CN105807560A

CN105807560A - 防尘薄膜组件收纳容器

Info

Publication number: CN105807560A
Application number: CN201610022706.7A
Authority: CN
Inventors: 関原敏; 関原一敏
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2015-01-19
Filing date: 2016-01-14
Publication date: 2016-07-27
Also published as: JP2016133585A; KR20160089276A; JP6320309B2; KR20230088663A; TWI574100B; KR102544490B1; TW201635010A

Abstract

提供一种在运送未使用分离片的防尘薄膜组件时掩模粘着层不发生损伤等的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器是包括收纳未使用保护掩模粘着层(22)的分离片的矩形防尘薄膜组件的防尘薄膜组件(20)收纳容器本体、嵌合于所述防尘薄膜组件收纳容器本体(20)中的密闭的盖体(17)的防尘薄膜组件收纳容器，其特点是，在上述防尘薄膜组件收纳容器本体(11)上设置外侧高起的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域(23)支承在阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)的低阶梯部上。

Description

防尘薄膜组件收纳容器

技术领域

本发明涉及在半导体装置、印刷基板、液晶面板或者有机EL面板等制造时作为防尘器使用的防尘薄膜组件的收纳容器。

背景技术

在LSI、超LSI等的半导体制造或液晶面板等的制造中，要对半导体晶片或者液晶用原板进行光照射以进行图案制作，但是，此时使用的光掩模或者中间掩模(以下统称“光掩模”)上如有灰尘附着，该灰尘会对光进行吸收，或是光弯曲，由此转印的图案就会形变，尖端部就会模糊，甚至基底会发生脏黑等，从而尺寸、品质、外观等受损。

因此，这些作业通常在无尘室中进行，但即使如此，也难以总是保持光掩模的清洁，因此，要在将作为防尘器的防尘薄膜组件贴附在光掩模表面上之后进行曝光。在这种场合下，异物未直接附着在光掩模表面上而是附着在防尘薄膜组件上，光刻时只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印没有关系了。

一般如此形成防尘薄膜组件，将由透光良好的硝酸纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等构成的透明防尘膜贴附或粘附在由铝、钢铁、不锈钢、工程塑料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面上。然后，在防尘薄膜组件框架的下端设置为了在光掩模上进行安装由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯基树脂、丙烯酸树脂、有机硅树脂等构成的粘着层以及以对粘着层有保护为目的离型层(分离片)。

该分离片通常由PET树脂等的100～200μm程度的薄膜上涂布离型剂并根据所希望的形状切断加工而成的。因此，该分离片因厚度既薄且又几乎与框架的外形相同的框状的形状而会变成纽状，因此，难以对其进行清洗作业，在贴附至掩模粘着层上等作业也极为不便。

该分离片的机能仅为保护粘着剂，在防尘薄膜组件使用时会将其剥离废弃，因此，为了解决分离片中的上述问题，本发明的发明人过去就提出一种不用分离片的防尘薄膜组件和收纳该防尘薄膜组件的容器(参考专利文献1和2)。

现有的专利文献1和2中记载的防尘薄膜组件收纳容器，在防尘薄膜组件框架的外侧具有没有涂布掩模粘着层的区域，在利用设置在防尘薄膜组件收纳容器本体上的防尘薄膜组件框架支承装置支承掩模粘着层的未涂布区域的同时，将针插入设于防尘薄膜组件框架侧面上的非贯通孔中，将防尘薄膜组件固定收纳。因此，在这些防尘薄膜组件收纳容器中，由于没有分离片，所以就没有在分离片剥离时与膜接触的问题，另外，还具有容易用自动机将防尘薄膜组件取出的优点。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2009-128635

专利文献2：特开2011-34020

但是，本发明的发明人通过研究得知，所述防尘薄膜组件收纳容器在运送等中会发生若干问题。例如，在专利文献1中记载的防尘薄膜组件收纳容器中，虽然被收纳的防尘薄膜组件在其垂直方向被防尘薄膜组件框架支承装置支承的同时，其水平方向被用针控制而固定，但防尘薄膜组件收纳容器在运送中因冲击等会发生防尘薄膜组件框架在防尘薄膜组件框架支承装置上水平振动或移动，故会发生涂布在防尘薄膜组件框架上的掩模粘着层与防尘薄膜组件框架支承装置接触，出现损伤的问题。

因此，本发明就是鉴于上述问题而完成的，本发明的目的是提供一种在运送中不会发生掩模粘着层的损伤等的、收纳未使用分离片的防尘薄膜组件的改进的防尘薄膜组件收纳容器。

发明内容

本发明的防尘薄膜组件收纳容器包括收纳没有掩模粘着层保护分离片的矩形防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该防尘薄膜组件收纳容器本体上嵌合的密闭的盖体，其特点是，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置有外侧高的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域支承在该阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置的低阶梯部上。

另外，优选本发明的防尘薄膜组件收纳容器的防尘薄膜组件框架支承装置仅在从被收纳的防尘薄膜组件的角部到各边的全长的30％的位置的范围内配置。

进一步优选的是，该防尘薄膜组件框架支承装置优选以离收纳的防尘薄膜组件的边中央部越近就越靠近防尘薄膜组件内侧的方式配置，再进一步优选的是，该防尘薄膜组件框架支承装置的表面对收纳的防尘薄膜组件的掩模粘着层具有离型性。

根据本发明，防尘薄膜组件框架支承装置为呈阶梯状在防尘薄膜组件框架的水平方向上固定。因此，即使因防尘薄膜组件运送中的冲击等而使防尘薄膜组件框架位移，但由于防尘薄膜组件框架支承装置和掩模粘着层之间的间隙保持一定距离，故可防止运送中的掩模粘着剂损伤。

附图说明

图1为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的平面图。

图2为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的A-A剖视图。

图3为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的B-B剖视图。

图4为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的C部放大图。

图5为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的透视图。

图6为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的透视图。

图7为比较例的防尘薄膜组件收纳容器的平面图。

图8为比较例的防尘薄膜组件收纳容器的F-F剖视图。

具体实施方式

以下对本发明用实施方式来进行说明，但是本发明并不限定于此。另外，本发明在边长超过500mm的大型的防尘薄膜组件中适用时特别有效果，但是其使用与防尘薄膜组件的大小无关，并不为用途所限。

图1至图6为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的示意图，在图1至图4中，防尘薄膜组件收纳容器本体11和其周缘部中嵌合止动的盖体17的图示被省略。

防尘薄膜组件收纳容器本体11上设置有防尘薄膜组件框架支承装置12、针14、针支承装置15。另外，如图4所示，防尘薄膜组件框架21的下端面内侧设置有掩模粘着层22，在外周部设置有掩模粘着层未涂布区域23，在下端面的相对侧，通过防尘膜接着层24防尘膜25被绷紧设置。

在本发明的防尘薄膜组件收纳容器10中，在防尘薄膜组件框架21的掩模粘着层22所设置的端面的外周上，在设置掩模粘着层未涂布区域23的同时，设置有支承防尘薄膜组件框架21的掩模粘着层未涂布区域23的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置12即可，对其之外的规格没有制限。

防尘薄膜组件框架支承装置12为阶梯状结构，在其低阶梯部上载置和支承防尘薄膜组件框架21在掩模粘着层未涂布区域。优选例如如图5所示，在低阶梯部处设有台阶12a，防尘薄膜组件框架21的掩模粘着层未涂布区域23支承在台阶12a上。另外，该阶梯状形状由于具有高度为防尘薄膜组件框架高度的50％以上的垂直面12b，所以，由垂直面12b对在防尘薄膜组件框架21的水平方向的移动进行限制。

防尘薄膜组件框架支承装置12为外侧高的阶梯部，优选其上部为以5°～45°的角度向外侧张开的锥面12c形状，其顶部的高度最好比防尘膜25的面低，以便易于用自动机或取出夹具将防尘薄膜组件20取出。

另外，防尘薄膜组件框架支承装置12，优选在防尘薄膜组件20的各边设置的同时，仅从收纳防尘薄膜组件20的角部到各边的全长的30％的范围(如图1所示的D或E)配置。其原因是，防尘薄膜组件框架21由于会发生由膜张力造成的向内侧的挠曲，该挠曲的程度越在边的中央部越大，所以如果超过从防尘薄膜组件框架21的角部的30％的范围(D或E)，在防尘薄膜组件框架21的边中央部附近设置防尘薄膜组件框架支承装置1，防尘薄膜组件框架支承装置12的台阶12a上的掩模粘着层未涂布区域23就不能适当地被载置，从而发生脱落，以致有掩模粘着层22就与防尘薄膜组件收纳容器本体11接触的危险。

进一步，防尘薄膜组件框架支承装置12，优选即使将其在从防尘薄膜组件框架21的角部的30％的范围(D或E)设置，也应越靠防尘薄膜组件的边中央部越近越要靠近防尘薄膜组件的内侧来配置。其原因为，要对运送中发生的由冲击等产生的防尘薄膜组件框架21沿水平方向移动进行更严格的控制，确实地对与掩模粘着层22的接触进行防止的缘故。

防尘薄膜组件框架支承装置12的垂直面12b和防尘薄膜组件框架21的外侧面之间的间隙虽然由于掩模粘着层未涂布区域23的大小不同而异，但是以0.2～2mm的范围为优选。如不到0.2mm，则插入以及取出困难，如超过2mm，则控制过缓，难以达到目的。

另外，防尘薄膜组件框架支承装置12的表面，优选对收纳的防尘薄膜组件20的掩模粘着层22具有离型性。这是由于万一因某种原因接触掩模粘着层22的场合，也可以避免严重的损伤。该离型性的赋予，可以在表面上涂布具有离型性的材料，也可使用该材料来制作防尘薄膜组件框架的支承装置12。该材料可以根据掩模粘着层22的材料来选择，例如对于橡胶系粘着剂、丙烯酸系粘着剂的掩模粘着层22，可以使用PTFE等氟系树脂或者有机硅树脂。

防尘薄膜组件框架支承装置12的表面上的离型剂的涂布可以用喷雾、浸渍、毛刷涂布等的公知的方法进行。在使用一般的有机硅系离型剂的场合，如果膜厚太厚，则易剥离，故涂布的膜厚以10μm以下为优选。

防尘薄膜组件框架支承装置12的大小为，沿着防尘薄膜组件框架21的长度，10～50mm程度为好，可以用粘附等公知方法安装在防尘薄膜组件收纳容器本体11上。优选如图4所示，以用螺栓16从防尘薄膜组件收纳容器本体11的外侧进行结合固定。另外，更优选地，如将在内部进行了螺纹加工的板状螺帽13插入，可以大幅度提高固定强度。

图5为防尘薄膜组件框架支承装置12的另一个实施方式。台阶12a未设置在整个防尘薄膜组件框架支承装置12上，仅设置在部分区域上，其长度w1为3～8mm程度为优选。在该实施方式中，对防尘薄膜组件框架21进行载置的台阶12a的区域小，故柔软性高，提高了缓冲性。

另外，根据需要，在台阶12a中，可以用刀等手工作业对内侧进行加工，对台阶的宽w2进行调整。台阶的宽w2，需要根据收纳的防尘薄膜组件20的掩模粘着层未涂布区域23的宽来进行设定，如果防尘薄膜组件框架支承装置12的方式为图5所示的方式，可以用一个成形模型，与各种各样尺寸的防尘薄膜组件20对应，实用性高。

防尘薄膜组件20，在被薄膜组件框架支承装置12的台阶12a从下面支承的同时，垂面12b也对水平方向的移动进行控制，但是为了防止防尘薄膜组件收纳容器10由于运送中的振动而使防尘薄膜组件20从防尘薄膜组件框架支承装置12飞出，有必要将其在防尘薄膜组件收纳容器本体11上固定。

在图1至4中所示的实施方式中，与专利文献1中记载的防尘薄膜组件收纳容器一样，通过在防尘薄膜组件框架21的侧面设置的非贯通的孔(未示出)中插入针14和将其加以保持的针保持装置15，将防尘薄膜组件20加以固定。另外，防尘薄膜组件20的固定装置，使用其它的公知方法也可，并不限于针14和对其进行保持的针保持装置15。

防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体17，优选用厚度2～8mm程度的丙烯酸、ABS、PVC、PC等的树脂板进行真空成型或者压空成形来进行制作，在其一边为200mm以下的小型场合下也可进行注塑制作。另外，防尘薄膜组件收纳容器本体11，为易于提高附着异物的可识别性，以黑色为优选，盖体17为，为了提高收纳的防尘薄膜组件20的识别容易性，以透明或者有色半透明为优选。

进一步，优选防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体17，都赋予树脂本身具有带电防止性能，或者在其表面进行带电防止涂装以防止异物的附着，从安全性的观点，赋予难燃性进一步优选。

以下对本发明的实施例进行详细说明。

在实施例中，首先，将图1至6所示的防尘薄膜组件收纳容器10加以制作。防尘薄膜组件收纳容器本体11为，用厚度5mm的带电防止黑色ABS板材料，图6所示的盖体17用厚度5mm的带电防止透明ABS板材料进行真空成型制作，其大小为，外寸1100x1280x120mm。

防尘薄膜组件框架支承装置12为，在材质使用苯乙烯系弹性体(KURARAY塑料公司制，商品名SEPTON)的同时，如图4所示，向内部插入SUS304制作的板状螺帽13，注塑成型制作。将该防尘薄膜组件框架支承装置12从防尘薄膜组件收纳容器本体11的里面用2个螺栓16安装。

防尘薄膜组件框架支承装置12的安装位置为，如图1所示，在防尘薄膜组件框架21的长边配置四处a、b、c和d，从防尘薄膜组件框架角到长边长的30％的区域D的范围内安装。另一方面，短边上配置两处的e、f为，从防尘薄膜组件框架角到短边长的30％的区域的E的范围内安装。另外，长边中配置的4处的防尘薄膜组件框架支承装置12中，b以及c的两处对另外两处a以及d，在0.7mm内侧安装。

然后，防尘薄膜组件收纳容器本体11上，ABS树脂注塑成型制作的针保持装置15为接着固定。然后，该接着固定之前，对针保持装置15中插入的针14的位置进行调整，使其与防尘薄膜组件框架外侧面上设置的非贯通的孔(未示出)嵌合。

另一方面，为了在所述防尘薄膜组件收纳容器10的评价中使用，准备好防尘薄膜组件20。制作防尘薄膜组件20，防尘薄膜组件框架21的长边外尺寸为1120mm，短边外尺寸为900mm，框架宽为12mm，框架高度为5.8mm。然后，防尘薄膜组件20的防尘薄膜组件框架21中，由于对其12mm的长，进行1.3mm高、4mm宽的掩模粘着层22的涂布，故如图4所示在宽8mm范围内不进行掩模粘着层22的涂布，形成掩模粘着层未涂布区域23。

图4所示的防尘薄膜组件框架21的材料为，A6061铝合金，其表面进行Ra0.6程度的喷砂处理，施以黑色氧化膜处理，制作防尘薄膜组件框架21。另外，掩模粘着层22的材料质为有机硅粘着剂(信越化学工业(株)制，商品名KR-3700)，防尘膜接着层24的材质为有机硅粘着剂(信越化学工业(株)制，商品名KR-3700)。另外，作为防尘膜25，材质为由氟系树脂(旭硝子(株)制，商品名CYTOP)构成的厚度4μm的物质。

该防尘薄膜组件20被载置在防尘薄膜组件收纳容器本体11上的框架支承装置12上的同时，将针保持装置15支承的针14插入防尘薄膜组件框架21的外侧面的孔(未示出)而固定后，所述防尘薄膜组件20盖上盖体17而密闭，周缘部用粘着胶带密封，制得防尘薄膜组件收纳容器10。

最后，对该防尘薄膜组件收纳容器10进行评价，将收纳防尘薄膜组件20的防尘薄膜组件收纳容器10收纳于强化瓦楞纸发泡缓冲材料构成的捆包箱中，进行往复约1000km的距离的卡车运送试验后，该防尘薄膜组件收纳容器10在无尘室内开捆，暗室中对防尘薄膜组件20的损伤和异物的附着状况进行检查。

检查结果是完全没有观察到防尘薄膜组件20上附着的异物的增加。另外，与防尘薄膜组件框架21的框架支承装置12接触的部分，也进行了同样的检查，没有看到异物附着以及划擦等，掩模粘着层22也没有发现接触的痕迹等。

在比较例中，制作图7以及图8所示的防尘薄膜组件收纳容器70。图7为其平面图，图8为图7的F-F剖视图。防尘薄膜组件框架支承部72的材质为苯乙烯系弹性体(kuraray塑料(株)制，商品名SEPTON)，防尘薄膜组件框架支承部72通过注塑成型制作。该防尘薄膜组件框架支承部72没有阶梯，顶面平坦。

另外，该防尘薄膜组件收纳容器70，其防尘薄膜组件框架支承部72的安装位置为均匀包括各长短边的中央部分的均匀配置，其它与上述实施例的防尘薄膜组件收纳容器10相同制作(包括尺寸也相同)。

然后，对防尘薄膜组件收纳容器70进行评价，防尘薄膜组件收纳容器70与实施例相同地将防尘薄膜组件20收纳，同样用卡车运送往复约1000km的距离，然后将防尘薄膜组件收纳容器70搬入无尘室中进行评价。

评价的结果，将防尘薄膜组件20从防尘薄膜组件收纳容器70取出时，观察到长边中央部附近的掩模粘着层22与防尘薄膜组件框架支承装置72有接触部分。缓慢地将接着部分剥掉，进行目视确认，得知掩模粘着层22发生接触损伤，成为无法使用的状态。

附图标记说明

10防尘薄膜组件收纳容器

11防尘薄膜组件收纳容器本体

12防尘薄膜组件框架支承装置

12a台阶

12b垂直面

12c锥面

13板状螺杆

14针

15针保持装置

16螺栓

17盖体

20防尘薄膜组件

21防尘薄膜组件框架

22掩模粘着层

23掩模粘着层未涂布领域

24防尘膜接着层

25防尘膜

70比较例的防尘薄膜组件收纳容器

71比较例的防尘薄膜组件收纳容器本体

72比较例的防尘薄膜组件框架支承装置

a，b，c，d，e，f防尘薄膜组件框架支承装置

w1防尘薄膜组件框架支承装置台阶长度

w2防尘薄膜组件框架支承装置台阶宽度

Claims

1.一种防尘薄膜组件收纳容器，包括收纳不使用保护掩模粘着层的分离片的矩形的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体、嵌合于所述防尘薄膜组件收纳容器本体中的密闭的盖体，其特征在于，在所述防尘薄膜组件收纳容器本体上设置在外侧呈高起的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域支承在所述阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置的低阶梯部上。

2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述防尘薄膜组件框架支承装置仅在从收纳的防尘薄膜组件的角部到各边的全长的30％的位置的范围内配置。

3.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述防尘薄膜组件框架支承装置以越靠近收纳防尘薄膜组件的边中央部就越靠近防尘薄膜组件的内侧的方式配置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述防尘薄膜组件框架支承装置的表面对于收纳的防尘薄膜组件的掩模粘着层具有离型性。