TWI769261B - 基板收納容器 - Google Patents

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TWI769261B
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Abstract

本發明係具備設置於收納基板之容器本體(10)與蓋體(20)之間的環狀之襯墊(30)之基板收納容器(1)，容器本體(10)形成有供襯墊(30)接觸之密封面(12)，蓋體(20)形成有安裝襯墊(30)之安裝槽(21)，襯墊(30)係由嵌於安裝槽(21)之本體部(31)與自本體部(31)延伸出之延伸片(32)形成，延伸片(32)具有在蓋體(20)之閉合方向(H)上朝蓋體(20)側突出之突起部(320)、及位於較突起部(320)更前端之密封部(321)，密封部(321)朝密封面(12)側且本體部(31)側反轉，且接觸於密封面(12)。藉此，可提供一種提高相對於內部之正壓之密封性的基板收納容器。

Description

基板收納容器
本發明係關於一種收納基板之基板收納容器。
基板收納容器係具備收納基板之容器本體、將容器本體之開口閉合之蓋體、及設置於容器本體與蓋體之間的環狀之襯墊者，將基板以氣密性狀態收納。
作為此種襯墊，已知有：延伸片以在其延長線與密封面之間形成大致銳角之方式而形成者、接觸於密封面且朝基板收納容器之外側彎曲者、及朝開口正面外方屈曲者等(例如，參照專利文獻1及專利文獻2)。
該等襯墊在基板收納容器之內部為負壓時，換言之，在外部之壓力為高時，由於延伸片朝被按壓於密封面之方向變形，故可取得良好之密封性。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2002-068364號公報
[專利文獻2]日本特開2008-062979號公報
然而，在將惰性氣體等之吹淨氣體供給至基板收納容器之內部時，即在基板收納容器之內部為正壓時，因延伸片朝自密封面剝離之方向變形，故而存在密封性降低之情形。
因此，本發明係鑒於以上之課題而完成者，其目的在於提供一種提高相對於內部之正壓之密封性的基板收容容器。
(1)本發明之一個態樣係提供一種基板收納容器，其具備：容器本體，其收納基板；蓋體，其將前述容器本體之開口閉合；及環狀之襯墊，其設置於前述容器本體與前述蓋體之間；前述容器本體形成有供前述襯墊接觸之密封面，前述蓋體形成有安裝前述襯墊之安裝槽，前述襯墊係由嵌於前述安裝槽之本體部、及自前述本體部延伸出之延伸片形成，前述延伸片具有於前述蓋體之閉合方向上朝前述蓋體側突出之突起部、及位於較前述突起部更前端之密封部，前述密封部朝前述密封面側且前述本體部側反轉，且接觸於前述密封面。
(2)在上述(1)之態樣中，可行的是，自前述蓋體之閉合方向觀察，前述密封面與前述密封部之接觸位置與前述突起部重合，或者較前述突起部更朝外側離開。
(3)在上述(1)或(2)之態樣中，前述延伸片之與前述容器本體對面之一面，可隨著自前述本體部朝向前述突起部而接近前述蓋體。
(4)在上述(1)至(3)中之任一態樣中，可行的是，前述本體部在前述延伸片側之前述容器本體之側或前述蓋體之側的至少一者具有平坦之面，且可將前述襯墊壓入前述安裝槽。
根據本發明，可提供一種提高相對於內部之正壓之密封性的基板收納容器。
1:基板收納容器
10:容器本體
11:開口
12:密封面
13:支持體
14:機械凸緣
15:手動握把
18:供氣閥
19:排氣閥
20:蓋體
20a:背面
21:安裝槽
22:凸部
23:安裝槽
30:襯墊
30A:襯墊
30R:襯墊
31:本體部
31A:本體部
31R:本體部
32:延伸片
32A:延伸片
32R:延伸片
40:襯墊
41:本體部
42:延伸片
310:面
310A:面
310R:面
311:第1嵌合突部
311A:第1嵌合突部
312:第2嵌合突部
312A:第2嵌合突部
320:突起部
320A:突起部
321:密封部
321A:密封部
321R:密封部
410:面
411:第1嵌合突部
412:第2嵌合突部
420:突起部
421:密封部
A-A:線
B-B:線
C:接觸位置
D-D:線
E-E:線
H:閉合方向
S:距離
W:基板
圖1係顯示本發明之實施形態之基板收納容器之分解概略立體圖。
圖2(a)係顯示實施形態之襯墊之平面圖、(b)係A-A剖視圖及B-B剖視圖。
圖3係顯示使用實施形態之襯墊的容器本體與蓋體之閉合中途之狀態之概略部分剖視圖。
圖4係顯示使用先前之襯墊的容器本體與蓋體之閉合中途之狀態之概略部分剖視圖。
圖5(a)係顯示變化例1之襯墊之平面圖、(b)係D-D剖視圖及E-E剖視圖。
圖6係顯示使用變化例2之襯墊的容器本體與蓋體之閉合中途之狀態之概略部分剖視圖。
以下，針對本發明之實施形態參照圖式詳細地進行說明。再者，在本說明書之實施形態中，整體而言對於相同之構件賦予相同之符號。
圖1係顯示本發明之實施形態之基板收納容器1之分解概略立體圖。圖2(a)係顯示實施形態之襯墊30之平面圖，(b)係A-A剖視圖及B-B剖視圖。圖3係顯示使用實施形態之襯墊30的容器本體10與蓋體20之閉合中途之狀態之概略部分剖視圖。
如圖1所示般，基板收納容器1具備：容器本體10，其收納基板W；蓋體20，其將容器本體10之開口11閉合；及環狀之襯墊30，其設置於容器本體10與蓋體20之間。
容器本體10為箱狀體，係開口11在正面形成之前端開口型。開口11以朝外側拓大之方式設有階差而彎曲形成，該階差部之面作為供襯墊30接觸之密封面12，形成於開口11之正面之內周緣。又，容器本體10由於可易於進行300mm徑長或450mm徑長之基板W之插入操作，故較佳者為前端開口型，但亦可為開口11在下面形成之底部開口型。
於容器本體10之內部的左右兩側配置有支持體13。支持體13具有供基板W之載置及定位之功能。於支持體13在高度方向上形成有複數個槽，而構成所謂之槽齒。而且，基板W載置於相同高度之左右2處之槽齒內。支持體13之材料可為和與容器本體10同樣之材料相同者，但為了提高洗 淨性與滑動性，亦可使用不同之材料。
又，於容器本體10之內部之後方(深處側)配置有後保持器(未圖示)。後保持器在蓋體20被閉合時，與後述之前保持器成對而保持基板W。惟，亦可為如本實施形態般無須具備後保持器，藉由支持體13在槽齒之深處側具有例如，設為[ㄑ]字狀或直線狀之基板保持部，而由前保持器與基板保持部來保持基板W者。該等支持體13或後保持器藉由在容器本體10嵌入成形或嵌合等而設置。
基板W係支持於該支持體13而收納於容器本體10。再者，作為基板W之一例，係舉出矽晶圓，但並不特別限定，例如，亦可為石英晶圓、砷化鎵晶圓等。
於容器本體10之頂面中央部拆裝自如地設置有機械凸緣14。基板收納容器1藉由工廠內之搬送機器人固持機械凸緣14，在清潔之狀態下將基板W搬送至每個加工基板W之步驟之加工裝置內。
又，於容器本體10之兩側部之外表面中央部，分別拆裝自如地安裝有供作業者握持之手動握把15。
而且，於容器本體10之底面，例如，設置有具有單向閥功能之供氣閥18與排氣閥19。該等閥藉由對由蓋體20閉合之基板收納容器1之內部，自供氣閥18供給氮氣等之惰性氣體或乾燥空氣，且根據需要自排氣閥19 排出，而不時地進行置換基板收納容器1之內部之氣體、或維持氣密狀態。再者，供氣閥18及排氣閥19較佳的是位於與將基板W朝底面投影之位置偏離之位置，但供氣閥18及排氣閥19之數量及位置並不限定於圖示者。又，供氣閥18及排氣閥19具有過濾氣體之過濾器。
內部之氣體的置換係以將所收納之基板W上之雜質吹走、及降低內部之濕度等之目的而進行，而保持搬送中之基板收納容器1之內部的清潔性。氣體之置換可藉由在排氣閥19側檢測氣體而確認是否確實地在進行。而且，在置換內部之氣體、或在將蓋體20安裝於容器本體10而進行閉合時，基板收納容器1之內部變為正壓，相反，當將蓋體20自容器本體10卸下時，基板收納容器1之內部變為負壓。
另一方面，蓋體20係安裝於容器本體10之開口11之正面且為大致矩形狀者。蓋體20具有未圖示之鎖定機構，藉由卡止爪嵌入形成於容器本體10之卡止孔(未圖示)而進行鎖定。又，蓋體20在中央部拆裝自如地安裝或一體地形成有水平地保持基板W之前部周緣的彈性之前保持器(未圖示)。
該前保持器與支持體13之槽齒及基板保持部等同樣，由於係供晶圓直接接觸之部位，故使用洗淨性及滑動性良好之材料。前保持器亦可藉由在蓋體20嵌入成形或嵌合等而設置。
而且，在蓋體20形成有安裝襯墊30之安裝槽21(參照圖3)。更詳細而言，藉由在蓋體20之容器本體10側之面，環狀地形成較開口11之階差部 小之凸部22，而環狀地形成剖面大致為U字狀之安裝槽21。該凸部22在將蓋體20安裝於容器本體10時較開口11之階差部進入更深處。
作為該等容器本體10及蓋體20之材料，例如可舉出：聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚碸、聚醚醚酮、及液晶聚合物等之熱塑性樹脂。該熱塑性樹脂亦可另外適當添加包含有導電性碳、導電纖維、金屬纖維、導電性高分子等之導電劑、各種抗靜電劑、及紫外線吸收劑等。
其次，如圖2(a)所示般，襯墊30係與蓋體20之正面形狀(及容器本體10之開口11之形狀)相對應之環狀者，在本實施形態中，為矩形框狀者。惟，環狀之襯墊30在安裝於蓋體20之前之狀態下亦可為圓環(環)状。
襯墊30配置於容器本體10之密封面12與蓋體20之間，在將蓋體20安裝於容器本體10時，密接於密封面12與蓋體20而確保基板收納容器1之氣密性，減少來自外部之塵埃、濕氣等朝基板收納容器1之侵入，且減少氣體自內部朝外部之洩漏。
作為襯墊30之材料，可使用含有聚酯系之彈性體、聚烯烴系彈性體、氟系彈性體、胺基甲酸酯系彈性體等之熱塑性彈性體、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、及矽系橡膠等之彈性體。該等材料從改善密接性之觀點而言，亦可以特定量選擇性地添加：含有碳、玻璃纖維、雲母、滑石、矽石、碳酸鈣等之填充劑、聚乙烯、聚醯胺、聚縮醛、氟系樹脂、及矽樹脂等之樹脂。又，從賦予導電性或抗靜電性之觀點而言，亦可適當添加碳纖維、金 屬纖維、金屬氧化物、及各種抗靜電劑等。再者，襯墊30之硬度以蕭氏A硬度40度至90度為較佳，60度至90度為更佳。
針對襯墊30更詳細地予以說明。如圖2(b)所示般，襯墊30由嵌於安裝槽21之本體部31、及自本體部31延伸出之延伸片32形成。
本體部31形成與蓋體20之安裝槽21同樣之環狀，其剖面以與安裝槽21之剖面形狀相對應之方式呈大致矩形。本體部31在延伸片32延伸之側且為蓋體20側具有平坦之面310，可將襯墊30壓入安裝槽21之底側。
又，本體部31在容器本體10側排列並形成有安裝槽21之底側(內側)之第1嵌合突部311、及安裝槽21之開口側(外側)之第2嵌合突部312，第1嵌合突部311與第2嵌合突部312各自形成為前端漸細狀。
另一方面，延伸片32在蓋體20之閉合方向H上具有朝蓋體20側突出之突起部320、及位於較突起部320更前端之密封部321。又，延伸片32之與容器本體10對面之一面隨著自本體部31朝向突起部320而接近蓋體20。即，由表示水平方向之圖中之一點鏈線朝向蓋體20側延伸。
密封部321朝密封面12側且本體部31側(呈J字狀)反轉，且接觸於密封面12。此時，自蓋體20之閉合方向H觀察，密封面12與密封部321之接觸位置C與突起部320重合，或者較突起部320更朝外側離開。密封部321之厚度較佳為0.6mm左右，但只要無成形上之問題，則未特別地限定。
另外，由於襯墊30若在朝安裝槽21嵌入安裝時有鬆動，則在密封部321(自蓋體20之背面20a起)至接觸位置C之高度上產生偏差，故襯墊30之本體部31之內周側以較安裝槽21之底部之環狀周面小若干(1%至5%程度)之方式而形成。
如是，在將襯墊30安裝於安裝槽21時，襯墊30以被拉伸之狀態嵌入蓋體20之安裝槽21。此時，若以超過凸部22之方式拉伸襯墊30而將本體部31嵌入安裝槽21，則延伸片32朝蓋體20側傾斜，而突起部320被按壓於蓋體20。如此般，可使密封部321至接觸位置C之高度在襯墊30之整體上穩定。
再者，圖3係顯示在將蓋體20安裝於容器本體10之閉合狀態下的襯墊30之狀態，襯墊30之密封部321在接觸於密封面12後，朝閉合方向H變形1mm左右而形成壓潰狀態。
最後，一面比較實施形態之襯墊30與先前之襯墊30R，一面針對本發明之實施形態之基板收納容器1之效果予以說明。
圖4係顯示使用先前之襯墊30R的容器本體10與蓋體20之閉合中途之狀態之概略部分剖視圖。再者，在圖3及圖4中，實線箭頭表示接觸位置C之移動軌跡。
如圖4所示般，先前之襯墊30R係由嵌於安裝槽21之本體部31R、及 自本體部31R延伸出之延伸片32R形成。又，延伸片32R雖然形成有密封部321R，但該密封部321R以無需反轉而屈曲之狀態接觸於密封面12。再者，本體部31R具有平坦之面310R。
在先前之襯墊30R中，隨著蓋體20相對於容器本體10被朝閉合方向H閉合，首先密封部321R在接觸位置C接觸於密封面12，但若蓋體20被進一步朝閉合方向H按壓，則密封部321R一面朝與閉合方向H正交之方向滑動(橫向滑動)一面移動，最終移動至接觸位置C朝外側離開距離S之位置。因此，襯墊30R之密封部321R因滑動而容易引起微粒之產生。
另一方面，實施形態之襯墊30隨著蓋體20相對於容器本體10被朝閉合方向H閉合，首先密封部321在接觸位置C接觸於密封面12，但即便蓋體20被進一步朝閉合方向H按壓，由於突起部320形成基點(起點)而變形，故密封部321在與閉合方向H正交之方向上幾乎不移動，而僅沿閉合方向H移動，因此接觸位置C不會移動至朝外側離開之位置(參照圖3)。即，襯墊30之密封部321在密封面12上不會在橫向方向上滑動。即便假定進行了橫向滑動，仍可抑制為先前之襯墊30R距離S之1/3以下左右。因此，襯墊30之密封部321不會滑動，而可降低微粒之產生。
又，因延伸片32具有突起部320，故在將襯墊30安裝於蓋體20時，藉由突起部320抵接於蓋體20之一面，較突起部320更前端之密封部321之高度成為一定。如是，藉由密封部321之高度成為一定，而可抑制密封部321之波動。
另外，由於延伸片32設置為與容器本體10對面之一面隨著自本體部31朝向突起部320而接近蓋體20，故可同樣地抑制密封部321之波動。由於密封部321之波動被降低，密封部321相對於密封面12之觸壓亦在整個外周上變得均一，因此襯墊30之密封部321不會滑動，而可減少微粒之產生。
且，由於可降低密封部321相對於密封面12之接觸寬度、最大接觸壓力，故亦可減輕襯墊30對密封面12貼附。另外，在將蓋體20自容器本體10卸下時，由於密封部321不會在密封面12上橫向滑動，故不易產生與閉合方向H正交之方向之摩擦力，而可簡單地將蓋體20自容器本體10卸下。
而在先前之襯墊30R中，在基板收納容器1之內部為負壓時，密封部321R被外部壓力進一步朝密封面12按壓，而密封性提高，但在內部為正壓時，由於密封部321R被內部壓力朝離開密封面12之方向按壓，故密封性變差，而氣體會洩漏(參照圖4)。
另一方面，在實施形態之襯墊30中，在基板收納容器1之內部為負壓時，密封部321雖然被外部壓力朝安裝槽21之底側按壓，但由於突起部320形成基點，反之在反轉部之彈性力(反彈力)亦變高，故密封性提高，且在內部為正壓時，密封部321被外部壓力進一步朝密封面12按壓，而密封性提高。藉此，相對於正壓之密封性提高2倍以上，即便內部壓力升高6kPa左右，氣體亦不會洩漏。
再者，在先前之襯墊30R中，若密封部321R柔軟，則正壓變弱，但在實施形態之襯墊30中，由於密封部321反轉，故即便為柔軟之材料，但由於被朝密封面12按壓，故可發揮與上述大致相同之效果。
如以上所說明般，本發明之實施形態之基板收納容器1係具備下述者，即：容器本體10，其收納基板W；蓋體20，其閉合容器本體10之開口11；及環狀之襯墊30，其設置於容器本體10與蓋體20之間；容器本體10形成有供襯墊30接觸之密封面12，蓋體20形成有安裝襯墊30之安裝槽21，襯墊30係由嵌於安裝槽21之本體部31、及自本體部31延伸出之延伸片32形成，延伸片32具有在蓋體20之閉合方向H上朝蓋體20側突出之突起部320、及位於較突起部320更前端之密封部321，密封部321朝密封面12側且本體部31側反轉，且接觸於密封面12。
藉此，當基板收納容器1之內部變為正壓時，由於密封部321以將襯墊30之突起部320為基點而鼓起之方式變形，故密封部321被朝密封面12按壓。又，當基板收納容器1之內部為負壓時，由於密封部321進行以襯墊30之突起部320為基點而朝安裝槽21之底側被按壓之變形，故密封部321之彈性力增加而朝密封面12被按壓。如此般，實施形態之襯墊30即便基板收納容器1之內部變為正壓或負壓，仍可提高密封性，而可抑制氣體自基板收納容器1之內部洩漏及塵埃自外部進入。
(變化例)
圖5(a)係顯示變化例1之襯墊30A之平面圖、(b)係D-D剖视圖及E-E剖视圖。
如圖5所示般，變化例1之襯墊30A之延伸片32A之蓋體20側係平坦地延伸，且在與上述實施形態相同之位置形成有突起部320A。密封部321A與實施形態相同，自蓋體20側離開並朝密封面12側且本體部31A側反轉，且接觸於密封面12。再者，於本體部31A形成有第1嵌合突部311A及第2嵌合突部312A，又，平坦之面310A形成於容器本體10側。
在此變化例1中亦然，與實施形態大致相同地，相對於正壓之密封性提高。又，由於在本體部31A、突起部320A、及蓋體20之間形成之空間小(實際上係被壓潰而消失)，故不易殘留因將基板收納容器1洗淨等所致之洗淨液。
圖6係顯示使用變化例2之襯墊40的容器本體10與蓋體20之閉合中途之狀態之概略部分剖視圖。
在使用上述實施形態或變化例1之襯墊30A之基板收納容器1中，襯墊30、30A之本體部31被安裝於沿相對於蓋體20之閉合方向H大致正交之方向而形成之安裝槽21，但變化例2之襯墊40在被安裝於沿蓋體20之閉合方向H而形成之安裝槽23之點上不同。
該襯墊40如圖6所示般，由嵌於安裝槽23之本體部41、及自本體部41延伸出之延伸片42呈大致[
Figure 107118902-A0305-02-0015-1
]字狀而形成。
本體部41形成與蓋體20之安裝槽23同樣之環狀，其剖面以與安裝槽21之剖面形狀相對應之方式呈大致矩形。本體部41在與安裝槽21底側之相反側具有平坦之面410，而可將襯墊40壓入安裝槽23之底側。
又，本體部41係由安裝槽23之底側(基板收納容器1之正面側)之第1嵌合突部411、及安裝槽23之開口側(容器本體10側)之第2嵌合突部412以朝向蓋體20之內側之方式排列而形成，第1嵌合突部411及第2嵌合突部412分別形成為前端漸細狀。
另一方面，延伸片42在蓋體20之閉合方向H上具有朝蓋體20側突出之突起部420、及位於較突起部420更前端之密封部421。又，延伸片42之與容器本體10對面之一面隨著自本體部31朝向突起部420而接近蓋體20。
密封部421朝密封面12側且本體部41側(呈J字狀)反轉，且接觸於密封面12。此時，自蓋體20之閉合方向H觀察，密封面12與密封部421之接觸位置C或者與突起部420重合，或者較突起部420更朝外側離開。
如是，當基板收納容器1之內部變為正壓時，由於按照以襯墊40之突起部420為基點而密封部421鼓起之方式變形，故密封部421被朝密封面12按壓。又，當基板收納容器1之內部為負壓時，由於進行以襯墊40之突起部420為基點而密封部421被朝本體部41(安裝槽23)側按壓之變形，故密封部421之彈性力增加而被朝密封面12按壓。如此般，即便為變化例2之襯墊40，仍可提高密封性，而可抑制氣體之洩漏或來自外部之塵埃之進入。
在上述實施形態中，係在容器本體10之底面設置具有單向閥功能之供氣閥18及排氣閥19，但亦可為不具有單向閥功能的放氣之規格之供氣排氣部。即便為如此之供氣排氣部，例如藉由以使惰性氣體自一者之供氣排氣部流入至基板收納容器1之內部，且自另一者之供氣排氣部流出之方式構成，而可不時地進行置換基板收納容器1之內部的氣體、或維持氣密狀態，又，藉由在氣體之流出側檢測氣體，而可確認氣體之置換作業是否是在確實地進行。
又，在上述實施形態等中，可對容器本體10之密封面12施以壓紋加工以防止襯墊30、30A、及40貼附。
以上，針對本發明之較佳之實施形態進行了詳細地說明，但本發明並不限定於上述之實施形態者，在專利申請之範圍所記載之本發明之要旨之範圍內可進行各種變化、變更。
1‧‧‧基板收納容器
10‧‧‧容器本體
11‧‧‧開口
12‧‧‧密封面
20‧‧‧蓋體
20a‧‧‧背面
21‧‧‧安裝槽
22‧‧‧凸部
30‧‧‧襯墊
31‧‧‧本體部
32‧‧‧延伸片
310‧‧‧面
311‧‧‧第1嵌合突部
312‧‧‧第2嵌合突部
320‧‧‧突起部
321‧‧‧密封部
C‧‧‧接觸位置
H‧‧‧閉合方向

Claims (5)

  1. 一種基板收納容器，其特徵在於具備：容器本體，其收納基板；蓋體，其將前述容器本體之開口閉合；及環狀之襯墊，其設置於前述容器本體與前述蓋體之間；且前述容器本體形成有供前述襯墊接觸之密封面，前述蓋體形成有安裝前述襯墊之安裝槽，前述襯墊係由嵌於前述安裝槽之本體部、及自前述本體部延伸出之延伸片形成，前述延伸片具有在前述蓋體之閉合方向上朝前述蓋體側突出之突起部、及位於較前述突起部更前端之密封部；前述密封部朝前述密封面側且前述本體部側反轉，且接觸於前述密封面；且自前述蓋體之閉合方向觀察，前述密封面與前述密封部之接觸位置與前述突起部重合，或者較前述突起部更朝外側離開。
  2. 如請求項1之基板收納容器，其中在前述密封部未與前述密封面接觸之狀態下，前述延伸片之與前述容器本體對面之一面隨著自前述本體部朝向前述突起部而接近前述蓋體。
  3. 如請求項1或2之基板收納容器，其中前述本體部在前述延伸片側的前述容器本體之側或前述蓋體之側中至少一者具有平坦之面，且可將前述襯墊壓入前述安裝槽。
  4. 一種基板收納容器，其特徵在於具備：容器本體，其收納基板；蓋體，其將前述容器本體之開口閉合；及環狀之襯墊，其設置於前述容器本體與前述蓋體之間；且前述容器本體形成有供前述襯墊接觸之密封面，前述蓋體形成有安裝前述襯墊之安裝槽，前述襯墊係由嵌於前述安裝槽之本體部、及自前述本體部延伸出之延伸片形成，前述延伸片具有在前述蓋體之閉合方向上朝前述蓋體側突出之突起部、及位於較前述突起部更前端之密封部；前述密封部朝前述密封面側且前述本體部側反轉，且接觸於前述密封面；且在前述密封部未與前述密封面接觸之狀態下，前述延伸片之與前述容器本體對面之一面隨著自前述本體部朝向前述突起部而接近前述蓋體。
  5. 如請求項4之基板收納容器，其中前述本體部在前述延伸片側的前述容器本體之側或前述蓋體之側中至少一者具有平坦之面，且可將前述襯墊壓入前述安裝槽。
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