TWI474957B - 防塵薄膜組件收容容器 - Google Patents

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Description

防塵薄膜組件收容容器
本發明是有關於用於半導體裝置、印刷基板或者液晶顯示器等的製造中，且收納防塵薄膜貼附於防塵薄膜組件框架的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收容容器。
LSI(Large Scale Integration，大型積體電路)或超LSI等的半導體製造或液晶顯示器等的製造中，要進行對半導體晶圓或者液晶用原板照射光來製作圖案的微影(lithography)。此時，光罩(photomask)或者初縮遮罩(reticle)如果有灰塵附著，所述灰塵對光進行吸收或使光彎曲，由此就會使轉印的圖案變形，或者使邊緣變得模糊，並且基底變黑等的現象發生。所述作業通常在無塵室中進行，即使如此，也難以使光罩總是保持清潔，所以使用透明的防塵薄膜在防塵薄膜組件框架上貼附的防塵薄膜組件。如此，將所述防塵薄膜組件載置在光罩上而進行曝光，藉此異物不在光罩的表面直接附著，而是在防塵薄膜上附著，所以微影時，只要將焦點對準光罩的圖案，防塵薄膜上的異物就與轉印無關了。
所述防塵薄膜組件如其本身有異物附著，就會有可能波及到異物附著於光罩，所以要求高的清淨性。由此，在所述保管或運送時，要使用防塵薄膜組件收容容器。作為所述防塵薄膜組件收容容器或者防塵薄膜組件的收容方法，可以例舉下述專利文獻1、專利文獻2、專利文獻3中所述之物。具體地說，專利文獻1中，記載了一種防塵薄膜組件用容器，其為在硬質樹脂製的容器本體的內底部密接載置防塵薄膜組件框架的側面，其通過在容器本體的內底部分散地豎直設立多個支持體，由此從周圍將內底部上載置的防塵薄膜組件框架進行支持，進一步，在容器本體上覆蓋有開閉自由的硬質樹脂製的蓋體，並在所述蓋體閉蓋時，在所述內面具有與內底部上載置的防塵薄膜組件框架的所述一個側面抵接的抵接部。
專利文獻2記載了一種將大型防塵薄膜組件收容在容器中的方法，其中大型防塵薄膜組件具有框體、在所述框體的上緣面接著的防塵薄膜、塗布在所述框體的下緣面的黏著材料、以及為了保護所述黏著材料而黏著在框體的下面的保護薄膜，所述容器具有盤以及蓋。所述大型防塵薄膜組件的保護薄膜的外周緣的一部或全部向外側突起，而形成壓邊餘量，並且將所述壓邊餘量通過黏著帶固定於所述盤，由此將大型防塵薄膜組件收容在容器中。
專利文獻3記載了一種防塵薄膜組件收容容器，包括： 載置防塵薄膜組件的容器本體；蓋住防塵薄膜組件，同時與容器本體相互在周緣部嵌合卡定的蓋體；接合在所述容器本體的金屬部件；在防塵薄膜組件框架的相互平行的一組的邊的各外側面至少設置1個的合計3個以上的孔分別插入的相同數目的框架保持梢；以及對所述框架保持梢進行定位的定位部件，在該防塵薄膜組件收容容器中，所述定位部件被機械固定在所述金屬部件上。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利實公平6-45965號公報
[專利文獻2]日本專利特開2004-361647號公報
[專利文獻3]日本專利第4391435號公報
專利文獻1所述的防塵薄膜組件用容器能夠以射出成型形成，有部件少的優點，可作為半導體用防塵薄膜組件的收容而使用。但是，所述防塵薄膜組件用容器的蓋體以及容器本體都需要高精度成形，不能用於邊長超過500mm那樣的液晶用防塵薄膜組件的收容。除了這樣的大型的容器無法在真空成型中精度良好地形成以外，容器本身的剛性也難以確保。
由此，在容器的處理時或搬送時容易引起容器的變形，從而容器和防塵薄膜組件框架磨擦而發生粉塵，從而使品質變差。作為所述邊長超過500mm的那樣的大型的防塵薄膜組件的收納容器，亦提出有一種方法：如專利文獻2所述的那樣，使保護 遮罩黏著層的襯層的一部分向外側突起，用黏著帶將其固定於容器本體；或者如專利文獻3所述的那樣，在防塵薄膜組件框架外側面所設置的凹部中將梢插入，在容器本體上固定，藉此將防塵薄膜組件確實地固定在容器本體上。
但是，如專利文獻2那樣將防塵薄膜組件的保護薄膜的外周緣的一部分或全部向外側突起的壓邊餘量用黏著帶貼附固定在容器本體上的情況下，所述作業不得不用人工進行，難以在清淨的狀態下固定在盤上。進一步，在將黏著帶剝離取出時，有人手接近於防塵薄膜組件框架附近而附著異物之虞。
另一方面，如專利文獻3那樣向防塵薄膜組件框架外側面的孔中進行梢插入拔出而使防塵薄膜組件於容器本體裝卸的情況下，防塵薄膜組件的裝卸時，人手不太接近防塵薄膜組件，異物附著少。
但是，在將收納防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器進行運送時，有必要對防塵薄膜組件框架外側面的孔中插入的梢的插入位置進行持續維持。為了對該梢的插入位置進行維持，可以考慮將梢進一步用其他的螺釘等的結合裝置進行固定的固定裝置，或者使梢形成為大致錐狀而嵌合，用所述摩擦力進行固定的固定裝置。但是，用螺釘等的結合裝置將梢固定的情況下，就將梢固定的方面而言為確實，但是有灰塵發生之虞。另外，將梢製成大致錐狀而用摩擦力進行固定的情況下，難以將摩擦力調節為 適切的大小，所以可靠性差。
本發明是為了解決所述課題而成者，其目的在於提供一種防塵薄膜組件收容容器，其一邊將固定在容器本體的規定位置的狀態下的防塵薄膜組件用蓋體覆蓋而防止異物附著，一邊亦在運送中確實維持所述固定狀態，並且將蓋體打開開封時，可簡單地將所述固定狀態解除，將防塵薄膜組件取出。
本發明的目的，可以用以下申請專利範圍的請求項來達到。
1. 一種防塵薄膜組件收容容器，其由載置有防塵薄膜貼附於防塵薄膜組件框架上而成的防塵薄膜組件的容器本體；以及在所述容器本體的周緣部嵌合卡定，將所述防塵薄膜組件覆蓋的蓋體所構成，所述防塵薄膜組件收容容器的特徵在於：在所述容器本體設置有多個防塵薄膜組件固定部，所述防塵薄膜組件固定部包括在被載置的所述防塵薄膜組件框架的外側面所形成的凹部能夠以前端部插入的狀態進行轉動的梢、以及可以將所述梢從所述凹部拔出來進行裝設的梢裝設部，在各個所述防塵薄膜組件固定部設有將所述梢保持的保持裝置，使裝設於所述梢裝設部而所述前端部插入所述防塵薄膜組件框架的凹部的所述梢依規定角度進行轉動，而所述梢的前端部不從所述凹部拔出。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中所述保持裝置由所述梢上形成的突起部、以及形成於所述梢裝設部且所述梢依規定角度進行轉動而與所述突起部卡定的缺口部所構成。
3. 如申請專利範圍第2項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中對所述容器本體載置的所述防塵薄膜組件進行覆蓋的所述蓋體的內壁面與所述梢所形成的所述突起部的一部分抵接，由此防止所述梢的轉動。
4. 如申請專利範圍第2項或第3項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢進行30度-180度轉動時，所述梢的突起部和所述梢裝設部的缺口部卡定。
5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢的前端部設有彈性體，所述彈性體作為與所述防塵薄膜組件框架抵接的緩衝構件。
6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢的後端面形成有所述梢的轉動用的工具所插入的工具用凹部。
本發明中防塵薄膜組件收容容器為簡便的結構，同時可將使防塵薄膜組件固定在容器本體的梢確實地進行保持，運送中不會發生梢的脫落等，也不會使防塵薄膜組件的固定脫落，並且 也沒有使收納的防塵薄膜組件破損或異物附著的危險，可靠性高。另外，打開蓋體，將容器本體中載置的防塵薄膜組件取出時，僅將梢依規定角度進行轉動，從梢裝設部卸下，就可以將防塵薄膜組件從容器本體中取出。由於以如此極簡便的操作就可以從防塵薄膜組件收容容器中將防塵薄膜組件取出，伴隨著取出作業的異物附著防塵薄膜組件的危險也少。
10‧‧‧防塵薄膜組件收容容器
12‧‧‧容器本體
12a‧‧‧突肋
14‧‧‧蓋體
16‧‧‧防塵薄膜組件
16a‧‧‧防塵薄膜組件框架
16b‧‧‧防塵薄膜
18、100‧‧‧防塵薄膜組件固定部
20‧‧‧平坦面
22‧‧‧襯層
24‧‧‧遮罩黏著層
26‧‧‧凹部
28、102‧‧‧梢
28a、102a‧‧‧前端部
28b、102b‧‧‧中間部
28c、102c‧‧‧後端部
28e‧‧‧階差
30‧‧‧突起部
32、104‧‧‧梢裝設部
32a‧‧‧U形溝
32b‧‧‧缺口部
32c‧‧‧孔
34、106‧‧‧彈性體
36‧‧‧工具用凹部
108‧‧‧貫通孔
圖1表示本發明中防塵薄膜組件收容容器的一例的正面圖。
圖2為將圖1所示的防塵薄膜組件收容容器10的蓋體14卸下的狀態的正面圖。
圖3為圖1所示的防塵薄膜組件收容容器10的X-X面的截面圖。
圖4為包括圖3所示的防塵薄膜組件收容容器10的防塵薄膜組件固定部18的部分擴大截面圖。
圖5為圖4所示的梢28的斜視圖。
圖6(a)~圖6(c)為說明將圖4所示的梢28裝設於梢裝設部32的情形的斜視圖。
圖7表示將梢裝設部裝設的梢利用裝設孔的摩擦力進行保持的比較例的斜視圖。
以下，對用以實施本發明的實施方式進行詳細說明，但是本發明的範圍不受它們的限制。
本發明的防塵薄膜組件收容容器的一例如圖1所示。圖1表示的防塵薄膜組件收容容器10由長方形狀的容器本體12和蓋體14所構成。將所述蓋體14卸下的狀態用圖2表示。容器本體12的中央部所載置的防塵薄膜組件16在沿著容器本體12的長邊而形成的平坦面20、平坦面20上，藉由防塵薄膜組件16的各角部附近配置的4個防塵薄膜組件固定部18來進行固定。
所述防塵薄膜組件16為在長方形狀的鋁等的金屬製防塵薄膜組件框架16a上貼附透明的氟樹脂等防塵薄膜16b而形成的。防塵薄膜組件16以及防塵薄膜組件固定部18所載置的容器本體12如作為圖1的X-X面的截面圖的圖3表示的那樣，在容器本體12的底部有突肋(rib)12a、突肋12a形成而被補強。所述容器本體12和蓋體14為使用將丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(acrylonitrile-butadiene-styrene，ABS)或丙烯酸等的合成樹脂片進行真空成型而製得者。真空成型方法為在模具上覆蓋經加熱的樹脂片，僅進行真空吸引，就可以容易地形成大型容器。與此相反，通過從一處或數處的閘向模具內將樹脂進行高速注入的射出成形方法中，樹脂的流動的距離過長，因此大型容器的製造有困難的傾向。
所述容器本體12中，如圖4表示的那樣，防塵薄膜組 件16通過襯層22和遮罩黏著層24而被載置，防塵薄膜組件16被4個防塵薄膜組件固定部18(圖3)固定在規定位置。所述防塵薄膜組件16如圖3表示的那樣被蓋體14覆蓋，而收容在防塵薄膜組件收容容器10內。容器本體12和蓋體14在其周緣部嵌合卡定。另外，防塵薄膜組件固定部18如圖4表示的那樣，包括：在容器本體12的規定位置所載置的防塵薄膜組件框架16a的側面開口的凹部26能夠以前端部28a插入的狀態進行轉動的梢28；以及可以將梢28從凹部26拔出來進行裝設的梢裝設部32。如圖5表示的那樣，所述梢28由前端部28a、中間部28b、及後端部28c所形成，中間部28b和後端部28c之間形成有構成梢28的保持裝置的突起部30。突起部30的前端部形成為尖細狀的傾斜面。梢28的後端部28c為操作梢28轉動等的操作部，其比前端部28a以及中間部28b粗。此後端部28c的端面形成有梢28的轉動用的工具所插入的工具用凹部36。
圖5所示的梢28的工具用凹部36形成為六角形，以使六角扳手的前端部可以插入。進一步，梢28的中間部28b比前端部28a還粗，梢28的前端部28a和中間部28b的邊界形成有階差28e。所述階差28e與防塵薄膜組件框架16a的側面抵接。作為將所述階差28e和防塵薄膜組件框架16a的側面的抵接進行緩和的緩衝構件，在階差28e裝設有環狀的彈性體34。作為彈性體34，可以使用腈橡膠、乙烯丙烯橡膠、矽酮橡膠、及氟橡膠等的橡膠。
如圖4表示的那樣，所述梢28可以在其上被自由自在地裝卸的梢裝設部32在容器本體12的平坦面20上用螺釘等的結合裝置(未圖示)進行安裝。如圖6(a)表示的那樣，所述梢裝設部32為四面體，梢28所形成的突起部30以及後端部28c插入的U形溝32a的一端於四面體的一側開口。所述U形溝32a的另一端於四面體的中央部附近所形成的四角形狀的缺口部32b的內壁面的一側開口。所述缺口部32b與突起部30構成保持裝置，梢28的中間部28b和後端部28c之間所形成的突起部30為可以轉動地插入。進一步，缺口部32b的內壁面中，與U形溝32a的另一端開口的一側對應的另一側形成梢28的前端部28a以及中間部28b的一部分插入的孔32c。
如圖6(a)表示的那樣，在所述梢裝設部32上裝設在階差28e上插入有彈性體34的梢28。一面將梢28的前端部28a以及中間部28b插入梢裝設部32的孔32c，一面將梢28的突起部30從U形溝32a向缺口部32b插入，並且將後端部28c插入U形溝32a。在梢裝設部32將梢28裝設時，如圖6(b)表示的那樣，梢28的前端部28a和中間部28b的一部分從梢裝設部32突出。所述圖6(b)表示的狀態的梢28可以從梢裝設部32的U形溝32a以及缺口部32b拔出。由此，可以按圖6(b)表示的箭頭的方向使梢28轉動。通過所述梢28的轉動，突起部30也轉動，如圖6(c)表示的那樣，突起部30和缺口部32b的內壁面卡定。所述突 起部30和缺口部32b的內壁面卡定，藉由所述突起部30和缺口部32b的卡定，梢28被梢裝設部32保持，從而無法被拔出。
另一方面，如圖6(c)表示那樣，在將突起部30和缺口部32b的卡定解除時，將梢28按與圖6(b)表示的箭頭相反方向轉動，由此，如圖6(b)表示的那樣，可解除突起部30和缺口部32b的內壁面的卡定，梢28可以從梢裝設部32簡單地拔出。用以所述突起部30和缺口部32b的卡定或其解除的梢28的轉動角度，從操作性或卡定的確實性的觀點等優選30度-180度，特別優選45度-90度的範圍。所述梢28的轉動較佳為向梢28的後端部28c的端面所形成的工具用凹部36中插入六角扳手的前端部來進行。
如圖6(c)表示的那樣，將保持有梢28的梢裝設部32作為將容器本體12上載置的防塵薄膜組件16進行固定的防塵薄膜組件固定部18，從而安裝在沿著容器本體12的長邊形成的平坦面20的規定的地方。此時，如圖4表示的那樣，防塵薄膜組件固定部18的梢28的前端部28a作為插入防塵薄膜組件框架16a的凹部26的位置。所述安裝用螺釘等的結合裝置進行。作為所述結合裝置，在梢裝設部32中用金屬的插入部件等設置內紋螺桿(female screw)部，從容器本體12的外側將螺栓固定，可以使防塵薄膜組件收容容器10內螺釘等的部件不露出，從清潔度維持的點來看是好的。進一步，螺栓固定優選經由樹脂墊圈等進行固定， 特別是在梢裝設部32在容器本體12固定後，進一步將樹脂部件之間的接線部用有機溶劑等進行溶解而接著，這對防止發生灰塵的點來看是優選的。
但是，如圖6(c)表示的那樣，防塵薄膜組件固定部18即使在突起部30和缺口部32b處於卡定的狀態中，也會由於運送中的振動等而使梢28轉動，使突起部30和缺口部32b的卡定有解除的危險。如圖4表示的那樣，所述梢28的轉動通過蓋體14的內壁面將防塵薄膜組件16進行覆蓋，使其與缺口部32b卡定的突起部30的一部分抵接來進行防止。在該場合也可以通過將蓋體14卸下，使梢28轉動，將缺口部32b和突起部30的卡定解除。
圖1~圖6(c)所示的梢28為將樹脂用射出成型、傳遞成型(transfer molding)等一體成型來製作。作為材質，可以使用環氧樹脂、ABS樹脂(丙烯腈丁二烯苯乙烯樹脂)、PPS樹脂(聚苯硫醚樹脂)、PE樹脂(聚乙烯樹脂)、PEEK樹脂(聚醚醚酮樹脂)等，根據必要，優選將玻璃纖維等的填料等混入以提高強度。裝設所述梢28的梢裝設部32為將樹脂用射出成型、傳遞成型等的一體成型來製作。作為材質，可以使用環氧樹脂、ABS樹脂(丙烯腈丁二烯苯乙烯樹脂)、PPS樹脂(聚苯硫醚樹脂)、PE樹脂(聚乙烯樹脂)、PEEK樹脂(聚醚醚酮樹脂)等。
根據圖1~圖6(c)表示的防塵薄膜組件收容容器10，將構成防塵薄膜組件固定部18的梢裝設部32所裝設的梢28的前 端部28a插入容器本體12所載置的防塵薄膜組件框架16a的凹部26後，使梢28轉動，藉此將防塵薄膜組件16確實地保持在容器本體12。進一步，由於與梢裝設部32卡定的梢28的突起部30的一部分與覆蓋在容器本體12的蓋體14的內壁面抵接，因此可防止運送中的振動等造成的梢28轉動，從而確實地防止運送中由於梢28脫落等造成的防塵薄膜組件16的固定的脫落。所述防塵薄膜組件收容容器10所收容的防塵薄膜組件16沒有破損或異物附著的危險，可靠性高。另外，打開蓋體14，將在容器本體12上載置的防塵薄膜組件16取出時，僅將梢28進行規定角度的轉動而從梢裝設部32拔出，就可以將防塵薄膜組件16從容器本體12取出。由此，防塵薄膜組件收容容器10的防塵薄膜組件16的取出作業也簡單。
圖1~圖6(c)表示的防塵薄膜組件收容容器10中，將防塵薄膜組件16藉由在沿著容器本體12的長邊形成的平坦面20、平坦面20上的防塵薄膜組件16的各角部附近所配置的4個防塵薄膜組件固定部18固定，但是也可以設置4個以上的防塵薄膜組件固定部18。另外，防塵薄膜組件固定部18的配置亦可為沿著容器本體12的短邊配置，亦可為沿著長邊以及短邊的各邊配置。
【實施例】
以下對本發明的實施例進行詳細說明，但是本發明的範圍不 受它們的限制。
(實施例1)
用抗靜電ABS樹脂製的片材，以真空成型法製作圖1以及圖2表示的形狀的容器本體12以及蓋體14。容器本體12和蓋體14在其周緣部嵌合卡定，形成圖1表示的防塵薄膜組件收容容器10。所述防塵薄膜組件收容容器10的大小為外形890mm×690mm、高70mm。成形中使用的片材作為蓋體14用則為透明的3mm之物，作為容器本體12用則為黑色的5mm之物。
進一步，藉由射出成型，使用ABS樹脂製作圖6(a)~圖6(c)表示的梢裝設部32，使用PPS樹脂製作圖5表示的梢28。梢28由前端部28a、中間部28b、後端部28c形成，中間部28b和後端部28c之間形成有構成梢28的保持裝置的突起部30。突起部30的前端部形成為尖細狀的傾斜面。梢28的後端部28c為使梢28實施轉動等的操作部，比前端部28a以及中間部28b還粗。在後端部28c的端面形成有梢28的轉動用的六角扳手的前端部所插入的工具用凹部36。所述梢28中，中間部28b亦比前端部28a粗，梢28的前端部28a和中間部28b的邊界形成有階差28e。
另外，梢裝設部32為四面體，梢28的突起部30以及後端部28c所插入的U形溝32a的一端於四面體的一側開口。所述U形溝32a的另一端於四面體的中央部附近所形成的四角形狀的缺口部32b的內壁面的一面開口。所述缺口部32b與梢28的突 起部30構成保持裝置，梢28的中間部28b和後端部28c之間所形成的突起部30為可以轉動地插入。進一步，缺口部32b的內壁面中，與U形溝32a的另一端開口的一側對應的另一側形成梢28的前端部28a以及中間部28b插入的孔32c。所述梢裝設部32的下面側設置有4個地方的黃銅製的插入螺帽(insert nut)(未圖示)。
接著，如圖6(a)表示的那樣，將梢28插入梢裝設部32，如圖6(b)表示的那樣，將梢28的突起部30插入梢裝設部32的缺口部32b。進一步，將梢28的後端部28c向右方向進行45度轉動，如圖6(c)表示的那樣，突起部30和缺口部32b的內壁面卡定，此時，突起部30的傾斜面為水平。進一步，在從梢裝設部32突起的前端部28a和中間部28b的邊界的階差28e安裝厚度0.5mm的氟橡膠製的環狀彈性體34，形成防塵薄膜組件固定部18。將所述防塵薄膜組件固定部18置於容器本體12的平坦面20的規定地方，如圖4表示的那樣，安裝在梢28的前端部28a插入的防塵薄膜組件框架16a的凹部26的位置。所述安裝是從容器本體12的外側用不銹鋼製六角帶孔螺栓(未圖示)進行。此時，將POM製的樹脂板(厚度1.5mm)挾入，以提高密封性。如此將形成的防塵薄膜組件收容容器10搬進10級(Class 10)無塵室，用界面活性劑和純水進行良好地洗淨後，使其完全乾燥。另外，梢28的突起部30如圖6(c)表示的那樣，將梢28轉動，使突起部 30和缺口部32b的內壁面卡定，將蓋體14覆蓋在容器本體12時，變為水平的傾斜面與蓋體14的內壁面接觸。
於所述無塵室內，除了防塵薄膜組件收容容器10之外，製作外尺寸797mm×474mm、內尺寸789mm×456mm、高5.9mm的防塵薄膜組件16。所述防塵薄膜組件16中，使用鋁合金製的防塵薄膜組件框架16a(厚度4.8mm)、作為遮罩黏著劑以及防塵薄膜接著劑的矽酮黏著劑、作為防塵薄膜16b的厚度3μm的氟樹脂。另外，於防塵薄膜組件框架16a的各長邊中，以710mm之間隔設置2個直徑2.5mm×深度1.8mm的凹部26，於各短邊中設置處理用的寬1.5mm、深度2.3mm的溝(未圖示)。將所述防塵薄膜組件16在暗室內用集光燈進行異物檢查後，收納至防塵薄膜組件收容容器10中。此時，將設置於容器本體12的防塵薄膜組件固定部18的梢28的前端部插入防塵薄膜組件框架16a的凹部26後，如圖6(c)表示的那樣，將梢28轉動，將防塵薄膜組件16固定在容器本體12內，覆蓋蓋體14。進一步，將蓋體14和容器本體12的周緣部用寬35mm的PVC(polyvinyl chloride，聚氯乙烯)製黏著帶(未圖示)貼附固定後，將胺基甲酸酯製夾子(未圖示)安裝在各長邊的2個地方。接著，最後用內部清潔過的抗靜電PE製袋子進行2層包裝，收納至內部配有緩衝材料的強化瓦楞紙製包裝箱(未圖示)。
將如此包裝有防塵薄膜組件收容容器10的強化瓦楞紙 製包裝箱從群馬至福岡進行往復運送測試(群馬縣東京為卡車，東京福岡間為飛機)。將運送後的防塵薄膜組件收容容器10搬進無塵室，進行內部的確認。梢28確實地保持在梢裝設部32，所述前端部28a也在插入防塵薄膜組件框架16a的凹部26的狀態下，防塵薄膜組件16確實地固定在容器本體12。在該狀態下，照射集光燈，對容器本體12上的灰塵發生狀況進行確認，防塵薄膜組件固定部18附近以及容器本體10上沒有發現異物的發生。進一步，向梢28的工具用凹部36中將六角扳手插入，轉動梢28，將突起部30和缺口部32b的卡定解除。接著，將防塵薄膜組件16從容器本體12取出，搬進暗室內，用集光燈進行防塵薄膜組件16的表面所附著的異物的檢査。結果在防塵薄膜組件16完全未發現異物的附著，維持在極清潔的的狀態。
(比較例1)
製作圖7表示的防塵薄膜組件固定部100。構成圖7表示的防塵薄膜組件固定部100的梢102由PPS樹脂製的圓柱狀部件形成，包括前端部102a、中間部102b以及後端部102c。粗細為前端部102a<中間部102b<後端部102c的順序，前端部102a和中間部102b的邊界有階差形成，裝設氟橡膠製的環狀的彈性體106。所述梢102中沒有形成圖5表示的梢28所形成的突起部30。裝設有所述梢102的梢裝設部104為使用ABS樹脂且藉由射出成型而形成的。梢裝設部104形成有梢28的前端部102a以及中間 部102b的一部分可以通過且中間部102b的剩餘部分以及後端部102c所插入的貫通孔108。所述梢裝設部104中沒有形成如圖6(a)表示的梢裝設部32那樣的U形溝32a以及缺口部32b。由此，梢裝設部104中，貫通孔108的內徑隨著梢102的插入方向逐漸變小，由此插入貫通孔108的梢102藉由其外壁面和貫通孔108的內壁面的摩擦力將梢28固定。如此，圖7表示的防塵薄膜組件固定部100中，以摩擦力將梢102固定在梢裝設部104的貫通孔108中。
將圖7表示的防塵薄膜組件固定部100與實施例1同樣地安裝在容器本體12上。接著，容器本體12上載置的防塵薄膜組件16的防塵薄膜組件框架16a的凹部26中，插入構成防塵薄膜組件固定部100的梢102的前端部102a，將防塵薄膜組件16固定在容器本體12上。進一步，將蓋體14覆蓋在容器本體12上，形成收容有防塵薄膜組件16的防塵薄膜組件收容容器10。此後，與實施例1同樣地包裝防塵薄膜組件收容容器10，且進行運送實驗。
將運送後的防塵薄膜組件收容容器10搬入無塵室，進行內部的確認。結果，防塵薄膜組件16還留在容器本體12上，但是4個地方的防塵薄膜組件固定部100中，確認到1個地方的梢102正要從梢裝設部104脫出。另外，所述前端部104a也從防塵薄膜組件框架16a的凹部26拔出，前端部104a與防塵薄膜組 件框架16a的外面磨擦，附著有直徑數十μm的異物數十個。另外，在該狀態下，照射集光燈對容器本體12上的灰塵發生狀況進行確認，結果發現與正要拔出的防塵薄膜組件固定部100相對的防塵薄膜組件固定部100的周邊也有異物的附著。進一步，將梢102用戴上腈製的手套的手從梢裝設部104小心地拔出，將防塵薄膜組件16搬進暗室內，用集光燈對表面附著的異物進行檢査。結果發現防塵薄膜16b上附著有12個直徑10μm-20μm左右的異物。另外，它們之中，約半數分布在防塵薄膜組件固定部100的周邊。
[產業上之可利用性]
本發明中防塵薄膜組件收容容器，可以作為半導體裝置用的防塵薄膜組件收容容器使用，也可以作為比半導體裝置用的防塵薄膜組件還大型的液晶用的防塵薄膜組件收容容器來使用。
12‧‧‧容器本體
14‧‧‧蓋體
16‧‧‧防塵薄膜組件
16a‧‧‧防塵薄膜組件框架
16b‧‧‧防塵薄膜
18‧‧‧防塵薄膜組件固定部
20‧‧‧平坦面
22‧‧‧襯層
24‧‧‧遮罩黏著層
26‧‧‧凹部
28‧‧‧梢
28a‧‧‧前端部
32‧‧‧梢裝設部
34‧‧‧彈性體

Claims (5)

  1. 一種防塵薄膜組件收容容器，其由載置有防塵薄膜貼附於防塵薄膜組件框架上而成的防塵薄膜組件的容器本體；以及在所述容器本體的周緣部嵌合卡定，將所述防塵薄膜組件覆蓋的蓋體所構成，所述防塵薄膜組件收納容容器的特徵在於：在所述容器本體設置有多個防塵薄膜組件固定部，所述防塵薄膜組件固定部包括在被載置的所述防塵薄膜組件框架的外側面所形成的凹部能夠以前端部插入的狀態進行轉動的梢、以及可以將所述梢從所述凹部拔出來進行裝設的梢裝設部，在各個所述防塵薄膜組件固定部設有將所述梢保持的保持裝置，使裝設於所述梢裝設部而所述前端部插入所述防塵薄膜組件框架的凹部的所述梢依規定角度進行轉動，而所述梢的前端部不從所述凹部拔出，所述保持裝置由所述梢上形成的突起部、以及形成於所述梢裝設部且所述梢依規定角度進行轉動而與所述突起部卡定的缺口部所構成。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中對所述容器本體載置的所述防塵薄膜組件進行覆蓋的所述蓋體的內壁面與所述梢所形成的所述突起部的一部分抵接，由此防止所述梢的轉動。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢進行30度-180度轉動時，所述梢的突起部和所述梢裝 設部的缺口部卡定。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢的前端部設有彈性體，所述彈性體作為與所述防塵薄膜組件框架抵接的緩衝構件。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢的後端面形成有所述梢的轉動用的工具所插入的工具用凹部。
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