JPH0945759A - パッケージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 上蓋部をパッケージ本体部に装着すると、シ
ール材押圧突起がシール材の上下面に線接触にて大きな
圧力で押圧し、シール性を向上させる。 【解決手段】 箱状本体部は、上面にシール材収容溝５
が閉ループ状に形成されたフランジ３を備え、上蓋部２
の下面の、シール材収容溝５に対応する位置に、断面逆
山形形状の第１のシール材押圧突起１４が閉ループ状に
設けられている。シール材収容溝５内に閉ループ状のシ
ール材８が挿入されている。箱状本体部のシール材収容
溝５の底面に、断面山形形状の第２のシール材押圧突起
４ａ，４ｂが閉ループ状に設けられている。上蓋部２を
フランジ３に装着すると、第１および第２のシール材押
圧突起１４，４ａ，４ｂが、シール材８の上下面に閉ル
ープ状に大きな圧力で線接触する。上蓋部２の箱状本体
部への押圧力が小さくても、シール性がよく、上蓋部２
を小さな力で持ち上げて箱状本体部から取外せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ゴミ等の付着を嫌
う物品のパッケージに関し、特に、半導体ウェーハ等を
保管したり、運搬するのに用いて好適な、気密性を有す
るパッケージに関する。

【０００２】

【従来の技術】ゴミ等の付着を嫌う物品の一例としての
半導体ウェーハをクリーンに保つパッケージの役目の１
つとして、内外の気圧差が生じて、外気がパッケージ内
に流入することを防止することがある。ここで、この種
の従来の、ウェーハを収納するためのパッケージについ
て、２つの例を挙げて説明する。

【０００３】（１）図６に示すように、符号３０は容器
本体でその上部にはフランジ部３１が形成されている。
このフランジ部３１の外周は閉ループ状の立ち上がり部
３２に形成されていて、後述する蓋体３３がこの立ち上
がり部３２の内側にはめ込まれるようになっている。ま
た、フランジ部３１の内側エッジ部には立ち上がり部３
２と同方向に突起した閉ループ状の圧接部３４が形成さ
れている。一方、蓋体３３はその外周部において圧接部
３４に対向する箇所に角溝５５が閉ループ状に刻設され
ている。この角溝３５に連続して蓋体３３の内側に閉ル
ープ状の嵌入部３６が形成されている。この嵌入部３６
は角溝３５と段差を設けて、かつ角溝３５に直交する溝
状になっている。

【０００４】ここで、シール材３７（図７参照）はその
内側端部を嵌入部３６に嵌入し、中央部を角溝３５に位
置して介在される。また、立ち上がり部３２には蓋体３
３を締着する手段としての爪３８が４方向にそれぞれ設
けられている。符号３９は爪３８の支軸を示している
（実願昭６２−１７８８２２号明細書参照）。

【０００５】蓋体３３を締着すると、シール材３７は圧
接部３４によって屈曲し、フランジ部３１と嵌入部３６
とに強く密接するとともに、角溝３５の両エッジ部が食
込む状態になる。すなわち、符号ａ〜ｆの６箇所におい
て気密部分が作られる。

【０００６】（２）特開昭６４−３６０４３号公報に
は、本体部と上蓋部とを備えているパッケージが開示さ
れている。このパッケージの本体部は四方の側面部と、
四方をとりまいてテープを巻回することよってシールす
るための垂直部と、前記垂直面から延在するリップ部
と、互いに対向する側面部にそれぞれ設けられたフック
部とを備えている。一方、パッケージの上蓋部は四方の
側面部と、テープを巻くことによってシールするための
垂直面と、前記垂直面から延在するリップ部と、対向す
る側面部に設けられた前記本体部のフック部の係合する
ラッチ部を備えている。

【０００７】そして、上蓋部と本体部のそれぞれに設け
たリップ部同士を嵌合させ、また、上蓋部のラッチ部を
本体部のフック部に係合することにより、上蓋部と本体
部が一体化し、本体部と上蓋部のそれぞれの垂直面にテ
ープを巻いて、継目をシールする。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記実
願昭６２−１７８８２２号のものは、ある程度のシール
性（気密性）は得られるものの、蓋体によりシール材を
平面部で押えているので、蓋体を開ける際に蓋体がシー
ル材と密着して開かないことになる。すなわち、気密性
を高めるためには、蓋体のシール材に対する押し付け力
を大きくしなければならない。そのために、容器自体の
剛性を高めねばならず、また、蓋体を開閉する場合に、
高駆動力が要求されることになる。ところが、この種の
容器は軽量化やクリーン性等のためから合成樹脂で形成
されているため、容器の剛性が弱く、実際には、シール
材（パッキング材料）に充分な圧力を加えることが困難
である。この種の容器は、蓋体の容易な開閉を必要と
し、普通の操作としての力で開閉できなければならない
必要があり、しかも信頼性と堅固な構造が要求されるの
である。また、シール材は大きく屈曲するために、その
寿命が短くなったり、シール材をその形状に合った溝に
装着するのではなく、蓋体とフランジとの間で挾む形態
なので、内外の気圧差によりシール材が撓んだり横にず
れたりすることもある。

【０００９】特開昭６４−３６０４３号公報に開示され
たものは、上蓋部と本体部のそれぞれに設けたリップ部
を嵌合し、また、上蓋部のラッチ部が本体部のフック部
に係合することにより、上蓋部と本体部が一体化するの
で、強固に固定できるものの、本体部と上蓋部のそれぞ
れの垂直面にテープを巻いて、継目をシールするものな
ので、シールするのに手間がかかったり、シール性が低
いというような問題点がある。

【００１０】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、上蓋部をパッケージ本体部
に小さな押圧力で装着することにより、上蓋部およびパ
ッケージ本体部にそれぞれ設けたシール材押圧突起を、
線接触にてシール材に大きな圧力で押し付け、シール性
の向上するパッケージを提供することを目的としてい
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のパッケージは、パッケージ本体部と、上蓋部
と、前記上蓋部を前記パッケージ本体部に装着するため
の装着手段からなり、前記パッケージ本体部の上面に、
シール材収容溝が閉ループ状に設けられ、前記上蓋部の
下面の、前記パッケージ本体部の前記シール材収容溝に
対応する位置に、断面逆山形形状の第１のシール材押圧
突起が閉ループ状に設けられ、さらに、前記シール材収
容溝の底面に、断面山形形状の第２のシール材押圧突起
が閉ループ状に設けられており、前記パッケージ本体部
の前記シール材収容溝内に、閉ループ状のシール材が挿
入され、前記装着手段により前記上蓋部を前記パッケー
ジ本体部に装着した時に、前記第１のシール材押圧突起
および第２のシール材押圧突起が、前記シール材に閉ル
ープ状の線接触にてそれぞれ押圧するように構成されて
いることを特徴とするものである。

【００１２】他の本発明は、パッケージ本体部と、上蓋
部と、前記上蓋部を前記パッケージ本体部に装着するた
めの装着手段からなり、前記上蓋部の下面に、シール材
収容溝が閉ループ状に設けられ、前記パッケージ本体部
の上面の、前記上蓋部の前記シール材収容溝に対応する
位置に、断面山形形状の第１のシール材押圧突起が閉ル
ープ状に設けられ、さらに、前記シール材収容溝の上面
に、断面逆山形形状の第２のシール材押圧突起が閉ルー
プ状に設けられており、前記上蓋部の前記シール材収容
溝内に、閉ループ状のシール材が挿入され、前記装着手
段により前記上蓋部を前記パッケージ本体部に装着した
時に、前記第１のシール材押圧突起および前記第２のシ
ール材押圧突起が、前記シール材に閉ループ状の線接触
にてそれぞれ押圧するように構成されていることを特徴
とするものである。

【００１３】さらに、前記パッケージ本体部内には、鉛
直方向に延在しかつ複数のウェーハのおのおのを互いに
隔てる部材としての複数の分割歯を有するウェーハキャ
リアが設けられ、前記上蓋部はウェーハのそれぞれを前
記ウェーハキャリアに対して着座させるものとすること
ができる。

【００１４】ここで、本発明の作用について説明する。
上記のとおりに構成された請求項１に記載の発明では、
上蓋部を装着手段によりパッケージ本体部に装着する
と、上蓋部の第１のシール材押圧突起により、シール材
はシール材収容溝の第２のシール材押圧突起に押圧され
る。ここで、第１のシール材押圧突起はシール材の上面
に閉ループ状に線接触し、第２のシール材押圧突起もシ
ール材の下面に閉ループ状に線接触する。これにより、
上蓋部のパッケージ本体部への押圧力が小さくても、前
記線接触する第１および第２のシール材押圧突起によ
り、シール材の上下面は大きな圧力で押圧され、結果的
に、上蓋部とシール材の間、およびシール材とパッケー
ジ本体部の間が確実にシールされることになる。また、
上蓋部はシール材に面接触ではなく、線接触するので、
上蓋部をパッケージ本体部から取外す際、すなわち、上
蓋部を開ける際に、上蓋部を小さな力で上方に持ち上げ
ればよい。しかも、シール材はその形状に合うシール材
収容溝内に装着されるので、屈曲せず、シール性が損な
われることもない。

【００１５】請求項２に記載の発明のように、パッケー
ジ本体部にシール材収容溝を設ける代りに、上蓋部にシ
ール材収容溝を設けても、上記と同様な作用が得られ
る。

【００１６】請求項３に記載の発明のように、本発明
を、例えば半導体ウェーハを収納するためや、運搬の際
に使用するパッケージに適用することにより、極めて有
用なものとなる。すなわち、複数のウェーハを保持する
ウェーハキャリアをパッケージ本体部内に収容し、そし
て、上蓋部をパッケージ本体部に装着すると、上蓋部は
ウェーハのおのおのの周縁部における所定の部位を軽く
押圧し、ウェーハのそれぞれをウェーハキャリアに対し
て着座させる。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施例について
図面を参照して説明する。図１は本発明のパッケージの
一実施例の箱状本体部および上蓋部を断面にした側面
図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３（ａ）は、図１
において上蓋部を箱状本体部に装着する前のシール部の
拡大詳細図、図３（ｂ）は、上蓋部を箱状本体部に装着
した後の状態のシール部の拡大詳細図である。以下、本
実施例は、半導体ウェーハ（以下、ウェーハという）を
収納するためや、運搬の際に使用するパッケージに本発
明を適用した例を示すが、これに限らず、内外の気圧差
が生じて、外気がパッケージ内に流入することを防止す
るための、ゴミ付着を嫌う電子部品等の物品を収納する
パッケージにも本発明を適用できる。

【００１８】先ず、図１および図２に示すように、符号
１は方形状の箱状本体部（パッケージ本体部）を示し、
この箱状本体部１内には、複数のウェーハ１３を保持す
る後述するウェーハキャリア９が収納されている。箱状
本体部の外形は方形状のものに限らず、円筒形状でもよ
い。箱状本体部１の上端には外方へ延びるフランジ３が
一体的に設けられ、このフランジ３は、閉ループ状のシ
ール材収容溝５を有する凹部４を備えている。このシー
ル材収容溝５は、断面矩形状で、平面視（図１中におけ
る上面視）、矩形閉ループ状に形成されている。シール
材収容溝５内には、断面矩形状でかつ平面視（図１中に
おける上面視）矩形閉ループ状に形成されたシール材
（パッキン）８が収容されている。上蓋部２は平面視矩
形の板部材であり、その外周の少なくとも４箇所におい
て、固定手段としての爪６ａ，６ｂにより箱状本体部１
のフランジ３に装着される。爪６ａ，６ｂは、箱状本体
部１のフランジ３の立ち上がり部３ａに、支軸７ａ，７
ｂにより回動自在に支持されている。立ち上がり部３ａ
は、上蓋部２を箱状本体部１に装着する際の位置決めの
役目を果たす。上蓋部２の下面には、大きさの異なる後
述するウェーハ押え部材（ウェーハコンタクター）１
１，１２が設けられている。箱状本体部２および上蓋部
２はそれぞれ射出成形により大量生産できる。

【００１９】次に、各部の詳細構造について説明する。
図３に示すように、シール部の構造については、箱状本
体部１には、上面にシール材収容溝５が閉ループ状に形
成されたフランジ３を備えており、一方、上蓋部２の下
面の、箱状本体部１の前記シール材収容溝５の幅方向中
央に対応する位置に、断面逆山形形状の第１のシール材
押圧突起１４が閉ループ状に設けられている。箱状本体
部１のシール材収容溝５内に、閉ループ状のシール材８
が挿入されている。このシール材８の幅寸法は、シール
材８がシール材収容溝５から容易には抜けないような寸
法になっている。なお、第１のシール材押圧突起１４は
一つに限らず、２つ以上設けてもよい。

【００２０】シール材収容溝５の底壁面１５の、シール
材収容溝５の径方向の両端部に、断面山形形状の２つの
第２のシール材押圧突起４ａ，４ｂがそれぞれ設けられ
ている。これら２つの第２のシール材押圧突起４ａ，４
ｂは、シール材８の下面に閉ループ状に線接触する（図
３（ａ）の断面図では点接触）。第２のシール材押圧突
起４ａ，４ｂは２つに限らず、シール材収容溝５の中央
に１つだけ設けたり、あるいは３つ以上の複数個設けて
もよい。本実施例では、シール材８の上面がフランジ３
の上面と同一面になるように、その高さ寸法がシール材
収容溝５の深さよりも小さくなっているが、これに限ら
ず、シール材８の上面をフランジ３の上面よりも低くし
てもよい。

【００２１】図３（ａ）に示す、上蓋部２が開いた状態
から、上蓋部２を、装着手段（図１に示した複数の爪６
ａ，６ｂ）により箱状本体部１のフランジ３に装着する
と（図３の（ｂ）参照）、上蓋部２の第１のシール材押
圧突起１４により、シール材８はシール材収容溝５の第
２のシール材押圧突起４ａ，４ｂに押圧される。ここ
で、第１のシール材押圧突起１４はシール材８の上面に
閉ループ状に線接触し、第２のシール材押圧突起４ａ，
４ｂもシール材８の下面に閉ループ状に線接触する。こ
れにより、上蓋部２のパッケージ本体部１への押圧力が
小さくても、前記線接触する第１および第２のシール材
押圧突起１４，４ａ，４ｂにより、シール材１８の上下
面は大きな圧力で押圧され、結果的に、上蓋部２とシー
ル材８の間、およびシール材８とパッケージ本体部１の
間が確実にシールされることになる。そして、上蓋部２
を箱状本体部１に小さな押圧力で装着できるので、上蓋
部２や箱状本体部１が破損しない。また、第２のシール
材押圧突起４ａ，４ｂは複数（本例では２つ）設けられ
ているので、特に、シール材８の下面とフランジ３との
間のシール性がよい。

【００２２】また、上蓋部２はシール材に面接触ではな
く、線接触するので、上蓋部２をパッケージ本体部１か
ら取外す際、すなわち、上蓋部１を開ける際に、上蓋部
２を小さな力で上方に持ち上げればよい。

【００２３】さらに、シール材８およびシール材収容溝
５の断面形状がいずれも矩形状で、シール材８はその形
状に合うシール材収容溝５内に装着され、大きくは屈曲
しないので、その寿命が長いとともに、横に位置ずれし
たりせず、シール性が損なわれない。第１のシール材押
圧突起１４および第２のシール材押圧突起４ａ，４ｂの
下端は鋭利なものほど、前記シール材８の上下面に線接
触しやすいが、あまり、鋭利すぎると、シール材８の上
下面が破損したりするので、本実施例では、第１のシー
ル材押圧突起１４および第２のシール材押圧突起４ａ，
４ｂの下端は丸み加工が施されている。また、前記シー
ル材８は、前記線接触を確実なものとするために、その
弾性定数や硬度を設定されている。

【００２４】再び、図１および図２に示すように、ウェ
ーハキャリア９およびウェーハコンタクター１１，１２
は上記特開昭６４−３６０４３号公報に開示されている
公知のものである。上蓋部２を箱状本体部１に対して強
固に一体化させパッケージを形成する。ウェーハ１３
は、ウェーハキャリア９を構成する鉛直方向に延在する
部在でありかつウェーハ１３おのおのを互いに隔てる部
材としての複数の分割歯１０の間に嵌挿され、この結
果、おのおののウェーハ１３がこれらの分割歯１０によ
って変位を規制されている。ウェーハキャリア９はウェ
ーハ１３がセットされた状態で、箱状本体部１の底部１
ａのウェーハキャリア嵌合溝１ｂに嵌合される。可撓性
の柔軟なウェーハコンタクター１１，１２の列が上蓋部
２の平坦な裏面から垂直に立設される。ウェーハコンタ
クター１１，１２は大きさが異なり、本実施例では大き
さの異なる２種のウェーハ１３を保持できるようになっ
ている。ウェーハキャリア９に複数のウェーハ１３が位
置決めされる。ウェーハキャリア９と複数のウェーハ１
３が、パッケージを構成する箱状本体部１と上蓋部２内
に収納保持される。

【００２５】すなわち、ウェーハコンタクター１１，１
２のおのおのはウェーハ１３のおのおのの周縁部におけ
る所定の部位を軽く押圧し、ウェーハ１３のそれぞれを
ウェーハキャリア９に対して着座させている。この結
果、ウェーハキャリア９におけるウェーハ１３の変位を
最小限に抑制している。さらに、ウェーハ１３に対する
ウエハコンタクター１１，１２からの押圧力はウェーハ
１３を介してウェーハキャリア９に伝わり、これによっ
て、ウェーハキャリア９はパッケージの箱状本体部１に
固定される。

【００２６】次に、シール部の他の実施例について図４
および図５を参照して説明する。先ず、図３に示した、
箱状本体部にフランジを形成し、このフランジにシール
材収容溝を形成するものに限らず、例えば図４に示すよ
うに、箱状本体部１６の上端部を厚肉部１６ａとし、こ
の厚肉部１６ａの上面にシール材収容溝１７を形成して
もよい。

【００２７】次に、図３に示したような箱状本体部側に
シール材収容溝を設けるものに限らず、図５に示すよう
に、上蓋部２２側にシール材収容溝２５を設けてもよ
い。すなわち、上蓋部２２の外周部は、シール材収容溝
２５が閉ループ状に形成された凸部２２ａを備えてお
り、一方、箱状本体部のフランジ２３の上面の、上蓋部
２２の前記シール材収容溝２５の幅方向中央に対応する
位置に、断面山形形状の第１のシール材押圧突起２３が
閉ループ状に設けられている。上蓋部２２のシール材収
容溝２５内に閉ループ状のシール材１８が挿入されてい
る。

【００２８】シール材収容溝２５の上面２５ａの、シー
ル材収容溝２５の径方向の両端部に、断面逆山形形状の
２つの第２のシール材押圧突起２４ａ，２４ｂがそれぞ
れ設けられている。これら２つの第２のシール材押圧突
起２４ａ，２４ｂは、シール材１８の上面に閉ループ状
にそれぞれ線接触する（図５（ａ）の断面図では点接
触）。第２のシール材押圧突起２４ａ，２４ｂは２つに
限らず、シール材収容溝２５の中央に１つだけ設けた
り、あるいは３つ以上の複数個設けてもよい。

【００２９】図５（ａ）に示す、上蓋部２２が開いた状
態から、上蓋部２２を、装着手段（図１に示した複数の
爪６ａ，６ｂ）により箱状本体部のフランジ２３に装着
すると（図５の（ｂ）参照）、上蓋部２２側の第２のシ
ール材押圧突起２４ａ，２４ｂにより、シール材１８は
シール材収容溝２５側の第２のシール材押圧突起２３に
押圧される。ここで、第２のシール材押圧突起２４ａ，
２４ｂはシール材１８の上面に閉ループ状に線接触し、
第１のシール材押圧突起２６もシール材１８の下面に閉
ループ状に線接触する。これにより、上蓋部２のパッケ
ージ本体部１への押圧力が小さくても、前記線接触する
第１および第２のシール材押圧突起２６，２４ａ，２４
ｂにより、シール材１８の上下面は大きな圧力で押圧さ
れ、結果的に、上蓋部２２とシール材１８の間、および
シール材１８とフランジ２３の間が確実にシールされる
ことになり、図３のものと同等な効果が得られる。

【００３０】ここで、本実施例の箱状本体部（パッケー
ジ本体部）１、上蓋部２、ウェーハキャリア９、ウェー
ハ押え部材（ウェーハコンタクター）１１，１２、シー
ル材８，１８の各部品の材質の一例について説明する。

【００３１】箱状本体部：ＰＰ（ポリプロピレン）。こ
の樹脂は、半導体製造工程ではかなり一般的な樹脂であ
り、各工場内の搬送用キャリアとして永年使用されてい
る。半導体製造の進歩とともに、ウェーハキャリアなど
の成形品はもとより、樹脂そのものにも高い純度の要求
があり、高純度半導体グレードＰＰを使用して箱状本体
部を成形する。 上蓋部：ＰＣ（ポリカーボネート）。この樹脂はＰＰに
比べて半導体製造工程の汎用性は低いが、近年、箱状本
体部（ウェーハの出荷ボックス）やそれ用のウェーハキ
ャリアにも採用されている。 ウェーハ押え部材：ＰＥＥ（ポリエステルエラストマ
ー）。この樹脂の大きな特徴はエラスティックな性質に
あり、グレードの選択により、柔軟性を調整でき、半導
体製造用としてはウェーハ押え部材の他にシール材（パ
ッキン）として幅広く使用されている。 ウェーハキャリア：ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレー
ト）。この樹脂は、クリーンパック用としては、少し贅
沢な材料であるが、高純度であり、しかも、ウェーハへ
の樹脂付着の少なさを鑑みて採用し、また、ウェーハキ
ャリアとしての強度も上がり（ＰＰ製のキャリアと比較
して）、半導体製造工程内もそのまま使用できる。 シール材：ＬＩＭシリコーン（Ｌｉｑｕｉｄ Ｉｎｊｅ
ｃｔｉｏｎ Ｍａｃｈｉｎｅ Ｓｉｌｉｃｏｎ）。ミラ
ブル型シリコーンは、一次加硫を経て成形されるため、
成形時にパーティクルの混入や低留分の発生ガスが多い
という不具合があり、ウェーハへの影響が大きいのに対
し、ＬＩＭシリコーンは、低分子シロキサン環状体の低
減の管理で、前記不具合を解消できる。

【００３２】上記各材質は一例であり、例えば、ボック
ス本体にＰＣを、上蓋部にＰＰを、ウエハ押え部材にＰ
Ｐを、ウェーハキャリアにＰＰあるいはＰＣを、シール
材にＰＥＥを用いてもよい。

【００３３】

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、以下に記載するような効果を奏する。請
求項１に記載の発明は、上蓋部を装着手段によりパッケ
ージ本体部に装着すると、上蓋部の第１のシール材押圧
突起はシール材の上面に閉ループ状に線接触するととも
に、パッケージ本体部の第２のシール材押圧突起はシー
ル材の下面に閉ループ状に線接触する。これにより、上
蓋部のパッケージ本体部への押圧力が小さくても、第１
および第２のシール材押圧突起により、線接触にてシー
ル材の上下面が大きな圧力で押圧され、上蓋部とシール
材の間、およびシール材とパッケージ本体部の間が確実
にシールされ、シール性がよい。また、上蓋部はシール
材に面接触ではなく、線接触するので、上蓋部をパッケ
ージ本体部から取外す際、すなわち、上蓋部を開ける際
に、上蓋部を小さな力で、上方に上げればよく、しか
も、上蓋部にシール材が付着しない。シール材はその形
状に合うシール材収容溝内に装着されて、大きくは屈曲
しないので、その寿命が長いとともに、横に位置ずれし
たりせず、良好なシール性が保たれる。さらに、シール
部の構造が簡単なので、保守点検が容易である。請求項
２に記載の発明のように、前記パッケージ本体部シール
材収容溝を設ける代りに、前記上蓋部にシール材収容溝
を設けても、上記と同様な効果が得られる。請求項３に
記載の発明のように、本発明を、例えば半導体ウェーハ
を収納するためや、運搬の際に使用するパッケージに適
用することにより、極めて有用なものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のパッケージの一実施例の箱状本体部お
よび上蓋部を断面にした側面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】（ａ）は、図１において上蓋部を箱状本体部に
装着する前のシール部の拡大詳細図、（ｂ）は、上蓋部
を箱状本体部に装着した状態のシール部の拡大詳細図で
ある。

【図４】シール部の変形例を示す、箱状本体部の要部断
面図である。

【図５】他の実施例を示し、（ａ）は、上蓋部を箱状本
体部に固定装着する前のシール部の他の実施例の拡大詳
細図、（ｂ）は、上蓋部を箱状本体部に固定装着した状
態のシール部の拡大詳細図である。

【図６】従来のパッケージのシール部の断面図である。

【図７】図６のシール材の斜視図である。

【符号の説明】

１，１６ 箱状本体部（パッケージ
本体） １ａ 底板 １ｂ ウェーハキャリア嵌合溝 ２，２２ 上蓋部 ３，２３ フランジ ３ａ 立ち上がり部 ４ 凹部 ４ａ，４ｂ，２４ａ，２４ｂ 第２のシール材押圧突起 ５，２５ シール材収容溝 ６ａ，６ｂ 爪（装着手段） ７ａ，７ｂ 支軸 ８，１８ シール材（パッキン） ９ ウェーハキャリア １０ 分割歯 １１，１２ ウェーハ押え部材（ウェ
ーハコンタクター） １３ 半導体ウェーハ １４，２６ 第１のシール材押圧突起 １５ 底面 ２５ａ 上面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清野 良浩 新潟県新潟市小金町三番地１ 三菱マテリ アル株式会社新潟製作所内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パッケージ本体部と、上蓋部と、前記上
   蓋部を前記パッケージ本体部に装着するための装着手段
   からなり、 前記パッケージ本体部の上面に、シール材収容溝が閉ル
   ープ状に設けられ、 前記上蓋部の下面の、前記パッケージ本体部の前記シー
   ル材収容溝に対応する位置に、断面逆山形形状の第１の
   シール材押圧突起が閉ループ状に設けられ、 さらに、前記シール材収容溝の底面に、断面山形形状の
   第２のシール材押圧突起が閉ループ状に設けられてお
   り、 前記パッケージ本体部の前記シール材収容溝内に、閉ル
   ープ状のシール材が挿入され、 前記装着手段により前記上蓋部を前記パッケージ本体部
   に装着した時に、前記第１のシール材押圧突起および第
   ２のシール材押圧突起が、前記シール材に閉ループ状の
   線接触にてそれぞれ押圧するように構成されていること
   を特徴とするパッケージ。
2. 【請求項２】 パッケージ本体部と、上蓋部と、前記上
   蓋部を前記パッケージ本体部に装着するための装着手段
   からなり、 前記上蓋部の下面に、シール材収容溝が閉ループ状に設
   けられ、 前記パッケージ本体部の上面の、前記上蓋部の前記シー
   ル材収容溝に対応する位置に、断面山形形状の第１のシ
   ール材押圧突起が閉ループ状に設けられ、 さらに、前記シール材収容溝の上面に、断面逆山形形状
   の第２のシール材押圧突起が閉ループ状に設けられてお
   り、 前記上蓋部の前記シール材収容溝内に、閉ループ状のシ
   ール材が挿入され、 前記装着手段により前記上蓋部を前記パッケージ本体部
   に装着した時に、前記第１のシール材押圧突起および前
   記第２のシール材押圧突起が、前記シール材に閉ループ
   状の線接触にてそれぞれ押圧するように構成されている
   ことを特徴とするパッケージ。
3. 【請求項３】 前記パッケージ本体部内には、鉛直方向
   に延在しかつ複数のウェーハのおのおのを互いに隔てる
   部材としての複数の分割歯を有するウェーハキャリアが
   設けられ、前記上蓋部はウェーハのそれぞれを前記ウェ
   ーハキャリアに対して着座させるものである請求項１ま
   たは請求項２に記載のパッケージ。