JPS63136339U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る実施例の断面図、第２図
はクリーンコンテナの半横断面図、第３図は実施
例によるリフタテーブル部が受入れステーシヨン
開口部を閉塞した状態を示す断面図、第４図は、
第３図の状態にクリーンコンテナが装着された状
態を示す断面図、第５図は開閉装置が作動して開
口部が開扉した状態を示す断面図、第６図は本考
案に係る開閉装置の主要部をなすエアシリンダ装
置の作動を示す拡大断面図で、同図ａは掛合前、
同図ｂは掛合後の状態を示すもの、第７図は従来
例における掛合装置の作用を示す図、第８図は従
来例の掛合装置を取付けたクリーンコンテナの縦
断面図、第９図は従来例による受入れステーシヨ
ン開口部の開閉状態を示す断面で、同図ａは開口
部を閉塞した状態、同図ｂは開口部を開扉した状
態を示したもの、第１０図はクリーンチヤンバ及
び開閉装置の全体を示す概要図である。 １……クリーンチヤンバ、１ａ，３……受け入
れステーシヨン、４……開口部、５，２５……ク
リーンコンテナ、６，２６……本体、７，２７…
…底蓋、８，４２……移動テーブル、リフタテー
ブル、１０……処理対象物（ウエハ）、２０，４
０……昇降装置、３０……エアシリンダ装置、３
２ａ……プランジヤ部、３５……嵌合部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 掛脱可能に掛合した本体と底蓋とから成り、且
   つ内部を清浄空間として保つようにしたクリーン
   コンテナを、クリーンチヤンバの受入れステーシ
   ヨンの開口部に気密に装着し、クリーンチヤンバ
   内の昇降装置の移動テーブルと共に前記底蓋を下
   降させることにより底蓋上に載置された処理対象
   物をクリーンチヤンバ内へ移動するために、前記
   本体と底蓋とを掛脱させるクリーンコンテナの開
   閉装置において、前記底蓋の側部に外部への排気
   により生じる空気の圧力差によりプランジヤ部を
   横方向に往復動させるエアシリンダ装置を設ける
   と共に前記本体の内側壁の下部に前記プランジヤ
   部の一部が嵌入可能な嵌合部を設け、さらに前記
   移動テーブルにエアシリンダ内の空気を吸引する
   ための吸気装置を設けたことを特徴とするクリー
   ンコンテナの開閉装置。