KR101938158B1

KR101938158B1 - 펠리클 수용 용기

Info

Publication number: KR101938158B1
Application number: KR1020120088299A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2011-10-28
Filing date: 2012-08-13
Publication date: 2019-01-14
Also published as: CN103086050A; HK1180658A1; KR20130047562A; JP5586559B2; JP2013097046A; TW201345806A; CN103086050B; TWI474957B

Abstract

[과제] 용기 본체에 고정된 상태의 펠리클을 덮개체로 피복해서 이물 부착을 방지하면서 수송 중에도 고정 상태를 확실하게 유지할 수 있고, 또한 덮개체를 열어서 개봉했을 때 고정 상태를 간단하게 해제해서 펠리클을 인출할 수 있는 펠리클 수용 용기를 제공한다.
[해결 수단] 펠리클(16)을 적재한 용기 본체(12)와, 펠리클(16)을 피복하는 덮개체(14)로 구성되고, 용기 본체(12)에는 펠리클(16)의 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 선단부(16a)가 삽입되어서 회동 가능한 핀(28)과, 핀(28)을 착탈 가능하게 장착하는 핀 장착부(32)를 구비한 펠리클 고정부(18)를 복수개 설치하고, 각 펠리클 고정부(18)의 핀 장착부(32)에 장착하고, 선단부(16a)를 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입한 핀(28)을 소정 각도 회동시켜서 핀(28)의 선단부(28a)를 오목부(26)로부터 발출되지 않도록 핀(28)을 유지하는 유지 수단으로서의 돌기부(30)와 노치부(32a)를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

펠리클 수용 용기{PELLICLE CONTAINER}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디바이스 디스플레이 등의 제조에 사용되는 펠리클 막이 펠리클 프레임에 부착된 펠리클을 수용하는 펠리클 수용 용기에 관한 것이다.

LSI나 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하는 리소그래피 작업이 행하여진다. 이때, 포토마스크 또는 레티클에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 굴절시켜 버리기 때문에 전사한 패턴이 변형되거나, 엣지가 울퉁불퉁하게 되는 이외에 하지가 검게 오염되거나 하는 등의 현상이 발생하는 경우가 있다. 이러한 작업은 통상 클린룸에서 행하여지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵기 때문에 투명한 펠리클 막이 펠리클 프레임에 부착된 펠리클이 사용되고 있다. 이 펠리클을 포토마스크 상에 적재해서 노광을 행함으로써 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 막 상에 부착되기 때문에, 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 막 상의 이물은 전사에 관계없게 된다.

이러한 펠리클은 그 자체에 이물이 부착되면 포토마스크에의 이물 부착으로도 이어지기 때문에 높은 청정성이 요청된다. 이 때문에, 그 보관이나 수송시에는 펠리클 수용 용기가 사용된다. 이러한 펠리클 수용 용기 또는 펠리클의 수용 방법으로서, 예를 들면 하기 특허문헌 1, 2, 3에 기재되어 있는 것이 있다. 구체적으로는, 특허문헌 1에 경질 수지제의 용기 본체의 내저부에 펠리클 프레임의 타측면을 밀접 적재하도록 되어 있고, 용기 본체의 내저부에 내저부 상에 적재된 펠리클 프레임을 주위로부터 유지하는 복수의 지지체를 점재해서 세워서 설치하고, 또한 용기 본체 상을 경질 수지제의 덮개체로 개폐 가능하게 피복하고, 이 덮개체는 덮개를 닫았을 때에 내저부 상에 적재된 펠리클 프레임의 상기 일측면에 접촉하는 접촉부를 그 내면에 갖는 펠리클용 용기가 기재되어 있다.

특허문헌 2에 프레임체와, 상기 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클 막과, 상기 프레임체의 하부 가장자리면에 도포된 점착재와, 상기 점착재를 보호하기 위해서 프레임체의 하면에 점착된 보호 필름으로 이루어지는 대형 펠리클을 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 수납하는 방법에 있어서, 상기 대형 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시켜서 압박 부분(pressing margin)을 형성하고, 또한 상기 압박 부분을 점착 테이프를 통하여 상기 트레이에 고정해서 대형 펠리클을 케이스 내에 수납하는 것이 기재되어 있다.

특허문헌 3에 펠리클을 적재하는 용기 본체와, 펠리클을 피복함과 아울러 용기 본체와 서로 둘레가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체와, 상기 용기 본체에 접합되어 있는 금속 부품과, 펠리클 프레임의 서로 평행한 1쌍의 변의 각각의 외측면에 적어도 1개 설치된 합계 3개 이상의 구멍에 각각 삽입되는 동수의 프레임 유지핀과, 상기 프레임 유지핀을 위치 결정하는 위치 결정 부품으로 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서, 상기 위치 결정 부품은 상기 금속 부품에 기계적으로 고정되어 있는 펠리클 수납 용기가 기재되어 있다.

일본 공개실용신안 평6-45965호 공보 일본 특허공개 2004-361647호 공보 일본 특허 제 4391435호 공보

특허문헌 1에 기재된 펠리클용 용기는 사출성형으로 형성할 수 있어 부품 점수가 적다는 이점이 있고, 반도체용 펠리클의 수납용으로서 사용할 수 있다. 그러나, 이 펠리클용 용기는 덮개체 및 용기 본체 모두 고정밀도로 성형되어 있을 필요가 있기 때문에 변 길이가 500㎜를 초과하는 액정용 펠리클의 수납용으로서는 사용되지 않는다. 이러한 대형 용기를 진공 성형으로는 고정밀도로 형성할 수 없는 것에 추가해 용기 자체의 강성 확보가 어렵다.

이 때문에, 용기의 취급시나 반송시에 용기의 변형이 야기되고, 용기와 펠리클 프레임의 마찰이 생겨 먼지가 발생하여 품질의 저하를 초래하기 쉽기 때문이다. 이러한 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형 펠리클 수납 용기로서는 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 마스크 점착층을 보호하는 라이너의 일부를 외측으로 돌출시켜 점착 테이프에 의해 용기 본체에 고정하는 것, 또는 특허문헌 3에 기재되어 있는 바와 같이 펠리클 프레임 외측면에 형성한 오목부에 핀을 삽입해서 용기 본체에 고정함으로써 펠리클을 용기 본체에 확실하게 고정할 수 있는 방법이 제안되어 있다.

그러나, 특허문헌 2와 같이 펠리클 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시킨 압박 부분을 점착 테이프로 용기 본체에 부착 고정할 경우, 그 작업은 사람의 손으로 행하여만 하여 청정한 상태에서 트레이 상에 고정하는 것이 어렵다. 또한, 점착 테이프를 박리하여 인출할 때에 사람의 손이 펠리클 프레임 부근에 접근해서 이물이 부착될 우려가 있다.

한편, 특허문헌 3과 같이 펠리클 프레임 외측면의 구멍에 핀을 삽탈해서 펠리클을 용기 본체에 착탈할 경우 펠리클의 탈착시에 그다지 사람의 손이 펠리클에 접근하지 않아 이물 부착이 적다.

그러나, 펠리클을 수납한 펠리클 수납 용기를 수송할 때에는 펠리클 프레임 외측면의 구멍에 삽입한 핀의 삽입 위치를 계속해서 유지할 필요가 있다. 이렇게 핀의 삽입 위치를 유지하기 위해서는 핀을 또다른 나사 등의 체결 수단으로 고정하는 고정 수단, 또는 핀을 약간 테이퍼 형상으로 형성해서 감합시키고 그 마찰력으로 고정하는 고정 수단이 고려된다. 그러나, 나사 등의 체결 수단으로 핀을 고정할 경우에는 핀을 고정하는 점에서는 확실하지만 먼지가 발생할 우려가 있다. 또한, 핀을 약간 테이퍼 형상으로 형성해서 마찰력으로 고정할 경우에는 마찰력을 적절한 크기로 조절하는 것이 어려워 신뢰성이 결여되는 점이 있다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것이고, 용기 본체의 소정 위치에 고정된 상태의 펠리클을 덮개체로 피복해서 이물 부착을 방지하면서 수송 중에도 상기 고정 상태를 확실하게 유지할 수 있고, 또한 덮개체를 열어서 개봉했을 때 상기 고정 상태를 간단하게 해제해서 펠리클을 인출할 수 있는 펠리클 수용 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 이루어진 특허청구범위의 청구항 1에 기재된 펠리클 수용 용기는 펠리클 막이 펠리클 프레임에 부착된 펠리클이 적재되는 용기 본체와, 상기 펠리클을 피복하도록 상기 용기 본체의 둘레가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체로 구성되는 펠리클 수용 용기로서, 상기 용기 본체에는 적재된 상기 펠리클 프레임의 외측면에 형성된 오목부에, 선단부가 삽입된 상태에서 회동 가능한 핀과, 상기 핀을 상기 오목부로부터 발출 가능하게 장착하는 핀 장착부를 구비한 펠리클 고정부가 복수개 설치되고, 상기 펠리클 고정부의 각각에 상기 핀 장착부에 장착되어서 상기 선단부가 상기 펠리클 프레임의 오목부에 삽입된 상기 핀을 소정 각도 회동시키고, 상기 핀의 선단부가 상기 오목부로부터 발출되지 않도록 상기 핀을 유지하는 유지 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 1에 기재된 것으로서, 상기 유지 수단이 상기 핀에 형성되어 있는 돌기부와, 상기 핀 장착부에 형성되고 상기 핀이 소정 각도 회동해서 상기 돌기부와 록킹되는 노치부로 구성되는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 2에 기재된 것으로서, 상기 용기 본체에 적재된 상기 펠리클을 피복하는 상기 덮개체의 내벽면이 상기 핀의 회동을 방지하도록 상기 핀에 형성된 상기 돌기부의 일부에 접촉하고 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 2 또는 청구항 3에 기재된 것으로서, 상기 핀이 30~180도 회동했을 때 상기 핀의 돌기부와 상기 핀 장착부의 노치부가 록킹되는 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 1~4 중 어느 한 항에 기재된 것으로서, 상기 핀의 선단부에 상기 펠리클 프레임과의 접촉의 완충 부재로서의 탄성체가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 1~5 중 어느 한 항에 기재된 것으로서, 상기 핀의 후단면에 상기 핀의 회동용 공구가 삽입되는 공구용 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

(발명의 효과)

본 발명에 의한 펠리클 수용 용기는 간편한 구조이면서 펠리클을 용기 본체에 고정한 핀을 확실하게 유지할 수 있어 수송 중에 핀이 탈락되거나 해서 펠리클의 고정이 해제되는 일이 없고, 또한 수용한 펠리클에 파손이나 이물 부착의 우려가 없는 신뢰성이 높은 것이다. 또한, 덮개체를 열어서 용기 본체에 적재되어 있는 펠리클을 인출할 때에는 핀을 소정 각도 회동시켜서 핀 장착부로부터 분리하는 것만으로 펠리클을 용기 본체로부터 인출할 수 있다. 이렇게 매우 간편한 조작으로 펠리클 수용 용기로부터 펠리클의 인출이 가능해지고, 인출 작업에 따른 펠리클에의 이물 부착의 우려도 적다.

도 1은 본 발명에 의한 펠리클 수용 용기의 일례를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)의 덮개체(14)를 분리한 상태의 정면도이다.
도 3은 도 1에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)의 X-X면에서의 횡단면도이다.
도 4는 도 3에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)의 펠리클 고정부(18)를 포함하는 부분의 확대 부분 단면도이다.
도 5는 도 4에 나타내는 핀(28)의 사시도이다.
도 6은 도 4에 나타내는 핀(28)을 핀 장착부(32)에 장착하는 형상을 설명하는 사시도이다.
도 7은 핀 장착부에 장착한 핀을 장착 구멍의 마찰력을 이용해서 유지하는 비교예를 나타내는 사시도이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들의 형태에 한정되는 것은 아니다.

본 발명에 의한 펠리클 수용 용기의 일례를 도 1에 나타낸다. 도 1에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)는 장방형상의 용기 본체(12)와 덮개체(14)로 이루어진다. 이러한 덮개체(14)를 분리한 상태를 도 2에 나타낸다. 용기 본체(12)의 중앙부에 적재된 펠리클(16)은 용기 본체(12)의 장변을 따라 형성된 평탄면(20, 20)에 펠리클(16)의 각 모서리부 근방에 배치된 4개의 펠리클 고정부(18)에 의해 고정되어 있다.

이 펠리클(16)은 장방형상의 알루미늄 등의 금속제 펠리클 프레임(16a)에 투명한 불소 수지 등의 펠리클 막(16b)이 부착되어 있는 것이다. 펠리클(16) 및 펠리클 고정부(18)가 적재되어 있는 용기 본체(12)는 도 1의 X-X면에서의 횡단면도인 도 3에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(12)의 저부에 리브(12a, 12a)를 형성해서 보강되어 있다. 이러한 용기 본체(12)와 덮개체(14)는 ABS나 아크릴 등의 합성 수지 시트를 진공 성형한 것이 사용된다. 진공 성형 방법은 금형에 가열한 수지 시트를 피복하여 진공 처리하는 것만으로 대형 용기도 용이하게 성형할 수 있기 때문이다. 이에 대하여, 1개소 또는 수개소의 게이트로부터 금형 내에 수지를 고속 주입하는 사출성형 방법에서는 수지가 흐르는 거리가 지나치게 길기 때문에 대형 용기의 제조가 곤란해지는 경향이 있다.

이러한 용기 본체(12)에는 도 4에 나타내는 바와 같이 라이너(22)와 마스크 점착층(24)을 통하여 펠리클(16)이 적재되어 있고, 펠리클(16)은 4개의 펠리클 고정부(18)(도 3)에 의해 소정 위치에 고정되어 있다. 이 펠리클(16)은 도 3에 나타내는 바와 같이, 덮개체(14)로 피복되어서 펠리클 수용 용기(10) 내에 수용되어 있다. 용기 본체(12)와 덮개체(14)는 그 둘레가장자리부에서 감합되어서 록킹되어 있다. 또한, 펠리클 고정부(18)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(12)의 소정 위치에 적재된 펠리클 프레임(16a)의 측면에 개구된 오목부(26)에 선단부(28a)가 삽입된 상태에서 회동 가능한 핀(28)과, 핀(28)을 오목부(26)로부터 발출 가능하게 장착하는 핀 장착부(32)를 구비한다. 이러한 핀(28)은 도 5에 나타내는 바와 같이, 선단부(28a), 중간부(28b), 후단부(28c)로 형성되고, 중간부(28b)와 후단부(28c) 사이에 핀(28)의 유지 수단을 구성하는 돌기부(30)가 형성되어 있다. 돌기부(30)는 선단부가 끝이 좁은 형상의 경사면으로 형성되어 있다. 핀(28)의 후단부(28c)는 핀(28)에 회동 등을 실시하는 조작부이고, 선단부(28a) 및 중간부(28b)보다 굵게 형성되어 있다. 이 후단부(28c)의 끝면에는 핀(28)의 회동용 공구가 삽입되는 공구용 오목부(36)가 형성되어 있다.

도 5에 나타내는 핀(28)의 공구용 오목부(36)는 육각 렌치의 선단부를 삽입할 수 있도록 육각형으로 형성되어 있다. 또한, 핀(28)의 중간부(28b)는 선단부(28a)보다 굵게 형성되어 있고, 핀(28)의 선단부(28a)와 중간부(28b)의 경계에 단차(28e)가 형성되어 있다. 이 단차(28e)가 펠리클 프레임(16a)의 측면과 접촉한다. 이러한 단차(28e)와 펠리클 프레임(16a)의 측면의 접촉을 완화하는 완충 부재로서 단차(28e)에 링 형상의 탄성체(34)가 장착되어 있다. 탄성체(34)로서는 니트릴고무, 에틸렌프로필렌고무, 실리콘고무, 불소고무 등의 고무를 이용할 수 있다.

이러한 핀(28)이 장착 가능하게 장착되는 핀 장착부(32)는 도 4에 나타내는 바와 같이 용기 본체(12)의 평탄면(20)에 나사 등의 체결 수단(도시 생략)으로 장착되는 것이다. 이러한 핀 장착부(32)는 도 6(a)에 나타내는 바와 같이 사면체이고, 핀(28)에 형성된 돌기부(30) 및 후단부(28c)가 삽입되는 U자 홈(32a)의 일단이 사면체의 일면측에서 개구되어 있다. 이 U자 홈(32a)의 타단은 사면체의 중앙부 근방에 형성된 사각형상의 노치부(32b)의 내벽면의 일면측에서 개구되어 있다. 이러한 노치부(32b)는 돌기부(30)와 유지 수단을 구성하고, 핀(28)의 중간부(28b)와 후단부(28c) 사이에 형성된 돌기부(30)가 회동 가능하게 삽입된다. 또한, 노치부(32b)의 내벽면이고, U자 홈(32a)의 타단이 개구된 일면측에 대응하는 타면측에는 핀(28)의 선단부(28a) 및 중간부(28b)의 일부가 삽통되는 구멍(32c)이 개구되어 있다.

이러한 핀 장착부(32)에는 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 단차(28e)에 탄성체(34)를 삽입한 핀(28)을 장착한다. 핀(28)은 핀 장착부(32)의 구멍(32c)에 핀(28)의 선단부(28a) 및 중간부(28b)를 삽입하면서 핀(28)의 돌기부(30)를 U자 홈(32a)으로부터 노치부(32b)로 삽입함과 아울러 후단부(28c)를 U자 홈(32a)에 삽입한다. 핀 장착부(32)에 핀(28)을 장착했을 때 도 6(b)에 나타내는 바와 같이 핀(28)의 선단부(28a)와 중간부(28b)의 일부가 핀 장착부(32)로부터 돌출된다. 이러한 도 6(b)에 나타내는 상태의 핀(28)은 핀 장착부(32)의 U자 홈(32a) 및 노치부(32b)로부터 뽑을 수 있다. 이 때문에, 핀(28)을 도 6(b)에 나타내는 화살표 방향으로 핀(28)을 회동시킨다. 이러한 핀(28)의 회동에 의해 돌기부(30)도 회동하고, 도 6(c)에 나타내는 바와 같이 돌기부(30)와 노치부(32b)의 내벽면이 록킹된다. 이러한 돌기부(30)와 노치부(32b)의 록킹에 의해 핀(28)은 핀 장착부(32)에서 유지되어서 뽑을 수 없게 된다.

한편, 도 6(c)에 나타내는 돌기부(30)와 노치부(32b)의 록킹을 해제할 때에는 핀(28)을 도 6(b)에 나타내는 화살표와 반대 방향으로 회동시킴으로써 도 6(b)에 나타내는 바와 같이 돌기부(30)와 노치부(32b)의 내벽면의 록킹을 해제할 수 있어 핀(28)은 핀 장착부(32)로부터 간단하게 발출할 수 있다. 이러한 돌기부(30)와 노치부(32b)의 록킹 또는 그 해제를 위한 핀(28)의 회동각은 조작성이나 록킹의 확실성의 관점 등으로부터 30~180도, 특히 45~90도의 범위로 하는 것이 바람직하다. 이 핀(28)의 회동은 핀(28)의 후단부(28c)의 끝면에 형성한 공구용 오목부(36)에 육각 렌치의 선단부를 삽입해서 행하는 것이 바람직하다.

도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 핀(28)이 유지된 핀 장착부(32)를 용기 본체(12)에 적재되는 펠리클(16)을 고정하는 펠리클 고정부(18)로서 용기 본체(12)의 장변을 따라 형성된 평탄면(20)의 소정 개소에 장착한다. 이 때에, 펠리클 고정부(18)는 그 핀(28)의 선단부(28a)가 도 4에 나타내는 바와 같이 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입되는 위치로 한다. 이러한 장착은 나사 등의 체결 수단으로 행한다. 이 체결 수단으로서는 핀 장착부(32) 중에 금속의 인서트 부품 등으로 암나사부를 형성하고, 용기 본체(12)의 외측으로부터 볼트 고정하는 것이 펠리클 수용 용기(10) 내에 나사 등의 부품이 노출되는 일이 없어 클린도 유지의 점에서 적합하다. 또한, 볼트 고정은 수지 와셔 등을 통하여 고정하는 것이 바람직하고, 특히 핀 장착부(32)를 용기 본체(12)에 고정한 후 수지 부품끼리의 접선부를 유기 용제 등으로 용해해서 더 접착하는 것이 먼지 발생 방지의 점에서 바람직하다.

그런데, 펠리클 고정부(18)가 도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 돌기부(30)와 노치부(32b)가 록킹되어 있는 상태라도 수송 중의 진동 등에 의해 핀(28)이 회동해서 돌기부(30)와 노치부(32b)의 록킹이 해제될 우려가 있다. 이러한 핀(28)의 회동은 도 4에 나타내는 바와 같이, 덮개체(14)의 내벽면이 노치부(32b)와 록킹되어 있는 돌기부(30)의 일부에 접촉하도록 펠리클(16)을 피복함으로써 방지할 수 있다. 이 경우라도, 덮개체(14)를 분리함으로써 노치부(32b)와 돌기부(30)의 록킹을 해제할 수 있게 핀(28)을 회동시킬 수 있다.

도 1~도 6에 나타내는 핀(28)은 수지를 사출성형, 트랜스퍼 성형 등에 의해 일체 성형으로 제작할 수 있다. 재질로서는 에폭시 수지, ABS 수지(아크릴니트릴부타디엔스티렌 수지), PPS 수지(폴리페닐렌술파이드 수지), PE 수지(폴리에틸렌 수지), PEEK 수지(폴리에테르에테르케톤 수지) 등을 사용할 수 있고, 필요에 따라서 유리 섬유 등의 필러 등을 혼입해서 강도를 향상시키는 것도 바람직하다. 이러한 핀(28)을 장착하는 핀 장착부(32)는 수지를 사출성형, 트랜스퍼 성형 등으로 일체 성형에 의해 제작할 수 있다. 재질로서는 에폭시 수지, ABS 수지(아크릴니트릴부타디엔스티렌 수지), PPS 수지(폴리페닐렌술파이드 수지), PE 수지(폴리에틸렌 수지), PEEK 수지(폴리에테르에테르케톤 수지) 등을 사용할 수 있다.

도 1~도 6에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)에 의하면, 펠리클 고정부(18)를 구성하는 핀 장착부(32)에 장착한 핀(28)의 선단부(28a)를 용기 본체(12)에 적재한 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입한 후 핀(28)을 회동시킴으로써 펠리클(16)을 용기 본체(12)에 확실하게 유지시킬 수 있다. 또한, 핀 장착부(32)와 록킹되어 있는 핀(28)의 돌기부(30)의 일부는 용기 본체(12)에 피착(被着)한 덮개체(14)의 내벽면에 접촉하고 있기 때문에, 수송 중의 진동 등에 의해 핀(28)이 회동하는 것을 방지할 수 있어 수송 중에 핀(28)이 탈락되거나 해서 펠리클(16)의 고정이 해제되는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 이러한 펠리클 수용 용기(10)는 수용한 펠리클(16)에 파손이나 이물 부착의 우려가 없는 신뢰성이 높은 것이다. 또한, 덮개체(14)를 개방해서 용기 본체(12)에 적재되어 있는 펠리클(16)을 인출할 때에는 핀(28)을 소정 각도 회동시켜서 핀 장착부(32)로부터 발출하는 것만으로 펠리클(16)을 용기 본체(12)로부터 분리할 수 있다. 이 때문에, 펠리클 수용 용기(10)는 그 펠리클(16)의 인출 작업도 간단하다.

도 1~도 6에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)에서는 펠리클(16)을 용기 본체(12)의 장변을 따라 형성된 평탄면(20, 20)에 펠리클(16)의 각 모서리부 근방에 배치된 4개의 펠리클 고정부(18)에 의해 고정하고 있지만, 4개 이상의 펠리클 고정부(18)를 설치해도 된다. 또한, 펠리클 고정부(18)의 설치는 용기 본체(12)의 단변을 따라 설치해도 되고, 장변 및 단변의 각 변을 따라 설치해도 된다.

[실시예 1]

이하, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다.

(실시예 1)

대전 방지 ABS 수지제 시트재를 사용하여 진공 성형법에 의해 도 1 및 도 2에 나타내는 형상의 용기 본체(12) 및 덮개체(14)를 제작했다. 용기 본체(12)와 덮개체(14)는 그 둘레가장자리부에서 감합되어서 록킹되어 도 1에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)를 형성한다. 이 펠리클 수용 용기(10)의 크기는 외형 890×690㎜, 높이 70㎜이다. 성형에 사용한 시트재는 덮개체(14)용으로서는 투명한 3㎜의 것이고, 용기 본체(12)용으로서는 흑색의 5㎜의 것이다.

또한, 사출성형에 의해 ABS 수지를 이용하여 도 6에 나타내는 핀 장착부(32)와, PPS 수지를 이용하여 도 5에 나타내는 핀(28)을 제작했다. 핀(28)은 선단부(28a), 중간부(28b), 후단부(28c)로 형성되고, 중간부(28b)와 후단부(28c) 사이에 핀(28)의 유지 수단을 구성하는 돌기부(30)가 형성되어 있다. 돌기부(30)는 선단부가 끝이 좁은 형상의 경사면으로 형성되어 있다. 핀(28)의 후단부(28c)는 핀(28)에 회동 등을 실시하는 조작부이고, 선단부(28a) 및 중간부(28b)보다 굵게 형성되어 있다. 이 후단부(28c)의 끝면에는 핀(28)의 회동용 육각 렌치의 선단부가 삽입되는 공구용 오목부(36)가 형성되어 있다. 이러한 핀(28)에 있어서, 중간부(28b)는 선단부(28a)보다 굵게 형성되어 있고, 핀(28)의 선단부(28a)와 중간부(28b)의 경계에 단차(28e)가 형성되어 있다.

또한, 핀 장착부(32)는 사면체이고, 핀(28)의 돌기부(30) 및 후단부(28c)가 삽입되는 U자 홈(32a)의 일단이 사면체의 일면측에서 개구되어 있다. 이 U자 홈(32a)의 타단은 사면체의 중앙부 근방에 형성된 사각형상의 노치부(32b)의 내벽면의 일면측에서 개구되어 있다. 이러한 노치부(32b)는 핀(28)의 돌기부(30)와 유지 수단을 구성하고, 핀(28)의 중간부(28b)와 후단부(28c) 사이에 형성된 돌기부(30)가 회동 가능하게 삽입된다. 또한, 노치부(32b)의 내벽면이고, U자 홈(32a)의 타단이 개구된 일면측에 대응하는 타면측에는 핀(28)의 선단부(28a) 및 중간부(28b)가 삽통되는 구멍(32c)이 개구되어 있다. 이러한 핀 장착부(32)의 하면측에는 횡으로 된 구리제의 인서트 너트(도시 생략)를 4개소 설치했다.

이어서, 도 6(a)에 나타내는 바와 같이 핀(28)을 핀 장착부(32)에 삽입하고, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이 핀(28)의 돌기부(30)를 핀 장착부(32)의 노치부(32b)에 삽입했다. 또한, 핀(28)의 후단부(28c)를 우측 방향으로 45도 회동시키고, 도 6(c)에 나타내는 바와 같이 돌기부(30)와 노치부(32b)의 내벽면이 록킹된다. 이 때에, 돌기부(30)의 경사면이 수평이 되도록 했다. 또한, 핀 장착부(32)로부터 돌출되어 있는 선단부(28a)와 중간부(28b)의 경계의 단차(28e)에 두께 0.5㎜의 불소고무제의 링 형상 탄성체(34)를 장착해서 펠리클 고정부(18)를 형성했다. 이러한 펠리클 고정부(18)를 용기 본체(12)의 평탄면(20)의 소정 개소에 적재하고, 도 4에 나타내는 바와 같이 핀(28)의 선단부(28a)가 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입되는 위치에 장착했다. 이 장착은 용기 본체(12)의 외측으로부터 스테인리스제 육각 구멍이 형성된 볼트(도시 생략)를 사용해 행했다. 그 때에, POM제의 수지 플레이트(두께 1.5㎜)를 끼워넣어 밀봉성을 높이도록 했다. 이렇게 하여 형성한 펠리클 수용 용기(10)를 Class10의 클린룸에 반입하고, 계면활성제와 순수로 잘 세정한 후 완전히 건조시켰다. 또한, 핀(28)의 돌기부(30)는 도 6(c)에 나타내는 바와 같이 핀(28)을 회동시켜서 돌기부(30)와 노치부(32b)의 내벽면을 록킹시켰을 때 수평이 된 경사면은 덮개체(14)를 용기 본체(12)에 피착시켰을 때에 덮개체(14)의 내벽면에 접촉하도록 했다.

이 클린룸 내에 있어서, 펠리클 수용 용기(10)와는 별도로 바깥치수 797㎜×474㎜, 안치수 789㎜×456㎜, 높이 5.9㎜의 펠리클(16)을 제작했다. 이 펠리클(16)에는 알루미늄합금제의 펠리클 프레임(16a)(두께 4.8㎜), 마스크 점착제 및 펠리클 막 접착제로서 실리콘 점착제, 펠리클 막(16b)으로서 두께 3㎛의 불소 수지를 사용했다. 또한, 펠리클 프레임(16a)의 각 장변에는 710㎜의 간격으로 직경 2.5㎜×깊이 1.8㎜의 오목부(26)를 2개소, 각 단변에는 핸들링을 위하여 폭 1.5㎜, 깊이 2.3㎜의 홈(도시 생략)을 형성했다. 이 펠리클(16)을 암실 내에서의 집광 램프에 의한 이물 검사 후에 펠리클 수용 용기(10)에 수납했다. 이때, 용기 본체(12)에 설치한 펠리클 고정부(18)의 핀(28)의 선단부를 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입한 후 도 6(c)에 나타내는 바와 같이 핀(28)을 회동시켜서 펠리클(16)을 용기 본체(12)에 고정하고, 덮개체(14)를 피착시켰다. 또한, 덮개체(14)와 용기 본체(12)의 둘레가장자리부를 폭 35㎜의 PVC제 점착 테이프(도시 생략)로 붙여서 고정하고나서 우레탄제 클립(도시 생략)을 각 장변에 2개소씩 장착했다. 그리고, 최후에 내부를 청정하게 클리닝한 대전 방지 PE제 봉투로 2중으로 곤포하고, 내부에 쿠션재를 배치한 강화 골판지제 곤포 상자(도시 생략)에 수납했다.

이렇게 펠리클 수용 용기(10)를 곤포한 강화 골판지제 곤포 상자를 군마로부터 후쿠오카까지(군마켄⇔토쿄는 트럭, 토쿄⇔후쿠오카 간은 항공기)를 왕복시키는 수송 테스트를 행했다. 수송 후의 펠리클 수용 용기(10)를 클린룸에 반입하고, 내부의 확인을 행했다. 핀(28)은 핀 장착부(32)에서 확실하게 유지되고, 그 선단부(28a)도 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입된 채로 펠리클(16)은 확실하게 용기 본체(12)에 고정되어 있었다. 그대로의 상태에서 집광 램프를 조사해서 용기 본체(12) 상의 먼지 발생 상황을 확인했지만, 펠리클 고정부(18) 부근 및 용기 본체(10) 상에 이물의 발생은 보이지 않았다. 또한, 핀(28)의 공구용 오목부(36)에 육각 렌치를 삽입하여 핀(28)을 회동시켜서 돌기부(30)와 노치부(32b)의 록킹을 해제했다. 이어서, 펠리클(16)을 용기 본체(12)로부터 인출하여 암실 내로 반송하고, 집광 램프에 의해 펠리클(16)의 표면에 부착된 이물의 검사를 행했다. 그 결과, 펠리클(16)에 이물의 부착은 전혀 보이지 않고, 매우 청정한 상태가 유지되고 있었다.

(비교예 1)

도 7에 나타내는 펠리클 고정부(100)를 제작했다. 도 7에 나타내는 펠리클 고정부(100)를 구성하는 핀(102)은 PPS 수지제의 원기둥 형상 부재에 의해 형성되어 있고, 선단부(102a), 중간부(102b) 및 후단부(102c)로 이루어진다. 굵기는 선단부(102a)<중간부(102b)<후단부(102c)의 순서이고, 선단부(102a)와 중간부(102b)의 경계에 단차가 형성되어 있으며, 불소고무제의 링 형상의 탄성체(106)가 장착되어 있다. 이러한 핀(102)에는 도 5에 나타내는 핀(28)에 형성되어 있었던 돌기부(30)는 형성되어 있지 않다. 이 핀(102)이 장착되는 핀 장착부(104)는 ABS 수지를 이용하여 사출성형에 의해 형성했다. 핀 장착부(104)는 핀(28)의 선단부(102a) 및 중간부(102b)의 일부가 통과 가능하고, 중간부(102b)의 잔부 및 후단부(102c)가 삽입되는 관통 구멍(108)이 형성되어 있다. 이러한 핀 장착부(104)에는 도 6(a)에 나타내는 핀 장착부(32)와 같이 U자 홈(32a) 및 노치부(32b)는 형성되어 있지 않다. 이 때문에, 핀 장착부(104)에서는 관통 구멍(108)에 삽입한 핀(102)이 그 외벽면과 관통 구멍(108)의 내벽면의 마찰력에 의해 핀(28)이 고정되도록 관통 구멍(108)의 내경이 핀(102)의 삽입 방향으로 점차로 소경으로 형성되어 있다. 이렇게 도 7에 나타내는 펠리클 고정부(100)는 핀 장착부(104)의 관통 구멍(108)에 마찰력에 의해 핀(102)이 고정된다.

도 7에 나타내는 펠리클 고정부(100)를 실시예 1과 마찬가지로 해서 용기 본체(12)에 장착했다. 이어서, 용기 본체(12)에 적재한 펠리클(16)의 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 펠리클 고정부(100)를 구성하는 핀(102)의 선단부(102a)를 삽입하여 펠리클(16)을 용기 본체(12)에 고정했다. 또한, 용기 본체(12)에 덮개체(14)를 피착해서 펠리클(16)을 수용한 펠리클 수용 용기(10)를 형성했다. 그 후, 실시예 1과 마찬가지로 해서 펠리클 수용 용기(10)를 곤포해 수송 시험을 행했다.

수송 후의 펠리클 수용 용기(10)를 클린룸에 반입하여 내부의 확인을 행했다. 그러자, 펠리클(16)은 용기 본체(12) 상에 머물러 있었지만 4개소의 펠리클 고정부(100) 중 1개소에서 핀(102)이 핀 장착부(104)로부터 빠지려하는 것이 확인되었다. 또한, 그 선단부(102a)도 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)로부터 빠져 있어 선단부(102a)가 펠리클 프레임(16a)의 외면에 스쳐서 직경 수십㎛의 이물이 수십개 부착되어 있었다. 또한, 그대로의 상태에서 집광 램프를 조사해서 용기 본체(12) 상의 먼지 발생 상황을 확인한 결과 빠지려하고 있었던 펠리클 고정부(100)와 대향하는 펠리클 고정부(100)의 주변에서도 이물의 부착이 보였다. 또한, 핀(102)에 대해서 니트릴제 글러브를 낀 손으로 핀 장착부(104)로부터 주의를 기울이며 뽑아 펠리클(16)을 암실 내로 반송해서 집광 램프에 의해 표면에 부착된 이물의 검사를 행했다. 그 결과, 펠리클 막(16b) 상에 직경 10~20㎛ 정도의 이물이 12개 부착되어 있었다. 또한, 그들 중 약 반수는 펠리클 고정부(100)의 주변에 분포하고 있었다.

본 발명에 의한 펠리클 수용 용기는 반도체 장치용 펠리클 수용 용기로서 사용할 수 있고, 반도체 장치용 펠리클보다 대형인 액정용 펠리클 수용 용기로서 사용할 수 있다

10 : 펠리클 수용 용기 12 : 용기 본체
12a : 리브 14 : 덮개체
16 : 펠리클 16a : 펠리클 프레임
16b : 펠리클 막 18, 100 : 펠리클 고정부
20 : 평탄면 22 : 라이너
24 : 마스크 점착층 26 : 오목부
28, 102 : 핀 28a, 102a : 선단부
28b, 102b : 중간부 28c, 102c : 후단부
28e : 단차 30 : 돌기부
32, 104 : 핀 장착부 32a : U자 홈
32b : 노치부 32c : 구멍
34, 106 : 탄성체 36 : 공구용 오목부
108 : 관통 구멍

Claims

펠리클 막이 펠리클 프레임에 부착된 펠리클이 적재되는 용기 본체와, 상기 펠리클을 피복하도록 상기 용기 본체의 둘레가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체로 구성되는 펠리클 수용 용기로서:
상기 용기 본체에는 적재된 상기 펠리클 프레임의 외측면에 형성된 오목부에, 선단부가 삽입된 상태에서 회동 가능한 핀과, 상기 핀을 상기 오목부로부터 발출 가능하게 장착하는 핀 장착부를 구비한 펠리클 고정부가 복수개 설치되고,
상기 펠리클 고정부의 각각에 상기 핀 장착부에 장착되어서 상기 선단부가 상기 펠리클 프레임의 오목부에 삽입된 상기 핀을 소정 각도 회동시켜 상기 핀의 선단부가 상기 오목부로부터 발출되지 않도록 상기 핀을 유지하는 유지 수단이 설치되어 있고,
상기 유지 수단은
상기 핀에 형성되어 있는 돌기부와,
상기 핀 장착부에 형성되고 상기 핀이 소정 각도 회동하게 삽입되고, 상기 돌기부와 내벽면이 록킹되는 노치부로 구성되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수용 용기.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 용기 본체에 적재된 상기 펠리클을 피복하는 상기 덮개체의 내벽면은 상기 핀의 회동을 방지하도록 상기 핀에 형성된 상기 돌기부의 일부에 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수용 용기.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 핀이 30~180도 회동했을 때 상기 핀의 돌기부와 상기 핀 장착부의 노치부는 록킹되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수용 용기.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 핀의 선단부에 상기 펠리클 프레임과의 접촉의 완충 부재로서의 탄성체가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수용 용기.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 핀의 후단면에 상기 핀의 회동용 공구가 삽입되는 공구용 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수용 용기.