JPH09270458A - 輸送用ウェーハ容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 航空機輸送のごとく減圧雰囲気での気密性を
確保して、汚染の心配がなく従来の２重包装を不要にで
き、容器の再使用が可能な構成からなる輸送用ウェーハ
容器の提供。 【解決手段】 本体２と蓋４との間にパッキンを介して
構成された断面略Ｔ字形状突起部６の溝部に断面略Ｃ字
形状で帯状の締着材７を嵌め込んで、本体２と蓋４を容
器外周部の全周にわたって結合することにより、容器１
の気密性を向上確保でき、本体４及び蓋３外側全体に防
湿性の樹脂製フィルムをコーティングすることにより、
包装破れによる汚染の防止や２重包装の省略をすること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェーハ
の損壊、汚染を防止し、安全に輸送するための樹脂製の
輸送用ウェーハ容器の改良に係り、航空機輸送のごとく
減圧雰囲気下での気密性を確保して従来の２重包装を不
要にし、また容器の再使用を可能にした輸送用ウェーハ
容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】今日、電子機器の需要拡大に伴い、半導
体ウェーハの需要が著しく増加しており、その輸送も航
空機を含めあらゆる雰囲気からの汚染防止とともに、ウ
ェーハの内部汚染、損壊を防止して安全に輸送すること
が要求されている。

【０００３】従来の輸送用ウェーハ容器は、例えば、図
４に示す出願人の提案になる特開平６−５６１８５号等
に開示される如く、容器本体１２は、内部に複数のウェ
ーハ３０を個別に直立支持するためのＵ字型溝１８を多
数配設したウェーハ収納枠１７を収めてあり、大きく折
り曲げ形成した高剛性の上面周縁部１４には、その上端
面に蓋１０の周縁部１１が当接して密着するように嵌合
用溝部を周設してパッキンを配設してある。

【０００４】また、本体１２の上面周縁部１４には、蓋
１０のロック用翼状部材１３が嵌まり込むように、周縁
部１４の短辺側及び長辺側の４つの外側面の各中央下端
部に、切欠部１５が形成してあり、かつ翼状部材１３の
孔部に嵌合する突起１６を設けてある。さらに、蓋１０
内にはウェーハ押え治具が設けられ、収納されたウェー
ハ３０の上ＯＦエッジ部に当接するように肉厚方向のＶ
形あるいはＵ形溝を多数設けた２条の支持片２１，２２
が設けてあり、また、その外側に位置するよう断面略Ｌ
型の薄肉片は所要長さのスリットで多数の短冊状に分割
され、ウェーハ３０の両肩部エッジ部に接線方向に当接
する支持片２３，２４が設けてある。

【０００５】従来の輸送用ウェーハ容器は、容器本体と
蓋の接合面にはパッキンが使用され、両者の固定には一
般に上記のような容器外周部の２ヶ所または４ヶ所に部
分的な引っかけ方式のフック構造が採用されている。ま
た、半導体ウェーハを収納した後、内部雰囲気を不活性
ガスに置換して輸送を行なう構成も提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の輸送用ウェーハ
容器は、接合面にパッキンが使用されているが、容器本
体と蓋が前記のごとく部分的な引っかけ方式のフック構
造が採用されているため、フック部以外でタイトに結合
していない部分が生じる。例えば、航空機輸送時の気圧
変化に伴いその部分より外気からダストの進入や湿気を
生じるなどの汚染があるため、容器全体を樹脂製フィル
ムとアルミフィルムの２重包装を施して上記の汚染防止
を行っている。

【０００７】ところが、この容器全体を樹脂製フィルム
とアルミフィルムを２重包装するため、包装、開封作業
に手間がかかる欠点があり、また、包装破れによる汚染
も懸念され、さらにはこの２重包装は使い捨てであり、
再度使用されることなく、廃棄されており、これらの包
装費用が嵩み、資源のむだ使いとなる。さらに、従来の
輸送用ウェーハ容器はフック部に耐久性がなく、再使用
時の気密性の確保の保証がないため、現在、かかる容器
は再度使用されることなく、樹脂材のリサイクルのみが
可能であった。

【０００８】この発明は、半導体ウェーハの損壊や汚染
を防止して安全に輸送するための樹脂製の輸送用ウェー
ハ容器において、航空機輸送のごとく減圧雰囲気下での
気密性を確保して、汚染の心配がなく従来の２重包装を
不要にできる構成、また容器の再使用が可能な構成から
なる輸送用ウェーハ容器の提供を目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】発明者は、容器本体と蓋
の接合面外周の全周に渡って両者を結合でき、複数回の
再使用にも耐えて容器の気密性を確保でき、従来の２重
包装の省略をすることができる輸送用ウェーハ容器の構
成を目的に種々検討した結果、容器本体と蓋との間にパ
ッキンを介して構成された断面略Ｔ字形状突起部の溝部
に断面略Ｃ字形状で帯状の締着材を嵌め込んで、容器本
体と蓋を容器外周の全面にわたって結合することによ
り、容器の気密性を向上確保できること、さらに、容器
本体及び蓋外側全体に樹脂フィルム、例えば、防湿性、
耐久性にすぐれた樹脂フィルムをコーティングすること
により、包装破れによる汚染の防止や２重包装の省略を
することができることを知見し、この発明を完成した。

【００１０】すなわち、この発明は、上面が開放された
容器本体内にウェーハを収納して上面に蓋を被せる半導
体ウェーハの輸送用容器において、容器本体と蓋との接
合面にパッキンを配置し、接合時の接合面外周部に断面
略Ｔ字型突起部を形成するための容器本体と蓋の各接合
面外周部に断面略Ｌ字形状のフランジ部を周設した構成
からなり、該突起部の溝部の所要箇所に断面略Ｃ字型帯
状の締着材を嵌め込み、容器本体と蓋を締着可能とした
輸送用ウェーハ容器である。

【００１１】また、この発明は、上記の輸送用ウェーハ
容器において、容器本体と蓋外側全面がそれぞれ樹脂フ
ィルムで被覆された輸送用ウェーハ容器、容器本体と蓋
との接合面に相互の位置決め用の凹凸嵌合部を有し、か
つパッキンが略Ｔ字型突起部の溝部と相対する位置にあ
る輸送用ウェーハ容器、を併せて提案する。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１に示すこの発明による輸送用
ウェーハ容器１は、上面を開放した略直方体状の容器本
体２の開放上端全周に断面略Ｌ字形状で下向きの溝部が
形成されるフランジ部３を周設し、また、蓋４も同様に
その下端全周に断面略Ｌ字形状で上向きの溝部が形成さ
れるフランジ部５を周設し、容器本体２に蓋４を被せた
際に、当該接合面外周部の全周に断面略Ｔ字型突起部６
が形成された構成からなる。

【００１３】容器本体２に蓋４を被せた際の接合部の断
面略Ｔ字型突起部６には、図２のＡに示すごとく、断面
略Ｃ字型帯状の締着材７が嵌め込まれるが、これは断面
図で突起部６全体を包みフランジ部３，５の各溝部に締
着材７のＣ字先端が嵌入することにより、強固な締め付
けを実現するもので、締着材７の嵌め込みには、図１に
示す例では容器１の四隅部の突起部６における各フラン
ジ部３，５の突起高さを小さくして該溝部に締着材７の
Ｃ字先端が嵌入可能となし、同部より締着材７を溝部方
向に挿入することで実現している。

【００１４】締着材７の嵌め込み方法も、締着材７が長
手方向に可撓性を有するのであれば、上記の容器１の隅
部の１か所から全周にわたって挿入する他、隅部以外の
いずれの箇所の各フランジ部３，５の突起高さを小さく
して該溝部に締着材７のＣ字先端を挿入可能にしてもよ
く、締着材７が可撓性のない材質の場合は、図示のごと
く四隅部からそれぞれ各辺長さの締着材７を挿入するこ
とが可能である。

【００１５】容器１の全周に渡って締着材７が嵌入配置
されていることが望ましいが、例えば複数箇所で締着材
７の切れ目が合っても気密性は確保され、また、帯状の
締着材７は必ずしも一体製品である必要はなく、所定の
締め付け力を発揮できれば所要長さの集合体であっても
よい。また、締着材７の締め付け力を向上させるため
に、各フランジ部３，５の突起高さに傾斜をつけて締着
材７の嵌入とともに締め付け力を増加させることもでき
る。

【００１６】また、容器本体２に蓋４を被せた際の接合
面は図２のＡに示すごとく、各端面にパッキン溝が設け
られ、蓋４側あるいは容器本体２側にパッキン８が配設
されて図示の接合時に相手方のパッキン溝内に嵌入する
構成である。締着材７の締め付け力によりパッキン８の
材質が有する弾性力を発揮させて、気密性の向上を図る
が、パッキン溝寸法より若干大きな溝形状に相似形のパ
ッキンを使用する他、図３Ａに示すごとく断面く字型の
パッキン９を使用すると、容器本体２と蓋４のパッキン
溝内に嵌入された際、図で上下方向に大きな弾性力を発
揮させ、締着材７の締め付け力により気密性が向上す
る。

【００１７】また、容器本体２に蓋４を被せた際の接合
面を、図２のＢ，Ｃに示すごとく、両者の位置決め用の
凹凸嵌合面に形成することにより、接合時の位置決めを
良好にする他、気密性の向上を図ることができる。さら
に、図２のＢに示すごとく、容器本体２と蓋４のフラン
ジ部３，５を含む接合面に大きな１つの凹凸嵌合面を形
成し、この凹凸嵌合面の中央部、すなわち、各フランジ
部３，５の溝部底の相対位置にパッキン溝を設けてパッ
キン８を配置すると、締着材７のＣ字先端による最も締
め付け力が集中する箇所にパッキン８が位置するため、
気密性の向上を図ることができる。

【００１８】また、図２のＣに示す構成も、各フランジ
部３，５の溝部底の相対位置にパッキン溝を設けてパッ
キン８を配置するが、パッキン８を挟み対称位置に容器
本体２と蓋４の位置決め用の小さな凹凸嵌合面を形成し
てあり、良好な位置決めと気密性の向上を図ることが可
能である。なお、図では一対の嵌合面の容器本体２側が
ともに凸嵌合面であるが、一方を凹嵌合面とすることも
できる。

【００１９】この発明の輸送用ウェーハ容器１の材質に
は、清浄材質であある公知のＰＰやＰＣなどの樹脂が採
用でき、採用した樹脂種に応じて締着材７の材質を選定
することができ、例えば、ＰＰ、ＰＥＥ等が利用でき、
パッキンには、圧縮永久歪、硬度等にすぐれた公知のシ
リコンゴムのほか、ポリエステルゴムなどが採用でき、
さらに、樹脂からの経時的な化合物等の放出が少なく、
シリコンウェーハへのパーティクルの付着が著しく低減
されるポリオレフィン系熱可塑性エラストマーを採用す
ることができる。

【００２０】さらに、この発明の輸送用ウェーハ容器１
を構成する例えば、ＰＣ製の容器本体２と蓋４の全面
に、防湿性の樹脂製フィルム、例えば、ポリエチレンテ
レタレート、ＰＥＴフィルム、等を被覆することによ
り、完全な防湿性が確保される。また、必要に応じて、
容器本体と蓋の接合部全周に広幅のＰＥＴフィルムテー
プを密着させたり、全体に熱可塑性樹脂フィルムでラッ
ピングすることもできる。

【００２１】

【実施例】容器材質にＰＰとＰＣの２種を採用して、Ｐ
Ｃ製全ての容器本体と蓋の全面にＰＥＴフィルムを被覆
し、図２のＡ，Ｂ，Ｃの各接合面となるように６種のこ
の発明による輸送用ウェーハ容器を作製し、また、容器
材質にＰＰ、外面にＰＥＴフィルムを被覆、図２のＢの
接合面を有する構成の輸送用ウェーハ容器を作製した。
パッキンにはいずれもシリコンゴムを用い、収納枠とウ
ェーハ押え治具材質はいずれもＰＰを用いた。

【００２２】従来の輸送用ウェーハ容器として、容器材
質、収納枠、ウェーハ押え治具の材質にＰＰ、パッキン
にシリコンゴムを用いて、外周４か所に固定用フックを
有する物を作製し、ウェーハの収納後に樹脂製フィルム
とアルミフィルムを２重包装を施した。

【００２３】上記の８種の輸送用ウェーハ容器を、温度
並びに湿度と気圧が変化する陸上トラック輸送と航空機
輸送を連続して行うシミュレートを行ったところ、この
発明の輸送用ウェーハ容器は、２重包装がないにもかか
わらずいずれも収納ウェーハは従来と全く同じ状態に保
持されていた。さらに、この発明の輸送用ウェーハ容器
でシミュレート後に再使用を想定した別のシミュレート
を行ったところ、いずれも収納ウェーハは従来の１回目
のシミュレート後と全く同じ状態に保持されていた。

【００２４】

【発明の効果】この発明による輸送用ウェーハ容器は、
従来のフックのごとく容器本体と蓋が部分的に結合して
いない箇所がなく、容器本体と蓋を容器外周全面にわた
って結合してあり、かつ容器本体及び蓋外側全体に樹脂
フィルムをコーティングして容器の気密性、耐久性を向
上させてあり、外部からの汚染を防止すると共に従来の
２重包装を省略でき、資源並びに包装費用を削減する効
果がある。また、この発明による輸送用ウェーハ容器
は、容器本体と蓋の固定に帯状の締着材をスライドさせ
て嵌め込む構成を採用したことにより、同部材の耐久性
が優れ容器の繰り返しの使用が可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による輸送用ウェーハ容器の斜視説明
図である。

【図２】Ａ，Ｂ，Ｃはこの発明による輸送用ウェーハ容
器の容器本体と蓋の接合部の詳細を示す要部縦断説明図
である。

【図３】Ａはパッキンの断面説明図、Ｂは溝内のパッキ
ンの断面説明図である。

【図４】従来の輸送用ウェーハ容器の斜視説明図であ
る。

【符号の説明】

１ 輸送用ウェーハ容器 ２ 容器本体 ３，５ フランジ部 ４ 蓋 ６ 断面略Ｔ字型突起部 ７ 締着材 ８，９ パッキン １０ 蓋 １１，１４ 周縁部 １２ 容器本体 １３ 翼状部材 １５ 切欠部 １６ 突起 １７ ウェーハ収納枠 １８ Ｕ字型溝 ２１，２２ 支持片 ２３，２４ 支持片 ３０ ウェーハ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面が開放された容器本体内にウェーハ
   を収納して上面に蓋を被せる半導体ウェーハの輸送用容
   器において、容器本体と蓋との接合面にパッキンを配置
   し、接合時の接合面外周部に断面略Ｔ字型突起部を形成
   するための容器本体と蓋の各接合面外周部に断面略Ｌ字
   形状のフランジ部を周設した構成からなり、該突起部の
   溝部の所要箇所に断面略Ｃ字型帯状の締着材を嵌め込
   み、容器本体と蓋を締着可能とした輸送用ウェーハ容
   器。
2. 【請求項２】 請求項１において、容器本体と蓋外側全
   面がそれぞれ樹脂フィルムで被覆された輸送用ウェーハ
   容器。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２において、容器
   本体と蓋との接合面に相互の位置決め用の凹凸嵌合部を
   有し、かつパッキンが略Ｔ字型突起部の溝部と相対する
   位置にある輸送用ウェーハ容器。