2部位210係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70B。
曲徑式密封構造70B本身亦可與圖2所示之曲徑式密封構造70A相同。但，圖4中，由於第2部位210B與蓋部本體21B係不同構件，故可與蓋部本體21B另外形成。因此，第2部位210B亦可不考慮蓋部本體21B之成形性而設計。
另，第2部位210B亦可具備於容器本體10側。
根據圖4所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。又，根據圖4所示例，由於第2部位210B與蓋部本體21B係不同構件，故可藉由與蓋部本體21B不同之材料形成。因此，第2部位210B可由滑動性較高之樹脂材料形成。該情形時，因零件公差等，若為設計值(標稱值)，則應成非接觸之第1部位110與第2部位210B接觸之情形時，亦可將微粒之產生侷限在最小限度。
又，即使第2部位210B之一部分與第1部位110接觸，若為彈性體，則亦可將其吸收，由於可確保其他間隙δ2，故可廣泛確保成形品之尺寸精度，故而容易控制而具有穩定性。
圖5係顯示另一例之曲徑式密封構造70C之概略剖視圖。另，圖5所示例中，對於與上述圖2所示例相同之構成要素，有標註相同參照符號而省略說明之情形。
圖5所示例相對於圖2所示例之差異點在於容器本體10以容器本體10C置換，且蓋體20以蓋體20C置換。
容器本體10C相對於圖2所示之容器本體10之差異點在於第1部位110以第1部位110C置換。蓋體20C相對於圖2所示之蓋體20之差異點在於蓋部本體21以蓋部本體21C置換。蓋部本體21C相對於圖2所示之蓋部本體21C之差異點在於第2部位210以第2部位210C置換。
如圖5所示，容器本體10C之開口11周圍之第1部位110C，及蓋體20C之與第1部位110C對向之第2部位210C係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70C。
具體而言，第1部位110C具有於Y方向與第2部位210C對向之表面101C(第1表面之一例)，及於X方向與第2部位210C對向之表面102C。另，表面101C形成密封面12(參照圖1)。同樣地，第2部位210C具有於Y方向與第1部位110C對向之表面211C(第1表面之一例)，及於X方向與第1部位110C對向之表面212C。如此，第1部位110C及第2部位210C於Y方向相互對向，且於X方向相互對向。
圖5中，曲徑式密封構造70C係由第1部位110C之表面101C及第2部位210C之表面211C形成。
具體而言，第1部位110C具有向第2部位210C突出之肋部群120C。 圖5中，肋部群120C具有2根肋部120C-1、120C-2，但肋部之根數為任意。例如，可省略2根肋部120C-1、120C-2中之任意1根，亦可進而設定追加之肋部。
又，第2部位210C具有向第1部位110C突出之肋部群710C。圖5中，肋部群710C具有2根肋部710C-1、710C-2，但肋部之根數為任意。例如，可省略2根肋部710C-1、710C-2中之任意1根，亦可進而設定追加之肋部。
肋部120C-1、120C-2及肋部710C-1、710C-2遍及開口11周圍之全周而形成。例如，肋部120C-1、120C-2及肋部710C-1、710C-2亦可遍及開口周圍之全周，以等剖面形成。另，變化例中，肋部120C-1、120C-2及肋部710C-1、710C-2之至少任一者，可係開口11周圍之周向之一部分剖面產生變化，亦可係開口11周圍之周向之一部分成為不連續。
肋部120C-1、120C-2較好具有考慮到容器本體10C之成形性之形態，即，自模具脫拔之形態。另，肋部120C-1、120C-2係如圖5所示，外側之周面愈朝向Y2側，愈向內側傾斜。另，變化例中，肋部120C-1、120C-2亦可係內側之周面愈朝向Y2側愈向外側傾斜。
肋部710C-1、710C-2較好具有考慮到蓋部本體21C之成形性之形態，即，自模具脫拔之形態。另，肋部710-2係如圖5所示，外側之周面愈朝向Y1側愈向內側傾斜。另，變化例中，肋部710-2亦可係內側之周面愈 朝向Y1側愈向外側傾斜。
肋部120C-1、120C-2及肋部710C-1、710C-2較佳為高低差(參照圖5之高度H)在10mm以內，例如亦可在1mm~10mm之範圍內。若高低差為間隙δ2之5倍以上，較佳為10倍以上，則可期待較大密封效果。
根據圖5所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。圖5所示例中，氣體流動路徑成為鉤狀，又，可增長路徑，可期待更高之密封效果。
另，圖5所示例中，曲徑式密封構造70C形成於第1部位110C之表面101C與第2部位210C之表面211C之間，但亦可取代其或除此以外，於第1部位110C之表面102C與第2部位210C之表面212C之間，形成相同之曲徑式密封構造。
圖6係顯示另一例之曲徑式密封構造70D之概略剖視圖。另，圖6所示例中，對於與上述圖5所示例相同之構成要素，有標註相同參照符號而省略說明之情形。
圖6所示例相對於圖5所示例之差異點係蓋體20C以蓋體20D置換。蓋體20D相對於蓋體20C之差異點在於於蓋部本體21D安裝有第2部位210D。即，蓋體20C中，第2部位210C係蓋部本體21C之一部分，相對於此(相對於以一體形成)，圖6所示之蓋體20D中，第2部位210D並非蓋部本體21D之一部分，而是安裝於蓋部本體21D而一體化。
蓋部本體21D係藉由如聚醚醚酮或聚丙烯等之低吸濕性樹脂材料形成。另一方面，第2部位210D除了聚丙烯外，係藉由如聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二酯或聚縮醛等般之滑動性較高之樹脂材料形成。另，對於蓋體20D要求低吸濕性之情形時，第2部位210D由於係蓋體20D之比較小的部位，故亦可藉由非低吸濕性材料形成。
又，作為第2部位210D之材料，亦可使用包含聚酯系彈性體、聚烯烴系彈性體、氟系彈性體、聚胺酯系彈性體等之熱可塑性彈性體、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、矽氧系橡膠等彈性體。基於改質密著性之觀點而言，亦可對該等材料選擇性添加特定量之包含碳、玻璃纖維、雲母、滑石、二氧化矽、碳酸鈣等之填充劑、聚乙烯、聚醯胺、聚縮醛、氟系樹脂、矽氧樹脂等樹脂。又，基於賦予導電性或抗靜電性之觀點而言，亦可適當添加碳纖維、金屬纖維、金屬氧化物、各種抗靜電劑等。
另，對於蓋體20D要求低吸濕性之情形時，第2部位210D由於係蓋體20D之比較小的部位，故亦可藉由非低吸濕性材料形成。
第2部位210D例如藉由與蓋部本體21D嵌合而一體化。或者，第2部位210D亦可藉由與蓋部本體21D接著而一體化。或者，第2部位210D亦可與蓋部本體21D一體成形(例如二色成形)。
圖6中，容器本體10C之開口11周圍之第1部位110C，及蓋體20D之與第1部位110C對向之第2部位210D係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70D。
曲徑式密封構造70D本身亦可與圖5所示之曲徑式密封構造70C相同。但，圖6中，由於第2部位210D與蓋部本體21D係不同構件，故可與蓋部本體21D另外形成。因此，第2部位210D亦可不考慮蓋部本體21D之成形性而設計。
根據圖6所示例，亦獲得與圖5所示例相同之效果。又，根據圖6所示例，由於第2部位210D與蓋部本體21D係不同構件，故可藉由與蓋部本體21D不同之材料形成。因此，第2部位210D可由滑動性較高之樹脂材料形成。該情形時，因零件公差等，若為設計值(標稱值)，則應成非接觸之第1部位110C與第2部位210D接觸之情形時，亦可將微粒之產生侷限於最小限度。又，即使第2部位210D之一部分與第1部位110C接觸，若為彈性體，亦可將其吸收，由於可確保其他間隙，故可廣泛確保成形品之尺寸精度，故而容易控制，並具有穩定性。
圖7A及圖7B係顯示另一例之曲徑式密封構造70E之概略剖視圖。另，圖7A及圖7B所示例中，對於與上述圖5所示例相同之構成要素，有標註相同參照符號而省略說明之情形。
圖7A所示例相對於圖5所示例，係曲徑式密封構造70C以曲徑式密封構造70E置換。具體而言，圖7A及圖7B所示例中，相對於圖5所示例，肋部120C-1、120C-2及肋部710C-1、710-C-2係以肋部120E-1、120E-2及肋部710E-1、710E-2置換。
肋部120E-1、120E-2及肋部710E-1、710E-2係形成為肋部120E-1與肋部710E-2間之X方向之間隙δ3，及肋部120E-2與肋部710E-1間之X方向之間隙δ3於Y方向成為固定。間隙δ3較佳為大於0mm，1.0mm以下，更佳為0.5mm以下。原因係若大於1.0mm則無法有效獲得密封性之故。
根據圖7A所示例，將閉合蓋體20E時，於X方向對向配置之相鄰肋部之側面彼此之間隙(圖7A中，係肋部120E-1與肋部710E-2間之X方向之間隙δ3，及肋部120E-2與肋部710E-1間之X方向之間隙δ3)設為固定，從而即使蓋體未完全閉合之狀態(參照圖7B)，亦可維持密封效果。藉此，蓋體20E之開閉時，可最大限度地確保密封狀態，又，即使例如蓋體20E於中途未密接之狀態下被上鎖，亦可確保良好密封性。
另，圖7A所示例中，與上述圖6所示例同樣地，亦可為於蓋部本體21E安裝另一個第2部位(形成肋部710E-1、710E-2之部位)之構成。
圖8係顯示另一例之曲徑式密封構造70F之概略剖視圖。另，圖8所示例中，係於容器本體側形成有肋部之情形之例。
圖8所示例相對於圖5所示例之差異點在於容器本體10C以容器本體10F置換，且蓋體20C以蓋體20F置換。
容器本體10F相對於圖5所示之容器本體10C之差異點在於第1部位110C以第1部位110F置換。蓋體20F相對於圖2所示之蓋體20C之差異點在於蓋部本體21C以蓋部本體21F置換。蓋部本體21F相對於圖2所示之蓋部本體21C之差異點在於第2部位210C以第2部位210F置換。
如圖8所示，容器本體10F之開口11周圍之第1部位110F，及蓋體20F之與第1部位110F對向之第2部位210F係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70F。曲徑式密封構造70F係由第1部位110F之表面101F及第2部位210F之表面211F形成。
具體而言，第1部位110F具有向第2部位210F突出之肋部群120F。圖8中，肋部群120F具有3根肋部120F-1、120F-2、120F-3，但肋部之根數為任意。
肋部120F-1、120F-2、120F-3係遍及開口11周圍之全周形成。例如，肋部120F-1、120F-2、120F-3亦可遍及開口周圍之全周，以等剖面形成。根據圖8所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。另，蓋體本體21F側之第2部位210F之形狀及容器本體10F側之第1部位110F之形狀亦可相反。
圖9係顯示另一例之曲徑式密封構造70G之概略剖視圖。另，圖9所示例中，係於容器本體與蓋體本體之肋部形成微細階差之情形之例。圖9所示例相對於圖5所示例之差異點在於容器本體10C以容器本體10G置換，且蓋體20C以蓋體20G置換。
容器本體10G相對於圖5所示之容器本體10C之差異點在於第1部位110C以第1部位110G置換。蓋體20G相對於圖5所示之蓋體20C之差異點在於蓋部本體21C以蓋部本體21G置換。蓋部本體21G相對於圖5所示之蓋 部本體21C之差異點在於第2部位210C以第2部位210G置換。
如圖9所示，容器本體10G之開口11周圍之第1部位110G，及蓋體20G之與第1部位110G對向之第2部位210G係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70G。曲徑式密封構造70G係由第1部位110G之表面101G及第2部位210G之表面211G形成。
具體而言，第1部位110G具有向第2部位210G突出之肋部群120G。圖9中，肋部群120G具有3根肋部120G-1、120G-2、120G-3，但肋部之根數為任意。又，第2部位210G具有向第1部位110G突出之肋部群710G。圖9中，肋部群710G具有3根肋部710G-1、710G-2及710G-3，但肋部之根數為任意。
如圖9所示，於肋部120G-1、120G-2、120G-3，形成有微細之階部G-1、G-2、G-3。於肋部710G-1、710G-2及710G-3，形成有微細之階部G-11、G-12及G-13。
肋部120G-1、120G-2、120G-3及710G-1、710G-2、710G-3係遍及開口11周圍之全周形成。根據圖9所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。
圖10係顯示另一例之曲徑式密封構造70H之概略剖視圖。另，圖10所示例中，係於容器本體及蓋體本體設置肋部，於容器本體之肋部形成有微細階差之情形之例。
圖10所示例相對於圖5所示例之差異點在於容器本體10C以容器本體10H置換，且蓋體20C以蓋體20H置換。
容器本體10H相對於圖5所示之容器本體10C之差異點在於第1部位110C以第1部位110H置換。蓋體20H相對於圖5所示之蓋體20C之差異點在於蓋部本體21C以蓋部本體21H置換。蓋部本體21H相對於圖5所示之蓋部本體21C之差異點在於第2部位210C以第2部位210H置換。
如圖10所示，容器本體10H之開口11周圍之第1部位110H，及蓋體20H之與第1部位110H對向之第2部位210H係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70H。曲徑式密封構造70H係由第1部位110H之表面101H及第2部位210H之表面211H形成。
具體而言，第1部位110H具有向第2部位210H突出之肋部群120H。圖10中，肋部群120H具有3根肋部120H-1、120H-2、120H-3，但肋部之根數為任意。又，第2部位210H具有向第1部位110H突出之肋部群710H。
圖10中，肋部群710G具有3根肋部710H-1、710H-2及710H-3，但肋部之根數為任意。如圖10所示，於肋部120H-1、120H-2、120H-3，形成有微細之階部H-1、H-2、H-3。
於肋部710H-1、710H-2及710H-3，形成有內側之周面愈朝向Y1側愈向外側傾斜之傾斜H-11、H-12及H-13。肋部120H-1、120H-2、120H-3及710H-1、710H-2、710H-3係遍及開口11周圍之全周形成。根據圖10所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。
圖11係顯示另一例之曲徑式密封構造70I之概略剖視圖。另，圖11所示例中，係容器本體與蓋體本體之肋部形狀不同之情形之例。
圖11所示例相對於圖5所示例之差異點在於容器本體10C以容器本體10I置換，且蓋體20C以蓋體20I置換。
容器本體10I相對於圖5所示之容器本體10C之差異點在於以第1部位110I置換第1部位110C。蓋體20I相對於圖5所示之蓋體20C之差異點，在於以蓋部本體21I置換蓋部本體21C。蓋部本體21I相對於圖5所示之蓋部本體21C之差異點，在於以第2部位210I置換第2部位210C。
如圖11所示，容器本體10I之開口11周圍之第1部位110I，與蓋體20I之與第1部位110I對向之第2部位210I係至少一部非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70I。曲徑式密封構造70I係由第1部位110I之表面101I及第2部位210I之表面211I形成。
具體而言，第1部位110I具有向第2部位210I突出之肋部群120I。圖11中，肋部群120I具有4根肋部120I-1、120I-2、120I-3、120I-4，但肋部之根數為任意。又，第2部位210I具有向第1部位110I突出之肋部群710I。
圖11中，肋部群710I具有2根肋部710I-1、710I-2，但肋部之根數為任意。如圖11所示，於肋部120I-1、120I-2、120I-3，具有內側之周面愈朝向Y2側愈向外側傾斜之傾斜I-1、I-2、I-3、I-4。
對應於肋部710I-2、710I-4之肋部120I-2、120I-4，係形成為低於肋部120I-1、120I-3。肋部120I-1、肋部120I-2係形成為比肋部710I-1、肋部710I-2之前端靠近第2部位210I之表面211I。
肋部120I-1、120I-2、120I-3、120I-4及710I-1、710I-2係遍及開口11周圍之全周形成。根據圖11所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。另，蓋體本體21I側之第2部位210I之形狀與容器本體10I側之第1部位110I之形狀亦可相反。
圖12係顯示另一例之曲徑式密封構造70J之概略剖視圖。圖12所示例相對於圖5所示例之差異點，在於以容器本體10J置換容器本體10C，且以蓋體20J置換蓋體20C。
容器本體10J相對於圖5所示之容器本體10C之差異點，在於以第1部位110J置換第1部位110C。
蓋體20J相對於圖5所示之蓋體20C之差異點，在於以蓋部本體21J置換蓋部本體21。蓋部本體21J相對於圖5所示之蓋部本體21C之差異點，在於以第2部位210J置換第2部位210。
如圖12所示，容器本體10J之開口11周圍之第1部位110J，與蓋體20J之與第1部位110J對向之第2部位210J係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70J。曲徑式密封構造70J係由第1部位110J之表面101J及第2部位210J之表面211J形成。
具體而言，第1部位110J具有向第2部位210J突出之肋部群120J。圖12中，肋部群120J具有3根肋部120J-1、120J-2、120J-3，但肋部之根數為任意。又，第2部位210J具有向第1部位110J突出之肋部群710J。
圖12中，肋部群710J具有3根肋部710J-1、710J-2、710J-3，但肋部之根數為任意。如圖12所示，於肋部120J-1、120J-2、120J-3，具有外側之周面愈朝向Y2側愈向內側傾斜之傾斜J-1、J-2、J-3。
於肋部710J-1、710J-2、710J-3，具有內側之周面愈朝向Y1側愈向外側傾斜之傾斜J-11、J-12、J-13。
肋部120J-1、120J-2、120J-3及710J-1、710J-2遍及開口11周圍之全周形成。根據圖12所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。
圖13係顯示另一例之曲徑式密封構造70K之概略剖視圖。圖13所示例相對於圖5所示例之差異點在於容器本體10C以容器本體10K置換，且蓋體20C以蓋體20K置換。
容器本體10K相對於圖5所示之容器本體10C之差異點在於第1部位110C以第1部位110K置換。蓋體20K相對於圖5所示之蓋體20C之差異點在於蓋部本體21C以蓋部本體21K置換。蓋部本體21K相對於圖5所示之蓋部本體21C之差異點在於第2部位210C以第2部位210K置換。
如圖13所示，容器本體10K之開口11周圍之第1部位110K，與蓋體20K之與第1部位110K對向之第2部位210K係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70K。曲徑式密封構造70K係由第1部位110K之表面 101K及第2部位210K之表面211K形成。
具體而言，第1部位110K具有向第2部位210K突出之肋部120K。又，第2部位210K具有向第1部位110K突出之肋部群710K。圖13中，肋部群710K具有2根肋部710K-1、710K-2，但肋部之根數為任意。肋部120K係藉由嵌入構件形成，嵌入於蓋體本體10K。
肋部120K以前端分別朝向外周側之肋部710K-1、710K-2之方式，具有突形狀K-1、K-2。作為肋部120K之材料，亦可使用包含聚酯系彈性體、聚烯烴系彈性體、氟系彈性體、聚胺酯系彈性體等之熱可塑性彈性體、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、矽氧系橡膠等彈性體。基於改質密著性之觀點而言，亦可對該等材料選擇性添加特定量之包含碳、玻璃纖維、雲母、滑石、二氧化矽、碳酸鈣等之填充劑、聚乙烯、聚醯胺、聚縮醛、氟系樹脂、矽氧樹脂等樹脂。又，基於賦予導電性或抗靜電性之觀點而言，亦可適當添加碳纖維、金屬纖維、金屬氧化物、各種抗靜電劑等。
肋部120K及710K-1、710K-2遍及開口11周圍之全周形成。根據圖13所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。圖13之形態由於肋部120K具有2個突形狀K-1、K-2，故具有雖設有2個狹窄流路，卻可以狹窄X方向之尺寸實現之效果。又，若以彈性體嵌入成形肋部120K，則尺寸誤差之容許範圍變大，故較為有效。另，蓋體本體21K側之第2部位210K之形狀及容器本體10K側之第1部位110K之形狀亦可相反。
圖14係顯示另一例之曲徑式密封構造70L之概略剖視圖。圖14所示例 相對於圖5所示例之差異點在於容器本體10C以容器本體10L置換，且蓋體20C以蓋體20L置換。
容器本體10L相對於圖5所示之容器本體10C之差異點在於第1部位110C以第1部位110L置換。蓋體20L相對於圖5所示之蓋體20C之差異點在於蓋部本體21C以蓋部本體21L置換。蓋部本體21L相對於圖5所示之蓋部本體21C之差異點在於第2部位210C以第2部位210L置換。
如圖14所示，容器本體10L之開口11周圍之第1部位110L，及蓋體20L之與第1部位110L對向之第2部位210L係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70L。曲徑式密封構造70L係由第1部位110L之表面101L及第2部位210L之表面211L形成。
具體而言，第1部位110L具有向第2部位210L突出之肋部群120L。圖14中，肋部群120L具有肋部120L-1、120L-2，但肋部之根數為任意。又，第2部位210L具有向第1部位110L突出之肋部群710L。圖14中，肋部群710L具有2根肋部710L-1、710L-2，但肋部之根數為任意。
肋部120L-1、120L-2係藉由嵌入構件而形成，嵌入於蓋體本體10L。2根肋部120L-1、120L-2以前端分別朝向外周側之肋部710L-1、710L-2之方式，具有突形狀L-1、L-2。
肋部120L-1、120L-2係藉由如聚碳酸酯、環烯烴聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚丙烯等之樹脂材料形成。
肋部120L-1、120L-2及710L-1、710L-2遍及開口11周圍之全周形成。根據圖14所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。
圖15係顯示另一例之曲徑式密封構造70M之概略剖視圖。圖15所示例中，對於與上述例相同之構成要素，有標註相同參照符號而省略說明之情形。圖15所示例相對於圖5所示例之差異點在於容器本體10C以容器本體10M置換，且蓋體20C以蓋體20M置換。
容器本體10M相對於圖5所示之容器本體10C之差異點在於第1部位110C以第1部位110M置換。蓋體20M相對於圖5所示之蓋體20C之差異點在於蓋部本體21C以蓋部本體21M置換。蓋部本體21M相對於圖5所示之蓋部本體21C之差異點在於第2部位210C以第2部位210M置換。
如圖15所示，容器本體10M之開口11周圍之第1部位110M，及蓋體20M之與第1部位110M對向之第2部位210M係至少一部分非接觸，且協作形成曲徑式密封構造70M。曲徑式密封構造70M係由第1部位110M之表面101M及第2部位210M之表面211M形成。
具體而言，第1部位110M具有向第2部位210M突出之肋部群120M。圖15中，肋部群120M具有肋部120M-1、120M-2，但肋部之根數為任意。又，第2部位210M具有向第1部位110M突出之肋部群710M。肋部120M-1、120M-2係藉由嵌入構件形成，嵌入於蓋體本體10M。
2根肋部120M-1、120M-2以分別朝向肋部710M之方式，具有突形狀 M-1、M-2。肋部120M-1、120M-2係藉由如聚碳酸酯、或環烯烴聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚丙烯等之樹脂材料形成。
肋部120M-1、120M-2及710M遍及開口11周圍之全周形成。根據圖15所示例，亦獲得與圖2所示例相同之效果。另，蓋體本體21K側之第2部位210K之形狀及容器本體10K側之第1部位110K之形狀亦可相反。
圖13、圖14及圖15所示之第2部位210K、210L及210M除了聚丙烯外，係藉由如聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二酯或聚縮醛等般之滑動性較高之樹脂材料形成。另，對於蓋體20K、20L及20M要求低吸濕性之情形時，第2部位210K、210L及210M由於係蓋體20K、20L及20M之比較小的部位，故亦可藉由非低吸濕性材料形成。
又，作為第2部位210K、210L及210M之材料，亦可使用包含聚酯系彈性體、聚烯烴系彈性體、氟系彈性體、聚胺酯系彈性體等之熱可塑性彈性體、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、矽氧系橡膠等彈性體。基於改質密著性之觀點而言，亦可對該等材料選擇性添加特定量之包含碳、玻璃纖維、雲母、滑石、二氧化矽、碳酸鈣等之填充劑、聚乙烯、聚醯胺、聚縮醛、氟系樹脂、矽氧樹脂等樹脂。又，基於賦予導電性或抗靜電性之觀點而言，亦可適當添加碳纖維、金屬纖維、金屬氧化物、各種抗靜電劑等。
上述各實施形態中，由於容器本體為大型構件，故嵌入成形微細複雜構造或其他構件之情形時，不設置於容器本體側，而設置於蓋體側時精度更佳。因此，較佳為複雜構造或形狀係設置於蓋體側。
以上，已針對各實施例進行詳述，但並非限定於特定之實施例，於申請專利範圍所記載之範圍內，可進行各種變化及變更。又，亦可使上述實施例之構成要素全部或複數個組合。
1:基板收納容器
10:容器本體
11:開口
12:密封面
13:支持體
14:機器人凸緣
15:手動把手
18:供氣閥
19:排氣閥
20:蓋體
21:蓋部本體
26:上鎖機構
27:板
30:前保持器
W:基板

Claims (7)

  1. 一種基板收納容器，其具備：收納基板之容器本體；及以蓋住上述容器本體之開口之方式裝卸自如地嵌合於上述容器本體之蓋體；且上述蓋體具有藉由將扣止爪嵌入至形成於上述容器本體之扣止孔而進行上鎖之一對上鎖機構；上述容器本體之上述開口周圍之第1部位、及上述蓋體之與上述第1部位對向之第2部位，係至少一部分非接觸，且協作而形成曲徑式密封構造；且上述第1部位及上述第2部位中之至少一者具有遍及上述開口周圍之全周並向上述第1部位及上述第2部位中之另一者突出之肋部，且上述肋部形成上述曲徑式密封構造；上述肋部係由彈性體所形成。
  2. 如請求項1之基板收納容器，其中上述曲徑式密封構造係遍及上述開口周圍之全周而形成。
  3. 如請求項1之基板收納容器，其中上述第1部位及上述第2部位，係具有在與收納於上述容器本體時之基板表面大致平行之第1方向，彼此對向之第1表面，上述曲徑式密封構造，係藉由上述第1部位之上述第1表面及上述第2 部位之上述第1表面而形成。
  4. 如請求項1之基板收納容器，其中上述肋部形成2根以上。
  5. 如請求項1之基板收納容器，其中上述肋部高低差為10mm以內。
  6. 如請求項1至5中任一項之基板收納容器，其中上述第2部位係藉由與上述蓋體本體之材料不同之材料形成。
  7. 如請求項6之基板收納容器，其中上述第2部位與上述蓋體之本體為不同構件，且安裝於上述蓋體之本體。
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