JPH11154699A - 容器の封止構造 - Google Patents
容器の封止構造Info
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- JPH11154699A JPH11154699A JP9320749A JP32074997A JPH11154699A JP H11154699 A JPH11154699 A JP H11154699A JP 9320749 A JP9320749 A JP 9320749A JP 32074997 A JP32074997 A JP 32074997A JP H11154699 A JPH11154699 A JP H11154699A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基体と蓋体とが大型化しても簡易な構造で十
分な密封性を得ることができる容器を提供する。 【解決手段】 有底筒形でほぼドーム形を呈した基体１
の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部２を外方
向に張り出し成形してこの嵌合段差部２の内部底面には
環状の溝３を凹み成形する。また、蓋体５の裏面から嵌
合段差部２に嵌合する嵌合筒部６を突出させてこの嵌合
筒部６の外周面には環状の溝７を凹み成形し、複数の溝
３・７に環状・中実の弾性シール４・８をそれぞれ嵌入
してこの複数の弾性シール４・８で基体１と蓋体５との
外周部における間隙を閉塞する。この構造により、例え
基体１と蓋体５が大型化されても、十分な密封性を確保
できる。
分な密封性を得ることができる容器を提供する。 【解決手段】 有底筒形でほぼドーム形を呈した基体１
の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部２を外方
向に張り出し成形してこの嵌合段差部２の内部底面には
環状の溝３を凹み成形する。また、蓋体５の裏面から嵌
合段差部２に嵌合する嵌合筒部６を突出させてこの嵌合
筒部６の外周面には環状の溝７を凹み成形し、複数の溝
３・７に環状・中実の弾性シール４・８をそれぞれ嵌入
してこの複数の弾性シール４・８で基体１と蓋体５との
外周部における間隙を閉塞する。この構造により、例え
基体１と蓋体５が大型化されても、十分な密封性を確保
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、埃や粉塵等による
汚染を嫌うフォトマスク、ペリクル等の精密部品の輸送
・搬送用の密封容器に関し、特に半導体シリコンウェー
ハを汚染から保護して輸送・搬送するための容器の封止
構造に関するものである。
汚染を嫌うフォトマスク、ペリクル等の精密部品の輸送
・搬送用の密封容器に関し、特に半導体シリコンウェー
ハを汚染から保護して輸送・搬送するための容器の封止
構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体シリコンウェーハ（以
下、単にウェーハと略称する）を収納する従来の容器
は、図示しないが、上部が開口した有底筒形の基体と、
この基体に収納されるウェーハ用の整列内箱と、基体の
開口上部を被覆する蓋体とを備えている。そして、基体
に整列内箱を収納後、半導体メーカからＩＣメーカに航
空機や各種車両等で輸送される。
下、単にウェーハと略称する）を収納する従来の容器
は、図示しないが、上部が開口した有底筒形の基体と、
この基体に収納されるウェーハ用の整列内箱と、基体の
開口上部を被覆する蓋体とを備えている。そして、基体
に整列内箱を収納後、半導体メーカからＩＣメーカに航
空機や各種車両等で輸送される。
【０００３】ところで、上記構成の容器は、航空機輸送
等で環境の気圧が変化した場合、密封状態の保圧性能が
不十分なので、比較的短時間で内外の圧力差が緩和さ
れ、特に密封状態を解除しなくても開放することができ
る。しかしながら、これでは、大気中の粉塵が輸送中等
に容器に侵入し易く、被収納物であるウェーハのコンタ
ミ(contamination)を惹起することとなる。そこで、こ
の点に鑑み、基体と蓋体との開口部周縁に弾性シール部
材を介在させて嵌合する密封構造の容器が開発されてい
る。
等で環境の気圧が変化した場合、密封状態の保圧性能が
不十分なので、比較的短時間で内外の圧力差が緩和さ
れ、特に密封状態を解除しなくても開放することができ
る。しかしながら、これでは、大気中の粉塵が輸送中等
に容器に侵入し易く、被収納物であるウェーハのコンタ
ミ(contamination)を惹起することとなる。そこで、こ
の点に鑑み、基体と蓋体との開口部周縁に弾性シール部
材を介在させて嵌合する密封構造の容器が開発されてい
る。
【０００４】なお、この種の容器に関する先行技術文献
として、実開昭６３−８２７８８号、実開昭６３−１６
６９４８号、特開平８−２７９５４６号、及び特開平９
−１０７０２５号公報等があげられる。
として、実開昭６３−８２７８８号、実開昭６３−１６
６９４８号、特開平８−２７９５４６号、及び特開平９
−１０７０２５号公報等があげられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年は
ウェーハの大口径化（将来的には３００ｍｍ以上と推定
される）が進み、これに伴いウェーハを収納する基体及
び蓋体も大型化してきている。また、基体と蓋体との開
口部周縁に弾性シール部材を介在させて密封性を得る構
造では、弾性シール部材の外径を基体及び蓋体の開口部
周縁に対応させる必要がある。この場合、当然のことな
がら、基体及び蓋体の開口部周縁と弾性シール部材との
嵌合間隙が大きくなるので、十分な密封性を得ることが
できないおそれがある。
ウェーハの大口径化（将来的には３００ｍｍ以上と推定
される）が進み、これに伴いウェーハを収納する基体及
び蓋体も大型化してきている。また、基体と蓋体との開
口部周縁に弾性シール部材を介在させて密封性を得る構
造では、弾性シール部材の外径を基体及び蓋体の開口部
周縁に対応させる必要がある。この場合、当然のことな
がら、基体及び蓋体の開口部周縁と弾性シール部材との
嵌合間隙が大きくなるので、十分な密封性を得ることが
できないおそれがある。
【０００６】本発明は、上記に鑑みなされたもので、基
体と蓋体とが大型化しても簡易な構成で十分な密封性を
得ることのできる容器の封止構造を提供することを目的
としている。
体と蓋体とが大型化しても簡易な構成で十分な密封性を
得ることのできる容器の封止構造を提供することを目的
としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、上記課題を達成するため、有底筒形でほぼドー
ム形を呈した基体の開口部を蓋体で被覆する容器であっ
て、上記基体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段
差部を張り出してこの嵌合段差部の少なくとも内部底面
には無端状の溝を形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差
部に嵌合する嵌合筒部を設けてこの嵌合筒部の少なくと
も外周面には無端状の溝を形成し、上記溝にそれぞれ嵌
入された弾性シール部材で上記基体と上記蓋体における
間隙を閉塞することを特徴としている。
いては、上記課題を達成するため、有底筒形でほぼドー
ム形を呈した基体の開口部を蓋体で被覆する容器であっ
て、上記基体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段
差部を張り出してこの嵌合段差部の少なくとも内部底面
には無端状の溝を形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差
部に嵌合する嵌合筒部を設けてこの嵌合筒部の少なくと
も外周面には無端状の溝を形成し、上記溝にそれぞれ嵌
入された弾性シール部材で上記基体と上記蓋体における
間隙を閉塞することを特徴としている。
【０００８】また、請求項２記載の発明においては、上
記課題を達成するため、有底筒形でほぼドーム形を呈し
た基体の開口部を蓋体で被覆する容器であって、上記基
体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部を張り
出してこの嵌合段差部の少なくとも内部底面には無端状
の溝を形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に嵌合す
る嵌合筒部を設けてこの嵌合筒部の少なくとも外周面に
は無端状の溝を形成し、上記複数の溝に弾性シール部材
をそれぞれ嵌入してこの複数の弾性シール部材で上記基
体と上記蓋体との外周部における間隙を閉塞することを
特徴としている。
記課題を達成するため、有底筒形でほぼドーム形を呈し
た基体の開口部を蓋体で被覆する容器であって、上記基
体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部を張り
出してこの嵌合段差部の少なくとも内部底面には無端状
の溝を形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に嵌合す
る嵌合筒部を設けてこの嵌合筒部の少なくとも外周面に
は無端状の溝を形成し、上記複数の溝に弾性シール部材
をそれぞれ嵌入してこの複数の弾性シール部材で上記基
体と上記蓋体との外周部における間隙を閉塞することを
特徴としている。
【０００９】また、請求項３記載の発明においては、上
記課題を達成するため、有底筒形でほぼドーム形を呈し
た基体の開口部を蓋体で被覆する容器であって、上記基
体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部を張り
出し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に嵌合する嵌合筒
部を設けてこの嵌合筒部の底面と外周面とには無端状の
溝をそれぞれ形成し、この溝にそれぞれ嵌入された弾性
シール部材で上記基体と上記蓋体における間隙を閉塞す
ることを特徴としている。
記課題を達成するため、有底筒形でほぼドーム形を呈し
た基体の開口部を蓋体で被覆する容器であって、上記基
体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部を張り
出し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に嵌合する嵌合筒
部を設けてこの嵌合筒部の底面と外周面とには無端状の
溝をそれぞれ形成し、この溝にそれぞれ嵌入された弾性
シール部材で上記基体と上記蓋体における間隙を閉塞す
ることを特徴としている。
【００１０】また、請求項４記載の発明においては、上
記課題を達成するため、有底筒形でほぼドーム形を呈し
た基体の開口部を蓋体で被覆する容器であって、上記基
体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部を張り
出し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に嵌合する嵌合筒
部を設けてこの嵌合筒部の底面と外周面とには無端状の
溝をそれぞれ形成し、該複数の溝に弾性シール部材をそ
れぞれ嵌入してこの複数の弾性シール部材で上記基体と
上記蓋体との外周部における間隙を閉塞することを特徴
としている。
記課題を達成するため、有底筒形でほぼドーム形を呈し
た基体の開口部を蓋体で被覆する容器であって、上記基
体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部を張り
出し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に嵌合する嵌合筒
部を設けてこの嵌合筒部の底面と外周面とには無端状の
溝をそれぞれ形成し、該複数の溝に弾性シール部材をそ
れぞれ嵌入してこの複数の弾性シール部材で上記基体と
上記蓋体との外周部における間隙を閉塞することを特徴
としている。
【００１１】また、請求項５記載の発明においては、上
記課題を達成するため、有底筒形でほぼドーム形を呈し
た基体の開口部を蓋体で被覆する容器であって、上記基
体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部を張り
出してこの嵌合段差部の内部底面と内周面とには無端状
の溝をそれぞれ形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部
に嵌合する嵌合筒部を設け、上記各溝の弾性シール部材
で上記基体と上記蓋体における間隙を閉塞することを特
徴としている。なお、上記複数の弾性シール部材は一体
構成することもできる。
記課題を達成するため、有底筒形でほぼドーム形を呈し
た基体の開口部を蓋体で被覆する容器であって、上記基
体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部を張り
出してこの嵌合段差部の内部底面と内周面とには無端状
の溝をそれぞれ形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部
に嵌合する嵌合筒部を設け、上記各溝の弾性シール部材
で上記基体と上記蓋体における間隙を閉塞することを特
徴としている。なお、上記複数の弾性シール部材は一体
構成することもできる。
【００１２】ここで、本発明に係る容器の封止構造は、
基体の開口部に蓋体を被せてこれらの周縁部を封止し、
内部を密封することのできる容器を対象とする。これら
基体と蓋体との間には蓋体の開閉に支障がなく、基体の
段差部と蓋体の嵌合筒部とを封止し得る最適な間隙が必
要となる。この間隙は、弾性シート部材の材質、形状、
つぶし量、及び又は間隙を塞いだ際の基体に対する蓋体
の封止力を勘案して決定されるが、０．０１ｍｍ以上あ
れば、実用的には十分である。具体的には、０．００３
ｍｍ以上〜５ｍｍの範囲から選択された適宜の間隙とさ
れる。
基体の開口部に蓋体を被せてこれらの周縁部を封止し、
内部を密封することのできる容器を対象とする。これら
基体と蓋体との間には蓋体の開閉に支障がなく、基体の
段差部と蓋体の嵌合筒部とを封止し得る最適な間隙が必
要となる。この間隙は、弾性シート部材の材質、形状、
つぶし量、及び又は間隙を塞いだ際の基体に対する蓋体
の封止力を勘案して決定されるが、０．０１ｍｍ以上あ
れば、実用的には十分である。具体的には、０．００３
ｍｍ以上〜５ｍｍの範囲から選択された適宜の間隙とさ
れる。
【００１３】容器は、基体の開口部に蓋体を被せてこれ
らの周縁部を係止部材で固定し、弾性シール部材を変形
させて基体と蓋体との間隙を塞ぐことにより封止され
る。この封止は、蓋体のリブやハンドル等を使用して蓋
体を上方等に取り外すことにより解除される。なお、基
体に被収納物を収納して蓋体を被せる方法が一般的であ
るが、これに限定されるものではない。例えば、蓋体の
底面に被収納物を収納するようにして蓋体の開口部に基
体をセットし、蓋体の嵌合筒部と基体の嵌合段差部との
間隙を封止して密着しても良い。また、特許請求の範囲
における「ほぼドーム形を呈した基体」とは、半円球形
に限らず、有底円筒形や角柱形等の各種形状を呈した中
空の基体をいう。
らの周縁部を係止部材で固定し、弾性シール部材を変形
させて基体と蓋体との間隙を塞ぐことにより封止され
る。この封止は、蓋体のリブやハンドル等を使用して蓋
体を上方等に取り外すことにより解除される。なお、基
体に被収納物を収納して蓋体を被せる方法が一般的であ
るが、これに限定されるものではない。例えば、蓋体の
底面に被収納物を収納するようにして蓋体の開口部に基
体をセットし、蓋体の嵌合筒部と基体の嵌合段差部との
間隙を封止して密着しても良い。また、特許請求の範囲
における「ほぼドーム形を呈した基体」とは、半円球形
に限らず、有底円筒形や角柱形等の各種形状を呈した中
空の基体をいう。
【００１４】「断面ほぼＬ字形」には、厳密な意味の断
面Ｌ字形の他、おおよそ断面Ｌ字形と認められる類似形
状をも含む。また、溝は、特許請求の範囲に記載した各
面にエンドレスに、具体的には、環状、無端状、又は枠
状等に形成される。溝は、最低限上記各面に形成される
が、基体の嵌合段差部の内周面と蓋体の嵌合筒部の底
面、あるいは基体の嵌合段差部の内部底面と内周面とに
さらに形成されれば、容器内部の密封性とともに蓋体の
係止効果を奏する。すなわち、基体の嵌合段差部の内部
底面と蓋体の嵌合筒部の外周面、あるいは蓋体の嵌合筒
部の底面と外周面から膨出している弾性シール部材が対
応する上記各面の溝に嵌まって密着すると、蓋体が基体
から外れにくくなり、封止効果に加え、より確実な係止
固定が期待できる。
面Ｌ字形の他、おおよそ断面Ｌ字形と認められる類似形
状をも含む。また、溝は、特許請求の範囲に記載した各
面にエンドレスに、具体的には、環状、無端状、又は枠
状等に形成される。溝は、最低限上記各面に形成される
が、基体の嵌合段差部の内周面と蓋体の嵌合筒部の底
面、あるいは基体の嵌合段差部の内部底面と内周面とに
さらに形成されれば、容器内部の密封性とともに蓋体の
係止効果を奏する。すなわち、基体の嵌合段差部の内部
底面と蓋体の嵌合筒部の外周面、あるいは蓋体の嵌合筒
部の底面と外周面から膨出している弾性シール部材が対
応する上記各面の溝に嵌まって密着すると、蓋体が基体
から外れにくくなり、封止効果に加え、より確実な係止
固定が期待できる。
【００１５】弾性シール部材は、その形状や構造等を特
に限定するものではないが、エンドレスで中空又は中実
の構造が好ましい。特に、チューブ状の弾性シール部材
は、その材質自体の硬度が比較的高い場合でも、形状的
に圧縮力を低くすることができるので、非常に有効であ
る。また、弾性シール部材は、容器の内部の圧縮性や密
閉性の観点から柔軟性や弾力性に富む材質であることが
重要である。このような材質としては、熱可塑性エラス
トマー、フッ素樹脂系のゴム、又は各種のゴム材等が該
当する。特に、ゴム硬度で４０度以下のシリコーンゴム
は、圧縮永久歪みが小さいので、好ましい材質といえ
る。
に限定するものではないが、エンドレスで中空又は中実
の構造が好ましい。特に、チューブ状の弾性シール部材
は、その材質自体の硬度が比較的高い場合でも、形状的
に圧縮力を低くすることができるので、非常に有効であ
る。また、弾性シール部材は、容器の内部の圧縮性や密
閉性の観点から柔軟性や弾力性に富む材質であることが
重要である。このような材質としては、熱可塑性エラス
トマー、フッ素樹脂系のゴム、又は各種のゴム材等が該
当する。特に、ゴム硬度で４０度以下のシリコーンゴム
は、圧縮永久歪みが小さいので、好ましい材質といえ
る。
【００１６】なお、弾性シール部材は、２個使用するの
が一般的であるが、３個以上使用して密封性をさらに向
上させることも可能である。この複数使用する場合、可
能であれば、複数の弾性シール部材を一体化しても良
い。さらに、弾性シール部材は、作業時に溝に嵌められ
るものでも良いし、溝に接着剤や粘着剤等を介し予め固
定された構成でも良い。
が一般的であるが、３個以上使用して密封性をさらに向
上させることも可能である。この複数使用する場合、可
能であれば、複数の弾性シール部材を一体化しても良
い。さらに、弾性シール部材は、作業時に溝に嵌められ
るものでも良いし、溝に接着剤や粘着剤等を介し予め固
定された構成でも良い。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の第
１の実施形態を説明する。本実施形態における容器は、
図１や図２に示すように、基体１の開口上部を蓋体５で
嵌脱自在に被覆するようにしている。
１の実施形態を説明する。本実施形態における容器は、
図１や図２に示すように、基体１の開口上部を蓋体５で
嵌脱自在に被覆するようにしている。
【００１８】基体１は、機械的特性、汚染性、及び成形
性に優れた合成樹脂を用いて透明な有底円筒形・ドーム
形に成形され、図示しないウェーハ用の整列内箱を収納
するよう機能する。この基体１の開口上部の周縁には断
面ほぼ階段形の嵌合段差部２が半径外方向に水平に張り
出し成形され、この嵌合段差部２の内部底面（水平面）
には断面半円形の溝３が環状に凹み成形されており、こ
の溝３には環状で中実の弾性シール４が着脱自在に嵌合
装着される。この弾性シール４は、その表面下部が溝３
に嵌入接触し、残部が膨出する。なお、整列内箱は、図
示しないが、中空の円柱形に成形され、水平状態のウェ
ーハを隙間を介し上下方向に並べて複数（例えば２５
枚）収納する。
性に優れた合成樹脂を用いて透明な有底円筒形・ドーム
形に成形され、図示しないウェーハ用の整列内箱を収納
するよう機能する。この基体１の開口上部の周縁には断
面ほぼ階段形の嵌合段差部２が半径外方向に水平に張り
出し成形され、この嵌合段差部２の内部底面（水平面）
には断面半円形の溝３が環状に凹み成形されており、こ
の溝３には環状で中実の弾性シール４が着脱自在に嵌合
装着される。この弾性シール４は、その表面下部が溝３
に嵌入接触し、残部が膨出する。なお、整列内箱は、図
示しないが、中空の円柱形に成形され、水平状態のウェ
ーハを隙間を介し上下方向に並べて複数（例えば２５
枚）収納する。
【００１９】蓋体５は、機械的特性、汚染性、及び成形
性に優れた合成樹脂を用いて円板形に成形され、その裏
面からリング形で少々縮径の嵌合筒部６が図１の下方向
に向け突出成形されている。この嵌合段差部２の外周面
（垂直面）には断面半円形の溝７が環状に凹み成形さ
れ、この溝７には環状で中実の弾性シール８が着脱自在
に嵌合装着される。この弾性シール８は、その表面一側
が溝７に嵌入接触し、残部が膨出する。
性に優れた合成樹脂を用いて円板形に成形され、その裏
面からリング形で少々縮径の嵌合筒部６が図１の下方向
に向け突出成形されている。この嵌合段差部２の外周面
（垂直面）には断面半円形の溝７が環状に凹み成形さ
れ、この溝７には環状で中実の弾性シール８が着脱自在
に嵌合装着される。この弾性シール８は、その表面一側
が溝７に嵌入接触し、残部が膨出する。
【００２０】上記構成において、容器を封止するには、
基体１の開口上部に蓋体５を被せて嵌合し、これらの外
周縁を図示しない複数の係止片でそれぞれ固定すれば良
い。すると、一対の弾性シール４・８がそれぞれ押圧変
形し、嵌合段差部２の内部底面と嵌合筒部６の外周面と
の間隙が完全に閉塞され、容器の内部が密閉される。
基体１の開口上部に蓋体５を被せて嵌合し、これらの外
周縁を図示しない複数の係止片でそれぞれ固定すれば良
い。すると、一対の弾性シール４・８がそれぞれ押圧変
形し、嵌合段差部２の内部底面と嵌合筒部６の外周面と
の間隙が完全に閉塞され、容器の内部が密閉される。
【００２１】上記構成によれば、弾性シール４・８がそ
れぞれ圧縮変形して嵌合段差部２と嵌合筒部６との間隙
を完全に閉塞するので、ウェーハが３００ｍｍ以上とな
り、基体１と蓋体５が大型化されても、十分な密封性を
得ることができる。
れぞれ圧縮変形して嵌合段差部２と嵌合筒部６との間隙
を完全に閉塞するので、ウェーハが３００ｍｍ以上とな
り、基体１と蓋体５が大型化されても、十分な密封性を
得ることができる。
【００２２】なお、本実施形態では作業時に溝３に弾性
シール４を、溝７には弾性シール８をそれぞれ嵌合装着
するものを示すが、なんらこれに限定されるものではな
い。例えば、作業前に溝３・７に弾性シール４・８を予
め嵌合接着した構成としても良い。
シール４を、溝７には弾性シール８をそれぞれ嵌合装着
するものを示すが、なんらこれに限定されるものではな
い。例えば、作業前に溝３・７に弾性シール４・８を予
め嵌合接着した構成としても良い。
【００２３】次に、図３及び図４は本発明の第２の実施
形態を示すもので、この場合には、嵌合段差部２の溝３
を省略し、蓋体５の嵌合筒部６における底面（水平面）
と外周面（垂直面）とに断面半円形の溝９・１０をそれ
ぞれ環状に凹み成形し、各溝９・１０に環状・中実の弾
性シール１１・１２を着脱自在に嵌合装着して基体１と
蓋体５との外周縁における間隙を複数の弾性シール１１
・１２で閉塞するようにしている。その他の部分につい
ては、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても、上記実施形態と同様の作用効果
が期待できるのは明らかである。
形態を示すもので、この場合には、嵌合段差部２の溝３
を省略し、蓋体５の嵌合筒部６における底面（水平面）
と外周面（垂直面）とに断面半円形の溝９・１０をそれ
ぞれ環状に凹み成形し、各溝９・１０に環状・中実の弾
性シール１１・１２を着脱自在に嵌合装着して基体１と
蓋体５との外周縁における間隙を複数の弾性シール１１
・１２で閉塞するようにしている。その他の部分につい
ては、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても、上記実施形態と同様の作用効果
が期待できるのは明らかである。
【００２４】なお、本実施形態では作業時に溝９に弾性
シール１１を、溝１０には弾性シール１２をそれぞれ嵌
合装着するものを示すが、なんらこれに限定されるもの
ではない。例えば、作業前に溝９・１０に弾性シール１
１・１２を予め嵌合接着した構成としても良い。また、
大きさの異なる２本の弾性シール１１・１２を別々に使
用するものを示したが、図５に示すように、２本の弾性
シール１１・１２を一体成形して単一化を図るようにし
ても良い。このように一体成形すれば、弾性シール１１
・１２の紛失のおそれがなく、しかも、部品点数の削減
が可能となる。
シール１１を、溝１０には弾性シール１２をそれぞれ嵌
合装着するものを示すが、なんらこれに限定されるもの
ではない。例えば、作業前に溝９・１０に弾性シール１
１・１２を予め嵌合接着した構成としても良い。また、
大きさの異なる２本の弾性シール１１・１２を別々に使
用するものを示したが、図５に示すように、２本の弾性
シール１１・１２を一体成形して単一化を図るようにし
ても良い。このように一体成形すれば、弾性シール１１
・１２の紛失のおそれがなく、しかも、部品点数の削減
が可能となる。
【００２５】次に、図６及び図７は本発明の第３の実施
形態を示すもので、この場合、基本的な構成は図１や図
２と同様であるが、基体１の嵌合段差部２における内部
底面（水平面）と内周面（垂直面）とに断面半円形の溝
１３・１４をそれぞれ環状に凹み成形するとともに、蓋
体５の嵌合筒部６における底面（水平面）と外周面（垂
直面）とに断面半円形の溝１５・１６をそれぞれ環状に
凹み成形し、各溝１３・１６に環状・中実の弾性シール
１７・１８を着脱自在に嵌合装着して基体１と蓋体５と
の外周縁における間隙を複数の弾性シール１７・１８で
閉塞するようにしている。したがって、基体１の溝１４
は蓋体５の弾性シール１８を、蓋体５の溝１５は基体１
の弾性シール１３をそれぞれ密嵌状態で収容する。その
他の部分については、上記実施形態と同様であるので説
明を省略する。
形態を示すもので、この場合、基本的な構成は図１や図
２と同様であるが、基体１の嵌合段差部２における内部
底面（水平面）と内周面（垂直面）とに断面半円形の溝
１３・１４をそれぞれ環状に凹み成形するとともに、蓋
体５の嵌合筒部６における底面（水平面）と外周面（垂
直面）とに断面半円形の溝１５・１６をそれぞれ環状に
凹み成形し、各溝１３・１６に環状・中実の弾性シール
１７・１８を着脱自在に嵌合装着して基体１と蓋体５と
の外周縁における間隙を複数の弾性シール１７・１８で
閉塞するようにしている。したがって、基体１の溝１４
は蓋体５の弾性シール１８を、蓋体５の溝１５は基体１
の弾性シール１３をそれぞれ密嵌状態で収容する。その
他の部分については、上記実施形態と同様であるので説
明を省略する。
【００２６】本実施形態においても、上記実施形態と同
様の作用効果が期待でき、しかも、溝１３・１４・１５
・１６に弾性シール１７・１８が完全に嵌入して密着さ
れるので、容器の内部が確実強固に密閉されるととも
に、基体１から蓋体５が非常に外れにくくなり、蓋体５
の係止固定がより確実となる。
様の作用効果が期待でき、しかも、溝１３・１４・１５
・１６に弾性シール１７・１８が完全に嵌入して密着さ
れるので、容器の内部が確実強固に密閉されるととも
に、基体１から蓋体５が非常に外れにくくなり、蓋体５
の係止固定がより確実となる。
【００２７】なお、上記実施形態では嵌合筒部６の底面
と外周面とに溝１５・１６をそれぞれ凹み成形し、基体
１の嵌合段差部２の溝を省略したものを示したが、逆で
も良い。すなわち、蓋体５の嵌合筒部６の溝１５・１６
を省略し、基体１の嵌合段差部２のみに溝１３・１４を
それぞれ凹み成形するようにしても良い。また、この場
合、大きさの異なる２本の弾性シールを一体成形して単
一化を図ることができる。また、上記実施形態ではウェ
ーハ用の容器を示したが、なんらこれに限定されるもの
ではない。例えば、電気、電子、又は半導体の製造分野
で使用されるアルミディスク、液晶セル、石英ガラス、
又はマスク基板等を容器に直接間接に収納するようにし
ても良い。さらに、上記分野以外の他分野の被収納物を
収納するようにしても良い。
と外周面とに溝１５・１６をそれぞれ凹み成形し、基体
１の嵌合段差部２の溝を省略したものを示したが、逆で
も良い。すなわち、蓋体５の嵌合筒部６の溝１５・１６
を省略し、基体１の嵌合段差部２のみに溝１３・１４を
それぞれ凹み成形するようにしても良い。また、この場
合、大きさの異なる２本の弾性シールを一体成形して単
一化を図ることができる。また、上記実施形態ではウェ
ーハ用の容器を示したが、なんらこれに限定されるもの
ではない。例えば、電気、電子、又は半導体の製造分野
で使用されるアルミディスク、液晶セル、石英ガラス、
又はマスク基板等を容器に直接間接に収納するようにし
ても良い。さらに、上記分野以外の他分野の被収納物を
収納するようにしても良い。
【００２８】
【発明の効果】以上のように請求項１ないし５記載の発
明によれば、基体と蓋体とが大型化しても簡易な構成で
十分な密封性を得ることができるという効果がある。さ
らに、請求項６記載の発明によれば、弾性シール部材の
管理や保管が容易となり、しかも、部品点数を削減する
ことが可能になる。
明によれば、基体と蓋体とが大型化しても簡易な構成で
十分な密封性を得ることができるという効果がある。さ
らに、請求項６記載の発明によれば、弾性シール部材の
管理や保管が容易となり、しかも、部品点数を削減する
ことが可能になる。
【図１】本発明に係る容器の封止構造の実施形態におけ
る封止前の状態を示す断面説明図である。
る封止前の状態を示す断面説明図である。
【図２】本発明に係る容器の封止構造の実施形態におけ
る封止後の状態を示す断面説明図である。
る封止後の状態を示す断面説明図である。
【図３】本発明に係る容器の封止構造の第２の実施形態
における封止前の状態を示す断面説明図である。
における封止前の状態を示す断面説明図である。
【図４】本発明に係る容器の封止構造の第２の実施形態
における封止後の状態を示す断面説明図である。
における封止後の状態を示す断面説明図である。
【図５】本発明に係る容器の封止構造の実施形態におけ
る弾性シールの他の例を示す平面図である。
る弾性シールの他の例を示す平面図である。
【図６】本発明に係る容器の封止構造の第３の実施形態
における封止前の状態を示す断面説明図である。
における封止前の状態を示す断面説明図である。
【図７】本発明に係る容器の封止構造の第３の実施形態
における封止後の状態を示す断面説明図である。
における封止後の状態を示す断面説明図である。
１ 基体 ２ 嵌合段差部 ３ 溝 ４ 弾性シール（弾性シール部材） ５ 蓋体 ６ 嵌合筒部 ７ 溝 ８ 弾性シール（弾性シール部材） ９ 溝 １０ 溝 １１ 弾性シール（弾性シール部材） １２ 弾性シール（弾性シール部材） １３ 溝 １４ 溝 １５ 溝 １６ 溝 １７ 弾性シール（弾性シール部材） １８ 弾性シール（弾性シール部材）
Claims (6)
- 【請求項１】 有底筒形でほぼドーム形を呈した基体の
開口部を蓋体で被覆する容器であって、 上記基体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部
を張り出してこの嵌合段差部の少なくとも内部底面には
無端状の溝を形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に
嵌合する嵌合筒部を設けてこの嵌合筒部の少なくとも外
周面には無端状の溝を形成し、上記溝にそれぞれ嵌入さ
れた弾性シール部材で上記基体と上記蓋体における間隙
を閉塞することを特徴とする容器の封止構造。 - 【請求項２】 有底筒形でほぼドーム形を呈した基体の
開口部を蓋体で被覆する容器であって、 上記基体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部
を張り出してこの嵌合段差部の少なくとも内部底面には
無端状の溝を形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に
嵌合する嵌合筒部を設けてこの嵌合筒部の少なくとも外
周面には無端状の溝を形成し、上記複数の溝に弾性シー
ル部材をそれぞれ嵌入してこの複数の弾性シール部材で
上記基体と上記蓋体との外周部における間隙を閉塞する
ことを特徴とする容器の封止構造。 - 【請求項３】 有底筒形でほぼドーム形を呈した基体の
開口部を蓋体で被覆する容器であって、 上記基体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部
を張り出し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に嵌合する
嵌合筒部を設けてこの嵌合筒部の底面と外周面とには無
端状の溝をそれぞれ形成し、この溝にそれぞれ嵌入され
た弾性シール部材で上記基体と上記蓋体における間隙を
閉塞することを特徴とする容器の封止構造。 - 【請求項４】 有底筒形でほぼドーム形を呈した基体の
開口部を蓋体で被覆する容器であって、 上記基体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部
を張り出し、上記蓋体の裏面に該嵌合段差部に嵌合する
嵌合筒部を設けてこの嵌合筒部の底面と外周面とには無
端状の溝をそれぞれ形成し、該複数の溝に弾性シール部
材をそれぞれ嵌入してこの複数の弾性シール部材で上記
基体と上記蓋体との外周部における間隙を閉塞すること
を特徴とする容器の封止構造。 - 【請求項５】 有底筒形でほぼドーム形を呈した基体の
開口部を蓋体で被覆する容器であって、 上記基体の開口部周縁から断面ほぼＬ字形の嵌合段差部
を張り出してこの嵌合段差部の内部底面と内周面とには
無端状の溝をそれぞれ形成し、上記蓋体の裏面に該嵌合
段差部に嵌合する嵌合筒部を設け、上記各溝の弾性シー
ル部材で上記基体と上記蓋体における間隙を閉塞するこ
とを特徴とする容器の封止構造。 - 【請求項６】 上記複数の弾性シール部材を一体構成し
た請求項３ないし５記載の容器の封止構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9320749A JPH11154699A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 容器の封止構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9320749A JPH11154699A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 容器の封止構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11154699A true JPH11154699A (ja) | 1999-06-08 |
Family
ID=18124862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9320749A Pending JPH11154699A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 容器の封止構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11154699A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013186912A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2013-12-19 | ミライアル株式会社 | 埃などの侵入を抑制する基板収納容器 |
| JP2016000022A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 密閉容器及び搬送システム |
| JP2017086093A (ja) * | 2017-02-27 | 2017-05-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 密閉容器及び搬送システム |
| KR20200028409A (ko) * | 2017-07-07 | 2020-03-16 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
| JP2020524901A (ja) * | 2017-06-23 | 2020-08-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 側方収納ポッド、機器フロントエンドモジュール、及び、基板を処理する方法 |
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| JPS63136339U (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-07 | ||
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| WO1995032132A1 (en) * | 1994-05-23 | 1995-11-30 | Empak, Inc. | Reinforced semiconductor wafer holder |
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| JPH08236605A (ja) * | 1995-02-28 | 1996-09-13 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハ収納ケース |
-
1997
- 1997-11-21 JP JP9320749A patent/JPH11154699A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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| A02 | Decision of refusal |
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