JPS63178958A - 防塵容器 - Google Patents

防塵容器

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JPS63178958A
JPS63178958A JP61309209A JP30920986A JPS63178958A JP S63178958 A JPS63178958 A JP S63178958A JP 61309209 A JP61309209 A JP 61309209A JP 30920986 A JP30920986 A JP 30920986A JP S63178958 A JPS63178958 A JP S63178958A
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sealing material
elastic sealing
casing
dustproof
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JP61309209A
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博 中里
飯島　守
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    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67359—Closed carriers specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
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    • H—ELECTRICITY
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    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S277/00—Seal for a joint or juncture
    • Y10S277/921—Closure or weather strip seal

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明はり、３１等の半導体を製造するためのレチクル
、フォトマスクまたはウェハ等の基板を収納する防塵容
器に関する。
近年の半導体素子の集積度の向上により基板に付着した
微細な塵埃の影響で半導体素子の製造の歩留が悪化する
。これを防止するための基板を防塵容器に収納し、また
基板の焼付位置までの搬送を自動化し容器からの基板の
取り出しは無人化している。
［従来の技術］ 従来この種の容器は材料が樹脂成形品で作られていた。
したがって、容器から基板を取り出すための容器の扉部
材と容器の当接部または上蓋と下皿の当接部の密封が完
全とならず１０μｍ〜１００μｍ程度の間隙が発生し、
半導体素子として有害な数μｍレベルの大きさの塵埃が
容器内部に侵入するという欠点があった。
［発明の目的コ 本発明は前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、容器の扉と本体との当接封止部および上蓋と下皿と
の当接封止部に弾性シール材を配設することにより容器
の密封状態を完全に保ち塵埃の侵入を防止して半導体素
子の歩留り向上を図った防塵容器の提供を目的とする。
［実施例］ 第１図に本発明に係る防塵容器の一実施例を示す、（ａ
）は上面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は前面図、（ｄ）
は後面図である。下皿１内に基板３（レチクル、フォト
マスクまたはウェハ）が載置されている。この下皿１は
上Ｎ２で覆われ実買上矩形体の密封筐体を構成する。上
蓋２は下皿１の後面（（ａ）図、（ｂ）図で右側）上縁
に設けたヒンジ２０を介して矢印Ａのように開閉可能に
装着される。
上蓋２と下皿１の当接封止面１ａは、（ｂ）図に示すよ
うに、筐体側面の実買上対角線に沿フて傾斜している。
このように下皿１の開口面を前方に向って下方に傾斜す
るように斜めに形成することにより内部の基板３の出し
入れが容易になる。４は基板押え部材である。上蓋２の
前面には、露光装置等において、上Ｍ２を閉じた状態で
基板３を自動釣に出し入れするため開口２１が形成され
ている。この間口２１を覆うための屏５が上Ｍ２の前面
に対し矢印Ｂ（ｂ図）のように開閉可能に装着されてい
る。扉５はバネ６により常に閉じる方向に付勢されてい
る。上Ｍ２と下皿１との当接封止面１ａの全周に亘って
弾性シール材７がはめ込まれている。また、上蓋２の扉
５の内面の開口部２１の周囲全周に亘って弾性シール材
８がはめ込まれている。このような弾性シール材７，８
は、例えば第３図に示すように、中空パイプ形状であっ
て、材質はシリコンゴムまたは洗浄薬品に耐える塩化ビ
ニル系樹脂その他の適当な合成樹脂が用いられている。
第３図（ａ）に示すように上蓋２が下皿１に対し開いて
いる状態から、第３図（ｂ）に示すように、上Ｍ２を下
皿１に対し閉じると弾性シール材７が弾性変形して上蓋
２と下皿１とを完全に密封封止する。このような中空バ
イブ形状の弾性シル材７，８を用いることにより、比較
的弱い圧力で変形させることができるため、発塵作用は
起こらない。
弾性シール材７．８の形状は、第４図に示すように、円
形の一部を開口させ開口部の創外側に突出する支持片２
２を有する断面形状としてもよい。
このような形状は金型成形により容易に製造することが
でき、また弾性力の異なる各種の寸法、形状が容易に製
造可能となる。
弾性シール材７．８の材質は塵埃付着を防止するために
導電性材料で構成してもよい。
第２図に本発明に係る防塵容器の別の実施例を示す。こ
の実施例では平板状の下皿１１上に上蓋１２が装着され
て矩形体の密封筐体を構成している。
下皿１１上に搭載された基板１３は、（ｂ）図に示すよ
うに、上ｉ１２を上から装着することにより覆われる。
上３ｉ１２は固定部材１５により下皿１１と結合される
。上ｊｉ１２と下皿１１との当接封止面は下皿１１の外
周縁部であり、この外周縁部全周に亘って前記実施例と
同様の弾性シール材１６が配設される。弾性シール材１
６の構成、作用、効果等は前述の弾性シール材７．８と
同様である。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明においては、基板を収納す
る容器の開閉部材同士が当接する封止面に弾性のあるシ
ール材をはめ込むという簡単な構造により、容器内の基
板に塵埃が付着することを防止し、半導体素子の製造上
の歩留を向上させる効果がある。
また容器を洗浄するときも、本発明の弾性シール材は取
りはすしが容易であるという利点もあり、しかもコスト
が安くてすむという利点もある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例を示す図であり、同図において
、（ａ）図は上面図、（ｂ）図は側面図、（ｃ）図は全
面図、（ｄ）図は後面図、第２図は本発明の別の実施例
を示す図であり、同図において（ａ）図は上面図、（ｂ
）図および（ｃ）図は各々各別の側面図、第３図は本発
明の弾性シール材の作用説明図、第４図は本発明の弾性
シール材の別の例の断面図である。 １．１１：下皿、 ２．１２：上蓋、 ３．１３：基板、 ５：扉、 ７．８，１６：弾性シール材。 特許出願人　　　キャノン株式会社 代理人　弁理士　　　伊　東　辰　雄 代理人　弁理士　　　伊　東　哲　也 （ｂ） 第２図 （ａ）　　　　　　　　　　　　　（ｂ）第３図 第４図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、物品を載置する下皿と、該下皿上に設けられ該下皿
    とともに密封筐体を構成する上蓋と、該上蓋と下皿とが
    当接する封止面に沿って配設した弾性シール材とからな
    ることを特徴とする防塵容器。 ２、前記密封筐体は矩形体であって、前記下皿は実質上
    該筐体の底面と後面と左右両側面の対角線の下側部分と
    を構成し、前記上蓋は実質上該筐体の上面と前面と左右
    両側面の対角線の上側部分とを構成し、該上蓋は下皿に
    対し前記後面の上縁部でヒンジ結合して上方に開放可能
    とし、前記弾性シール材を配設する封止面は前記対角線
    に沿って傾斜していることを特徴とする特許請求の範囲
    第１項記載の防塵容器。 ３、前記上蓋の前面に物品出入用の開口部が形成され、
    該開口部を覆う扉が設けられ、該開口部の周囲に沿って
    弾性シール材を配設して前記扉を密封封止したことを特
    徴とする特許請求の範囲第２項記載の防塵容器。 ４、前記密封筐体は実質上矩形体であって、前記下皿は
    該筐体の底面を構成し、前記上蓋は該筐体の上面および
    周囲４側面を構成し、前記弾性シール材は前記底面の周
    縁に沿って配設されたことを特徴とする特許請求の範囲
    第１項記載の防塵容器。 ５、前記物品は半導体製造用レチクル、マスクまたはウ
    ェハであることを特徴とする特許請求の範囲第１項から
    第４項までのいずれか１項記載の防塵容器。 ６、前記弾性シール材は中空パイプ形状であることを特
    徴とする特許請求の範囲第１項から第５項までのいずれ
    か１項記載の防塵容器。 ７、前記弾性シール材はその断面が、円周の一部が開口
    した部分円と該部分円の開口部両外側に突出する支持片
    とからなる形状であることを特徴とする特許請求の範囲
    第１項から第５項までのいずれか１項記載の防塵容器。
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