JP5073565B2 - カートリッジ型ケミカルアブソーバー - Google Patents
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Description
(1)レチクル収納容器の内部に装着されるカートリッジ型ケミカルアブソーバーは、汚染物質等を吸着し除去するケミカルアブソーバーおよび前記ケミカルアブソーバーをレチクル収納容器の内部に固定し取り付けるカートリッジから少なくとも構成されることを特徴とする。
(2)カートリッジは、少なくともカートリッジ本体およびストッパーからなるとともに、前記カートリッジ本体およびストッパーによりケミカルアブソーバーを挟持し固定することを特徴とする。
(3)レチクル収納容器は、カートリッジを固定するためのカートリッジ固定部を有していて、カートリッジは、レチクル収納容器のカートリッジ固定部と結合し、カートリッジをレチクル収納容器に固定するためのカートリッジ固定機構を有するとともに、ケミカルアブソーバー抜け防止機構を有することを特徴とする。
(4)レチクル収納容器のカートリッジ固定部はピン形状であり、カートリッジのカートリッジ固定機構は前記ピン形状と嵌合する溝または孔形状であることを特徴とする。
(5)(3)におけるケミカルアブソーバー抜け防止機構は、カートリッジ本体およびストッパーに設けられていて、それらの両者が相互に協同しながらケミカルアブソーバーの抜け防止をすることを特徴とする。
(6)カートリッジ本体およびストッパーは、ケミカルアブソーバーをそれらの両者の間に挟持した状態において、堅嵌め、熱溶着または超音波融着により固定および結合されていて、さらにケミカルアブソーバーがカートリッジ型ケミカルアブソーバーより抜け出すことを防止する抜け防止機構を有することを特徴とする。
(7)(5)における抜け防止機構は、少なくとも1つ以上の突起を有する抜け防止突起部、および前記突起部を受け前記突起部に対応する少なくとも1つ以上の凹部または平面を有する抜け防止溝部からなることを特徴とする。
(8)カートリッジ型ケミカルアブソーバーは、レチクル収納容器の蓋体内側においてレチクル収納容器内に配置されたレチクルに対して80度以上の角度、好適には90度の角度で取り付けられていることを特徴とする。
(9)カートリッジ型ケミカルアブソーバーは、ヒンジ部を有していて、ヒンジ部においてカートリッジを曲げることによりレチクル収納容器の角部に設置されることを特徴とする。
(10)カートリッジ型ケミカルアブソーバーは、レチクル収納容器の蓋体内側で、レチクル収納容器内に配置されたレチクルに対して10度以下の角度、好適には0度の角度で(水平に)取り付けられていることを特徴とする。
(11)連結部を介してカートリッジ本体とストッパーを一体化して成形し、連結部で折り曲げてカートリッジ本体とストッパーの間にケミカルアブソーバーを挟持して、カートリッジ本体とストッパーをスナップ方式または熱圧着等で固定することを特徴とする。
(12)蓋体またはレチクル収納容器本体の面に平行に取り付けるストレートタイプと蓋体または収納容器本体のコーナー部に屈曲させて取り付ける折り曲げタイプの両方に適用できるカートリッジであることを特徴とする。
(1)ケミカルアブソーバー用カートリッジ(以下、カートリッジ)に取り付けたケミカルアブソーバーをレチクル収納容器の内部の必要な場所にできるだけ広い面積を有して設置できるので、レチクル収納容器の内部に存在する化学物質等の汚染を効果的および効率的にケミカルアブソーバーに吸着して除去できる。
(2)カートリッジは単純な構造であるとともに、ケミカルアブソーバーを容易にカートリッジに取り付けて固定できるので、必要最小限の費用でケミカルアブソーバーを取り付けたカートリッジ型ケミカルアブソーバーを作製できる。
(3)ケミカルアブソーバー自体は強度が弱いが、ケミカルアブソーバーを取り付けたカートリッジ型ケミカルアブソーバーはレチクル収納容器のハンドリングに対応可能な充分な強度を持つことができる。
(4)レチクル収納容器はカートリッジ固定部を有し、カートリッジはカートリッジ固定機構を有するので、レチクル収納容器の内部、特に蓋体内側に容易に取り付けをすることができ、かつ容易に取り外しをすることができる。その結果、ケミカルアブソーバーを取り付けたカートリッジ型ケミカルアブソーバーの交換費用を著しく低減できる。
(5)カートリッジに取り付けたケミカルアブソーバーを容易に取り外しできるので、消耗品であるケミカルアブソーバーを容易に交換することができる。
(6)カートリッジにケミカルアブソーバーを取り付けることにより、ケミカルアブソーバーに直接触れずに容易に固定できるので、ケミカルアブソーバーの破損や劣化をさせることなく、また異物を付着させずにケミカルアブソーバーを使用できる。
(7)カートリッジはケミカルアブソーバー抜け防止機構を有するので、取り扱い時および使用時にケミカルアブソーバーがずれたり抜けたりすることがなく、信頼性の高いカートリッジ型ケミカルアブソーバーを実現できる。
(8)ケミカルアブソーバーの方向性を確実に規制できるため、ケミカルアブソーバーの安定した効果を実現できる。たとえば、塩基性吸着層、有機物吸着層、および酸性吸着層の3層構造のアブソーバーにおいて、レチクル側に確実に酸性吸収層を向けたい場合には、あらかじめ酸性吸着層が内側を向くように規制されたカートリッジを用いることができる。
(9)カートリッジ本体とストッパーが一体化して成形されるので、金型個数、部品点数および工数が削減されるので、カートリッジのコストを大幅に低減できる。
(10)ストレートタイプと折り曲げタイプを同一のカートリッジで共通化できるので、カートリッジのコストを大幅に低減できる。
3・・・レチクル収納容器本体底面、4・・・レチクル、5・・・上側リテーナ、
6・・・下側リテーナ、7・・・固定スライダー、8・・・シール材、
9・・・呼吸弁、10・・・カートリッジ型ケミカルアブソーバー、
11・・・ケミカルアブソーバー、12、13・・・膜状フィルター、
14・・・酸性物質用吸着層、
15・・・有機物質用吸着層、16・・・アルカリ性物質用吸着層、17・・・融着部、
21・・・ケミカルアブソーバー、22・・・化学吸着部および膜状フィルター部、
23・・・熱融着部、24・・・分離部、30・・・化学吸着部、
31・・・ケミカルアブソーバー、32・・・融着部、33・・・カートリッジ本体、
34・・・ストッパー、35・・・窓、36・・・カートリッジ固定機構(溝部)、
37・・・溝部、38・・・突起、39・・・抜け防止機構、
40・・・ピン、41・・・溝、51・・・カートリッジ型ケミカルアブソーバー、
52・・・カートリッジ本体、53・・・ストッパー、53A・・・ストッパーA、
53B・・・ストッパーB、54・・・ケミカルアブソーバー、55・・・分離部
56・・・ツメ、57・・・溝、58・・・カートリッジ固定機構(溝)、
61・・・化学吸着部、62・・・融着部、71・・・蓋体側面、
72・・・カートリッジ本体、73・・・ストッパー、74・・・ケミカルアブソーバー、
75・・・蓋体角部、76・・・ツメ(溝)、77・・・蓋体上面、
78・・・カートリッジ固定機構、80・・・ヒンジ部、
81・・・蓋体側面、82・・・カートリッジ型ケミカルアブソーバー、
83・・・蓋体上面、91・・・カートリッジ型ケミカルアブソーバー、
92・・・蓋体側面、93・・・蓋体上面、94・・・本体底面、95・・・レチクル、
96・・・呼吸弁、97・・・キャップ、98・・・下面支持突起、99・・・リップ条、
100・・・凸条、101・・・シール、102・・・シール受部、
103・・・上面支持リテーナ、104・・・バネ体、130・・・化学吸着層部、
131・・・ケミカルアブソーバー、132・・・分離部、
133・・・カートリッジ本体、134・・・ストッパー、135・・・上部(開口部)、
136・・・カートリッジ固定機構(溝部)、139・・・抜け防止機構、
140・・・ピン、141・・・溝、142・・・ヒンジ部、
200・・・カートリッジ部、201・・・カートリッジ本体、202・・・ストッパー、
203・・・フレーム、204・・・連結部、205・・・窓、
206・・・嵌合機構(溝部)、207・・・ケミカルアブソーバー押さえ、
208・・・フレーム、209・・・窓、210・・・ヒンジ部、
211・・・嵌合機構(凸部)、212・・・ケミカルアブソーバー押さえ、
213・・・カートリッジ固定機構(溝部)、214、215・・・抜け防止機構、
219、221・・・凹状部、220・・・ケミカルアブソーバー
Claims (7)
- 水分、有機性ガス、塩基性ガス、および/または酸性ガスからなる汚染物質を吸着し除去するケミカルアブソーバー、および前記ケミカルアブソーバーを基板収納容器の内部に固定し取り付けるカートリッジから少なくとも構成されるカートリッジ型ケミカルアブソーバーであって、
前記カートリッジ型ケミカルアブソーバーは基板収納容器の内部に装着され、
前記カートリッジは、少なくともカートリッジ本体および前記カートリッジ本体と対になって前記ケミカルアブソーバーを挟持するストッパーからなり、
前記カートリッジ本体は長方形形状を有していることを特徴とし、
さらに、前記ケミカルアブソーバーは、長方形形状であり、少なくとも1層からなる化学吸着層、および前記化学吸着層を囲繞して内側に封止する膜状フィルターからなり、
前記ケミカルアブソーバーは、前記膜状フィルターの外縁部が融着されて融着部を形成し、前記融着部には化学吸着層が存在せず、前記融着部の内側のフィルター内に化学吸着層を有する化学吸着部が存在する構造となっていることを特徴とし、
さらに、前記カートリッジ型ケミカルアブソーバーは、長方形形状であり、
前記ケミカルアブソーバーの融着部を、前記ケミカルアブソーバーの表面および裏面から前記カートリッジ本体およびストッパーで挟持して押さえることによって、ケミカルアブソーバーをカートリッジに固定する構造となっていることを特徴とし、
さらに、前記カートリッジ本体と前記ストッパーとは、前記ケミカルアブソーバーを挟持した状態で、互いに嵌合して結合する嵌合機構を持っていることを特徴とし、
さらに、前記化学吸着部が存在するフィルターの領域は、前記カートリッジ本体およびストッパーで押さえない構造となっており、
前記ケミカルアブソーバーを前記カートリッジに固定したときに、前記化学吸着部が存在するフィルターの領域は、前記カートリッジ本体およびストッパーの両方において開口していることを特徴とするカートリッジ型ケミカルアブソーバー
において、
前記基板収納容器は、前記カートリッジを固定するためのカートリッジ固定部を有し、前記カートリッジは、前記基板収納容器の前記カートリッジ固定部と結合し、前記カートリッジを前記基板収納容器に固定するためのカートリッジ固定機構を有するとともに、
前記ケミカルアブソーバーを挟持した状態で前記嵌合機構を結合させて前記ケミカルアブソーバーを両者の間に固定して止めるときに、前記カートリッジ本体と前記ストッパーとで前記ケミカルアブソーバーの融着部を押圧して固定するケミカルアブソーバー抜け防止機構を有することを特徴とする、カートリッジ型ケミカルアブソーバー。
- 上記カートリッジ本体およびストッパーは連結部を介して一体となっていて、前記連結部を折り曲げることにより前記カートリッジ本体およびストッパーを合わせると同時に、前記ケミカルアブソーバーを挟持した状態で、上記嵌合機構を嵌合させて前記カートリッジ本体およびストッパーを結合させることを特徴とする、請求項1に記載のカートリッジ型ケミカルアブソーバー。
- 上記ケミカルアブソーバーの融着部をカートリッジ本体およびストッパーで挟みこんで押さえることによって、ケミカルアブソーバーをカートリッジに固定する上記嵌合機構は、前記ストッパーに設けられた溝または穴と、前記溝または穴に係合する前記カートリッジ本体に設けられたピンまたはツメとからなることを特徴とする請求項2に記載のカートリッジ型ケミカルアブソーバー。
- 上記基板収納容器のカートリッジ固定部はピン形状であり、上記カートリッジのカートリッジ固定機構は前記ピン形状と嵌合する溝または穴形状であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載のカートリッジ型ケミカルアブソーバー。
- 上記ケミカルアブソーバー抜け防止機構は、上記カートリッジ本体およびストッパーに設けられていて、少なくとも1つの突起を有する抜け防止突起部、およびケミカルアブソーバーの融着部を挟持した状態で当該ケミカルアブソーバーの両面から挟み込んで、前記突起からの押圧力を受ける前記突起に対応する少なくとも1つの凹部または平面を有し、前記ケミカルアブソーバーを挟持して相互に押圧して固定するように構成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載のカートリッジ型ケミカルアブソーバー。
- 上記カートリッジ本体および/または上記ストッパーに形成された開口部において、上記ケミカルアブソーバーが上記カートリッジによりはみ出すことを防止するケミカルアブソーバー押さえを有することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載のカートリッジ型ケミカルアブソーバー。
- 上記カートリッジは当該長方形状の中間部にヒンジ部を有しており、上記ケミカルアブソーバーが前記カートリッジに固定されたときに前記ヒンジ部に対応する前記ケミカルアブソーバーの部分は分離部となり、前記分離部は化学吸着層の存在しない融着部であり、前記ヒンジ部において前記カートリッジを曲げることにより上記基板収納容器の角部に設置されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のカートリッジ型ケミカルアブソーバー。
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