JP7143560B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
(2)上記(1)の態様において、前記容器本体は、前記第1パッキンを取り付ける第1取付溝と、前記第2パッキンを接触させる第2シール面と、が形成され、前記蓋体は、前記第2パッキンを取り付ける第2取付溝と、前記第1パッキンを接触させる第1シール面と、が形成され、前記第1シール面及び前記第2シール面は、前記蓋体の閉止方向に直交する面で形成されてもよい。
(3)上記(1)又は(2)の態様において、前記第1パッキン及び前記第2パッキンは、前記蓋体の閉止方向から見たとき、互いに重なるように配置されてもよい。
(4)上記(1)から(3)までのいずれか1つの態様において、前記第1パッキンと前記第2パッキンとは、同じ材料で形成されてもよい。
(5)上記(1)から(3)までのいずれか1つの態様において、前記第1パッキンと前記第2パッキンとは、異なる材料で形成されてもよい。
図1に示すように、基板収納容器1は、基板Wを収納する容器本体10と、容器本体10の開口11を閉止する蓋体20と、容器本体10と蓋体20との間に設けられる(介在される)環状のパッキンPと、を備えている。なお、パッキンPについては、後述するように、容器本体10に取り付けられる第1パッキン30と、蓋体20に取り付けられる第2パッキン40と、を含んでいる。
第1パッキン30及び第2パッキン40は、図2(a)及び図3(a)に示すように、蓋体20又は容器本体10の開口11の形状に対応した矩形枠状を有しているが、これに限定されず、例えば、円環状であってもよい。
図4は、実施形態の基板収納容器1における開口11付近の、(a)閉止直前の状態、(b)閉止状態、を示す拡大断面図である。図5は、従来の基板収納容器1における開口11付近の、(a)閉止直前の状態、(b)閉止状態、を示す拡大断面図である。なお、白抜き矢印は、基板収納容器1の内部が陽圧であるときの気体の流れを示し、実線矢印は、内部が陰圧であるときの気体の流れを示している。
ここで、各種の変形例1から3について説明する、図5は、変形例1の基板収納容器1における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。図6は、変形例2の基板収納容器1における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。図7は、変形例3の基板収納容器1における開口付近の閉止状態を示す拡大断面図である。
10 容器本体
11 開口、12 第2シール面、13 支持体、14 ロボティックフランジ、15 マニュアルハンドル、16 給気部、17 排気部、18 第1取付溝、19 係止穴(被係止部)
20 蓋体、22 第1シール面、23 施錠機構、24 係止爪、28 第2取付溝、29 凸部
P パッキン、
30,130,230,30A 第1パッキン、31,131,231,531 第1本体部、32,132,232,532 第1延出片、33,133,233,533 第1シール部、311 第1の嵌合突起、312 第2の嵌合突起
40,140,240 第2パッキン、41,141,241,541 第2本体部、42,142,242,542 第2延出片、43,143,243,543 第2シール部、411 第1の嵌合突起、412 第2の嵌合突起
W 基板
H 閉止方向
Claims (4)
- 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記蓋体に設けられ、前記容器本体の被係止部に係止される施錠機構と、
前記容器本体及び前記蓋体との間に介在されるパッキンと、
を備える基板収納容器であって、
前記パッキンは、前記容器本体に取り付けられる第1パッキンと、前記蓋体に取り付けられる第2パッキンと、を含み、
前記容器本体は、前記第1パッキンを取り付ける第1取付溝と、前記第2パッキンを接触させる第2シール面と、が形成され、
前記蓋体は、前記第2パッキンを取り付ける第2取付溝と、前記第1パッキンを接触させる第1シール面と、が形成され、
前記第1シール面及び前記第2シール面は、前記蓋体の閉止方向に直交する面で形成され、
前記第1パッキン及び前記第2パッキンは、前記蓋体の閉止方向に直交する方向から見たとき、前記被係止部の位置よりも、前記容器本体の内側に位置する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記第1パッキン及び前記第2パッキンは、前記蓋体の閉止方向から見たとき、互いに重なるように配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記第1パッキンと前記第2パッキンとは、同じ材料で形成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板収納容器。 - 前記第1パッキンと前記第2パッキンとは、異なる材料で形成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板収納容器。
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