CN116097168A

CN116097168A - 光掩膜容器

Info

Publication number: CN116097168A
Application number: CN202180050837.5A
Authority: CN
Inventors: 中岛淳一; 北条智也; 福井孝志; 田所淳人; 堀内智孝; 前田健人; 福井干夫
Original assignee: Mesh Molding Co; Sekisui Seikei Ltd
Current assignee: Mesh Molding Co; Sekisui Seikei Ltd
Priority date: 2020-08-21
Filing date: 2021-08-20
Publication date: 2023-05-09
Also published as: WO2022039254A1; TW202212460A; JPWO2022039254A1; KR20230049743A; JP7333925B2

Abstract

本发明提供一种光掩膜容器，其能够牢固地保持光掩膜基板，抑制光掩膜基板收纳部的结露，清洁度优异，光掩膜基板表面不易附着污物(微粒)，且重量较轻，机械强度优异。该光掩膜容器的光掩膜基板收纳部由容器主体与盖体形成，该光掩膜容器用于将光掩膜基板在收纳于光掩膜基板收纳部中的状态下进行保存、运输，该光掩膜容器的特征在于，容器主体为由熔体流动速率(MFR)为0.6(g/10分钟)以下的高密度聚乙烯树脂形成的、由大致平板状的基部与自基部的端部沿大致直角的方向设置的侧壁部构成的箱状体，且所述容器主体为由内壁与外壁构成的双层中空结构体。

Description

光掩膜容器

技术领域

本发明涉及用于保存、运输光掩膜基板的光掩膜容器。

背景技术

近年来，在制造液晶显示器面板等显示装置时，会在具有洁净室的工场中制成光掩膜基板，并将制成的光掩膜基板运输至下一工序的工场中，进而制造液晶显示器面板等显示装置。

液晶显示器面板等显示装置为精密设备，在运输光掩膜基板时，若因表面附着有污物(微粒)或电气损坏等原因而使得基板电路或基板自身存在破损，则有时会变得无法制造显示装置。

此外，由于为了液晶显示器面板等显示装置的大画面化、或为了提升产率、节省人工而一次性烧结多个显示装置，要求光掩模基板的巨大化(大面积化)，需要其为750×750mm以上的大小。此外，由于全球化的影响，从光掩膜基板的制造到液晶显示器面板等显示装置等最终产品的制造，不会仅在一间工场内进行，而会在国内外的较遥远的地方进行，因此光掩膜基板会被收纳于光掩膜容器中，并通过卡车、船舶、飞机等而运输。

因此，希望上述光掩膜容器能够牢固地保持光掩膜基板，能够在表面不附着污物(微粒)、且不产生破损的状态下进行运输，且希望其重量较轻，且机械强度优异。此外，在利用飞机进行空运时，由于会在减压下或低温下进行运输，希望不对光掩膜基板或光掩膜容器附加不必要的应力、以及能够抑制在光掩膜容器的光掩膜基板收纳部发生结露、且清洁度优异等。

因此，提出了各种适合运输的光掩膜容器。例如提出了以下的方案等：“一种掩膜盒，其用于在收纳有光掩膜基板的状态下进行搬运，其特征在于，具备：保持所述光掩膜基板的保持手段、设有该保持手段的基部、及以可自由装卸的方式安装在该基部上的覆盖所述光掩膜基板的盖部。”(例如，参照专利文献1)；“一种大型精密片状(半)成品用密封容器，其由具有彼此相接的密封用周缘部的大致对称结构的主体部与盖体部构成，其用于在内部收纳大型的精密片状成品或半成品(以下，统称为“精密片状(半)成品”)，其特征在于，所述主体部与盖体部由多个抗静电树脂板构成，所述多个抗静电树脂板各自彼此沿平面延伸并通过中间连接部而彼此接合，具有金属制加强带状体自外侧沿着接合部与树脂板气密性栓接的结构，在主体部的底部具有能够在彼此直交的X、Y及Z方向(即精密片状(半)成品的长、宽及厚度方向)上将精密片状(半)成品固定、支撑的固定支撑结构，所述固定支撑结构具有：用于在该固定支撑结构上载置精密片状(半)成品的支撑部、和对载置于该支撑部上的精密片状(半)成品的端边部施加至少厚度方向上的挤压力的固定支撑工具的组中的至少一组，固定支撑工具具有：固定于主体部底部的支腿部；以及在该支腿部对载置于支撑部上的精密片状(半)成品的端边部施加至少厚度方向上的挤压力而对精密片状(半)成品进行固定支撑的倒立位置、与能够将精密片状(半)成品载置于支撑部上的翻转打开位置之间，以能够旋转的方式进行枢转的可动部。”(例如，参照专利文献2)等。

然而，由于上述光掩膜容器的部件件数较多，会耗费用于制造各个部件的工时，因此具有以下缺点：在提高生产效率方面存在极限、维持品质稳定性需耗费大量时间、重量较大而不易搬运。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-32915号公报

专利文献2：日本专利第4476727号公报

发明内容

本发明要解决的技术问题

鉴于上述问题点，本发明的目的在于提供一种光掩膜容器，其重量较轻且机械强度优异，能够牢固地保持光掩膜基板，抑制光掩膜基板收纳部产生结露，清洁度优异，能够使光掩膜基板表面不易附着污物(微粒)，且安全、容易运输，并且容易制造，生产效率、品质稳定性高，价格低廉。

解决技术问题的技术手段

即，本发明涉及以下内容：

(1)一种光掩膜容器，该光掩膜容器的光掩膜基板收纳部由容器主体与盖体形成，该光掩膜容器用于将光掩膜基板在收纳于光掩膜基板收纳部中的状态下进行保存、运输，该光掩膜容器的特征在于，所述容器主体为由熔体流动速率(MFR)为0.6(g/10分钟)以下的高密度聚乙烯树脂形成的、由大致平板状的基部与自基部的端部沿大致直角的方向设置的侧壁部构成的箱状体，且所述容器主体为由内壁与外壁构成的双层中空结构体。

(2)根据所述(1)所述的光掩膜容器，其特征在于，容器主体通过吹塑成型法而一体化成型。

(3)根据所述(1)或(2)所述的光掩膜容器，其特征在于，在基部上形成有保持固定光掩膜基板的光掩膜基板保持部。

(4)根据所述(1)～(3)中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，侧壁部具有中空部，侧壁部的厚度大于基部的厚度。

(5)根据所述(1)～(4)中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，使基部的内壁和/或侧壁部的内壁向光掩膜基板收纳部侧(上方或内部)发生变形，一体化形成有具有中空部的光掩膜基板保持部。

(6)根据所述(1)～(5)中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，盖体为由熔体流动速率(MFR)为0.6(g/10分钟)以下的高密度聚乙烯树脂形成的、由大致平板状的基部与自基部的端部沿大致直角的方向设置的侧壁部构成的箱状体，且所述盖体为由内壁与外壁构成的双层中空结构体。

(7)根据所述(1)～(6)中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，容器主体及盖体中的至少一者的侧壁部的上端部沿侧向延伸设置，从而形成有把手部。

(8)根据所述(1)～(7)中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，在容器主体及盖体中的至少一者上穿设有贯穿孔，同时在该贯穿孔上设置有过滤器，从而形成有抽气部。

(9)根据(1)～(8)中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，在基部上形成有多条肋条(rib)。

(10)根据所述(1)～(9)中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，表面固有电阻值为10⁸Ω以上且小于10¹⁰Ω。

(11)根据所述(1)～(10)中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，在为基部的内壁的光掩膜基板收纳部侧上层叠有抗静电片或抗静电成型体。

发明效果

本发明的光掩膜容器的构成如上所述，光掩膜容器容易制造且价格低廉，重量较轻且机械强度优异，能够牢固地保持光掩膜基板，能够在表面不附着污物(微粒)或不发生变形的状态下进行保存、运输。因此，即使在减压下或低温下进行保存、运输，也不会对光掩膜基板或光掩膜容器附加不必要的应力，可抑制光掩膜容器的光掩膜基板收纳部的结露，清洁度优异，故而能够适合利用飞机进行空运。

附图说明

图1为示出本发明的光掩膜容器的一个实例的示意剖面图。

图2为示出本发明的光掩膜容器的容器主体的一个实例的平面图。

图3为图2的A-A剖面图。

图4为图2的B-B剖面图。

图5为示出本发明的光掩膜容器的容器主体的不同实例的例子的平面图。

图6为图5的C-C剖面图。

具体实施方式

本发明的光掩膜容器中，由容器主体与盖体形成光掩膜基板收纳部，该光掩膜容器用于将光掩膜基板在收纳于光掩膜基板收纳部的状态下进行保存、运输，该光掩膜容器的特征在于，容器主体为由熔体流动速率(MFR)为0.6(g/10分钟)以下的高密度聚乙烯树脂形成的、由大致平板状的基部与自基部的端部沿大致直角的方向设置的侧壁部构成的箱状体，且所述容器主体为由内壁与外壁构成的双层中空结构体。

上述容器主体优选通过吹塑成型法而一体化成型，且机械强度较大以使其在运输时或保存时不易受到变形或破坏，因此上述容器主体由高密度聚乙烯树脂形成。高密度聚乙烯树脂为通过中低压法聚合而成的密度为0.945～0.965g/cm³的聚乙烯树脂，也可以共聚有微量的丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、1-辛烯等α-烯烃。

上述高密度聚乙烯树脂的熔体流动速率(MFR)小，则膜成型性优异，特别是适合吹塑成型，且机械强度方面也优异，因此，熔体流动速率(MFR)为0.6(g/10分钟)以下，优选为0.2(g/10分钟)以下，更优选为0.01～0.1(g/10分钟)。另外，MFR为表示JIS K 7210中规定的热塑性树脂的熔融粘度的指标。

此外，当上述高密度聚乙烯树脂的重均分子量小于10万时，机械强度或抗蠕变性等降低，反之，若大于50万，则熔融粘度增高，热熔融成型性降低，不易得到均匀的容器主体，因此优选为10万～50万。另外，在本发明中，重均分子量为通过凝胶渗透色谱法(GPC)测定得到的值。

在上述高密度聚乙烯树脂中，可以在不降低机械强度等物性的范围内少量地添加中密度聚乙烯树脂、低密度聚乙烯树脂、线性低密度聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、乙烯-丙烯共聚物、乙烯-1-丁烯共聚物、乙烯-1-戊烯共聚物、乙烯-1-己烯共聚物、乙烯-1-辛烯共聚物、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸酯共聚物、乙烯-氯乙烯共聚物、乙烯-丙烯-丁烯共聚物等烯烃类树脂。

此外，可以根据需要在上述高密度聚乙烯树脂中添加热稳定剂、耐热改良剂、光稳定剂、紫外线吸收剂、抗氧化剂、抗静电剂、冲击改良剂、防雾剂、阻燃剂、着色剂等。

由于上述容器主体由高密度聚乙烯树脂形成，因此容易带电，容易吸附污物(微粒)。因此，由于光掩膜基板的表面容易附着污物(微粒)而容易发生污染，优选添加有抗静电剂，其表面固有电阻值优选为10⁸Ω以上且小于10¹⁰Ω。

作为抗静电剂，例如，可列举出甘油脂肪酸酯类表面活性剂、有机硼类抗静电剂等现有的塑料加工中所使用的抗静电剂、炭黑等。

作为上述抗静电剂，优选有机硼类抗静电剂，作为有机硼类抗静电剂，例如可列举出通式(1)所表示的供体-受体类分子化合物型抗静电剂。

[化学式1]

式(1)中，R¹、R²各自独立地为碳原子数为12～22的酰基或H，且R¹、R²中的至少一者为碳原子数为12～22的酰基，R³、R⁴、R⁵各自独立地为CH₃、C₂H₅、CH₂OH、C₂H₄OH、CH₂CH(CH₃)OH、碳原子数为12～22的烷基或烯基、碳原子数合计为13～25的酰氧基烷基、或碳原子数合计为14～25的酰氨基烷基，且R³、R⁴、R⁵中的至少一个为碳原子数为12～22的烷基或烯基、碳原子数合计为13～25的酰氧基烷基、或碳原子数合计为14～25的酰氨基烷基。

作为通式(1)所表示的抗静电剂的具体实例，例如由下述化学式(2)～(12)表示。

[化学式2]

[化学式3]

[化学式4]

[化学式5]

[化学式6]

[化学式7]

[化学式8]

[化学式9]

[化学式10]

[化学式11]

[化学式12]

上述通式(1)所表示的供体-受体类分子化合物型抗静电剂可以吸附在无机填充剂粉末的表面上而制成粉末状抗静电剂。作为无机填充剂粉末，只要为现有的塑料成型体中所使用的无机填充剂粉末，则没有特别限定，例如可列举出碳酸钙、碳酸镁、氧化铝、氧化镁、氧化钛、氢氧化镁、滑石、云母、黏土等。

此外，制备表面吸附有上述抗静电剂的无机填充剂粉末的方法没有特别限定，例如可列举出以下方法：向溶解有抗静电剂的有机溶剂中供给无机填充剂粉末，进行搅拌混合，并使抗静电剂吸附于无机填充剂粉末的表面之后，使有机溶剂蒸发。

作为上述有机溶剂，只要为能够溶解上述抗静电剂的有机溶剂，则没有特别限定，例如可列举出甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇等低级醇类、丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁酮等酮类、乙酸乙酯、乙酸异丙酯等酯类、四氢呋喃等。

相对于100重量份的高密度聚乙烯树脂，上述通式(1)所表示的供体-受体类分子化合物型抗静电剂的添加量通常优选为0.01～1.0重量份。

接着，参照附图对本发明的光掩膜容器进行说明。图1为示出本发明的光掩膜容器的一个实例的概略剖面图。图中，1为容器主体，2为盖体。容器主体1与盖体2一同为箱状体，通过在容器主体1上覆盖盖体2，形成了光掩膜基板收纳部3。4、4为光掩膜基板支撑固定部，形成于容器主体1与盖体2的光掩膜基板收纳部3侧，且以在将盖体2覆盖于容器主体1上时，容器主体1的光掩膜基板支撑固定部4与盖体2的光掩膜基板支撑固定部4相向的方式而形成。另外，5为把手部。

在将光掩膜基板6收纳、固定于上述光掩膜容器中时，例如，将取下了盖体2的容器主体1水平放置，将光掩膜基板6载置于容器主体1的光掩膜基板支撑固定部4上。接着，以形成光掩膜基板收纳部3的方式载置盖体2，同时通过容器主体1的光掩膜基板支撑固定部4与盖体2的光掩膜基板支撑固定部4夹持、固定光掩膜基板6。最后，利用合成树脂制带状体、金属制带状体等带状体进行捆扎固定，或者利用搭扣(draw latch)、棘轮扣锁(ratchetbuckle)等固定夹具等进行固定。

在对收纳有上述光掩膜基板6的光掩膜容器1进行运输时，可以直接以水平放置的状态进行运输，也可以在光掩膜容器1上安装滚轮，并以使滚轮为下侧的方式立起，从而以光掩膜基板6立起的状态进行运输。

图2为示出本发明的光掩膜容器的容器主体1的一个实例的平面图，图3为图2的A-A剖面图，图4为图2的B-B剖面图。图中，1为容器主体，该容器主体为由大致平板状的基部11、与自基部11的端部沿大致直角的方向设置的侧壁部12构成的箱状体。基部11为由内壁111与外壁112构成的、通过在该内壁111与外壁112之间局部地形成中空部113而设置有肋条13的双层中空结构体。另外，基部11也可以为内壁111与外壁112紧密贴合的双层结构体。

此外，侧壁部12为由内壁111与外壁112构成的、在该内壁111与外壁112之间形成有中空部113的双层中空结构体，其厚度为了轻量化及加固而大于基部的厚度。

此外，5、5为用于插入手指以移动光掩膜容器的把手部，在侧壁部12的上端部上形成有多个该把手部。把手部5通过在侧缘部设置贯穿孔而形成，该侧缘部通过侧壁部12的上端部沿侧向延伸设置而成。

图中，4、4为用于载置、支撑固定光掩膜基板的、由烯烃类树脂、ABS树脂等制造的实心柱状体构成的光掩膜基板支撑固定部，其通过螺栓41固定在基部11的光掩膜基板收纳部3侧。

另外，42介于螺栓41与基部11之间，其为用于将两者紧密固定的密封填料(packing)，而43为嵌入螺母(insert nut)，其固定于光掩膜基板支撑固定部4的下方内部，并通过将螺栓41螺纹连接，用于固定基部11与光掩膜基板收纳部3。对于上述光掩膜基板支撑固定部4，可以同时使用现有公知的任意的支撑用保持手段、定位用保持手段(例如，参照专利文献1、2)等。

图中，7为抽气部，其连通光掩膜基板收纳部3内部与外部，且内外的气体能够移动，抽气部能够用于保持内外的温度、湿度、压力等相同。抽气部7以在基部11的内壁111与外壁112处形成段差部72的方式穿设有贯穿孔71，并在段差部72上层叠有过滤器73以堵塞贯穿孔71，过滤器73通过环状的固定工具74固定形成在基部11上。

通过形成上述抽气部7，光掩膜基板收纳部3内部与外部的内外气体连通，光掩膜基板收纳部3内部与外部的气压、湿度及温度变得无差别，可抑制在利用飞机进行运输时造成的气压差所导致的光掩膜容器的变形、破坏，可抑制因温度差导致在光掩膜基板收纳部3内产生结露。

图中，8为窥视窗部，其用于察看光掩膜基板收纳部3内部，观察所收纳的光掩膜基板6。窥视窗部8通过在基部11上穿设贯穿孔，并嵌入聚碳酸酯树脂、ABS树脂等透明树脂板、玻璃等而形成。

图中，9为O型圈，其用于在容器主体1上覆盖盖体2而形成光掩膜基板收纳部3时，牢固地密封光掩膜基板收纳部3，O型圈9嵌入在形成于容器主体1的侧壁部12的上表面的凹槽中。O型圈9优选由硅类橡胶、氟橡胶、氨基甲酸酯类橡胶、降冰片烯类橡胶等弹性树脂构成。

图中，13、13为用于加固容器主体1而设置在基部11上的肋条。肋条13通过在内壁111与外壁112之间设置中空部113而形成。另外，肋条13还可以通过弯曲内壁111或/和外壁112来形成中空部113、或不形成中空部113而形成。此外，优选设置多条肋条13，也可以设置在侧壁部12上。

图中，14、14为用于设置固定夹具(例如，搭扣、棘轮扣锁等)的设置在侧壁部12的上端部附近的缺口部，该固定夹具用于对通过在容器主体1上覆盖盖体2并形成光掩膜基板收纳部而成的光掩膜容器进行密封固定。此外，在对光掩膜容器进行密封固定时，可以使用合成树脂或金属制的绳状体、带状体进行捆扎。

图5为示出本发明的光掩膜容器的容器主体的不同实例的平面图，图6为图5的C-C剖面图。1为容器主体，容器主体1为通过吹塑成型而一体化成型的由大致平板状的基部11、与自基部11的端部沿大致直角的方向设置的侧壁部12构成的箱状体，且基部11及侧壁部12为由内壁111与外壁112构成的局部中空的双层中空结构体。

图中，12为自基部11的端部沿大致直角方向设置的侧壁部，侧壁部12为通过内壁111与外壁112在内部形成有中空部113的中空双层结构体。由于侧壁部12为中空双层结构体，其厚度大于基部11的厚度，侧壁部12的上表面上形成有凹槽，凹槽中嵌有O型圈9。

图中，4、4为用于载置并支撑固定光掩膜基板的光掩膜基板支撑固定部。光掩膜基板支撑固定部4通过以下方式而成型：使基部11的内壁111和/或侧壁部12的内壁111向光掩膜基板收纳部侧(上方或内部)发生变形，在基部11及侧壁部12的内壁111与外壁112之间形成中空部113，并与基部11及侧壁部12一体化成型。

光掩膜基板支撑固定部4通过中空部113形成内侧较低的段差部。段差部内侧较低，较低的段差部的上表面为光掩膜基板载置部44，段差部的外侧较高的侧面为横向定位部45。即，进行保存、运输的光掩膜基板在其端部被载置于光掩膜基板载置部44、44上的同时，还被横向定位部45、45定位而被牢固地固定。

上述容器主体1优选通过吹塑成型法成型。吹塑成型法是指：将热塑性树脂以熔融状态进行挤压成型而成型为筒状的型坯，接着将得到的型坯供给至成型金属模具，对型坯内注入气体，同时对成型金属模具进行合模，从而制造成型体的方法。

通过利用吹塑成型法进行成型，能够将大型的容器主体1以一体化且容易地成型，所得到的容器主体1为内壁与外壁的双层结构，局部具有中空部，且无接缝地一体化成型，重量较轻且机械强度优异。

只要能够发挥作为容器主体1的盖的功能，则盖体2没有特别限定，若盖体2与容器主体1为相同形状，则如图1所示，能够容易地在光掩膜基板收纳部3内收纳、保持光掩膜基板6，因而优选。即，优选盖体为由熔体流动速率(MFR)为0.6(g/10分钟)以下的高密度聚乙烯树脂形成的、由大致平板状的基部与自基部的端部垂直设置的侧壁部构成的箱状体，且该盖体为由内壁与外壁构成的双层结构体。

此外，为了使光掩膜基板收纳部内部不带电，可以在基部的内壁(光掩膜基板收纳部侧)层叠抗静电片、抗静电成型体等，也可以涂布、层叠抗静电涂料。

工业实用性

本发明的光掩膜容器重量较轻且机械强度优异，能够牢固地保持光掩膜基板，能够在表面不附着污物(微粒)、不变形的状态下进行运输。即使在减压或低温下进行运输，也不会对光掩膜基板或光掩膜容器附加不必要的应力，可抑制光掩膜容器的光掩膜基板收纳部的结露，清洁度优异，因此能够适合利用飞机进行空运，能够适合用作保存、运输光掩膜的光掩膜容器。

附图标记说明

1：容器主体；11：基部；111：内壁；112：外壁；113：中空部113；12：侧壁部；13：肋条；14：缺口凹部；2：盖体；3：光掩膜基板收纳部；4：光掩膜基板支撑固定部；41：螺栓；42：密封填料；43：嵌入螺母；44：光掩膜基板载置部；45：横向定位部；5：把手部；6：光掩膜基板；7：抽气部；71：贯穿孔；72：段差部；73：过滤器；74：固定工具；8：窥视窗部；9：O型圈。

Claims

1.一种光掩膜容器，所述光掩膜容器的光掩膜基板收纳部由容器主体与盖体形成，所述光掩膜容器用于将光掩膜基板在收纳于光掩膜基板收纳部中的状态下进行保存、运输，所述光掩膜容器的特征在于，所述容器主体为由熔体流动速率(MFR)为0.6(g/10分钟)以下的高密度聚乙烯树脂形成的、由大致平板状的基部与自基部的端部沿大致直角的方向设置的侧壁部构成的箱状体，且所述容器主体为由内壁与外壁构成的双层中空结构体。

2.根据权利要求1所述的光掩膜容器，其特征在于，容器主体通过吹塑成型法而一体化成型。

3.根据权利要求1或2所述的光掩膜容器，其特征在于，在基部上形成有保持固定光掩膜基板的光掩膜基板保持部。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，侧壁部具有中空部，侧壁部的厚度大于基部的厚度。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，使基部的内壁和/或侧壁部的内壁向光掩膜基板收纳部侧(上方或内部)发生变形，一体化形成有具有中空部的光掩膜基板保持部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，盖体为由熔体流动速率(MFR)为0.6(g/10分钟)以下的高密度聚乙烯树脂形成的、由大致平板状的基部与自基部的端部沿大致直角的方向设置的侧壁部构成的箱状体，且所述盖体为由内壁与外壁构成的双层中空结构体。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，容器主体及盖体中的至少一者的侧壁部的上端部沿侧向延伸设置，从而形成有把手部。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，在容器主体及盖体中的至少一者上穿设有贯穿孔，同时在该贯穿孔上设置有过滤器，从而形成有抽气部。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，在基部上形成有多条肋条。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，表面固有电阻值为10⁸Ω以上且小于10¹⁰Ω。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的光掩膜容器，其特征在于，在为基部的内壁的光掩膜基板收纳部侧上层叠有抗静电片或抗静电成型体。