JPH09252048A - 保管装置およびシール材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体基板或いは液晶表示装置等の保管装置
の改良に関し、被保管物が汚染されるのを防止すること
が可能であり、収容容器の洗浄が容易な保管装置および
シール材の提供を目的とする。 【解決手段】 雰囲気ガスの供給孔1bを有し、被保管物
を収容して保管する筐体１と、複数個の筐体１をシール
材３を介して固着する複数個の取付け孔を備え、この筐
体１内に供給する雰囲気ガスを収容するガスタンク２
と、このガスタンク２へこの雰囲気ガスを供給するガス
供給系統とからなるように構成し、このシール材３が無
添加の軟質塩化ビニールに、トリメリテート系可塑剤或
いはアジペート系可塑剤を添加し、更に安定剤としてス
テアリン酸系の金属塩を添加し、顔料及びエポキシ系安
定剤を含有しないシール材であるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板或いは
液晶表示装置等の保管装置の改良に関するものである。

【０００２】従来の半導体基板或いは液晶表示装置等の
保管装置においては、この保管装置を構成する収容容器
や収容容器内に供給する雰囲気ガスの供給系統に用いる
配管や配管部品から放出される物質により被保管物が汚
染される場合があった。

【０００３】以上のような状況から、被保管物が汚染さ
れないようにすることが可能な保管装置が要望されてい
る。

【０００４】

【従来の技術】横５個、縦６個、計30個の収容容器を有
する従来の保管装置について図７〜図８により詳細に説
明する。

【０００５】図７は従来の保管装置の概略構成を示す
図、図８は従来の保管装置の主要部の詳細構造を示す図
である。従来の保管装置は図７に示すように、被保管物
を収容するフランジを備えた、プラスチックからなる収
容容器11を外枠12の正面パネルに形成した取り付け孔に
挿入し、このフランジによって収容容器11を正面パネル
に固定している。

【０００６】図８は図７の収容容器11の水平断面図およ
び収容容器11に供給する窒素ガスの配管系統を示してい
る。被保管物を収容したカセット８を収容容器11内に入
れる場合には、収容容器11に蝶番により取り付けられ、
パッキング15を介して気密を保持している扉14を図にお
いて矢印にて示す方向に開き、カセット８を収容容器11
内に入れている。

【０００７】収容容器11の室内に供給する不活性ガス、
例えば窒素ガスは図示するように流量計18により流量を
定め、レギュレータ17により窒素ガスのガス圧を調節
し、フィルタ16によって塵埃を除去し、マニホルド13を
通して個々の収容容器11に窒素ガスを均等に供給してい
る。通常は１個のマニホルド13からすべての収容容器11
に窒素ガスを均等に供給するように、マニホルド13と収
容容器11間の供給管路の長さが等しくなる構造にしてい
るので配管系統が複雑になっている。

【０００８】これらの配管部品には価格が安価で、軽量
であることから有機系の材料が多く用いられており、こ
れらの材料からは被保管物を汚染する物質が放出されて
いるため、被保管物汚染の原因となっている。

【０００９】パッキング15の材料としては成型性、経済
性、耐久性を考えると軟質塩化ビニールが最適と考えら
れるが、従来は軟質塩化ビニールに柔軟性を与えるため
に、フタレート系の可塑剤が用いられており、多くの添
加剤が添加されているため汚染物質が放出されている。
軟質塩化ビニールには顔料等を添加して着色し、商品価
値を高めようとしているが、顔料等には有機物や金属が
大量に含まれており、有機物からは有機ガスが放出され
半導体基板等を汚染している。

【００１０】長時間の使用により収容容器11の内部が汚
染した場合には、特製の繊維クズが生じない布を用いて
純水で拭き取っているが、洗浄が必要な場合には窒素ガ
スの配管を取り外さなければならないので、作業が複雑
になっている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の保
管装置においては、保管装置を構成する収容容器および
パッキングや収容容器内に供給する窒素ガスの供給系統
に用いる配管や配管部品から放出される物質により被保
管物が汚染されるという問題点があり、収容容器の洗浄
が必要な場合には、配管を取り外さなければならないの
で作業が複雑になるという問題点があった。

【００１２】本発明は以上のような状況から、被保管物
を汚染する物質を放出しない材料からなり、被保管物が
汚染されるのを防止することが可能であり、収容容器の
洗浄に際して配管の取り外しが不必要な保管装置および
シール材の提供を目的としたものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の保管装置は、雰
囲気ガスの供給孔を有し、被保管物を収容して保管する
筐体と、複数個のこの筐体をシール材を介して固着する
複数個の取付け孔を備え、この筐体内に供給する雰囲気
ガスを収容するガスタンクと、このガスタンクへこの雰
囲気ガスを供給するガス供給系統とからなるように構成
し、このシール材が、無添加の軟質塩化ビニールに、ト
リメリテート系可塑剤或いはアジペート系可塑剤を添加
し、更に安定剤としてステアリン酸系の金属塩を添加
し、顔料及びエポキシ系安定剤を含有しないシール材で
あるように構成する。

【００１４】本発明の筐体は、この筐体内にこの被保管
物を出し入れする開口部に開閉式の扉を設け、無添加の
軟質塩化ビニールに、トリメリテート系可塑剤或いはア
ジペート系可塑剤を添加し、更に安定剤としてステアリ
ン酸系の金属塩を添加し、顔料及びエポキシ系安定剤を
含有しないシール材からなるパッキングを有するように
構成し、また、この扉と筐体との間に非接触で気密を保
持し、この雰囲気ガスとこのパッキングとの接触を減少
させるラビリンスを有するように構成する。

【００１５】本発明の筐体は、この筐体内にこの被保管
物を出し入れする開口部と対向する背面板に、この筐体
と電気的に絶縁され直流電圧を印加することにより塵埃
を吸着する静電プレートを備えるように構成する。

【００１６】本発明のシール材は、剛性の大なる部材間
に介在させて気密を保持するのに用いるシール材であっ
て、無添加の軟質塩化ビニールに、トリメリテート系可
塑剤或いはアジペート系可塑剤とを添加し、更に安定剤
としてステアリン酸系の金属塩を添加し、顔料及びエポ
キシ系安定剤を含有しないように構成する。

【００１７】即ち本発明においては、被保管物を汚染す
る物質を放出しない材料からなり、パッキング或いはラ
ビリンスにより気密を保持した筐体内に被保管物を収容
して保管し、複数個のこれらの筐体を、シール材を介し
てガスタンクに設けた複数個の取付け孔に固着し、この
ガスタンクに、被保管物を汚染する物質を放出しない材
料からなる配管や配管部品からなるガス供給系統により
ガスを供給しているので、筐体内の被保管物が汚染され
るのを防止することが可能となる。

【００１８】また、これらの筐体内に被保管物を出し入
れする開口部と対向する背面板に、この筐体と電気的に
絶縁され直流電圧を印加することにより塵埃を吸着する
静電プレートを備えるので、この筐体内に供給するガス
に含まれる塵埃をこの静電プレートに吸着して除去する
ことが可能となる。

【００１９】無添加の軟質塩化ビニールに、トリメリテ
ート系可塑剤或いはアジペート系可塑剤とを添加し、更
に安定剤としてステアリン酸系の金属塩を添加し、顔料
及びエポキシ系安定剤を含有させないので、被保管物を
汚染する物質を放出しないシール材を得ることが可能と
なる。

【００２０】

【発明の実施の形態】横５個、縦６個、計30個の筐体を
有する本発明の保管装置について図１〜図６により詳細
に説明する。

【００２１】図１は本発明による一実施例の概略構成を
示す図、図２は本発明による第１の実施例の主要部の詳
細構造を示す図、図３は本発明による第２の実施例の主
要部の詳細構造を示す図、図４は本発明による静電プレ
ートの第１の実施例の詳細構造を示す図、図５は本発明
による静電プレートの第２の実施例の詳細構造を示す
図、図６は添加する可塑剤の相違による軟質塩化ビニー
ルの汚染度比較図表である。

【００２２】本発明の保管装置は、図１に示すような被
保管物を収容し扉４を有する筐体１をシール材３を介し
てガスタンク２に固定した保管装置である。扉４は、ブ
ルーイング剤、可塑剤、離型剤、帯電防止剤等の添加剤
を含有しない透明ポリカーボネート製である。

【００２３】本発明の第１の実施例の保管装置の筐体１
の水平断面図である図２に示すように、被保管物を収容
する筐体１およびガスタンク２はＳＵＳ３１６製であ
り、ガスタンク２に形成した取り付け孔に筐体１を挿入
し、筐体１の側壁に設けた取り付け金具1aによりシール
材３を介してガスタンク２に固定している。

【００２４】シール材３は、トリメリテート系可塑剤或
いはアジペート系可塑剤を添加し、ステアリン酸系の金
属石鹸を添加し、顔料、エポキシ系安定剤等の可塑剤を
含まない軟質塩化ビニール製である。

【００２５】被保管物を収容したカセット８を筐体１内
に入れる場合には、筐体１に蝶番により取り付けられ、
パッキング５を介して気密を保持している扉４を図にお
いて矢印にて示す方向に開き、カセット８を筐体１内に
入れている。

【００２６】筐体１の室内に供給する不活性ガス、例え
ば窒素ガスは、図示しない流量計により流量を定め、レ
ギュレータによりガス圧を調節し、フィルタによって塵
埃を除去してガスタンク２に供給している。

【００２７】これらの配管部品は、被保管物を汚染する
物質を放出しないＳＵＳ３１６製のものを用いているの
で、被保管物が汚染されることがなくなる。ガスタンク
２内の窒素ガスを筐体１に供給するための供給孔1bが図
２に示すように筐体１の扉４と対向する壁面に設けられ
ており、この供給孔1bを通して筐体１から外部に洩れ出
す窒素ガスを補給している。ガスタンク２の内圧を１気
圧に保持しており、筐体１の内圧は大気圧より水柱数mm
程度高ければよいので、この供給孔1bは直径が 0.1〜0.
3mm 程度の小さな孔である。

【００２８】パッキング５はトリメリテート系可塑剤或
いはアジペート系可塑剤を添加し、ステアリン酸系の金
属石鹸を添加し、顔料、エポキシ系安定剤等の可塑剤を
含まない軟質塩化ビニール製であり、冷蔵庫等に用いら
れているマグネットを内蔵する構造のものである。

【００２９】長時間の使用により筐体１の内部が汚染し
た場合には、筐体１の側壁に設けた取り付け金具1aを固
定しているナットを取り外せば、ガスタンク２から筐体
１を簡単に取り外すことが可能であり、筐体１を洗浄す
ることが必要な場合でも、作業を簡単に行うことが可能
である。

【００３０】本発明の第２の実施例の保管装置の筐体１
の水平断面図である図３に示すように、被保管物を収容
する筐体１、ガスタンク２、シール材３、扉４、パッキ
ング５およびガス供給系統の構造、材質は第１の実施例
と同じであり、筐体１のガスタンク２への取り付け方法
も同じである。

【００３１】第２の実施例と第１の実施例とが異なって
いるのは、パッキング５の内側にラビリンス６を備えて
いることである。ラビリンス６は、図示するように筐体
１と扉４の対向面の全周に突起を形成し、これらの突起
間の隙間及びこれらの突起と筐体１及び扉４との隙間を
極めて少なく、例えば0.5mm 程度にして差圧を生じさせ
る構造である。

【００３２】このようなラビリンス６を設けると、筐体
１内の雰囲気ガスが直接パッキング５に接触しないの
で、より一層筐体１内の雰囲気を良くすることが可能と
なる。この第２の実施例においてはラビリンス６とパッ
キング５を併用しているが、パッキング５を用いないで
パッキング５の領域にもラビリンス６を設ければ、ラビ
リンス６だけで筐体１の雰囲気ガスの内圧を保持するこ
とも可能である。

【００３３】次に静電プレート７を筐体１内に設ける実
施例について説明する。図４は本発明による静電プレー
トの第１の実施例の詳細構造を示す図、図５は本発明に
よる静電プレートの第２の実施例の詳細構造を示す図で
ある。

【００３４】これらの静電プレートの実施例は、静電プ
レート７の部分以外の構造は図２、図３と同じである。
静電プレートの第１の実施例は図４に示すように、静電
プレート７を絶縁物からなる図における斜線部を介して
筐体１の底板に固定し、この静電プレート７に直接直流
電圧を印加する実施例であり、静電プレートの第２の実
施例は図５に示すように、筐体１の底板と絶縁物を介し
て設けた中央部の底板に静電プレート７を取り付けた実
施例である。

【００３５】このように筐体１の供給孔1bの近傍に静電
プレート７を設けると、ガスタンク２から筐体１内に供
給孔1bを通して供給される雰囲気ガスの品質を更に高
め、被保管物の汚染をより一層防止することが可能とな
る。

【００３６】次に本発明のシール材について詳細に説明
する。図６は添加する可塑剤の相違による軟質塩化ビニ
ールの汚染度比較図表である。

【００３７】汚染されていないシリコンウエーハの表面
に純水を滴下した場合の水滴のシリコンウエーハの表面
との接触角は３°であるが、種々の可塑剤を添加した軟
質塩化ビニールとシリコンウエーハとを密閉容器内に一
週間保管した後のシリコンウエーハの表面に純水を滴下
した場合の水滴のシリコンウエーハの表面との接触角は
図６に示すような値になった。

【００３８】図６から明らかなように、高分子フタレー
ト系の可塑剤の場合の接触角が最も高い数値を示してお
り、可塑剤を添加しないものよりもアジペート系やトリ
メリテート系の可塑剤を添加した場合の接触角の方が小
さく、トリメリテートの可塑剤を添加した場合の接触角
が最も小さかった。

【００３９】このような結果から、軟質塩化ビニールに
添加する可塑剤としてはトリメリテート系或いはアジペ
ート系の可塑剤が最適であることが明らかになった。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構造の変更と、使用材料の選択に
より、筐体内に保管する被保管物が汚染されるのを防止
することができ、被保管物の品質の劣化を防止すること
が可能となり、筐体を洗浄する場合においても筐体の脱
着を容易に行うことが可能となる利点があり、著しい経
済的及び、信頼性向上の効果が期待できる保管装置の提
供が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による一実施例の概略構成を示す図

【図２】 本発明による第１の実施例の主要部の詳細構
造を示す図

【図３】 本発明による第２の実施例の主要部の詳細構
造を示す図

【図４】 本発明による静電プレートの第１の実施例の
詳細構造を示す図

【図５】 本発明による静電プレートの第２の実施例の
詳細構造を示す図

【図６】 添加する可塑剤の相違による軟質塩化ビニー
ルの汚染度比較図表

【図７】 従来の保管装置の概略構成を示す図

【図８】 従来の保管装置の主要部の詳細構造を示す図

【符号の説明】

１ 筐体 1a 取り付け金具 1b 供給孔 ２ ガスタンク ３ シール材 ４ 扉 ５ パッキング ６ ラビリンス ７ 静電プレート ８ カセット

フロントページの続き (72)発明者 竹内 哲也 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番２ 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 (72)発明者 井上 実 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番２ 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 雰囲気ガスの供給孔を有し、被保管物を
   収容して保管する筐体と、 複数個の該筐体をシール材を介して固着する複数個の取
   付け孔を備え、該筐体内に供給する雰囲気ガスを収容す
   るガスタンクと、 該ガスタンクへ前記雰囲気ガスを供給するガス供給系統
   とからなることを特徴とする保管装置。
2. 【請求項２】 前記シール材が、無添加の軟質塩化ビニ
   ールに、トリメリテート系可塑剤或いはアジペート系可
   塑剤を添加し、更に安定剤としてステアリン酸系の金属
   塩を添加し、顔料及びエポキシ系安定剤を含有しないシ
   ール材であることを特徴とする請求項１記載の保管装
   置。
3. 【請求項３】 前記筐体内に前記被保管物を出し入れす
   る開口部に開閉式の扉を設け、無添加の軟質塩化ビニー
   ルに、トリメリテート系可塑剤或いはアジペート系可塑
   剤を添加し、更に安定剤としてステアリン酸系の金属塩
   を添加し、顔料及びエポキシ系安定剤を含有しないシー
   ル材からなるパッキングを有することを特徴とする請求
   項１記載の保管装置。
4. 【請求項４】 前記筐体内に前記被保管物を出し入れす
   る開口部に開閉式の扉を設け、該扉と前記筐体との間に
   非接触で気密を保持し、前記雰囲気ガスと前記パッキン
   グとの接触を減少させるラビリンスを有することを特徴
   とする請求項１記載の保管装置。
5. 【請求項５】 前記筐体内に前記被保管物を出し入れす
   る開口部と対向する背面板に、前記筐体と電気的に絶縁
   され直流電圧を印加することにより塵埃を吸着する静電
   プレートを備えたことを特徴とする請求項１記載の保管
   装置。
6. 【請求項６】 剛性の大なる部材間に介在させて気密を
   保持するのに用いるシール材であって、 無添加の軟質塩化ビニールに、トリメリテート系可塑剤
   或いはアジペート系可塑剤を添加し、更に安定剤として
   ステアリン酸系の金属塩を添加し、顔料及びエポキシ系
   安定剤を含有しないことを特徴とするシール材。