TW202212460A - 光罩容器 - Google Patents

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TW202212460A
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中島淳一
北條智也
福井孝志
田所淳人
堀内智孝
前田健人
福井幹夫
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日商積水成型工業股份有限公司
日商網塑股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種光罩容器，其能夠牢固地保持光罩基板，可抑制光罩基板收納部之結露，潔淨度優異，不易令光罩基板表面附著污物(微細粒子)，輕量且機械強度優異。 本發明之光罩容器之特徵在於：由容器本體及蓋體形成光罩基板收納部，以光罩基板收納部中收納有光罩基板之狀態進行保存、輸送，容器本體係包含熔體流動速率(MFR)為0.6(g/10分鐘)以下之高密度聚乙烯樹脂，且包含大致平板狀之基部、及自基部之端部沿大致直角方向設置之側壁部的箱狀體，並且為包含內壁及外壁之2層中空構造體。

Description

光罩容器
本發明係關於一種用於保存、輸送光罩基板之光罩容器。
近年來，為了製造液晶顯示面板等顯示裝置，而於具有無塵室之工廠製作光罩基板，並將所製作之光罩基板輸送至後續步驟之工廠以製造液晶顯示面板等顯示裝置。
液晶顯示面板等顯示裝置為精密機器，有於輸送光罩基板時，基板表面附著有污物(微細粒子)或者因電損傷等原因使基板電路或基板自身出現破損，而無法製造顯示裝置的情況。
又，為了使液晶顯示面板等顯示裝置之畫面擴大、或同時對複數個顯示裝置進行曝光以提高生產性、節省人工，而要求光罩基板尺寸加大(面積加大)，需要其具有750×750 mm以上之大小。又，由於全球化之影響，自光罩基板之製造至液晶顯示面板等顯示裝置等成品之製造不僅於一個工廠內進行，還於日本國內外之相隔遙遠之地區進行，因此將光罩基板收納於光罩容器中並利用卡車、船舶、飛機等進行輸送。
因此，期望上述光罩容器能夠牢固地保持光罩基板，能夠於不令光罩基板表面附著污物(微細粒子)或者不令光罩基板破損之情況下進行輸送，輕量且機械強度優異。又，於利用飛機進行空運時，由於在減壓下或低溫下進行輸送，因此期望：不會對光罩基板或光罩容器附加不必要之應力；可抑制於光罩容器之光罩基板收納部產生結露；潔淨度優異；等。
因此，提出有各種適合輸送之光罩容器。例如，提出有：「一種光罩盒，其特徵在於：其用於在收納有光罩基板之狀態下進行搬送，且具備：保持機構，其保持上述光罩基板；基部，其供設置該保持機構；及蓋部，其裝卸自如地安裝於該基部，並覆蓋上述光罩基板」(例如參照專利文獻1)；「一種大型精密片狀(半)成品用密封容器，其特徵在於：其係包含具有要互相抵接之密封用周緣部的大致對稱構造之本體部及蓋體部，且用於在內部收容大型精密片狀成品或半成品(以下總稱為「精密片狀(半)成品」)的容器，本體部及蓋體部分別包含互相平坦地延伸且於中間抵接部互相接合之複數個抗靜電性樹脂板，具有金屬製補強帶狀體沿著接合部自外側密封性地栓定至接合之樹脂板之構造；於本體部之底部，具有可將精密片狀(半)成品固定、支持於互相正交之X、Y及Z方向(即精密片狀(半)成品之縱向、橫向及厚度方向)的固定支持構造；上述固定支持構造具有至少1組支承部與固定支持具，上述支承部用於在其上載置精密片狀(半)成品，上述固定支持具對載置於該支承部上之精密片狀(半)成品之端緣部施加至少厚度方向上之按壓力；固定支持具具有固定於本體部底部之腳部、及可旋動地軸支於該腳部之可動部，該可動部可於倒立位置與倒置開放位置之間旋動，於該倒立位置，對載置於支承部上之精密片狀(半)成品之端緣部，至少沿其厚度方向施加按壓力，而將其固定支持，於該倒置開放位置，可將精密片狀(半)成品載置於支承部上」(例如參照專利文獻2)等。
然而，上述光罩容器存在如下缺點：零件數量多，各零件之製造需要耗費工時，因此生產效率之提高有限，或者需要大量時間來維持品質穩定性，重量較大，不易運輸。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2008-32915號公報 [專利文獻2]日本專利第4476727號公報
[發明所欲解決之問題]
鑒於上述問題，本發明之目的在於提供一種光罩容器，其輕量且機械強度優異，能夠牢固地保持光罩基板，可抑制光罩基板收納部產生結露，潔淨度優異，不易令光罩基板表面附著污物(微細粒子)，可安全、容易地進行輸送，易於製造，生產效率、品質穩定性高，且價格低廉。 [解決問題之技術手段]
即，本發明係關於： [1]一種光罩容器，其特徵在於：由容器本體及蓋體形成光罩基板收納部，以光罩基板收納部中收納有光罩基板之狀態進行保存、輸送，且容器本體係包含熔體流動速率(MFR)為0.6(g/10分鐘)以下之高密度聚乙烯樹脂，且包含大致平板狀之基部、及自基部之端部沿大致直角方向設置之側壁部的箱狀體，並且為包含內壁及外壁之2層中空構造體； [2]如上述[1]所記載之光罩容器，其特徵在於：容器本體藉由吹塑成形法一體成形； [3]如上述[1]或[2]所記載之光罩容器，其特徵在於：於基部形成有保持固定光罩基板之光罩基板保持部； [4]如上述[1]至[3]中任一項所記載之光罩容器，其特徵在於：側壁部具有中空部，且較基部之厚度厚； [5]如上述[1]至[4]中任一項所記載之光罩容器，其特徵在於：基部之內壁及/或側壁部之內壁向光罩基板收納部側(上方或內側)變形，一體形成具有中空部之光罩基板保持部； [6]如上述[1]至[5]中任一項所記載之光罩容器，其特徵在於：蓋體係包含熔體流動速率(MFR)為0.6(g/10分鐘)以下之高密度聚乙烯樹脂，且包含大致平板狀之基部、及自基部之端部沿大致直角方向設置之側壁部的箱狀體，並且為包含內壁及外壁之2層中空構造體； [7]如上述[1]至[6]中任一項所記載之光罩容器，其特徵在於：容器本體及蓋體之至少一者之側壁部之上端部向側方延伸設置而形成把手部； [8]如上述[1]至[7]中任一項所記載之光罩容器，其特徵在於：於容器本體及蓋體之至少一者穿設有貫通孔，且於該貫通孔設置有過濾器，從而形成排氣部； [9]如上述[1]至[8]中任一項所記載之光罩容器，其特徵在於：於基部形成有多條肋部； [10]如技術方案1至9中任一項所記載之光罩容器，其特徵在於：表面固有電阻值為10 8Ω以上且未達10 10Ω；以及 [11]如上述[1]至[10]中任一項所記載之光罩容器，其特徵在於：於基部之內壁(光罩基板收納部側)積層有防靜電片材或防靜電成型體。 [發明之效果]
本發明之光罩容器之構成如上所述，光罩容器易於製造，價格低廉，輕量且機械強度優異，能夠牢固地保持光罩基板，能夠於不令光罩基板表面附著污物(微細粒子)或者不令光罩基板變形之情況下進行保存、輸送。因此，即便於減壓下或低溫下進行保存、輸送，亦不會使光罩基板或光罩容器負擔不必要之應力，可抑制光罩容器之光罩基板收納部之結露，潔淨度優異，因此適宜利用飛機進行空運。
本發明之光罩容器之特徵在於：由容器本體及蓋體形成光罩基板收納部，以光罩基板收納部中收納有光罩基板之狀態進行保存、輸送，且容器本體係包含熔體流動速率(MFR)為0.6(g/10分鐘)以下之高密度聚乙烯樹脂，且包含大致平板狀之基部、及自基部之端部沿大致直角方向設置之側壁部的箱狀體，並且為包含內壁及外壁之2層中空構造體。
上述容器本體係藉由吹塑成形法一體成形，較佳為機械強度大，以於輸送時或保存時不易變形或受到破壞，因此包含高密度聚乙烯樹脂。高密度聚乙烯樹脂係藉由中低壓法聚合且密度為0.945～0.965 g/cm 3之聚乙烯樹脂，可由微量之丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、1-辛烯等α-烯烴共聚而成。
關於上述高密度聚乙烯樹脂，熔體流動速率(MFR)較小者之膜成形性優異，尤其適合吹塑成形，並且機械強度亦優異，因此熔體流動速率(MFR)為0.6(g/10分鐘)以下，較佳為0.2(g/10分鐘)以下，更佳為0.01～0.1(g/10分鐘)。再者，MFR係JIS K 7210中規定之表示熱塑性樹脂之熔融黏度之指標。
又，關於上述高密度聚乙烯樹脂之重量平均分子量，於重量平均分子量未達10萬之情形時，機械強度或耐蠕變性等降低，反之，若超過50萬，則熔融黏度升高，熱熔融成形性降低，而不易獲得均勻之容器本體，因此較佳為10萬～50萬。再者，於本發明中，重量平均分子量係藉由凝膠滲透層析法(GPC)測得之值。
於上述高密度聚乙烯樹脂中，可於機械強度等物性不會降低之範圍內少量添加中密度聚乙烯樹脂、低密度聚乙烯樹脂、線狀低密度聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、乙烯-丙烯共聚物、乙烯-1-丁烯共聚物、乙烯-1-戊烯共聚物、乙烯-1-己烯共聚物、乙烯-1-辛烯共聚物、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸酯共聚物、乙烯-氯乙烯共聚物、乙烯-丙烯-丁烯共聚物等烯烴系樹脂。
又，於上述高密度聚乙烯樹脂中，亦可視需要添加熱穩定劑、耐熱性提昇劑、光穩定劑、紫外線吸收劑、抗氧化劑、抗靜電劑、衝擊改良劑、防霧劑、阻燃劑、著色劑等。
上述容器本體包含高密度聚乙烯樹脂，因此易於帶電，易於吸附污物(微細粒子)。因此，光罩基板之表面易於附著污物(微細粒子)，易於污染，因此較佳為添加有抗靜電劑，其表面固有電阻值較佳為10 8Ω以上且未達10 10Ω。
作為抗靜電劑，例如可例舉甘油脂肪酸酯系界面活性劑、有機硼系抗靜電劑等以往於塑膠加工中使用之抗靜電劑、碳黑等。
作為上述抗靜電劑，較佳為有機硼系抗靜電劑，作為有機硼系抗靜電劑，例如可例舉通式(1)所表示之供體-受體系分子化合物型抗靜電劑。 [化1]
Figure 02_image001
式中，R 1、R 2分別獨立為碳數12～22之醯基或H，並且R 1、R 2之至少一者為碳數12～22之醯基，R 3、R 4、R 5分別獨立為CH 3、C 2H 5、CH 2OH、C 2H 4OH、CH 2CH(CH 3)OH、碳數12～22之烷基或者烯基、碳數合計13～25之醯氧基烷基、或碳數合計14～25之醯胺基烷基，並且R 3、R 4、R 5之至少一者為碳數12～22之烷基或者烯基、碳數合計13～25之醯氧基烷基、或碳數合計14～25之醯胺基烷基。
作為通式(1)所表示之抗靜電劑之具體例，例如由下述化學式(2)～(12)表示。 [化2]
Figure 02_image003
[化3]
Figure 02_image005
[化4]
Figure 02_image007
[化5]
Figure 02_image009
[化6]
Figure 02_image011
[化7]
Figure 02_image013
[化8]
Figure 02_image015
[化9]
Figure 02_image017
[化10]
Figure 02_image019
[化11]
Figure 02_image021
[化12]
Figure 02_image023
上述通式(1)所表示之供體-受體系分子化合物型抗靜電劑可吸附於無機填充劑粉末之表面而製成粉末狀抗靜電劑。作為無機填充劑粉末，只要為以往塑膠成形體中所使用之無機填充劑粉末即可，並無特別限定，例如可例舉：碳酸鈣、碳酸鎂、氧化鋁、氧化鎂、氧化鈦、氫氧化鎂、滑石、雲母、黏土等。
又，製造表面吸附有上述抗靜電劑之無機填充劑粉末之方法並無特別限定，例如可例舉如下方法：對溶解有抗靜電劑之有機溶劑供給無機填充劑粉末，加以攪拌混合，使抗靜電劑吸附於無機填充劑粉末之表面後，使有機溶劑蒸發。
作為上述有機溶劑，只要為可溶解上述抗靜電劑之有機溶劑即可，並無特別限定，例如可例舉：甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、丁醇等低級醇類；丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮等酮類；乙酸乙酯、乙酸異丙酯等酯類；四氫呋喃等。
相對於高密度聚乙烯樹脂100重量份，上述通式(1)所表示之供體-受體系分子化合物型抗靜電劑之添加量一般較佳為0.01～1.0重量份。
其次，參照圖式對本發明之光罩容器進行說明。圖1係表示本發明之光罩容器之一例之概略剖視圖。圖中，1為容器本體，2為蓋體。容器本體1及蓋體2皆為箱狀體，藉由使蓋體2覆蓋於容器本體1上而形成光罩基板收納部3。4、4……為光罩基板支持固定部，形成於容器本體1及蓋體2之光罩基板收納部3側，以蓋體2覆蓋於容器本體1上時，容器本體1之光罩基板支持固定部4與蓋體2之光罩基板支持固定部4對向之方式形成。再者，5為把手部。
為了將光罩基板6收納、固定於上述光罩容器中，例如，將卸除了蓋體2之容器本體1水平放置，將光罩基板6載置於容器本體1之光罩基板支持固定部4上。然後，以形成光罩基板收納部3之方式載置蓋體2，並且藉由容器本體1之光罩基板支持固定部4與蓋體2之光罩基板支持固定部4夾持、固定光罩基板6。最後，利用合成樹脂製帶狀體、金屬製帶狀體等帶狀體進行捆束固定，或利用搭扣、棘輪扣鎖等固定治具等進行固定。
於輸送收納有上述光罩基板6之光罩容器1時，可直接以水平放置狀態進行輸送，亦可於光罩容器1安裝腳輪，以腳輪位於下側之方式立起，以光罩基板6豎立之狀態進行輸送。
圖2係表示本發明之光罩容器之容器本體1之一例的俯視圖，圖3為圖2中之A-A剖視圖，圖4為圖2中之B-B剖視圖。圖中，1為容器本體，係包含大致平板狀之基部11、及自基部11之端部沿大致直角方向設置之側壁部12的箱狀體。基部11包含內壁111及外壁112，係藉由在其等之間部分地形成中空部113而設置肋部13之2層中空構造體。再者，基部11亦可為內壁111與外壁112密接之2層構造體。
又，側壁部12包含內壁111及外壁112，係於其等之間形成有中空部113之2層中空構造體，為了輕量化及補強而較基部之厚度厚。
又，5、5……為供手指插入以使光罩容器移動之把手部，於側壁部12之上端部形成有複數個。把手部5係於側壁部12之上端部向側方延伸設置之側緣部設置貫通孔而形成。
圖中，4、4……係供載置並支持固定光罩基板之包含烯烴系樹脂、ABS(acrylonitrile-butadiene-styrene，丙烯腈-丁二烯-苯乙烯)樹脂等製造之實心柱狀體的光罩基板支持固定部，由螺栓41固定於基部11之光罩基板收納部3側。
再者，42係介存於螺栓41與基部11之間並使兩者緊密固定之墊圈，43係固定於光罩基板支持固定部4之下方內部並藉由與螺栓41螺合而將基部11與光罩基板收納部3固定之嵌入式螺母。上述光罩基板支持固定部4亦可與先前公知之任意支持用保持機構、定位用保持機構(例如參照專利文獻1、2)等併用。
圖中，7係用於使光罩基板收納部3內部與外部連通，使內外之氣體能夠移動，而使內外之溫度、濕度、壓力等保持相同的排氣部。排氣部7以於基部11之內壁111及外壁112形成階差部72之方式穿設有貫通孔71，於階差部72以堵塞貫通孔71之方式積層有過濾器73，過濾器73由環狀之固定具74固定形成於基部11。
藉由形成上述排氣部7，光罩基板收納部3內部與外部之內外氣體連通，光罩基板收納部3內部與外部之氣壓、濕度及溫度不存在差異，而可抑制於利用飛機輸送時，因氣壓差而使光罩容器變形、受到破壞或者因溫度差而於光罩基板收納部3內產生結露。
圖中，8係用於視察光罩基板收納部3內部以觀察所收納之光罩基板6之視窗部。視窗部8係藉由在基部11穿設貫通孔並嵌入聚碳酸酯樹脂、ABS樹脂等透明樹脂板、玻璃板等而形成。
圖中，9係用於使蓋體2覆蓋於容器本體1上而形成光罩基板收納部3時將光罩基板收納部3牢固地密封之O形環，O形環9嵌入至容器本體1之側壁部12之上表面上形成之凹槽中。O形環9較佳為包含矽系橡膠、氟橡膠、胺基甲酸酯系橡膠、降𦯉烯系橡膠等彈性樹脂。
圖中，13、13……係為了補強容器本體1而設於基部11之肋部。肋部13係藉由在內壁111與外壁112之間設置中空部113而形成。再者，肋部13可藉由使內壁111或/及外壁112彎曲來形成中空部113或不形成中空部113而形成。又，肋部13較佳為設置多條，亦可設於側壁部12。
圖中，14、14……係供設置固定治具(例如搭扣、棘輪扣鎖等)且設於側壁部12之上端部附近之缺口部，上述固定治具用於將使蓋體2覆蓋於容器本體1上而形成光罩基板收納部之光罩容器密閉固定。又，將光罩容器密閉固定時，可藉由合成樹脂或金屬製之繩狀體、帶狀體進行捆束。
圖5係表示本發明之光罩容器之容器本體之不同例之俯視圖，圖6係圖5中之C-C剖視圖。1為容器本體，容器本體1係藉由吹塑成形而一體成形，且包含大致平板狀之基部11、及自基部11之端部沿大致直角方向設置之側壁部12的箱狀體，並且基部11及側壁部12為包含內壁111及外壁112之局部中空之2層中空構造體。
圖中，12係自基部11之端部沿大致直角方向設置之側壁部，側壁部12為利用內壁111及外壁112於內部形成中空部113之中空2層構造體。側壁部12由於為中空2層構造體，因此較基部11之厚度厚，於側壁部12之上表面形成有凹槽，於凹槽中嵌入有O形環9。
圖中，4、4……係供載置並支持固定光罩基板之光罩基板支持固定部。光罩基板支持固定部4係使基部11之內壁111及/或側壁部12之內壁111向光罩基板收納部側(上方或內側)變形，於基部11及側壁部12之內壁111與外壁112之間形成中空部113，而與基部11及側壁部12一體成形。
光罩基板支持固定部4藉由中空部113形成內側較低之階差部。階差部之內側較低，較低之階差部之上表面成為光罩基板載置部44，階差部之外側較高之側面成為橫向定位部45。即，保存、輸送之光罩基板其端部載置於光罩基板載置部44、44……上，且藉由橫向定位部45、45……而被定位並被牢固地固定。
上述容器本體1較佳為藉由吹塑成形法成形。所謂吹塑成形法，係將熱塑性樹脂以熔融狀態擠出成形，成形出筒狀之型坯，接著將所獲得之型坯供給至成形模具，對型坯內吹送氣體並且對成形模具進行鎖模而製造成形體的方法。
藉由利用吹塑成形法進行成形，能夠一體地且容易地成形出大型之容器本體1，所獲得之容器本體1為內壁及外壁之2層構造，局部具有中空部，並且無縫地一體成形，輕量且機械強度優異。
蓋體2只要為作為容器本體1之蓋發揮功能者即可，並無特別限定，但若蓋體2與容器本體1為相同形狀，則如圖1所示，能夠容易地將光罩基板6收納、保持於光罩基板收納部3內，因此較佳。即，蓋體較佳為包含熔體流動速率(MFR)為0.6(g/10分鐘)以下之高密度聚乙烯樹脂，且包含大致平板狀之基部、及自基部之端部垂直設置之側壁部的箱狀體，並且為包含內壁及外壁之2層構造體。
又，為了使光罩基板收納部內不帶電，可於基部之內壁(光罩基板收納部側)積層防靜電片材、防靜電成形體等，亦可塗佈、積層防靜電塗料。 [產業上之可利用性]
本發明之光罩容器輕量且機械強度優異，能夠牢固地保持光罩基板，能夠於不令光罩基板表面附著污物(微細粒子)或者不令光罩基板變形之情況下進行輸送。即便於減壓下或低溫下進行輸送，亦不會使光罩基板或光罩容器負擔不必要之應力，可抑制光罩容器之光罩基板收納部之結露，潔淨度優異，故適宜利用飛機進行空運，因此適宜用作保存、輸送光罩時之光罩容器。
1:容器本體 2:蓋體 3:光罩基板收納部 4:光罩基板支持固定部 5:把手部 6:光罩基板 7:排氣部 8:視窗部 9:O形環 11:基部 12:側壁部 13:肋部 14:缺口凹部 41:螺栓 42:墊圈 43:嵌入式螺母 44:光罩基板載置部 45:橫向定位部 71:貫通孔 72:階差部 73:過濾器 74:固定具 111:內壁 112:外壁 113:中空部
圖1係表示本發明之光罩容器之一例之概略剖視圖。 圖2係表示本發明之光罩容器之容器本體之一例的俯視圖。 圖3係圖2中之A-A剖視圖。 圖4係圖2中之B-B剖視圖。 圖5係表示本發明之光罩容器之容器本體之不同例的俯視圖。 圖6係圖5中之C-C剖視圖。

Claims (11)

  1. 一種光罩容器，其特徵在於：由容器本體及蓋體形成光罩基板收納部，以光罩基板收納部中收納有光罩基板之狀態進行保存、輸送，容器本體係包含熔體流動速率(MFR)為0.6(g/10分鐘)以下之高密度聚乙烯樹脂，且包含大致平板狀之基部、及自基部之端部沿大致直角方向設置之側壁部的箱狀體，並且為包含內壁及外壁之2層中空構造體。
  2. 如請求項1之光罩容器，其中容器本體藉由吹塑成形法一體成形。
  3. 如請求項1或2之光罩容器，其中於基部形成有保持固定光罩基板之光罩基板保持部。
  4. 如請求項1至3中任一項之光罩容器，其中側壁部具有中空部，且比基部之厚度厚。
  5. 如請求項1至4中任一項之光罩容器，其中基部之內壁及/或側壁部之內壁向光罩基板收納部側(上方或內側)變形，一體地形成具有中空部之光罩基板保持部。
  6. 如請求項1至5中任一項之光罩容器，其中蓋體係包含熔體流動速率(MFR)為0.6(g/10分鐘)以下之高密度聚乙烯樹脂，且包含大致平板狀之基部、及自基部之端部沿大致直角方向設置之側壁部的箱狀體，並且為包含內壁及外壁之2層中空構造體。
  7. 如請求項1至6中任一項之光罩容器，其中容器本體及蓋體之至少一者之側壁部之上端部向側方延伸設置而形成把手部。
  8. 如請求項1至7中任一項之光罩容器，其中於容器本體及蓋體之至少一者穿設有貫通孔且於該貫通孔設置有過濾器，從而形成排氣部。
  9. 如請求項1至8中任一項之光罩容器，其中於基部形成有多條肋部。
  10. 如請求項1至9中任一項之光罩容器，其表面固有電阻值為10 8Ω以上且未達10 10Ω。
  11. 如請求項1至10中任一項之光罩容器，其中於基部之內壁(光罩基板收納部側)積層有防靜電片材或防靜電成型體。
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