JP5175004B2 - マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 - Google Patents

Description

本発明は、電子デバイスの製造に使用されるフォトマスク等の製造に用いられるマスクブランクを収納する収納ケース及びその収納方法に関する。

近年の電子デバイス、特に半導体素子や液晶モニター用のカラーフィルター或いはＴＦＴ素子等は、ＩＴ技術の急速な発達に伴い、一層の微細化が要求されている。このような微細加工技術を支える技術の一つが、転写マスクと呼ばれるフォトマスクを用いたリソグラフィー技術である。このリソグラフィー技術においては、露光用光源の電磁波を転写マスクを通じてレジスト膜付きシリコンウエハー等に露光することにより、シリコンウエハー上に微細なパターンを形成している。この転写マスクは通常、透光性基板上に遮光性膜を形成したマスクブランクにリソグラフィー技術を用いて原版となるパターンを形成して製造される。ところで、マスクブランクの表面にパーティクル等の異物があると、形成されるパターンの欠陥の原因となるので、マスクブランクの表面には異物等が付着しないように清浄に保管される必要がある。

このようなマスクブランクを収納保管し運搬するためのケースとしては、従来では例えば下記特許文献１に開示されているようなマスク運搬用ケースが知られている。すなわち、従来のマスクブランクを収納保管するケースは、キャリアなどと呼ばれている内ケースにマスクブランクを数枚乃至数十枚並べて保持させ、このマスクブランクを保持した内ケースを外箱（ケース本体）内に収容し、さらに外箱上に蓋を被せて、マスクブランクを収納する構造となっていた。

図７乃至図９は、特許文献１に開示されたものと同様の構造の収納ケースを示すもので、図７は収納ケースの蓋を示す斜視図、図８はマスクブランクを中ケースに収納する状態を示す斜視図、図９は収納ケースのケース本体（外ケース）を示す斜視図である。
この収納ケースは、マスクブランク１を中ケース２に収納し、この中ケース２をケース本体３に収納し、このケース本体３の開口部側に蓋４を被せる構造である。

上記中ケース２は、開口部側（上方）から底面側（下方）に向けて複数の溝２１，２２を一方の互いに対向する内側面に所定間隔をおいて一対をなして形成し、その溝２１，２２の底面側の底部と中ケース底面にはそれぞれ開口窓２３，２４と開口部２７が設けられ、さらに中ケース底面側には基板支持部２６が形成され、この基板支持部２６でマスクブランク１の下方端面を支持している（図８）。そして、この中ケース２をケース本体３に収納して固定するための凹面部２８，２９がそれぞれ中ケースの他方の互いに対向する外側面に底面側から開口部側の途中まで形成されている。数枚のマスクブランク１を中ケース２の一対の溝２１，２２に沿って入れると、これらのマスクブランクは所定間隔をおいて互いに平行に林立する。

上記ケース本体３は、上述した中ケース２の凹面部２８，２９と当接するに適合した突出部３１，３２を、互いに対向する内側面に形成し、その突出部３１，３２の底部はケース本体３底面とも接合している（図９）。また、一方の対向する外側面の開口部側には凸部３３，３４が形成されている。そして、ケース本体３の開口縁３５のやや下方の位置に続く外周面３６と上記凸部３３，３４の凸面とは略同一面に形成されている。
また上記蓋４は、その一方の対向する下方縁４７（ケース本体へ差し込む開口部側の縁であって、図７では上方へ向いている）の中央から延びた係合片４１，４２に凹部４３，４４を形成している。これにより、蓋４をケース本体３に被せたときに、上記凹部４３，４４が前記ケース本体３の凸部３３，３４とそれぞれ嵌合することで、蓋４とケース本体３とが固定される構造となっている。また、中ケース２の開口部側上端面２５と当接して中ケース２を垂直方向において支持固定するストッパー４５，４６を一方の内側面に互いに対向させて形成している。

特公平１−３９６５３号公報

近年の電子デバイスの高性能化に伴って、転写マスクに形成されるパターンも一段と微細化が要求されており、このような微細パターンを形成するためにもマスクブランクの清浄度は極めて高いものでないと許容できなくなってきている。従って、マスクブランクに異物等が付着するのを出来るだけ抑制することにより、特にマスクブランクの保管中は出来るだけ高い清浄度に維持する必要がある。

従来構造の収納ケースは、上述したように、蓋４をケース本体３に被せると、前記蓋４の凹部４３，４４が前記ケース本体３の凸部３３，３４とそれぞれ嵌合するフック構造によって、蓋４とケース本体３とが固定されるようになっており、収納ケースの４辺のうちの２辺を固定していた。しかし、上記蓋４やケース本体３はポリプロピレン、ポリエチレン等のプラスチック材料で形成されており多少の柔軟性を有しているため、上記フック構造による固定箇所以外では固定荷重が逃げてしまい、以下のような問題が生じる。

（１）上記フック構造による固定箇所（２箇所）から離れた箇所でのマスクブランクに対する固定荷重は弱くなり、例えば輸送中の振動で収納ケース内のマスクブランクとそれを支持しているプラスチックパーツとの擦れによるパーティクルが発生し、マスクブランクに付着して異物欠陥となる。

（２）例えば半導体デザインルールD-RAMハーフピッチ３２ｎｍノード以下の微細化パターンを形成するのに有利な化学増幅型レジストは、その反応メカニズム上、化学成分のコンタミによる影響を受けやすい。つまり、僅かな酸やアルカリの雰囲気にさらされることで性能が劣化してしまう性質を持っている。このため、化学増幅型レジスト膜が形成されたマスクブランクの場合は、単にパーティクル等の異物を排除するだけでは足りず、化学成分のコンタミの影響をも排除するため特に清浄な雰囲気で保管する必要があり、不安定な外気の進入を防ぐ意味で、ケースの気密性は非常に重要である。ところが、上記従来の収納ケースでは、気密性は不十分である。そこで、ケース本体に蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部にパッキン（弾性体）を介在させることにより、ケースの気密性を上げることが可能であるが、上記フック構造による固定箇所から離れた箇所では蓋体とケース本体との固定荷重は弱くなり、パッキンによる気密が不十分になりやすい。

なお、従来の収納ケースでは、たとえば蓋体とケース本体との接合部を粘着テープで一応密封していたが、一般的に使用される粘着テープの場合、多少の通気性を有しているため、たとえばクリーンルームのような清浄雰囲気内でマスクブランクをケース内に収納梱包したとしても、その後の保管の雰囲気によっては、経時的に外気が進入し、その外気に含まれる何らかの成分により収納ケース内が汚染される場合がある。さらには、収納ケースの材質として何らかの化学成分等が放出され難いプラスチック等を用いたとしても、粘着テープの基材や粘着剤に使用されている化学成分が経時的にケース内に進入して汚染する場合がある。特に、前述の化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの場合は、化学成分等のコンタミによる汚染は致命的な欠陥となる。このように、ケースの接合部を粘着テープで封止するという方法では、外気の進入による汚染や、粘着テープの化学成分等による汚染を回避することは困難であった。

従って、本発明は、上記従来の問題点を解消し、ケース内のマスクブランクを均一な固定荷重でしっかりと固定でき、しかもケースの気密性を向上させたマスクブランクの収納ケース及び収納方法を提供することを第１の目的とする。また、特に清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクに好適な収納ケース及び収納方法を提供することを第２の目的とする。

本発明者は、前記課題を解決するため鋭意検討した結果、収納ケースと係合させる固定部材によって、ケース本体と蓋体との接合部の全周にわたってほぼ均一に固定荷重がかかるように蓋体とケース本体とを固定することにより、ケース内のマスクブランクを均一な固定荷重で固定でき、かつケースの気密性を向上させることが可能になることを見い出し、本発明を完成するに至ったものである。

すなわち、本発明は以下の構成を有するものである。
（構成１）上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースであって、該収納ケースと係合させる固定部材によって、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部の全周にわたって均一又はほぼ均一に固定荷重がかかるように前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とするマスクブランク収納ケース。
構成１のマスクブランク収納ケースによれば、収納ケースと係合させる固定部材によって、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部の全周にわたって均一又はほぼ均一に固定荷重がかかるように前記蓋体と前記ケース本体とを固定するため、ケース内に収納されたマスクブランクを均一な固定荷重できちっと固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内のマスクブランクとそれを支持しているプラスチックパーツとの擦れによるパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。また、蓋体とケース本体との接合部の全周にわたって均一又はほぼ均一に固定荷重がかかるように固定できるため、ケースの気密性を向上させることができ、不安定な外気の進入を防ぐことができる。

（構成２）前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部の全周にわたって囲繞する固定部材を係合させることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とする構成１に記載のマスクブランク収納ケース。
前記固定部材による蓋体とケース本体とをその接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定する一態様としては、構成２にあるように、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部の全周にわたって囲繞する固定部材を係合させることである。

（構成３）前記ケース本体に前記蓋体を被せたときの収納ケースの四方に固定部材を被せることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とする構成１に記載のマスクブランク収納ケース。
前記固定部材による蓋体とケース本体とをその接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定する他の態様としては、構成３にあるように、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときの収納ケースの四方に固定部材を被せることである。

（構成４）前記収納ケースの１辺あたり複数箇所に前記固定部材を被せることを特徴とする構成３に記載のマスクブランク収納ケース。
構成４にあるように、上記構成３において、収納ケースの１辺あたり複数箇所に前記固定部材を被せることにより、収納ケースの蓋体とケース本体の接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定することが容易に行える。

（構成５）前記ケース本体の開口縁部又は前記蓋体の下縁部の少なくとも一方に弾性体を周設し、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部に前記弾性体を介在させることを特徴とする構成１乃至４のいずれか一に記載のマスクブランク収納ケース。
構成５にあるように、固定部材によって蓋体とケース本体を固定する際、固定部材によって蓋体を押し付け、ケース本体との接合部に介在する弾性体をつぶして、ケース内を密閉状態とすることができる。本発明の収納ケースでは、蓋体とケース本体との接合部の全周にわたって均一又はほぼ均一に固定荷重がかかるように固定できるため、弾性体を用いてケースの気密性をより一層高めることができる。また、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、パーティクル発生を抑えることができる。

（構成６）構成１乃至５のいずれか一に記載のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することを特徴とするマスクブランクの収納方法。
構成１乃至５のいずれか一に記載のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することにより、マスクブランクを均一な固定荷重できちっと固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内でのパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。また、蓋体とケース本体との接合部の全周にわたって均一又はほぼ均一に固定荷重がかかるように固定でき、ケースの気密性が高いので、不安定な外気の進入を抑えることができる。

（構成７）前記レジストは、化学増幅型レジストであることを特徴とする構成６に記載のマスクブランクの収納方法。
本発明のマスクブランクの収納方法によれば、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、しかもケースの気密性が高く、不安定な外気の進入を抑えることができるので、単にパーティクル等の異物だけでなく、化学成分のコンタミの影響をも排除するために特に清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に好適である。

（構成８）構成６又は７に記載の収納方法によりマスクブランクが収納されたことを特徴とするマスクブランク収納体。
構成８のマスクブランク収納体によれば、マスクブランクが均一な固定荷重できちっと固定されるため、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内でのパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。また、ケースの気密性が高いため、不安定な外気の進入を抑えることができる。

本発明によれば、上方が開口したケース本体と該ケース本体に被せる蓋体とを備えたマスクブランクの収納ケースにおいて、該収納ケースと係合させる固定部材によって、前記蓋体と前記ケース本体との接合部の全周にわたって均一又はほぼ均一に固定荷重がかかるように前記蓋体と前記ケース本体とを固定することにより、ケース内に収納されたマスクブランクを均一な固定荷重できちっと固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内でのパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。また、蓋体とケース本体との接合部の全周にわたって均一又はほぼ均一に固定荷重がかかるように固定できるため、ケースの気密性を向上させることができ、不安定な外気の進入を抑えることが可能である。
従って、本発明は、単にパーティクル等の異物を排除するだけでは足りず、化学成分のコンタミの影響をも排除するために特に清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に特に好適である。

以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
［第１の実施の形態］
図１乃至図３は本発明の収納ケースの一実施の形態を示す。図１は本実施の形態で用いる固定部材を示すもので、（ａ）と（ｂ）はそれぞれ固定用枠の平面図と側面図、（ｃ）と（ｄ）はそれぞれ固定片の平面図と側面図である。図２の（ａ）と（ｂ）はそれぞれ上記固定部材で固定する前の状態の側面図、図３は上記固定部材で固定した状態の側面図である。

本実施の形態に係るマスクブランクの収納ケースは、上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースである。上記ケース本体５及び蓋体６は、その全体的な形状は、従来構造の収納ケースが前記蓋４の凹部４３，４４と前記ケース本体３の凸部３３，３４を備えている点を除いては、図７に示す蓋４及び図９に示すケース本体３と同様の形状を有している。また、図１には示していないが、前述の従来構造の収納ケースのようにマスクブランクを複数枚保持するための中ケース（図８参照）を用いる構成とすることができる。上記中ケースを使用せずに、マスクブランクをケース本体５に直接溝等を設けて収納する形態とすることもできるが、中ケースを使用すると、数枚乃至数十枚のマスクブランクをまとめて中ケース２に入れた状態で取り扱えるので便利である。

本実施形態の収納ケースは、主表面が正方形のガラス基板の一主表面上にクロム膜等の遮光性薄膜を成膜し、その上にレジスト膜を形成したマスクブランクをたとえば中ケース（図示せず）に収納し、この中ケースをケース本体５に収納し、このケース本体５の開口部側に蓋体６を被せる構造である（図２（ｂ）参照）。ケース本体５の上から蓋体６を被せると、蓋体６の下方縁に続く外周面６１とケース本体５の開口縁部５１とが前後に重なり合うと同時に、蓋体６の下方縁の外周面６１とケース本体５の開口縁部５１の下方の外周面５２とが同一面上に重なり合って蓋体６とケース本体５とが接合される。

なお、本実施形態では、蓋体６を閉じた収納ケースの密閉性をより高めるために、ケース本体５の開口縁部５１に沿って適当な大きさの環状の弾性体７を嵌め込んでいる（図２（ｂ））。弾性体７としては、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が好ましく、例えば、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマーが挙げられる。

本実施の形態による収納ケースは、上述のように内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態でケース本体５と蓋体６とを固定するため、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５の開口縁部と蓋体６の下縁部との接合部の全周にわたって囲繞する固定部材を使用する。この固定部材は、好ましくは、ケース本体５と蓋体６とを固定する際、多少変形可能な程度の柔軟性を有し、所定の幅を有する帯状部材であり、なお且つ収納ケースの接合部の外形形状に合わせて略コの字状に形成された固定用枠１０（図１（ａ）、（ｂ）参照）と、該固定用枠１０の両端部を連結する固定片１１（図１（ｃ）、（ｄ）参照）とから構成されている。上記固定用枠１０は、拡開可能なようにヒンジ部１０ｃを有し、両端部には、内方に折れ曲がった部分にそれぞれ係合凸部１０ａ，１０ｂを備えている。また、上記固定片１１は、その両端部に、上記固定用枠１０の係合凸部１０ａ，１０ｂとそれぞれ係合する係合凹部１１ａ，１１ｂを有している。ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５の開口縁部と蓋体６の下縁部との接合部、すなわち蓋体６の下方縁の外周面６１とケース本体５の開口縁部５１の下方の外周面５２とが同一面上に重なり合った部分に上記固定用枠１０を嵌め合わせ、該固定用枠１０の両端部を接近する方向へやや引っ張り気味に、上記固定片１１の係合凹部１１ａ，１１ｂをそれぞれ上記固定用枠１０の係合凸部１０ａ，１０ｂと係合させて、上記接合部を締め付ける。上記接合部において、蓋体６の外周面６１とケース本体５の外周面５２のそれぞれのテーパ部（図２（ａ）中の矢印Ａで示す）では、上記固定用枠１０と固定片１１の締め付けによる固定荷重が内方にかかり、上記接合部をより強固に固定できる。本実施の形態では、こうしてケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部の全周にわたって囲繞する固定部材を係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定する（図３参照）。

このような本実施の形態のマスクブランク収納ケースによれば、内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態で、ケース本体５と蓋体６との接合部の全周にわたって囲繞する上記固定部材を係合させることにより、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部を締め付け、その全周にわたって均一に固定荷重がかかるように前記蓋体と前記ケース本体とを固定することができるため、ケース内に収納されたマスクブランクを均一な固定荷重できちっと固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内のマスクブランクとそれを支持しているプラスチックパーツとの擦れによるパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。また、蓋体とケース本体との接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定できるため、ケースの気密性を向上させることができ、不安定な外気の進入を防ぐことができる。

また、本実施の形態では、上記固定部材によって蓋体６とケース本体５を固定する際、固定部材によって蓋体６の外周面６１を押し付け、内部の前記弾性体７をつぶして、ケース内の密閉状態をより高めることができる。この場合、本実施の形態の収納ケースでは、蓋体６とケース本体５との接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定できるため、前記弾性体７を用いてケースの気密性をより一層高めることができる。また、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、パーティクル発生を抑えることができる。
したがって、本実施の形態は、単にパーティクル等の異物を排除するだけでは足りず、化学成分のコンタミの影響をも排除するために特に清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に特に好適である。

なお、上述のケース本体５及び蓋体６の材質は、例えばポリプロピレン、アクリル、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリエチルサルファイト、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）等の樹脂から適宜選択されることが好ましい。これらの中でも、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリブチレンテレフタレートが好ましい。なお、マスクブランクの保管中にチャージが溜まると、マスク製造過程において放電破壊を起こし、パターン欠陥となる場合があるので、たとえばケース本体５の構成樹脂にカーボン等を混ぜ込んで導電性を付与するようにしてもよい。
また、上述の固定部材（固定用枠１０及び固定片１１）の材質は、例えばポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレート、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）等の樹脂や、ステンレス、アルミニウム等の金属から適宜選択されることが好ましい。

［第２の実施の形態］
図４は本発明の収納ケースの第２の実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定する前の状態の側面図、（ｃ）固定部材で固定した状態の側面図である。なお、前述の図２、図３と同等の箇所には同一符号を付している。

本実施の形態による収納ケースは、上述のように内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態でケース本体５と蓋体６とを固定するため、蓋体６の上部から被せる２つの固定部材８Ａ，８Ｂを使用して、収納ケースの四方に被せる。この固定部材８Ａ，８Ｂは、好ましくは、ケース本体５と蓋体６とを固定する際、蓋体６上部からケース本体５にかけて被せることができるように多少変形可能な程度の柔軟性を有し、所定の幅を有する帯状部材であり、なお且つ収納ケースの外形形状に合わせて略コの字状に形成されている（図４（ｂ）参照）。すなわち、固定部材８Ａ，８Ｂはそれぞれ、蓋体６を閉じた状態の収納ケースの高さに略相当する長さを有する部分８１と８３、及び、蓋体６を閉じた状態の収納ケースの横幅に略相当する長さを有する部分８２を有する略コの字状に形成されている。そして、固定部材８Ａ，８Ｂの両端部はそれぞれ、ケース本体５の底部に係合させるのに都合が良いように、内方に折れ曲がった部分８ａ，８ｂを有している。

上記固定部材８Ａ，８Ｂの幅は、特に制約される必要はないが、本発明による作用効果をより良く発揮させる観点から、固定部材８Ａ，８Ｂの幅Ｌ１を、ケースの一辺の長さＬ２（図４（ａ）参照）の１／５以上とすることが好ましく、より好ましくは１／３以上である。また、固定部材８Ａと８Ｂのそれぞれの幅は必ずしも一致していなくてもよい。
上述の固定部材８Ａ，８Ｂの材質は、例えばポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレート、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）等の樹脂や、ステンレス、アルミニウム等の金属から適宜選択されることが好ましい。

このような本実施の形態のマスクブランク収納ケースによれば、内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態で、固定部材８Ａと８Ｂをそれぞれ交差させて蓋体６の上部から四方に被せて、当該固定部材８Ａ，８Ｂの両端部８ａ，８ｂをそれぞれケース本体５の底部に係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定する。これによって、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部（合わせ部）の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように前記蓋体と前記ケース本体とを固定することができるため、ケース内に収納されたマスクブランクを均一な固定荷重できちっと固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内のマスクブランクとそれを支持しているプラスチックパーツとの擦れによるパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。また、蓋体とケース本体との接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定できるため、ケースの気密性を向上させることができ、不安定な外気の進入を防ぐことができる。

また、本実施の形態においても、上記固定部材８Ａ，８Ｂによって蓋体６とケース本体５を固定する際、固定部材８Ａ，８Ｂによって蓋体６の外周面６１を押し付け、内部の前記弾性体７をつぶして、ケース内の密閉状態をより高めることができる。この場合、本実施の形態の収納ケースでは、蓋体６とケース本体５との接合部の全周にわたってほぼ均一に固定荷重がかかるように固定できるため、前記弾性体７を用いてケースの気密性をより一層高めることができる。
したがって、本実施の形態においても、特に清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に好適である。
また、本実施の形態において、２つの固定部材を使用して収納ケースの四方を固定するのを、固定部材の幅Ｌ１を大きくして１つの固定部材のみで収納ケースの二方を固定しても、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部の全周にわたってほぼ均一に固定荷重がかかるように蓋体とケース本体とを固定することができる。

［第３の実施の形態］
図５は本発明の収納ケースの第３の実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定する前の状態の正面図、（ｃ）固定部材で固定した状態の側面図である。なお、図４と同等の箇所には同一符号を付している。

本実施の形態の収納ケースにおいては、ケース本体５における各側壁外側面にあって開口側の外周面５２より下方の位置にそれぞれ係合凸部５３〜５６（なお５６は図示されていない）を備え、蓋体６の上部から被せる２つの固定部材９Ａ，９Ｂの両端部９ａ，９ｂをそれぞれ、蓋体６をケース本体５に被せたときのケース本体５の前記係合凸部５３と５６、及び５４と５５に係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定するように構成されている。上記固定部材９Ａ，９Ｂについても、好ましくは、ケース本体５と蓋体６とを固定する際、蓋体上部からケース本体にかけて被せることができるように多少変形可能な柔軟性を有し、所定の幅を有する帯状部材であり、なお且つ収納ケースの外形形状に合わせて略コの字状に形成されている（図５（ｂ）参照）。上述の固定部材９Ａ，９Ｂの材質は、第２の実施の形態に使用する固定部材８Ａ，８Ｂと同様である。

上記固定部材９Ａ，９Ｂの幅は、特に制約される必要はないが、本発明による作用効果をより良く発揮させる観点から、ケースの一辺の長さＬ２（図４（ａ）参照）の１／５以上とすることが好ましく、より好ましくは１／３以上である。

すなわち、本実施の形態のマスクブランク収納ケースによれば、内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態で、固定部材９Ａと９Ｂをそれぞれ交差させて蓋体６の上部から四方に被せて、当該固定部材９Ａ，９Ｂの両端部９ａ，９ｂをそれぞれケース本体５の前記係合凸部５３〜５６に係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定する。これによって、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部（合わせ部）の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように前記蓋体と前記ケース本体とを固定することができるため、ケース内に収納されたマスクブランクを均一な固定荷重できちっと固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内のマスクブランクとそれを支持しているプラスチックパーツとの擦れによるパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。また、蓋体とケース本体との接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定できるため、ケースの気密性を向上させることができ、不安定な外気の進入を防ぐことができる。

また、本実施の形態においても、上記固定部材９Ａ，９Ｂによって蓋体６とケース本体５を固定する際、固定部材９Ａ，９Ｂによって蓋体６の外周面６１を押し付け、内部の前記弾性体７をつぶして、ケース内の密閉状態をより高めることができる。この場合、本実施の形態の収納ケースでは、蓋体６とケース本体５との接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定できるため、前記弾性体７を用いてケースの気密性をより一層高めることができる。

したがって、本実施の形態においても、特に清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に好適である。
なお、上記固定部材９Ａ，９Ｂの両端部にそれぞれ、ケース本体５の係合凸部５３〜５６と嵌合できるような例えば凹部を設けておき、当該固定部材９Ａ，９Ｂの両端部をそれぞれケース本体５の係合凸部５３〜５６に係合させるようにしてもよい。
また、本実施の形態において、２つの固定部材を使用して収納ケースの四方を固定するのを、固定部材の幅Ｌ１を大きくして１つの固定部材のみで収納ケースの二方を固定しても、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部の全周にわたってほぼ均一に固定荷重がかかるように蓋体とケース本体とを固定することができる。

［第４の実施の形態］
図６は本発明の収納ケースの第４の実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定した状態の側面図である。
本実施の形態による収納ケースは、収納ケースの１辺あたり複数箇所に固定部材を被せることにより、収納ケースの蓋体とケース本体の接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定する。すなわち、例えば前述の第２の実施の形態に使用した固定部材８Ａ，８Ｂと同様の形状であって、これよりも幅の狭い、例えばケースの一辺の長さの１／１０〜１／５程度の幅を有する固定部材１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄを使用し、このうちの固定部材１２Ａと１２Ｂをケースの一方側の左右に、固定部材１２Ｃと１２Ｄをケースの他方側の左右に、それぞれ交差させて蓋体６の上部から四方に被せることにより、蓋体６とケース本体５とを固定する。このような本実施の形態においても、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部（合わせ部）の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように前記蓋体と前記ケース本体とを固定することができるため、ケース内に収納されたマスクブランクを均一な固定荷重できちっと固定でき、例えば輸送、搬送中の振動によっても収納ケース内のマスクブランクとそれを支持しているプラスチックパーツとの擦れによるパーティクルの発生を抑制し、マスクブランクへのパーティクル付着を防止することができる。また、蓋体とケース本体との接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように固定できるため、ケースの気密性を向上させることができ、不安定な外気の進入を防ぐことができる。

なお、上記固定部材１２Ａ〜１２Ｄは、前述の第３の実施の形態に使用した固定部材９Ａ，９Ｂと同様の形状であって、同様のケース本体との係合方法としてもよい。また、図６には、収納ケースの１辺あたり２箇所に固定部材を被せる態様を示したが、収納ケースのサイズによっては、収納ケースの１辺あたり２箇所より多い複数箇所に幅狭の固定部材を被せるようにしてもよい。

また、上述した第２乃至第４の実施の形態においては、いずれも蓋体６の上部から被せる固定部材をケース本体５と係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定するようにしているが、これに限らず、たとえば蓋体６の上方側から被せる上部固定部材と、ケース本体５の下方側から被せる下部固定部材同士を係合（あるいは嵌合）させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定するようにしてもよい。また、蓋体６と、ケース本体５の下部から被せる固定部材とを係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定するようにしてもよい。また、このような実施の形態においても、２つの固定部材を使用して収納ケースの四方を固定するのを、固定部材の幅を大きくして１つの固定部材のみで収納ケースの二方を固定しても、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部の全周にわたってほぼ均一に固定荷重がかかるように蓋体とケース本体とを固定することができる。

以下、具体的な実施例により本発明を説明する。
（実施例１）
合成石英基板（６インチ×６インチの大きさ）上にスパッタ法で、表層に反射防止機能を有するクロム膜（遮光膜）を形成し、その上にスピンコート法でポジ型の化学増幅型レジストである電子線描画用レジスト膜を形成してレジスト膜付きマスクブランクを製造した。
このようにして製造した２５枚のマスクブランクを、１ケースに５枚収納し、計５ケースを用意した。収納ケースとして、前述の図１乃至図３に示す第１の実施の形態に係る収納ケースを用いた。なお、蓋体の材質は、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）、ケース本体の材質はポリプリピレン、中ケースの材質はポリプロピレンを用いた。また、固定部材である固定用枠及び固定片の材質はポリエチレンを用いた。収納作業はクリーンルーム内で行った。

このマスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）をさらにダンボールで梱包し、以下の振動試験を行った。
すなわち、梱包した収納ケースを、まず輸送（自家用車で一般道を約４０ｋｍ走行）した後、室内で、米軍規格MIL(Military Specifications and Military Standards)のMIL-STD-810Dに準拠した振動加速処理を行った。この際の振動条件は一般車両環境を想定して設定した。その後、再び上記と同様の輸送を行った。

そして、振動試験後、同じくクリーンルーム内で収納ケースを開封し、収納ケースからマスクブランクを取り出し、欠陥検査装置（レーザーテック社製：Ｍ２３５０）を用いて、マスクブランク主表面上の付着異物による欠陥（９０μｍ以上の大きさの欠陥）個数を測定した。なお、評価は、収納ケースに収納する前の欠陥個数を予め上記と同様に測定しておき、これに対する振動試験後の欠陥個数の増加個数で行った。その結果、本実施例では、増加欠陥個数は、収納ケースのほぼ中央の位置に収納したマスクブランクでは平均して１．８個、収納ケースの端の位置に収納したマスクブランクでは平均して１．２個であり、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、パーティクル発生を抑えることが可能である。

また、上記の振動試験後の収納ケースから取り出したマスクブランクに所定の電子線描画を行い、続いて所定の現像、エッチングを行って、転写マスクを作製した。形成した遮光膜のパターンのＣＤエラー（設計線幅に対する実測線幅のずれ）は５ｎｍ以下と小さく、化学増幅型レジストを用いて、高精度の微細パターンを形成できた。

（実施例２）
本実施例では、実施例１と同様に製造したマスクブランクを収納するケースとして、前述の図４に示す第２の実施の形態に係る収納ケースを用いたこと以外は実施例１と同様にしてマスクブランクの収納を行った。なお、固定部材の材質はポリエチレンを用いた。

このマスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）を梱包して、実施例１と同様の振動試験を行った。
そして、実施例１と同様に、収納ケースに収納する前の欠陥個数に対する振動試験後の欠陥個数の増加個数を測定した。その結果、本実施例では、増加欠陥個数は、収納ケースのほぼ中央の位置に収納したマスクブランクでは平均して１．８個、収納ケースの端の位置に収納したマスクブランクでは平均して１．２個であり、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、パーティクル発生を抑えることが可能である。

また、上記の振動試験後の収納ケースから取り出したマスクブランクを用いて、実施例１と同様に転写マスクを作製した。形成した遮光膜のパターンのＣＤエラー（設計線幅に対する実測線幅のずれ）は５ｎｍ以下と小さく、化学増幅型レジストを用いて、高精度の微細パターンを形成できた。

（比較例）
実施例１と同様に製造したマスクブランクを収納するケースとして、前述の図７乃至図９に示す従来構造の収納ケースを用いたこと以外は実施例１と同様にしてマスクブランクの収納を行った。なお、収納ケースの蓋、中ケース、ケース本体の各材質は、実施例１の収納ケースと同様のものを用いた。

このマスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）を梱包して、実施例１と同様の振動試験を行った。
そして、実施例１と同様に、収納ケースに収納する前の欠陥個数に対する振動試験後の欠陥個数の増加個数を測定した。その結果、本比較例では、増加欠陥個数は、収納ケースのほぼ中央の位置に収納したマスクブランクでは平均して２．０個、収納ケースの端の位置に収納したマスクブランクでは平均して１１．２個であり、特に収納ケースの端の位置に収納したマスクブランクの欠陥個数が非常に多かった。これは、従来構造の収納ケースの場合、フック構造による固定位置から離れたケースの端の箇所ではマスクブランクに対する固定荷重が弱くなり、擦れによるパーティクル発生が要因であると考えられる。

また、上記の振動試験後、収納ケースの中央の位置から取り出したマスクブランクを用いて、実施例１と同様に転写マスクを作製した。形成した遮光膜のパターンのＣＤエラー（設計線幅に対する実測線幅のずれ）は１０ｎｍと大きかった。これは、従来構造の収納ケースの場合、気密性が不十分で、輸送中に外気が収納ケースの接合部からケース内に進入し、何らかの化学成分等によって化学増幅型レジストが汚染されたことが原因であると考えられる。

本発明に係る収納ケースの第１の実施の形態で用いる固定部材を示すもので、（ａ）と（ｂ）はそれぞれ固定用枠の平面図と側面図、（ｃ）と（ｄ）はそれぞれ固定片の平面図と側面図である。 （ａ）と（ｂ）はそれぞれ上記固定部材で固定する前の状態の収納ケースの側面図である。 上記固定部材で固定した状態の収納ケースの側面図である。 本発明の収納ケースの第２の実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定する前の状態の側面図、（ｃ）固定部材で固定した状態の側面図である。 本発明の収納ケースの第３の実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定する前の状態の側面図、（ｃ）固定部材で固定した状態の側面図である。 本発明の収納ケースの第４の実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定した状態の側面図である。 従来構造の収納ケースの蓋を示す斜視図である。 マスクブランクを中ケースに収納する状態を示す斜視図である。 従来構造の収納ケースのケース本体（外ケース）を示す斜視図である。

符号の説明

１ マスクブランク
２ 中ケース
３ ケース本体
４ 蓋
５ ケース本体
６ 蓋体
７ 弾性体
８Ａ，８Ｂ，９Ａ，９Ｂ 固定部材
１０ 固定用枠
１１ 固定片
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ 固定部材

Claims (4)

1. 上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースであって、
   前記ケース本体に前記蓋体を被せたときの接合部を固定する固定部材と、
   前記ケース本体の開口縁部又は前記蓋体の下縁部の少なくとも一方に周設された弾性体と、を備え、
   前記固定部材は、両端部をそれぞれ係合して連結すると前記接合部の外形形状を形成する二つの固定片で構成されており、
   前記ケース本体に前記蓋体を被せたとき、前記二つの固定片を係合して連結した前記固定部材が前記ケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部の全周にわたって囲繞するとともに前記弾性体を圧迫してつぶし、前記ケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部の全周にわたって均一又はほぼ均一に固定荷重がかかるように前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とするマスクブランク収納ケース。
2. 請求項１に記載のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することを特徴とするマスクブランクの収納方法。
3. 前記レジストは、化学増幅型レジストであることを特徴とする請求項２に記載のマスクブランクの収納方法。
4. 請求項２又は３に記載の収納方法によりマスクブランクが収納されたことを特徴とするマスクブランク収納体。

Images