KR20200028409A - 기판 수납 용기 - Google Patents

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신에츠 폴리머 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기판(W)을 수납하는 용기 본체(10)와, 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐지하는 덮개(20)와, 덮개(20)에 마련되고, 용기 본체(10)의 피걸림부에 걸리는 시정 기구와, 용기 본체(10) 및 덮개(20) 사이에 개재되는 패킹(P)을 구비하는 기판 수납 용기(1)로서, 패킹(P)은 용기 본체(10)에 설치되는 제1 패킹(30)과, 덮개(20)에 설치되는 제2 패킹(40)을 포함하고, 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)은 덮개(20)의 폐지 방향(H)에 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 피걸림부의 위치보다도 용기 본체(10)의 내측에 위치하는 것이다. 이에 의해, 내부의 음압 및 양압에 대한 시일성을 향상시킴과 함께, 내부의 청정성을 향상시키는 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은 기판을 수납하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
기판 수납 용기는, 기판을 수납하는 용기 본체와, 용기 본체의 개구를 폐지하는 덮개와, 용기 본체와 덮개 사이에 마련되는 환상의 패킹을 구비한 것이며, 기판을 기밀 상태에서 수납하고 있다.
이러한 종류의 기판 수납 용기에서는, 패킹은, 용기 본체 또는 덮개의 적어도 한쪽에 마련되어 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에서는, 기판 수납 용기의 내부가 음압인 경우, 바꾸어 말하면, 외부의 압력이 높은 경우에, 패킹(40)의 연장 돌출편(42)이 시일면(12)에 압박되는 방향으로 변형되고, 시일부(43)가 시일면(12)에 접촉하기 때문에, 양호한 시일성을 발휘하게 되어 있어, 외부로부터의 진애의 진입을 방지하고 있다(도 8 참조).
한편, 특허문헌 2에서는, 패킹은, 용기 본체 및 덮개의 양쪽에 마련되어 있고, 특허문헌 1의 기판 수납 용기와 마찬가지로, 외부로부터의 진애의 진입을 방지하고 있을뿐만 아니라, 또한, 내부로부터의 기체의 유출(누설)도 방지하고 있다(단락 0041, 0051 참조).
일본 특허 공개 제2002-068364호 공보 일본 특허 공개 제2010-003948호 공보
그러나, 특허문헌 2에 기재된 2개의 패킹은, 덮개를 용기 본체에 착탈 가능하게 설치 고정하는 시정 기구를 끼운 위치에 마련되기 때문에, 기판 수납 용기의 내부 압력이 음압이 된 경우, 시정 기구에서 발생한 파티클이, 한쪽 패킹을 통과하여 기판 수납 용기의 내부로 이동하는 경우가 있기 때문에, 기판 수납 용기의 내부 압력을 일정하게 유지하는 것이 곤란하게 되어 있다.
그래서, 본 발명은 이상의 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 내부의 음압 및 양압에 대한 시일성을 향상시킴과 함께, 내부의 청정성을 향상시키는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(1) 본 발명에 따른 하나의 양태는, 기판을 수납하는 용기 본체와, 상기 용기 본체의 개구를 폐지하는 덮개와, 상기 덮개에 마련되고, 상기 용기 본체의 피걸림부에 걸리는 시정 기구와, 상기 용기 본체 및 상기 덮개 사이에 개재되는 패킹을 구비하는 기판 수납 용기로서, 상기 패킹은, 상기 용기 본체에 설치되는 제1 패킹과, 상기 덮개에 설치되는 제2 패킹을 포함하고, 상기 제1 패킹 및 상기 제2 패킹은, 상기 덮개의 폐지 방향에 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 상기 피걸림부의 위치보다도 상기 용기 본체의 내측에 위치하는 것이다.
(2) 상기 (1)의 양태에 있어서, 상기 용기 본체는, 상기 제1 패킹을 설치하는 제1 설치 홈과, 상기 제2 패킹을 접촉시키는 제2 시일면이 형성되고, 상기 덮개는, 상기 제2 패킹을 설치하는 제2 설치 홈과, 상기 제1 패킹을 접촉시키는 제1 시일면이 형성되고, 상기 제1 시일면 및 상기 제2 시일면은, 상기 덮개의 폐지 방향에 직교하는 면으로 형성되어도 된다.
(3) 상기 (1) 또는 (2)의 양태에 있어서, 상기 제1 패킹 및 상기 제2 패킹은, 상기 덮개의 폐지 방향으로부터 보았을 때, 서로 겹치도록 배치되어도 된다.
(4) 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 제1 패킹과 상기 제2 패킹은, 동일한 재료로 형성되어도 된다.
(5) 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 제1 패킹과 상기 제2 패킹은, 상이한 재료로 형성되어도 된다.
본 발명에 따르면, 내부의 음압 및 양압에 대한 시일성을 향상시킴과 함께, 내부의 청정성을 향상시키는 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 형태의 기판 수납 용기를 도시하는 분해 개략 사시도이다.
도 2는 제1 패킹의 (a) 배면도, (b) A-A 단면도이다.
도 3은 제2 패킹의 (a) 배면도, (b) B-B 단면도이다.
도 4는 실시 형태의 기판 수납 용기에 있어서의 개구 부근의, (a) 폐지 직전의 상태, (b) 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다.
도 5는 변형예 1의 기판 수납 용기에 있어서의 개구 부근의 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다.
도 6은 변형예 2의 기판 수납 용기에 있어서의 개구 부근의 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다.
도 7은 변형예 3의 기판 수납 용기에 있어서의 개구 부근의 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다.
도 8은 종래의 기판 수납 용기에 있어서의 개구 부근의, (a) 폐지 직전의 상태, (b) 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 명세서의 실시 형태에 있어서는, 전체를 통해서, 동일한 부재에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 실시 형태의 기판 수납 용기(1)를 도시하는 분해 개략 사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는 기판(W)을 수납하는 용기 본체(10)와, 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐지하는 덮개(20)와, 용기 본체(10)와 덮개(20) 사이에 마련되는(개재되는) 환상의 패킹(P)을 구비하고 있다. 또한, 패킹(P)에 대해서는, 후술하는 바와 같이, 용기 본체(10)에 설치되는 제1 패킹(30)과, 덮개(20)에 설치되는 제2 패킹(40)을 포함하고 있다.
용기 본체(10)는 상자상체이며, 개구(11)가 정면에 형성된 프론트 오픈형이다. 또한, 용기 본체(10)는 300㎜ 직경이나 450㎜ 직경의 기판(W)의 삽입 조작을 행하기 쉬운 점에서, 프론트 오픈형이 바람직하지만, 개구(11)가 하면에 형성된 보텀 오픈형이어도 된다.
개구(11)는 외측으로 넓어지도록 2단의 단차를 붙여서 굴곡 형성되고, 그 단차의 면이, 제2 패킹(40)이 접촉하는 제2 시일면(12)으로서, 개구(11)의 내주연에 환상으로 형성되어 있다(도 4도 참조). 즉, 제2 시일면(12)은 덮개(20)의 폐지 방향 H에 대략 직교하는 면을 포함하여 형성되어 있다. 또한, 제2 시일면(12)의 더 내측에는, 제1 패킹(30)을 설치하는 제1 설치 홈(18)이 단면 대략 U자상으로, 환상으로 형성되어 있다.
또한, 개구(11)의 내주연의 상하의 4군데에는, 덮개(20)의 시정 기구(23)가 걸리는 피걸림부(19)가 형성되어 있다. 이 피걸림부(19)는 걸림 구멍(이후 「걸림 구멍(19)」이라고 한다.)이며, 폐지 방향 H에 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 제1 설치 홈(18)보다도 용기 본체(10)의 외측에 위치하고 있다.
용기 본체(10)의 내부의 좌우 양측에는 지지체(13)가 배치되어 있다. 지지체(13)는 기판(W)의 적재 및 위치 결정을 하는 기능을 갖고 있다. 지지체(13)에는, 복수의 홈이 높이 방향으로 형성되어, 소위 홈 티스를 구성하고 있다. 그리고, 기판(W)은, 동일한 높이의 좌우 2군데의 홈 티스에 적재되어 있다. 지지체(13)의 재료는, 용기 본체(10)와 동일한 것이어도 되지만, 세정성이나 접동성을 높이기 위해서, 상이한 재료가 사용되어도 된다.
또한, 용기 본체(10)의 내부의 후방(안측)에는, 리어 리테이너(도시없음)가 배치되어 있다. 리어 리테이너는, 덮개(20)가 폐지된 경우에, 후술하는 프론트 리테이너와 쌍이 되어, 기판(W)을 보유 지지한다. 단, 본 실시 형태와 같이 리어 리테이너를 구비할 일 없이, 지지체(13)가 홈 티스의 안측에, 예를 들어, 「く」자상이나 직선상을 한 기판 보유 지지부를 가짐으로써, 프론트 리테이너와 기판 보유 지지부로 기판(W)을 보유 지지하는 것이어도 된다. 이들 지지체(13)나 리어 리테이너는, 용기 본체(10)에 인서트 성형이나 끼워 맞춤 등에 의해 마련되어 있다.
기판(W)은, 이 지지체(13)에 지지되어서 용기 본체(10)에 수납된다. 또한, 기판(W)의 일례로서는, 실리콘 웨이퍼를 들 수 있지만 특별히 한정되지 않고 예를 들어, 석영 웨이퍼, 갈륨 비소 웨이퍼 등이어도 된다.
용기 본체(10)의 천장 중앙부에는, 로보틱 플랜지(14)가 착탈 가능하게 마련되어 있다. 청정한 상태에서 기판(W)을 기판 수납 용기(1)는, 공장 내의 반송 로봇에 의해 로보틱 플랜지(14)가 파지되어서, 기판(W)을 가공하는 공정마다의 가공 장치로 반송된다.
또한, 용기 본체(10)의 양측부의 외면 중앙부에는, 작업자에게 악지되는 매뉴얼 핸들(15)이 각각 착탈 가능하게 장착되어 있다.
그리고, 용기 본체(10)의 저면에는, 예를 들어, 체크 밸브 기능을 갖는 급기부(16)와 배기부(17)가 마련되어 있다. 이들은, 덮개(20)에 의해 폐지된 기판 수납 용기(1)의 내부에, 급기부(16)로부터 질소 가스 등의 불활성 기체나 드라이 에어를 공급하고, 필요에 따라 배기부(17)로부터 배출함으로써 기판 수납 용기(1)의 내부 기체를 치환하거나, 기밀 상태를 유지하거나 한다. 또한, 급기부(16) 및 배기부(17)는 기판(W)을 저면으로 투영한 위치로부터 벗어난 위치에 있는 것이 바람직한데, 급기부(16) 및 배기부(17)의 수량이나 위치는, 도시한 것에 한정하지 않는다. 또한, 급기부(16) 및 배기부(17)는 기체를 여과하는 필터를 갖고 있다.
내부의 기체의 치환은, 수납한 기판(W) 상의 불순 물질을 날려버리거나, 내부의 습도를 낮게 하거나 하는 등의 목적으로 행해지고, 반송 중의 기판 수납 용기(1)의 내부의 청정성을 유지하도록 행하여진다. 그리고, 기체의 치환은, 배기부(17)측에 있어서 가스를 검지함으로써, 확실하게 행하여지고 있는지 확인할 수 있다. 또한, 내부의 기체를 치환할 때나, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치하고, 폐지할 때에, 기판 수납 용기(1)의 내부는 양압이 되고, 반대로, 덮개(20)를 용기 본체(10)로부터 분리할 때에, 기판 수납 용기(1)의 내부는 음압이 된다.
한편, 덮개(20)는 용기 본체(10)의 개구(11)의 정면에 설치되는, 대략 직사각 형상의 것이다. 또한, 덮개(20)의 한쪽 면은, 제1 패킹(30)이 접촉하는 제1 시일면(22)으로서 형성되어 있다. 즉, 이 제1 시일면(22)은 덮개(20)의 폐지 방향 H에 대략 직교하는 면을 포함하여 형성되어 있다. 또한, 덮개(20)의 제1 시일면(22)측의 중앙부에는, 기판(W)의 전방부 주연을 수평하게 보유 지지하는 탄성의 프론트 리테이너(도시없음)가 착탈 가능하게 장착 또는 일체 형성되어 있다.
이 프론트 리테이너는, 지지체(13)의 홈 티스 및 기판 보유 지지부 등과 마찬가지로, 기판(W)이 직접 접촉하는 부위이기 때문에, 세정성이나 접동성이 양호한 재료가 사용되고 있다. 프론트 리테이너도, 덮개(20)에 인서트 성형이나 끼워 맞춤 등으로 마련할 수 있다.
그리고, 덮개(20)에는, 제2 패킹(40)을 설치하는 제2 설치 홈(28)이 형성되어 있다(도 4도 참조). 구체적으로는, 덮개(20)의 용기 본체(10)측의 면에, 개구(11)의 단차부보다 작은 볼록부(29)가 환상으로 형성됨으로써, 제2 설치 홈(28)이 단면 대략 U자상이며, 환상으로 형성되어 있다. 이 볼록부(29)는 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치했을 때, 개구(11)의 단차부보다 안쪽으로 들어간다.
또한, 덮개(20)의 상하 4군데에는, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 거는 시정 기구(23)가 마련되어 있다. 이 시정 기구(23)는 걸림 구멍(19)에 대하여 출몰 가능한 걸림 갈고리(24)를 갖고 있으며, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 대하여 시정할 때에, 걸림 갈고리(24)가 걸림 구멍(19)에 걸림으로써, 덮개(20)는 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)을 통하여 용기 본체(10)에 압박된 상태 그대로 시정되도록 구성되어 있다. 또한, 이 시정 기구(23)는 폐지 방향 H에 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 제2 설치 홈(28)보다도 외측에 위치하고 있다.
이들 용기 본체(10) 및 덮개(20)의 재료로서는, 예를 들어, 폴리카르보네이트, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머 등의 열가소성 수지를 들 수 있다. 이 열가소성 수지는, 도전성 카본, 도전 섬유, 금속 섬유, 도전성 고분자 등을 포함하는 도전제, 각종 대전 방지제, 자외선 흡수제 등이 추가로 적절히 첨가되어도 된다.
다음으로, 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)에 대해서, 설명한다. 도 2는, 제1 패킹(30)의 (a) 배면도, (b) A-A 단면도이다. 도 3은, 제2 패킹(40)의 (a) 배면도, (b) B-B 단면도이다.
제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)은 도 2의 (a) 및 도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 덮개(20) 또는 용기 본체(10)의 개구(11)의 형상에 대응한 직사각형 프레임상을 갖고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어, 원환상이어도 된다.
제1 패킹(30)은 제1 설치 홈(18)에 끼워지는 제1 본체부(31)와, 제1 본체부(31)로부터 연장 돌출된 제1 연장 돌출편(32)과, 제1 연장 돌출편(32)의 선단에 위치하고, 구부러지면서 연장한 제1 시일부(33)로 형성되어 있다.
제1 본체부(31)는 제1 설치 홈(18)과 마찬가지인 프레임형으로 형성되고, 그 단면이 제1 설치 홈(18)의 단면 형상에 대략 대응하도록 대략 직사각형으로 되어 있다. 또한, 제1 본체부(31)에는, 제1 끼워 맞춤 돌기(311) 및 제2 끼워 맞춤 돌기(312)가 각각 끝이 가늘게 형성되어 있음과 함께, 제1 설치 홈(18)의 안측에 대응하는 위치에 제1 끼워 맞춤 돌기(311)가, 제1 설치 홈(18)의 개구측에 대응하는 위치에 제2 끼워 맞춤 돌기(312)가 나란히 형성되어 있다.
제1 연장 돌출편(32)은 제1 본체부(31)와 대략 직각을 이루도록 직사각형 프레임상의 내측을 향하여 연장 돌출되어 있다. 단, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치한 때에, 제1 시일부(33)가 제1 시일면(22)에 확실하게 접촉하면, 제1 연장 돌출편(32)은 직각 이외의 각도로 제1 본체부(31)로부터 연장 돌출되어도 된다.
제1 시일부(33)는 덮개(20)를 향하여 볼록으로 되도록 구부러지면서 연장되어 있다(도 4도 참조). 이 제1 시일부(33)는 0.6㎜ 정도의 두께가 바람직한데, 성형상의 문제가 없다면 특별히 한정되지 않는다.
한편, 제2 패킹(40)은 제2 설치 홈(28)에 끼워지는 제2 본체부(41)와, 제2 본체부(41)로부터 연장 돌출된 제2 연장 돌출편(42)과, 제2 연장 돌출편(42)의 선단에 위치하고, 구부러지면서 연장한 제2 시일부(43)로 형성되어 있다.
제2 본체부(41)는 제2 설치 홈(28)과 마찬가지인 프레임형으로 형성되고, 그 단면이 제2 설치 홈(28)의 단면 형상에 대략 대응하도록 대략 직사각형으로 되어 있다. 또한, 제2 본체부(41)에는, 제1 끼워 맞춤 돌기(411) 및 제2 끼워 맞춤 돌기(412)가 각각 끝이 가늘게 형성되어 있음과 함께, 제2 설치 홈(28)의 안측에 대응하는 위치에 제1 끼워 맞춤 돌기(411)가, 제2 설치 홈(28)의 개구측에 대응하는 위치에 제2 끼워 맞춤 돌기(412)가 나란히 형성되어 있다.
제2 연장 돌출편(42)은 제2 본체부(41)와 대략 평행하게 직사각형 프레임상의 외측을 향하여 연장 돌출되어 있다. 단, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치한 때에, 제2 시일부(43)가 제2 시일면(12)에 확실하게 접촉하면, 제2 연장 돌출편(42)은 제2 본체부(41)와 평행하지 않은 상태에서 외연장 돌출되어도 된다.
제2 시일부(43)는 용기 본체(10)를 향하여 볼록으로 되도록 구부러지면서 연장되어 있다(도 4도 참조). 이 제2 시일부(43)는 0.6㎜ 정도의 두께가 바람직한데, 성형상의 문제가 없다면 특별히 한정되지 않는다.
그런데, 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)은 제1 설치 홈(18) 및 제2 설치 홈(28)에 감입하여 설치한 때에 헐거움이 있으면, 제1 시일부(33) 및 제2 시일부(43)의 높이에 변동을 발생하기 때문에, 제1 본체부(31)의 내주측은, 제1 설치 홈(18)의 내측 환상 둘레면보다도 약간(1％에서 5％ 정도) 작아지도록, 또한, 제2 본체부(41)의 내주측은, 제2 설치 홈(28)의 바닥 환상 둘레면보다도 약간(1％ 내지 5％ 정도) 작아지도록, 각각 형성되어 있다.
제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)의 재료로서는, 폴리에스테르계의 엘라스토머, 폴리올레핀계의 엘라스토머, 불소계의 엘라스토머, 우레탄계의 엘라스토머 등을 포함하는 열가소성의 엘라스토머, 불소 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 실리콘계의 고무 등의 탄성체를 사용할 수 있다. 이들 재료에는, 밀착성을 개질하는 관점에서, 카본, 유리 섬유, 마이카, 탈크, 실리카, 탄산칼슘 등을 포함하는 충전제, 폴리에틸렌, 폴리아미드, 폴리아세탈, 불소계 수지, 실리콘 수지 등의 수지가 소정량 선택적으로 첨가되어도 된다. 또한, 도전성이나 대전 방지성을 부여하는 관점에서, 탄소 섬유, 금속 섬유, 금속 산화물, 각종 대전 방지제 등이 적절히 첨가되어도 된다. 또한, 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)의 경도는, 쇼어A 경도로 40도 내지 90도가 바람직하고, 60도 내지 90도가 보다 바람직하다.
또한, 제1 패킹(30)과 제2 패킹(40)은, 동일한 재료로 형성되어 있어도 되고, 상이한 재료로 형성되어 있어도 된다. 동일한 재료로 형성된 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)을 사용하면, 패킹(P)으로서의 시일성을 2배 정도로 향상시킬 수 있다. 한편, 상이한 재료로 형성된 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)을 사용하면, 각각의 재료가 갖고 있는 특성을 살려서, 패킹(P)으로서의 기능을 향상시킬 수 있다.
표 1에 재료의 예를 나타낸다.
Figure pct00001
예를 들어, 제2 패킹(40)에 불소 고무제의 것을 사용하는 경우, 제1 패킹(30)에 수분 투과성이 양호하지 않은 폴리에스테르계 엘라스토머제의 것을 사용하더라도, 패킹(P)으로서는, 수분을 투과시킬 일이 없어, 시일성을 향상시킬 수 있다.
또한, 제2 패킹(40)에 올레핀계 또는 스티렌계의 엘라스토머제의 것을 사용하는 경우, 제1 패킹(30)에 폴리에스테르계 엘라스토머제의 것을 사용해도, 패킹(P)으로서는, 기판 수납 용기(1)의 내부 청정도에 대하여 문제가 일어나지 않는 범위에서 다소 악화되기도 하지만, 수분을 투과시킬 일이 없어, 시일성을 향상시킬 수 있다.
마지막으로, 본 발명에 따른 실시 형태의 기판 수납 용기(1)의 효과에 대하여 설명한다.
도 4는, 실시 형태의 기판 수납 용기(1)에 있어서의 개구(11) 부근의, (a) 폐지 직전의 상태, (b) 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다. 도 5는, 종래의 기판 수납 용기(1)에 있어서의 개구(11) 부근의, (a) 폐지 직전의 상태, (b) 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다. 또한, 외곽선 화살표는, 기판 수납 용기(1)의 내부가 양압일 때의 기체의 흐름을 나타내고, 실선 화살표는, 내부가 음압일 때의 기체의 흐름을 나타내고 있다.
도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이, 덮개(20)를 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐지하도록 설치하여, 도 4의 (b)의 상태가 되면, 제1 패킹(30)의 제1 시일부(33)는 덮개(20)의 제1 시일면(22)에 접촉하고, 제1 연장 돌출편(32)과 함께 변형되면서, 제1 시일부(33)가 제1 시일면(22)에 압박된다. 한편, 제2 패킹(40)의 제2 시일부(43)는 용기 본체(10)의 제2 시일면(12)에 접촉하고, 제2 연장 돌출편(42)과 함께 변형되면서, 제2 시일부(43)가 제2 시일면(12)에 압박된다.
이와 같이, 제1 패킹(30)의 제1 시일부(33)는 제1 시일면(22)에 접촉함과 함께, 제2 패킹(40)의 제2 시일부(43)는 제1 시일부(33)가 접촉하는 제1 시일면(22)보다도 외측에서 제2 시일면(12)에 접촉한다. 이때, 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)은 덮개(20)의 폐지 방향 H로부터 보았을 때, 서로 겹치도록 배치되어 있다.
이 때문에, 기판 수납 용기(1)의 내부가 양압이 되면, 제1 패킹(30)의 제1 시일부(33)는 제1 시일면(22)에 더욱 압박되어, 밀착하게 되기 때문에, 내부로부터의 기체의 누설을 저감시킬 수 있다.
한편, 기판 수납 용기(1)의 내부가 음압이 되면, 제2 패킹(40)의 제2 시일부(43)는 제2 시일면(12)에 더욱 압박되어, 밀착하게 되기 때문에, 외부로부터의 진애, 습기 등의 침입을 저감시킬 수 있다.
즉, 기판 수납 용기(1)의 내부가 양압 또는 음압이 되었다고 해도, 기판 수납 용기(1)(용기 본체(10)와 덮개(20)의)의 시일성을 유지할 수 있다.
또한, 제1 시일부(33) 및 제2 시일부(43)는 덮개(20)의 폐지 방향 H를 따라서 각각 변위하여, 제1 시일면(22) 또는 제2 시일면(12)에 접촉하기 때문에, 제1 시일부(33) 및 제2 시일부(43)가 폐지 방향 H와 대략 직교하는 방향으로는 거의 이동할 일이 없어, 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)이 제1 시일면(22) 또는 제2 시일면(12)을 접동하는 것에 의한, 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 실시 형태의 기판 수납 용기(1)는 기판(W)을 수납하는 용기 본체(10)와, 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐지하는 덮개(20)와, 덮개(20)에 마련되고, 용기 본체(10)의 피걸림부(19)에 걸리는 시정 기구(23)와, 용기 본체(10) 및 덮개(20) 사이에 개재되는 패킹(P)을 구비하는 기판 수납 용기(1)로서, 패킹(P)은, 용기 본체(10)에 설치되는 제1 패킹(30)과, 덮개(20)에 설치되는 제2 패킹(40)을 포함하고, 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)은 덮개(20)의 폐지 방향 H에 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 피걸림부(19)의 위치보다도 용기 본체(10)의 내측에 위치하는 것이다.
실시 형태에 따르면, 기판 수납 용기(1)의 내부 양압에 대해서는, 제1 시일부(33)가 제1 시일면(22)에 의해 밀착함으로써, 기판 수납 용기(1)의 기밀성을 확보하여, 내부로부터의 기체의 누설을 저감시킬 수 있다. 한편, 기판 수납 용기(1)의 내부 음압에 대해서는, 제2 시일부(43)가 제2 시일면(12)에 의해 밀착함으로써, 기판 수납 용기(1)의 기밀성을 확보하여, 외부로부터의 진애, 습기 등의 침입을 저감시킬 수 있다.
또한, 기판 수납 용기(1)의 내부 압력이 음압이 된 경우에도, 시정 기구(23)에서 발생한 파티클은, 제2 패킹(40)에서 통과가 저지되기 때문에, 기판 수납 용기(1)의 내부 청정성을 유지할 수 있다.
또한, 패킹(P)이 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)을 구비하고 있기 때문에, 각각의 재료 특성을 살려서 조합함으로써 패킹(P)의 기능, 예를 들어, 양압 또는 음압에 대한 시일성이나 청정도, 패킹(P)의 접촉면에 대한 부착성, 수분의 저투과성 등을 향상시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니라, 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 요지의 범위 내에 있어서, 다양한 변형, 변경이 가능하다.
(변형예)
여기서, 각종 변형예 1 내지 3에 대하여 설명하는, 도 5는, 변형예 1의 기판 수납 용기(1)에 있어서의 개구 부근의 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다. 도 6은, 변형예 2의 기판 수납 용기(1)에 있어서의 개구 부근의 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다. 도 7은, 변형예 3의 기판 수납 용기(1)에 있어서의 개구 부근의 폐지 상태를 도시하는 확대 단면도이다.
변형예 1의 기판 수납 용기(1)는 제1 패킹(130)의 제1 연장 돌출편(132) 및 제1 시일부(133)와, 제2 패킹(140)의 제2 연장 돌출편(142) 및 제2 시일부(143)가 상기 실시 형태의 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)에 대하여 상이하다.
제1 연장 돌출편(132)은 제1 본체부(131)와 대략 직각을 이루도록 직사각형 프레임상의 내측을 향하여 연장 돌출되어 있고, 제1 시일부(133)는 덮개(20)를 향하여 대략 직각(즉 폐지 방향 H)으로 구부러진 선단에 형성되어 있다(도 5 참조). 또한, 제2 연장 돌출편(142)은 제2 본체부(141)와 대략 평행하게 외측을 향하여 연장 돌출되어 있고, 제2 시일부(143)는 덮개(20)를 향하여 대략 직각(즉 폐지 방향 H)으로 구부러진 선단에 형성되어 있다.
변형예 1의 기판 수납 용기(1)에서는, 제1 시일부(133) 및 제2 시일부(143)는 덮개(20)의 폐지 방향 H를 따라서 각각 변위하고, 제1 시일면(22) 또는 제2 시일면(12)에 접촉하기 때문에, 제1 시일부(133) 및 제2 시일부(143)가 폐지 방향 H와 대략 직교하는 방향으로는 거의 이동할 일이 없다. 그 때문에, 제1 패킹(130) 및 제2 패킹(140)이 제1 시일면(22) 또는 제2 시일면(12)을 접동하는 것에 의한, 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
다음으로, 변형예 2의 기판 수납 용기(1)는 제1 패킹(230)의 제1 연장 돌출편(232) 및 제1 시일부(233)와, 제2 패킹(240)의 제2 연장 돌출편(242) 및 제2 시일부(243)가 상기 실시 형태의 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)에 대하여 상이하고, 또한, 제1 시일면(22) 및 제2 시일면(12)이 각각 돌기부의 선단에 형성되어 있다.
제1 연장 돌출편(232)은 제1 본체부(231)와 대략 직각을 이루도록 직사각형 프레임상의 내측을 향하여 연장 돌출되어 있고, 그 선단에, 제2 시일면(12)에 접촉하는 제1 시일부(233)가 형성되어 있다(도 6 참조). 또한, 제2 연장 돌출편(242)은 제2 본체부(241)와 대략 평행하게 외측을 향하여 연장 돌출되어 있고, 그 선단에 제1 시일면(22)에 접촉하는 제2 시일부(143)가 형성되어 있다.
변형예 2의 기판 수납 용기(1)에서도, 제1 시일부(233) 및 제2 시일부(243)는 덮개(20)의 폐지 방향 H를 따라서 각각 변위하고, 제1 시일면(22) 또는 제2 시일면(12)에 접촉하기 때문에, 제1 시일부(233) 및 제2 시일부(243)가 폐지 방향 H와 대략 직교하는 방향으로는 거의 이동할 일이 없다. 그 때문에, 제1 패킹(230) 및 제2 패킹(240)이 제1 시일면(22) 또는 제2 시일면(12)을 접동하는 것에 의한, 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
마지막으로, 변형예 3의 기판 수납 용기(1)는 제1 패킹(530)이 덮개(20)의 폐지 방향 H와 대략 직교하는 방향으로 형성된 제1 설치 홈(18)에 설치되는 점에서, 상기 실시 형태와 상이하다.
변형예 3의 용기 본체(10)는 개구(11)를 형성하는 프레임상의 도어 플랜지(10A)를 별도의 부재로서 갖고 있으며, 용기 본체(10)와 도어 플랜지(10A) 사이에 제1 설치 홈(18A)이 형성되어 있다. 구체적으로는, 용기 본체(10)의 정면측에는, 일부가 오목해진 플랜지부(18Fb)가 형성되어 있고, 또한, 도어 플랜지(10A)의 안측에는, 플랜지부(18Fa)가 형성되어 있다. 도어 플랜지(10A)의 플랜지부(18Fa)의 정면측은, 제2 시일면(12A)으로서 형성되어 있다. 또한, 용기 본체(10)와 도어 플랜지(10A)는 도시하지 않은 끼워 맞춤 수단, 걸림 수단, 고정 수단 등에 의해 연결되어서 고정되어 있다.
제1 패킹(530)은 플랜지부(18Fa, 18Fb)끼리의 사이에 형성된 제1 설치 홈(18A)에 설치되어 있고, 용기 본체(10)와 도어 플랜지(10A) 사이의 시일로서도 작용한다.
변형예 3의 기판 수납 용기(1)는 상기 실시 형태와 비교하면, 2개의 패킹 P를, 폐지 방향 H로 좁은 영역에 배치할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태 등에 있어서, 제2 시일면(12) 및 제1 시일면(22)에, 제1 패킹(30) 및 제2 패킹(40)의 부착을 방지하기 위해서, 엠보스 가공을 실시해도 된다.
1: 기판 수납 용기
10: 용기 본체
11: 개구
12: 제2 시일면
13: 지지체
14: 로보틱 플랜지
15: 매뉴얼 핸들
16: 급기부
17: 배기부
18: 제1 설치 홈
19: 걸림 구멍(피걸림부)
20: 덮개
22: 제1 시일면
23: 시정 기구
24: 걸림 갈고리
28: 제2 설치 홈
29: 볼록부
P: 패킹,
30, 130, 230, 30A: 제1 패킹
31, 131, 231, 531: 제1 본체부
32, 132, 232, 532: 제1 연장 돌출편
33, 133, 233, 533: 제1 시일부
311: 제1 끼워 맞춤 돌기
312: 제2 끼워 맞춤 돌기
40, 140, 240: 제2 패킹
41, 141, 241, 541: 제2 본체부
42, 142, 242, 542: 제2 연장 돌출편
43, 143, 243, 543: 제2 시일부
411: 제1 끼워 맞춤 돌기
412: 제2 끼워 맞춤 돌기
W: 기판
H: 폐지 방향

Claims (5)

  1. 기판을 수납하는 용기 본체와,
    상기 용기 본체의 개구를 폐지하는 덮개와,
    상기 덮개에 마련되고, 상기 용기 본체의 피걸림부에 걸리는 시정 기구와,
    상기 용기 본체 및 상기 덮개 사이에 개재되는 패킹
    을 구비하는 기판 수납 용기로서,
    상기 패킹은, 상기 용기 본체에 설치되는 제1 패킹과, 상기 덮개에 설치되는 제2 패킹을 포함하고,
    상기 제1 패킹 및 상기 제2 패킹은, 상기 덮개의 폐지 방향에 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 상기 피걸림부의 위치보다도 상기 용기 본체의 내측에 위치하는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 용기 본체는, 상기 제1 패킹을 설치하는 제1 설치 홈과, 상기 제2 패킹을 접촉시키는 제2 시일면이 형성되고,
    상기 덮개는, 상기 제2 패킹을 설치하는 제2 설치 홈과, 상기 제1 패킹을 접촉시키는 제1 시일면이 형성되고,
    상기 제1 시일면 및 상기 제2 시일면은, 상기 덮개의 폐지 방향에 직교하는 면으로 형성되어 있는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 패킹 및 상기 제2 패킹은, 상기 덮개의 폐지 방향으로부터 보았을 때, 서로 겹치도록 배치되어 있는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 패킹과 상기 제2 패킹은, 동일한 재료로 형성되어 있는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 패킹과 상기 제2 패킹은, 상이한 재료로 형성되어 있는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
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