KR102484514B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

기판 수납 용기 Download PDF

Info

Publication number
KR102484514B1
KR102484514B1 KR1020197038321A KR20197038321A KR102484514B1 KR 102484514 B1 KR102484514 B1 KR 102484514B1 KR 1020197038321 A KR1020197038321 A KR 1020197038321A KR 20197038321 A KR20197038321 A KR 20197038321A KR 102484514 B1 KR102484514 B1 KR 102484514B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
packing
storage container
cover
lid
protruding piece
Prior art date
Application number
KR1020197038321A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200012923A (ko
Inventor
오사무 오가와
Original Assignee
신에츠 폴리머 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 filed Critical 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
Publication of KR20200012923A publication Critical patent/KR20200012923A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102484514B1 publication Critical patent/KR102484514B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 기판을 수납하는 용기 본체(10)와 덮개(20) 사이에 마련되는 환상의 패킹(30)을 구비하는 기판 수납 용기(1)로서, 용기 본체(10)는 패킹(30)이 접촉하는 시일면(12)이 형성되고, 덮개(20)는 패킹(30)을 설치하는 설치홈(21)이 형성되고, 패킹(30)은 설치홈(21)에 끼워지는 본체부(31)와, 본체부(31)로부터 연장 돌출된 연장 돌출편(32)으로 형성되어 있고, 연장 돌출편(32)은 덮개(20)의 폐지 방향(H)에 있어서 덮개(20)측으로 돌출되는 돌기부(320)와, 돌기부(320)보다 선단에 위치하는 시일부(321)를 갖고, 시일부(321)는 시일면(12)측 또한 본체부(31)측으로 반전하여, 시일면(12)에 접촉하는 것이다. 이에 의해, 내부의 양압에 대한 시일성을 향상시킨 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은 기판을 수납하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
기판 수납 용기는, 기판을 수납하는 용기 본체와, 용기 본체의 개구를 폐지하는 덮개와, 용기 본체와 덮개 사이에 마련되는 환상의 패킹을 구비한 것으로, 기판을 기밀 상태로 수납하고 있다.
이러한 종류의 패킹으로서, 연장 돌출편이 그의 연장선과 시일면 사이에 대략 예각을 형성하도록 형성된 것, 시일면에 접촉해서 기판 수납 용기의 외측으로 만곡된 것 및 개구 정면 외측을 향해서 굴곡되어 있는 것 등이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 참조).
이들 패킹은, 기판 수납 용기의 내부가 음압인 경우, 바꾸어 말하면, 외부의 압력이 높은 경우에, 연장 돌출편이 시일면에 압박되는 방향으로 변형되기 때문에, 양호한 시일성을 발휘하도록 되어 있다.
일본특허공개 제2002-068364호 공보 일본특허공개 제2008-062979호 공보
그러나, 불활성 가스 등의 퍼지 가스를 기판 수납 용기의 내부에 공급한 경우, 즉 기판 수납 용기의 내부가 양압이 되는 경우에는, 연장 돌출편은 시일면으로부터 박리되는 방향으로 변형되기 때문에, 시일성이 저하하는 경우가 있다.
그래서, 본 발명은 이상의 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 내부의 양압에 대한 시일성을 향상시킨 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(1) 본 발명에 관한 하나의 양태는, 기판을 수납하는 용기 본체와, 상기 용기 본체의 개구를 폐지하는 덮개와, 상기 용기 본체와 상기 덮개 사이에 마련되는 환상의 패킹을 구비하는 기판 수납 용기로서, 상기 용기 본체는, 상기 패킹이 접촉하는 시일면이 형성되고, 상기 덮개는, 상기 패킹을 설치하는 설치홈이 형성되고, 상기 패킹은, 상기 설치홈에 끼워지는 본체부와, 상기 본체부로부터 연장 돌출된 연장 돌출편으로 형성되어 있고, 상기 연장 돌출편은, 상기 덮개의 폐지 방향에 있어서 상기 덮개의 측으로 돌출되는 돌기부와, 상기 돌기부보다 선단에 위치하는 시일부를 갖고, 상기 시일부는, 상기 시일면의 측 또한 상기 본체부의 측으로 반전하여, 상기 시일면에 접촉하는 기판 수납 용기를 제공한다.
(2) 상기 (1)의 양태에 있어서, 상기 시일면과 상기 시일부의 접촉 위치는, 상기 덮개의 폐지 방향에서 볼 때, 상기 돌기부에 겹쳐지거나, 상기 돌기부보다 외측으로 이격되어 있어도 된다.
(3) 상기 (1) 또는 (2)의 양태에 있어서, 상기 연장 돌출편은, 상기 용기 본체에 대면하는 일면이, 상기 본체부로부터 상기 돌기부를 향함에 따라 상기 덮개에 접근해도 된다.
(4) 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 본체부는, 상기 연장 돌출편의 측에 있어서의 상기 용기 본체의 측 또는 상기 덮개의 측의 적어도 한쪽에 평탄한 면을 갖고, 상기 패킹을 상기 설치홈에 압입 가능해도 된다.
본 발명에 따르면, 내부의 양압에 대한 시일성을 향상시킨 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 실시 형태의 기판 수납 용기를 나타내는 분해 개략 사시도이다.
도 2는 실시 형태의 패킹을 나타내는, (a) 평면도, (b) A-A 단면도 및 B-B 단면도이다.
도 3은 실시 형태의 패킹을 사용한, 용기 본체와 덮개의 폐지 도중의 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 4는 종래의 패킹을 사용한, 용기 본체와 덮개의 폐지 도중의 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 5는 변형예 1의 패킹을 나타내는, (a) 평면도, (b) D-D 단면도 및 E-E 단면도이다.
도 6은 변형예 2의 패킹을 사용한, 용기 본체와 덮개의 폐지 도중의 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 또한, 본 명세서의 실시 형태에 있어서는, 전체를 통해서, 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고 있다.
도 1은 본 발명에 관한 실시 형태의 기판 수납 용기(1)를 나타내는 분해 개략 사시도이다. 도 2는 실시 형태의 패킹(30)을 나타내는, (a) 평면도, (b) A-A 단면도 및 B-B 단면도이다. 도 3은 실시 형태의 패킹(30)을 사용한, 용기 본체(10)와 덮개(20)의 폐지 도중의 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는, 기판(W)을 수납하는 용기 본체(10)와, 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐지하는 덮개(20)와, 용기 본체(10)와 덮개(20) 사이에 마련되는 환상의 패킹(30)을 구비하고 있다.
용기 본체(10)는 상자 형상체이며, 개구(11)가 정면에 형성된 프론트 오픈형이다. 개구(11)는, 외측으로 넓어지도록 단차를 두어 굴곡 형성되고, 그 단차부의 면이, 패킹(30)이 접촉하는 시일면(12)으로서, 개구(11)의 정면의 내주연에 형성되어 있다. 또한, 용기 본체(10)는, 300㎜ 직경이나 450㎜ 직경의 기판(W)의 삽입 조작을 행하기 쉬운 점에서, 프론트 오픈형이 바람직하지만, 개구(11)가 하면에 형성된 보텀 오픈형이어도 된다.
용기 본체(10)의 내부의 좌우 양측에는, 지지체(13)가 배치되어 있다. 지지체(13)는, 기판(W)의 적재 및 위치 결정을 하는 기능을 갖고 있다. 지지체(13)에는, 복수의 홈이 높이 방향으로 형성되어, 소위 홈 티스를 구성하고 있다. 그리고, 기판(W)은 동일한 높이의 좌우 2군데의 홈 티스에 적재되어 있다. 지지체(13)의 재료는, 용기 본체(10)와 마찬가지의 것과 같아도 되지만, 세정성이나 접동성을 높이기 위해서, 상이한 재료가 사용되어도 된다.
또한, 용기 본체(10)의 내부의 후방(안측)에는, 리어 리테이너(도시없음)가 배치되어 있다. 리어 리테이너는, 덮개(20)가 폐지된 경우에, 후술하는 프론트 리테이너와 쌍으로 되어, 기판(W)을 유지한다. 단, 본 실시 형태와 같이 리어 리테이너를 구비하지 않고, 지지체(13)가, 홈 티스의 안측에, 예를 들어 「く」자 모양이나 직선 모양을 한 기판 유지부를 가짐으로써, 프론트 리테이너와 기판 유지부에서 기판(W)을 유지하도록 한 것이어도 된다. 이들 지지체(13)나 리어 리테이너는, 용기 본체(10)에 인서트 성형이나 감합 등에 의해 마련되어 있다.
기판(W)은, 이 지지체(13)에 지지되어 용기 본체(10)에 수납된다. 또한, 기판(W)의 일례로서는, 실리콘 웨이퍼를 들 수 있지만 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 석영 웨이퍼, 갈륨 비소 웨이퍼 등이어도 된다.
용기 본체(10)의 천장 중앙부에는, 로보틱 플랜지(14)가 착탈 가능하게 마련되어 있다. 청정한 상태에서 기판(W)을 기판 수납 용기(1)는, 공장 내의 반송 로봇으로, 로보틱 플랜지(14)를 파지하여, 기판(W)을 가공하는 공정마다의 가공 장치로 반송한다.
또한, 용기 본체(10)의 양측부의 외면 중앙부에는, 작업자가 악지하는 매뉴얼 핸들(15)이 각각 착탈 가능하게 장착되어 있다.
그리고, 용기 본체(10)의 저면에는, 예를 들어 체크 밸브 기능을 갖는 급기 밸브(18)와 배기 밸브(19)가 마련되어 있다. 이들은, 덮개(20)에 의해 폐지된 기판 수납 용기(1)의 내부에, 급기 밸브(18)로부터 질소 가스 등의 불활성 기체나 드라이 에어를 공급하고, 필요에 따라 배기 밸브(19)로부터 배출함으로써, 기판 수납 용기(1)의 내부의 기체를 치환하거나, 기밀 상태를 유지하거나 한다. 또한, 급기 밸브(18) 및 배기 밸브(19)는, 기판(W)을 저면으로 투영한 위치로부터 제외된 위치에 있는 것이 바람직하지만, 급기 밸브(18) 및 배기 밸브(19)의 수량이나 위치는, 도시한 것에 제한하지 않는다. 또한, 급기 밸브(18) 및 배기 밸브(19)는, 기체를 여과하는 필터를 갖고 있다.
내부의 기체의 치환은, 수납한 기판(W) 상의 불순 물질을 날려버리거나, 내부의 습도를 낮추거나 하는 등의 목적으로 행해져, 반송 중의 기판 수납 용기(1)의 내부의 청정성을 유지한다. 기체의 치환은, 배기 밸브(19)측에 있어서 가스를 검지함으로써, 확실하게 행해지고 있는지 확인할 수 있다. 그리고, 내부의 기체를 치환할 때나, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치하여 폐지할 때, 기판 수납 용기(1)의 내부는 양압이 되고, 반대로, 덮개(20)를 용기 본체(10)로부터 떼어낼 때, 기판 수납 용기(1)의 내부는 음압이 된다.
한편, 덮개(20)는, 용기 본체(10)의 개구(11)의 정면에 설치되는, 대략 직사각 형상의 것이다. 덮개(20)는, 도시하지 않은 시정 기구를 갖고 있으며, 용기 본체(10)에 형성된 걸림 구멍(도시없음)에 걸림 갈고리가 감입함으로써 시정되도록 되어 있다. 또한, 덮개(20)는, 중앙부에 기판(W)의 전방부 주연을 수평하게 유지하는 탄성의 프론트 리테이너(도시없음)가 착탈 가능하게 장착 또는 일체 형성되어 있다.
이 프론트 리테이너는, 지지체(13)의 홈 티스 및 기판 유지부 등과 마찬가지로, 웨이퍼가 직접 접촉하는 부위이기 때문에, 세정성이나 접동성이 양호한 재료가 사용되고 있다. 프론트 리테이너도, 덮개(20)에 인서트 성형이나 감합 등으로 마련할 수 있다.
그리고, 덮개(20)에는, 패킹(30)을 설치하는 설치홈(21)이 형성되어 있다(도 3 참조). 보다 상세히는, 덮개(20)의 용기 본체(10)측의 면에는, 개구(11)의 단차부보다 작은 볼록부(22)가 환 형상으로 형성됨으로써, 단면 대략 U자 모양의 설치홈(21)이 환상으로 형성되어 있다. 이 볼록부(22)는 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치했을 때, 개구(11)의 단차부보다 안쪽으로 들어간다.
이들 용기 본체(10) 및 덮개(20)의 재료로서는, 예를 들어 폴리카르보네이트, 시클로올레핀폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머 등의 열가소성 수지를 들 수 있다. 이 열가소성 수지는, 도전성 카본, 도전 섬유, 금속 섬유, 도전성 고분자 등을 포함하는 도전제, 각종 대전 방지제, 자외선 흡수제 등이 추가로 적절히 첨가되어도 된다.
다음에, 도 2의 (a)에 도시하는 바와 같이, 패킹(30)은, 덮개(20)의 정면 형상(및 용기 본체(10)의 개구(11)의 형상)에 대응한 환상의 것이고, 본 실시 형태에서는, 직사각형 프레임 형상의 것이다. 단, 환상의 패킹(30)은, 덮개(20)에 대한 설치 전의 상태에서, 원환(링) 형상이어도 된다.
패킹(30)은, 용기 본체(10)의 시일면(12)과 덮개(20) 사이에 배치되어, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치했을 때, 시일면(12)과 덮개(20)에 밀착해서 기판 수납 용기(1)의 기밀성을 확보하고, 기판 수납 용기(1)로의 외부로부터의 진애, 습기 등의 침입을 저감시킴과 함께, 내부로부터 외부로의 기체의 누설을 저감시키는 것이다.
패킹(30)의 재료로서는, 폴리에스테르계의 엘라스토머, 폴리올레핀계의 엘라스토머, 불소계의 엘라스토머, 우레탄계의 엘라스토머 등을 포함하는 열가소성의 엘라스토머, 불소 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 실리콘계의 고무 등의 탄성체를 사용할 수 있다. 이들 재료에는, 밀착성을 개질하는 관점에서, 카본, 유리 섬유, 마이카, 탈크, 실리카, 탄산칼슘 등을 포함하는 충전제, 폴리에틸렌, 폴리아미드, 폴리아세탈, 불소계 수지, 실리콘 수지 등의 수지가 소정량 선택적으로 첨가되어도 된다. 또한, 도전성이나 대전 방지성을 부여하는 관점에서, 탄소 섬유, 금속 섬유, 금속 산화물, 각종 대전 방지제 등이 적절히 첨가되어도 된다. 또한, 패킹(30)의 경도는, 쇼어 A 경도로 40도 내지 90도가 바람직하고, 60도 내지 90도가 보다 바람직하다.
패킹(30)에 대해서 보다 자세하게 설명한다. 도 2의 (b)에 도시하는 바와 같이, 패킹(30)은 설치홈(21)에 끼워지는 본체부(31)와, 본체부(31)로부터 연장 돌출된 연장 돌출편(32)으로 형성되어 있다.
본체부(31)는, 덮개(20)의 설치홈(21)과 마찬가지의 환상으로 형성되고, 그의 단면이 설치홈(21)의 단면 형상에 대응하도록 대략 직사각형으로 되어 있다. 본체부(31)는, 연장 돌출편(32)이 연장 돌출되는 측이며 덮개(20)측에, 평탄한 면(310)을 갖고, 패킹(30)을 설치홈(21)의 바닥측에 압입할 수 있도록 되어 있다.
또한, 본체부(31)는, 설치홈(21)의 바닥측(내측)의 제1 감합 돌기부(311)와, 설치홈(21)의 개구측(외측)의 제2 감합 돌기부(312)가, 용기 본체(10)측으로 나란히 형성되어 있고, 제1 감합 돌기부(311) 및 제2 감합 돌기부(312)는, 각각 끝이 가늘게 형성되어 있다.
한편, 연장 돌출편(32)은, 덮개(20)의 폐지 방향(H)에 있어서 덮개(20)측으로 돌출되는 돌기부(320)와, 돌기부(320)보다 선단에 위치하는 시일부(321)를 갖고 있다. 또한, 연장 돌출편(32)은, 용기 본체(10)에 대면하는 일면이, 본체부(31)로부터 돌기부(320)를 향함에 따라 덮개(20)에 접근하고 있다. 즉, 수평 방향을 도시하는 도면 중 일점쇄선보다 덮개(20)측을 향해서 연장되어 있다.
시일부(321)는 시일면(12)측 또한 본체부(31)측으로(J자 모양으로) 반전하여, 시일면(12)에 접촉하고 있다. 이때, 시일면(12)과 시일부(321)의 접촉 위치 C는, 덮개(20)의 폐지 방향(H)으로서 볼때, 돌기부(320)에 겹쳐지거나, 돌기부(320)보다 외측으로 이격되어 있다. 시일부(321)의 두께는, 0.6㎜ 정도가 바람직하지만, 성형상의 문제가 없으면 특별히 한정되지 않는다.
그런데, 패킹(30)은, 설치홈(21)에 감입해서 설치했을 때 헐거우면, 시일부(321)의(덮개(20)의 이면(20a)으로부터) 접촉 위치 C까지의 높이에 변동을 발생하기 때문에, 패킹(30)의 본체부(31)의 내주측은, 설치홈(21)의 바닥의 환상 둘레면보다 약간(1% 내지 5% 정도) 작게 되도록, 형성되어 있다.
그리고, 패킹(30)을 설치홈(21)에 설치할 때, 패킹(30)은 잡아늘여진 상태에서, 덮개(20)의 설치홈(21)에 감입된다. 이때, 볼록부(22)를 초과하도록 패킹(30)을 잡아늘여서, 본체부(31)를 설치홈(21)에 감입하면, 연장 돌출편(32)은 덮개(20)측으로 기울고, 돌기부(320)는 덮개(20)에 압박된다. 이와 같이 해서, 시일부(321)의 접촉 위치 C까지의 높이를, 패킹(30)의 전체에 걸쳐서 안정시킬 수 있다.
또한, 도 3은 덮개(20)가 용기 본체(10)에 설치된 폐지 상태에서의, 패킹(30)의 상태를 나타내고 있고, 패킹(30)의 시일부(321)는, 시일면(12)에 접촉한 후, 폐지 방향(H)으로 1㎜ 정도 변형되어 찌부러진 상태로 되어 있다.
마지막으로, 실시 형태의 패킹(30)과, 종래의 패킹(30R)을 비교하면서, 본 발명에 관한 실시 형태의 기판 수납 용기(1)의 효과에 대해서 설명한다.
도 4는 종래의 패킹(30R)을 사용한, 용기 본체(10)와 덮개(20)의 폐지 도중의 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다. 또한, 도 3 및 4에 있어서, 실선 화살표는, 접촉 위치 C의 이동 궤적을 나타낸다.
도 4에 도시한 바와 같이, 종래의 패킹(30R)은, 설치홈(21)에 끼워지는 본체부(31R)와, 본체부(31R)로부터 연장 돌출된 연장 돌출편(32R)으로 형성되어 있다. 또한, 연장 돌출편(32R)은 시일부(321R)가 형성되어 있지만, 이 시일부(321R)는, 반전하지 않고 굴곡진 상태에서, 시일면(12)에 접촉하고 있다. 또한, 본체부(31R)는, 평탄한 면(310R)을 갖고 있다.
종래의 패킹(30R)에서는, 용기 본체(10)에 대하여 덮개(20)가 폐지 방향(H)으로 폐지됨에 따라서, 먼저 시일부(321R)는 접촉 위치 C에서 시일면(12)에 접촉하지만, 추가로 덮개(20)가 폐지 방향(H)으로 압입되면, 시일부(321R)가 폐지 방향(H)와 직교하는 방향으로 접동하면서(옆으로 미끄러지면서) 이동하게 되고, 최종적으로 접촉 위치 C가 거리 S만큼 외측으로 이격된 위치로 이동하게 된다. 그 때문에, 패킹(30R)의 시일부(321R)는, 접동에 의해, 파티클의 발생이 일어나기 쉽다.
한편, 실시 형태의 패킹(30)은, 용기 본체(10)에 대하여 덮개(20)가 폐지 방향(H)으로 폐지됨에 따라, 먼저 시일부(321)는 접촉 위치 C에서 시일면(12)에 접촉하는데, 추가로 덮개(20)가 폐지 방향(H)으로 압입되어도, 돌기부(320)가 기점(출발점)이 되어 변형되기 때문에, 시일부(321)가 폐지 방향(H)와 직교하는 방향으로는 거의 이동하는 일이 없이, 폐지 방향(H)을 따라 이동할 뿐이므로, 접촉 위치 C가 외측으로 이격된 위치로 이동하는 일이 없다(도 3 참조). 즉, 패킹(30)의 시일부(321)가 시일면(12)에서 가로 방향으로 접동하는 일이 없다. 가령, 옆으로 미끄러졌다 하더라도, 종래의 패킹(30R) 거리 S의 1/3 이하 정도로 억제할 수 있다. 그 때문에, 패킹(30)의 시일부(321)는, 접동하는 일이 없어, 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
또한, 연장 돌출편(32)은, 돌기부(320)를 갖고 있기 때문에, 덮개(20)에 패킹(30)을 설치했을 때, 돌기부(320)가 덮개(20)의 일면에 접촉함으로써, 돌기부(320)로부터 선단의 시일부(321)의 높이가 일정해진다. 그리고, 시일부(321)의 높이가 일정해짐으로써, 시일부(321)의 울퉁불퉁해짐을 억제할 수도 있다.
또한, 연장 돌출편(32)은, 용기 본체(10)에 대면하는 일면이, 본체부(31)로부터 돌기부(320)를 향함에 따라 덮개(20)에 접근해서 마련되어 있기 때문에, 마찬가지로 시일부(321)의 울퉁불퉁해짐을 억제할 수 있다. 시일부(321)의 울퉁불퉁해짐이 저감됨으로써, 시일부(321)의 시일면(12)에 대한 접촉압도, 전체 둘레에 있어서 균일해지기 때문에, 패킹(30)의 시일부(321)는, 접동하는 일이 없어, 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
그리고, 시일부(321)의 시일면(12)에 대한 접촉폭, 최대 접촉 압력을 저감 할 수 있기 때문에, 패킹(30)의 시일면(12)으로의 부착도 저감할 수 있다. 또한, 덮개(20)를 용기 본체(10)로부터 떼어낼 때, 시일부(321)가 시일면(12)을 옆으로 미끄러지지 않으므로, 폐지 방향(H)과 직교하는 방향의 마찰력이 발생하기 어렵기 때문에, 덮개(20)를 용기 본체(10)로부터 간단하게 떼어낼 수 있다.
그런데, 종래의 패킹(30R)에서는, 기판 수납 용기(1)의 내부가 음압인 경우에는, 시일부(321R)가 외부 압력에 의해 시일면(12)에 더욱 압박되어, 시일성이 향상되지만, 내부가 양압인 경우에는, 시일부(321R)가 내부 압력으로 시일면(12)으로부터 이격되는 방향으로 눌리기 때문에, 시일성이 나빠지고, 기체가 누설되게 된다(도 4 참조).
한편, 실시 형태의 패킹(30)에서는, 기판 수납 용기(1)의 내부가 음압인 경우에는, 시일부(321)가 외부 압력에 의해 설치홈(21)의 바닥측으로 눌리지만, 돌기부(320)가 기점이 되고, 반대로 반전부에서의 탄성력(반발력)도 높아지기 때문에, 시일성이 향상되고, 내부가 양압인 경우에는, 시일부(321)가 외부 압력에 의해 시일면(12)에 더욱 압박되어, 시일성이 향상된다. 이에 의해, 양압에 대한 시일성이 2배 이상 향상되고, 내부 압력이 6㎪ 정도 높아져도, 기체가 누설되는 일은 없다.
또한, 종래의 패킹(30R)에서는, 시일부(321R)가 유연하면, 양압에 약해지지만, 실시 형태의 패킹(30)에서는, 시일부(321)가 반전하고 있기 때문에, 유연한 재료라 하더라도, 시일면(12)에 대하여 압박되기 때문에, 상기와 거의 마찬가지 효과를 발휘한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 관한 실시 형태의 기판 수납 용기(1)는, 기판(W)을 수납하는 용기 본체(10)와, 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐지하는 덮개(20)와, 용기 본체(10)와 덮개(20) 사이에 마련되는 환상의 패킹(30)을 구비하는 기판 수납 용기(1)로서, 용기 본체(10)는 패킹(30)이 접촉하는 시일면(12)이 형성되고, 덮개(20)는 패킹(30)을 설치하는 설치홈(21)이 형성되고, 패킹(30)은 설치홈(21)에 끼워지는 본체부(31)와, 본체부(31)로부터 연장 돌출된 연장 돌출편(32)으로 형성되어 있고, 연장 돌출편(32)은 덮개(20)의 폐지 방향(H)에 있어서 덮개(20)측으로 돌출되는 돌기부(320)와, 돌기부(320)보다 선단에 위치하는 시일부(321)를 갖고, 시일부(321)는 시일면(12)측 또한 본체부(31)측으로 반전하여, 시일면(12)에 접촉하는 것이다.
이에 의해, 기판 수납 용기(1)의 내부가 양압이 되면, 패킹(30)의 돌기부(320)를 기점으로, 시일부(321)가 팽창하도록 변형되기 때문에, 시일부(321)가 시일면(12)에 압박된다. 또한, 기판 수납 용기(1)의 내부가 음압이 되면, 패킹(30)의 돌기부(320)를 기점으로, 시일부(321)가 설치홈(21)의 바닥측으로 압박되어 변형되기 때문에, 시일부(321)의 탄성력이 증가하고, 시일면(12)에 압박된다. 이와 같이, 실시 형태의 패킹(30)은, 기판 수납 용기(1)의 내부가 양압 또는 음압이 되어도, 시일성을 향상시킬 수 있어, 기판 수납 용기(1)의 내부로부터의 기체의 누설이나, 외부로부터의 진애의 진입을 억제할 수 있다.
(변형예)
도 5는 변형예 1의 패킹(30A)을 나타내는, (a) 평면도, (b) D-D 단면도 및 E-E 단면도이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 변형예 1의 패킹(30A)은, 연장 돌출편(32A)의 덮개(20)측이 평평하게 연장되어 있고, 상기 실시 형태와 마찬가지의 위치에, 돌기부(320A)가 형성되어 있다. 시일부(321A)는, 실시 형태와 마찬가지로, 덮개(20)측으로부터 떨어지고, 시일면(12)측 또한 본체부(31A)측으로 반전하여, 시일면(12)에 접촉한다. 또한, 본체부(31A)에는, 제1 감합 돌기부(311A) 및 제2 감합 돌기부(312A)가 형성되어 있고, 또한 평탄한 면(310A)이 용기 본체(10)측으로 형성되어 있다.
이 변형예 1에 있어서도, 실시 형태와 대략 마찬가지로, 양압에 대한 시일성이 향상된다. 또한, 본체부(31A)와, 돌기부(320A)와, 덮개(20) 사이에 형성되는 공간이 작으므로(실질적으로 압궤되어 없어지므로), 기판 수납 용기(1)를 세정한 것 등에 의한 세정액이 남기 어렵다.
도 6은 변형예 2의 패킹(40)을 사용한, 용기 본체(10)와 덮개(20)의 폐지 도중의 상태를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
상기 실시 형태나 변형예 1의 패킹(30A)을 사용한 기판 수납 용기(1)에서는, 패킹(30, 30A)의 본체부(31)가, 덮개(20)의 폐지 방향(H)에 대하여 대략 직교하는 방향을 따라 형성된 설치홈(21)에 설치되었지만, 변형예 2의 패킹(40)은, 덮개(20)의 폐지 방향(H)을 따라 형성된 설치홈(23)에 설치되는 점이 상이하다.
이 패킹(40)은, 도 6에 도시하는 바와 같이, 설치홈(23)에 끼워지는 본체부(41)와, 본체부(41)로부터 연장 돌출된 연장 돌출편(42)으로 대략 「て」자 형상으로 형성되어 있다.
본체부(41)는, 덮개(20)의 설치홈(23)과 마찬가지의 환상으로 형성되고, 그 단면이 설치홈(21)의 단면 형상에 대응하도록 대략 직사각형으로 되어 있다. 본체부(41)는, 설치홈(21)의 바닥측과는 반대측에, 평탄한 면(410)을 갖고, 패킹(40)을 설치홈(23)의 바닥측으로 압입할 수 있게 되어 있다.
또한, 본체부(41)는, 설치홈(23)의 바닥측(기판 수납 용기(1)의 정면측)의 제1 감합 돌기부(411)와, 설치홈(23)의 개구측(용기 본체(10)측)의 제2 감합 돌기부(412)가, 덮개(20)의 내측을 향하도록 나란히 형성되어 있고, 제1 감합 돌기부(411) 및 제2 감합 돌기부(412)는, 각각 끝이 가늘어지게 형성되어 있다.
한편, 연장 돌출편(42)은, 덮개(20)의 폐지 방향(H)에 있어서 덮개(20)측으로 돌출되는 돌기부(420)와, 돌기부(420)보다 선단에 위치하는 시일부(421)를 갖고 있다. 또한, 연장 돌출편(42)은, 용기 본체(10)에 대면하는 일면이, 본체부(31)로부터 돌기부(420)를 향함에 따라 덮개(20)에 접근하고 있다.
시일부(421)는, 시일면(12)측 또한 본체부(41)측으로(J자 모양으로) 반전하여, 시일면(12)에 접촉하고 있다. 이때, 시일면(12)과 시일부(421)의 접촉 위치 C는, 덮개(20)의 폐지 방향(H)에서 볼때, 돌기부(420)에 겹쳐지거나, 돌기부(420)보다 외측으로 이격되어 있다.
그리고, 기판 수납 용기(1)의 내부가 양압이 되면, 패킹(40)의 돌기부(420)를 기점으로, 시일부(421)가 팽창하도록 변형되기 때문에, 시일부(421)가 시일면(12)에 압박된다. 또한, 기판 수납 용기(1)의 내부가 음압이 되면, 패킹(40)의 돌기부(420)를 기점으로, 시일부(421)가 본체부(41)(설치홈(23))의 측으로 압박되어 변형되기 때문에, 시일부(421)의 탄성력이 증가하고, 시일면(12)에 압박된다. 이와 같이, 변형예 2의 패킹(40)으로도 시일성을 향상시킬 수 있어, 기체의 누설이나 외부로부터의 진애의 진입을 억제할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 용기 본체(10)의 저면에, 체크 밸브 기능을 갖는 급기 밸브(18) 및 배기 밸브(19)가 마련되어 있었지만, 체크 밸브 기능을 갖지 않는, 브리딩의 사양의 급배기부여도 된다. 이러한 급배기부에서도, 예를 들어 한쪽 급 배기부로부터 불활성 기체를 기판 수납 용기(1)의 내부로 유입시켜서, 다른 쪽 급배기부로부터 유출시키도록 구성함으로써, 기판 수납 용기(1)의 내부의 기체를 치환하거나, 기밀 상태를 유지하거나 할 수 있고, 또한 기체의 유출측에 있어서 가스를 검지함으로써, 기체의 치환 작업이 확실하게 행해지고 있는지를 확인할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태 등에 있어서, 용기 본체(10)의 시일면(12)에, 패킹(30, 30A, 40)의 부착을 방지하기 위해서, 잔주름 가공을 실시해도 된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서 상세히 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 요지 범위 내에 있어서, 다양한 변형, 변경이 가능하다.
1 : 기판 수납 용기
10 : 용기 본체
11 : 개구
12 : 시일면
13 : 지지체
14 : 로보틱 플랜지
15 : 매뉴얼 핸들
18 : 급기 밸브
19 : 배기 밸브
20 : 덮개
20a : 이면
21 : 설치홈
22 : 볼록부
23 : 설치홈
30, 30A, 30R : 패킹
31, 31A, 31R : 본체부
310, 310A, 310R : 평탄한 면
311, 311A : 제1 감합 돌기부
312, 312A : 제2 감합 돌기부
32, 32A, 32R : 연장 돌출편
320, 320A : 돌기부
321, 321A, 321R : 시일부
40 : 패킹
41 : 본체부
410 : 평탄한 면
411 : 제1 감합 돌기부
412 : 제2 감합 돌기부
42 : 연장 돌출편
420 : 돌기부
421 : 시일부
W : 기판
C : 접촉 위치
S : 거리

Claims (6)

  1. 기판을 수납하는 용기 본체와,
    상기 용기 본체의 개구를 폐지하는 덮개와,
    상기 용기 본체와 상기 덮개 사이에 마련되는 환상의 패킹을 구비하는 기판 수납 용기로서,
    상기 용기 본체는, 상기 패킹이 접촉하는 시일면이 형성되고,
    상기 덮개는, 상기 패킹을 설치하는 설치홈이 형성되고,
    상기 패킹은, 상기 설치홈에 끼워지는 본체부와, 상기 본체부로부터 연장 돌출된 연장 돌출편으로 형성되어 있고,
    상기 연장 돌출편은, 상기 덮개의 폐지 방향에 있어서 상기 덮개의 측으로 돌출되는 돌기부와, 상기 돌기부보다 선단에 위치하는 시일부를 갖고,
    상기 연장 돌출편은, 상기 본체부가 상기 설치홈에 감입되었을 때 상기 돌기부가 상기 덮개에 압박되어 접촉하도록, 상기 연장 돌출편이 상기 본체부로부터 이격됨에 따라 상기 덮개를 향해 경사져 있고,
    상기 시일부는, 당해 시일부의 선단부가 상기 시일면에 접촉가능하게 상기 본체부를 향해 연장되어, 단면이 J자형으로 형성되고,
    상기 시일부의 선단 부분은 상기 본체를 향해 후방향으로 연장되고, 당해 후방향으로 연장되는 선단 부분이, 상기 본체를 향해 후방향으로 상기 연장 돌출편보다 짧게 형성되어 있는
    기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 시일면과 상기 시일부의 접촉 위치는, 상기 덮개의 폐지 방향에서 볼 때, 상기 돌기부에 겹쳐지거나, 상기 돌기부보다 외측으로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 시일부가 상기 시일면에 접촉하지 않는 상황에서, 상기 연장 돌출편의 상기 용기 본체에 대면하는 일면이, 상기 본체부로부터 상기 돌기부를 향함에 따라 상기 덮개에 접근하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 본체부는, 상기 연장 돌출편의 측에 있어서의 상기 용기 본체의 측 또는 상기 덮개의 측의 적어도 한쪽에 평탄한 면을 갖고, 상기 패킹을 상기 설치홈에 압입 가능한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 돌출편의 상기 돌기부가 상기 시일부의 선단 부분보다 상기 본체부에 가까워지도록, 상기 시일부의 선단 부분은, 상기 본체를 향해 후방향으로 연장되는 기판 수납 용기.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 돌출편의 상기 본체부가 상기 설치홈에 감입되었을 때, 상기 연장 돌출편의 돌기부가, 상기 덮개에 직교하도록 연장되어 선단에서 상기 덮개에 접촉하도록 구성되어 있는 기판 수납 용기.
KR1020197038321A 2017-06-01 2018-05-25 기판 수납 용기 KR102484514B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2017-108879 2017-06-01
JP2017108879 2017-06-01
PCT/JP2018/020167 WO2018221412A1 (ja) 2017-06-01 2018-05-25 基板収納容器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200012923A KR20200012923A (ko) 2020-02-05
KR102484514B1 true KR102484514B1 (ko) 2023-01-05

Family

ID=64455936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020197038321A KR102484514B1 (ko) 2017-06-01 2018-05-25 기판 수납 용기

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11302548B2 (ko)
JP (1) JP7088182B2 (ko)
KR (1) KR102484514B1 (ko)
CN (1) CN110709981B (ko)
DE (1) DE112018002789T5 (ko)
TW (1) TWI769261B (ko)
WO (1) WO2018221412A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020143750A (ja) * 2019-03-07 2020-09-10 東洋電装株式会社 シール構造およびスイッチ装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101183027B1 (ko) * 2012-06-18 2012-09-14 (주)상아프론테크 밀봉 수납용기

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6206196B1 (en) * 1999-01-06 2001-03-27 Fluoroware, Inc. Door guide for a wafer container
US6354601B1 (en) 1999-01-06 2002-03-12 Fluoroware, Inc. Seal for wafer containers
JP3556185B2 (ja) * 2000-06-13 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 シール部材、密封容器及びそのシール方法
TW433258U (en) * 2000-06-23 2001-05-01 Ind Tech Res Inst Improved door body structure for a pod
US7413099B2 (en) 2001-06-08 2008-08-19 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Sealing element with a protruding part approximately obliquely outward and a hermetic container using the same
JP4664610B2 (ja) * 2004-03-11 2011-04-06 ミライアル株式会社 シール部材
US7578407B2 (en) * 2004-04-18 2009-08-25 Entegris, Inc. Wafer container with sealable door
JP4482655B2 (ja) * 2005-04-22 2010-06-16 ゴールド工業株式会社 精密基板収納容器のガスケット
JP2007062804A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Miraial Kk シール部材
EP2022730B1 (en) * 2006-05-29 2013-08-14 Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. Substrate container
JP4916258B2 (ja) 2006-09-08 2012-04-11 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US20100117309A1 (en) * 2008-11-13 2010-05-13 Applied Materials, Inc. Sealing apparatus for a process chamber
US8439368B2 (en) * 2009-08-04 2013-05-14 Parker-Hannifin Corporation Articulating seal
KR101184583B1 (ko) * 2010-01-26 2012-09-21 미라이얼 가부시키가이샤 반도체 웨이퍼 수납용기
JP5713875B2 (ja) * 2011-11-15 2015-05-07 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US8950753B2 (en) * 2011-11-23 2015-02-10 Federal-Mogul Corporation Radial shaft seal, radial shaft seal assembly and method of installation
JP5240594B1 (ja) * 2012-04-12 2013-07-17 Ｎｏｋ株式会社 ガスケット
TW201408560A (zh) * 2012-05-04 2014-03-01 Entegris Inc 具有門接合密封墊的晶圓容器
JP5988954B2 (ja) 2013-11-25 2016-09-07 大塚ポリテック株式会社 パッキン及びバッテリモジュールのシール構造
JP6258840B2 (ja) 2014-11-14 2018-01-10 象印マホービン株式会社 炊飯器
JP6491590B2 (ja) * 2015-11-10 2019-03-27 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
CN110870055B (zh) * 2017-07-07 2023-09-08 信越聚合物股份有限公司 基板收纳容器

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101183027B1 (ko) * 2012-06-18 2012-09-14 (주)상아프론테크 밀봉 수납용기

Also Published As

Publication number Publication date
TWI769261B (zh) 2022-07-01
TW201902796A (zh) 2019-01-16
JP7088182B2 (ja) 2022-06-21
US11302548B2 (en) 2022-04-12
WO2018221412A1 (ja) 2018-12-06
DE112018002789T5 (de) 2020-04-02
JPWO2018221412A1 (ja) 2020-04-02
CN110709981A (zh) 2020-01-17
CN110709981B (zh) 2023-09-08
KR20200012923A (ko) 2020-02-05
US20200083077A1 (en) 2020-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100904799B1 (ko) 밀봉 용기
KR102517257B1 (ko) 기판 수납 용기
KR102469954B1 (ko) 기판 수납 용기
KR102484514B1 (ko) 기판 수납 용기
JP5888492B2 (ja) 基板収納容器
JP7147116B2 (ja) 基板収納容器
US11450543B2 (en) Substrate storage container
KR102630660B1 (ko) 기판 수납 용기
JP6915203B2 (ja) 基板収納容器
JP7073599B2 (ja) 基板収納容器
KR20230104541A (ko) 기판 수납 용기
JP2022088279A (ja) 基板収納容器
CN116134256A (zh) 基板收纳容器

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right