WO2019203270A1 - 基板収納容器 - Google Patents

基板収納容器 Download PDF

Info

Publication number
WO2019203270A1
WO2019203270A1 PCT/JP2019/016468 JP2019016468W WO2019203270A1 WO 2019203270 A1 WO2019203270 A1 WO 2019203270A1 JP 2019016468 W JP2019016468 W JP 2019016468W WO 2019203270 A1 WO2019203270 A1 WO 2019203270A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
lid
ribs
container body
labyrinth seal
seal structure
Prior art date
Application number
PCT/JP2019/016468
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
統 小川
Original Assignee
信越ポリマー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 信越ポリマー株式会社 filed Critical 信越ポリマー株式会社
Priority to JP2020514413A priority Critical patent/JP7283843B2/ja
Priority to US17/048,094 priority patent/US11450543B2/en
Priority to KR1020207032203A priority patent/KR20200142540A/ko
Priority to CN201980026613.3A priority patent/CN112005358A/zh
Publication of WO2019203270A1 publication Critical patent/WO2019203270A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Definitions

  • the present disclosure relates to a substrate storage container.
  • the substrate storage container includes a container main body for storing the substrate, a lid for closing the opening of the container main body, and an annular packing provided between the container main body and the lid, and the substrate is hermetically sealed. Stored in a state.
  • the extending piece is formed so as to form a substantially acute angle between the extension line and the sealing surface, the one that contacts the sealing surface and curves to the outside of the substrate storage container, and the front of the opening Those that are bent outward are known (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). Since these packings are deformed in the direction in which the extension piece is pressed against the sealing surface when the inside of the substrate storage container is negative pressure, in other words, when the external pressure is high, the sealing performance is excellent. It has become.
  • the packing is formed of an elastomer or the like, and particles are relatively easily generated by friction.
  • a purge gas such as an inert gas is supplied to the inside of the substrate storage container, that is, when the inside of the substrate storage container becomes a positive pressure, the extension piece is deformed in a direction to be peeled off from the sealing surface. May decrease.
  • an object of the present invention is to reduce the generation of particles due to friction associated with opening and closing of the lid while ensuring the sealing performance against the internal positive pressure.
  • a container main body that accommodates the substrate, a lid that closes the opening of the container main body, a first portion around the opening in the container main body, and a first portion that opposes the first portion in the lid.
  • the two parts are provided with a substrate storage container that is at least partially non-contact and cooperates to form a labyrinth seal structure.
  • FIG. 7A It is a disassembled schematic perspective view which shows the substrate storage container of one Example. It is a schematic sectional drawing which shows the labyrinth seal structure by an example. It is explanatory drawing of the sealing effect by the labyrinth seal structure shown in FIG. It is a schematic sectional drawing which shows the labyrinth seal structure by another example. It is a schematic sectional drawing which shows the labyrinth seal structure by another example. It is a schematic sectional drawing which shows the labyrinth seal structure by another example. It is a schematic sectional drawing which shows the labyrinth seal structure by another example. It is explanatory drawing of the effect of the structure of FIG. 7A.
  • FIG. 1 is an exploded schematic perspective view showing a substrate storage container 1 of one embodiment.
  • the substrate storage container 1 includes a container main body 10 that stores a substrate W, and a lid 20 that closes an opening 11 of the container main body 10.
  • the container body 10 is a box-shaped body and is a front open type in which an opening 11 is formed on the front surface.
  • the opening 11 is bent with a step so as to spread outward, and the surface of the step portion is formed as a seal surface 12 on the inner peripheral edge of the front surface of the opening 11.
  • the container body 10 is preferably a front open type because it is easy to insert a substrate W having a diameter of 300 mm or 450 mm, but may be a bottom open type in which the opening 11 is formed on the lower surface.
  • Supporters 13 are disposed on the left and right sides inside the container body 10.
  • the support 13 has a function of placing and positioning the substrate W.
  • a plurality of grooves are formed in the support body 13 in the height direction to constitute so-called groove teeth.
  • substrate W is mounted in the groove
  • the material of the support 13 may be the same as that of the container body 10, but a different material may be used in order to improve heat resistance, cleanability, and slidability.
  • a rear retainer (not shown) is disposed at the rear (back side) inside the container body 10.
  • the rear retainer holds the substrate W in a pair with a front retainer 30 described later when the lid 20 is closed.
  • the support 13 has a substrate holding portion having, for example, a “ ⁇ ” shape or a straight shape on the back side of the groove teeth without providing the rear retainer, so that the front retainer 30 and the substrate holding can be held.
  • the substrate W may be held by the part.
  • the support 13 and the rear retainer are provided on the container body 10 by insert molding or fitting.
  • the substrate W is supported by the support 13 and stored in the container body 10.
  • An example of the substrate W includes a silicon wafer, but is not particularly limited, and may be a quartz wafer, a gallium arsenide wafer, a glass wafer, a resin wafer, or the like.
  • a robotic flange 14 is detachably provided at the center of the ceiling of the container body 10.
  • the substrate storage container 1 that stores the substrate W in a clean state is gripped by the robotic flange 14 by a transfer robot in the factory, and transferred to a processing apparatus for each process of processing the substrate W.
  • a manual handle 15 that is gripped by the operator is detachably attached to the center of the outer surface of both sides of the container body 10.
  • an air supply valve 18 and an exhaust valve 19 having a check valve function are provided on the bottom surface of the container body 10. These are supplied to the inside of the substrate storage container 1 closed by the lid 20 by supplying an inert gas such as nitrogen gas or dry air from the air supply valve 18, and exhausting it from the exhaust valve 19. The gas inside is replaced or the airtight state is maintained.
  • the air supply valve 18 and the exhaust valve 19 are preferably located away from the position where the substrate W is projected onto the bottom surface, but the quantity and position of the air supply valve 18 and the exhaust valve 19 are not limited to those shown in the figure. Absent.
  • the air supply valve 18 and the exhaust valve 19 have a filter for filtering gas.
  • the replacement of the internal gas is performed for the purpose of blowing off impurities on the stored substrate W or reducing the internal humidity, and maintains the cleanliness of the inside of the substrate storage container 1 during transfer. It is possible to confirm whether or not the gas replacement is performed reliably by detecting the gas on the exhaust valve 19 side.
  • the inside of the substrate storage container 1 becomes positive pressure, and conversely, the lid 20 is removed from the container body 10. Sometimes, the inside of the substrate storage container 1 becomes a negative pressure.
  • the lid 20 has a substantially rectangular shape that is attached to the front surface of the opening 11 of the container body 10.
  • the lid 20 includes a lid main body 21, a pair of locking mechanisms 26 installed on the lid main body 21 and locked, and a pair of plates 27 detachably covering the locking mechanisms 26. And is detachably fitted to the opening front portion of the container body 10.
  • the lid body 20 is locked by a locking mechanism 26 by inserting a locking claw into a locking hole (not shown) formed in the container body 10.
  • the lid body 21, the pair of locking mechanisms 26, and the pair of plates 27 of the lid 20 are molded using the same molding material as the container body 10.
  • the lid 20 is detachably mounted or integrally formed with an elastic front retainer 30 that horizontally holds the front edge of the substrate W at the center.
  • the front retainer 30 is a part in direct contact with the wafer, like the groove teeth and the substrate holding part of the support 13, a material having good cleaning properties and sliding properties is used.
  • the front retainer 30 can also be provided on the lid 20 by insert molding or fitting.
  • thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyether sulfone, polyether ether ketone, and liquid crystal polymer.
  • the thermoplastic resin may further be appropriately added with a conductive agent made of conductive carbon, conductive fiber, metal fiber, conductive polymer, various antistatic agents, ultraviolet absorbers, and the like.
  • the substrate storage container 1 is not provided with an annular packing that is originally used between the container body 10 and the lid 20. Instead, a labyrinth seal structure is formed between the container body 10 and the lid 20.
  • a labyrinth seal structure is formed between the container body 10 and the lid 20.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70A according to an example.
  • FIG. 2 (the same applies to FIG. 3 and subsequent figures) is a cross-sectional view of a portion of the container body 10 taken along line AA in FIG. 1 (cross-sectional view of the container body 10 with the lid 20 closed). It is.
  • X and Y directions are defined as two directions orthogonal to each other.
  • the X1 side corresponds to the inside
  • the X2 side corresponds to the outside.
  • the X direction corresponds to the radial direction around the opening 11.
  • the Y direction the Y1 side corresponds to the inner side
  • the Y2 side corresponds to the outer side.
  • the Y direction (an example of the first direction) is a direction substantially parallel to the surface of the substrate W (see FIG. 1) when stored in the container body 10.
  • the labyrinth seal structure 70A is formed.
  • the first part 110 has a surface 101 (an example of a first surface) that faces the second part 210 in the Y direction, and a surface 102 that faces the second part 210 in the X direction.
  • the surface 101 forms a seal surface 12 (see FIG. 1).
  • the second part 210 has a surface 211 (an example of a first surface) that faces the first part 110 in the Y direction, and a surface 212 that faces the first part 110 in the X direction.
  • the first portion 110 and the second portion 210 face each other in the Y direction and face each other in the X direction.
  • the gap ⁇ 2 between the surface 101 and the surface 211 and the gap ⁇ 1 (minimum gap) between the surface 102 and the surface 212 are substantially the same, but may be different.
  • the gap ⁇ 2 and the gap ⁇ 2 are set so that contact between the surface 101 and the surface 211 and contact between the surface 102 and the surface 212 do not occur due to tolerances or the like.
  • the gap ⁇ 1 and the gap ⁇ 2 are larger than 0 mm, preferably 1.0 mm or less, and more preferably 0.5 mm or less. This is because if it is larger than 1.0 mm, the sealing performance cannot be obtained effectively.
  • the labyrinth seal structure 70 ⁇ / b> A is formed by the surface 101 of the first part 110 and the surface 211 of the second part 210.
  • the second part 210 has a rib group 710 protruding toward the first part 110.
  • the rib group 710 includes three ribs 710-1, 710-2, and 710-3, but the number of ribs is arbitrary. For example, any one or two of the three ribs 710-1, 710-2, 710-3 may be omitted, or additional additional ribs may be set.
  • Ribs 710-1, 710-2, and 710-3 are formed over the entire circumference around the opening 11.
  • the ribs 710-1, 710-2, and 710-3 may be formed in an equal cross section over the entire circumference around the opening.
  • the ribs 710-1, 710-2, and 710-3 may change in cross section in a part of the circumferential direction around the opening 11, or not in a part of the circumferential direction around the opening 11. It may be continuous.
  • the ribs 710-1, 710-2, and 710-3 preferably have a form that takes into account the moldability of the lid body 21, that is, a form that can be removed from the mold.
  • the ribs 710-2 and 710-3 are inclined such that the outer peripheral surface is directed inward as it goes toward the Y1 side.
  • the sealing performance against the internal positive pressure can be improved as compared with the case where the inner peripheral surface is inclined outward as it goes to the Y1 side (the principle will be described later).
  • the ribs 710-2 and 710-3 may be inclined so that the inner circumferential surface is directed outward as it goes to the Y1 side, or may not be inclined.
  • the ribs 710-1, 710-2, and 710-3 preferably have a height difference (see height H in FIG. 2) within 10 mm, for example, within a range of 1 mm to 10 mm. If the height difference (see height H in FIG. 2) is 5 times or more, preferably 10 times or more the gap ⁇ 2, a large sealing effect can be expected.
  • the shape of the second part 210 on the lid body 21 side and the shape of the first part 110 on the container body 10 side may be reversed. In the drawing, in order to explain the labyrinth effect in an easy-to-understand manner, the distance between ⁇ 1 and ⁇ 2 is shown larger than the height of H.
  • FIG. 3 is an explanatory view of the sealing effect by the labyrinth seal structure 70A shown in FIG.
  • the labyrinth seal structure 70A repeats a narrow portion 701 and an enlarged portion 702 along the X direction, as shown in FIG. 3 (also in FIG. 2). Therefore, for example, when the inside of the container body 10 is at a positive pressure, in the flow from the inside P0 to the outside P1 of the container body 10, as shown schematically by arrows in FIG. The pressure loss is caused by the rapid expansion of the flow path area at the time of transition to and the rapid reduction of the flow path area at the time of transition from the enlarged portion 702 to the narrow portion 701. In addition, when the transition from the inside P0 of the container main body 10 to the first narrow portion 701 is performed, the flow path area is rapidly reduced, so that pressure loss occurs.
  • the flow path area is rapidly expanded, so that pressure loss occurs.
  • the pressure gradually changes between the internal P0 and the external P1.
  • the gas flow between the internal P0 and the external P1 via the labyrinth seal structure 70A is reduced or eliminated, and the sealing function is exhibited. That is, the sealing performance against the internal positive pressure is ensured.
  • the sealing function is similarly exhibited. This is because, even in the flow from the outside P1 to the inside P0 of the container main body 10, the flow channel area is suddenly enlarged during the transition from the narrowed portion 701 to the enlarged portion 702, and the transition from the enlarged portion 702 to the narrowed portion 701 is performed. This is because pressure loss occurs due to repeated rapid reduction of the flow path area.
  • the number of repetitions of rapid expansion and rapid contraction is preferably at least three times, including rapid contraction from the inside P0 of the container body 10 and rapid expansion from the container body 10 to the outside P1. That is, as described above, the number of ribs may be one or more. However, in order to improve sealing performance, the number of ribs is preferably two or more.
  • the substrate storage container 1 is used many times, and the lid 20 is opened and closed many times.
  • the lid 20 is opened and closed many times.
  • particles are likely to be generated due to friction. That is, particles are easily generated by sliding on the seal surface of the packing accompanying opening and closing of the lid. In a state where such particles are generated, if the inside of the container body has a negative pressure when the lid is opened, the particles may enter the container body and contaminate the substrate W.
  • the packing since the packing is not used, it is possible to avoid the above-described inconveniences (that is, problems due to the comparative example) caused by using the packing.
  • the first part 110 and the second part 210 are not in contact with each other. Therefore, there is a possibility that particles are generated from the first part 110 and the second part 210 due to friction. Low.
  • high sealing performance can be secured by the labyrinth seal structure 70 ⁇ / b> A even though the first part 110 and the second part 210 are not in contact with each other.
  • the sealing effect by the labyrinth seal structure 70A is as described above with reference to FIG.
  • the labyrinth seal structure 70A is formed between the surface 101 of the first part 110 and the surface 211 of the second part 210, but instead of or in addition to this, the first part A similar labyrinth seal structure may be formed between the surface 102 of 110 and the surface 212 of the second portion 210.
  • the rib group 710 is formed at the second portion 210, but instead, a similar rib group 710 may be formed at the first portion 110.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70B according to another example.
  • the same components as those in the above-described example illustrated in FIG. 2 may be denoted by the same reference numerals and description thereof may be omitted.
  • the lid 20 is replaced with a lid 20B.
  • the lid 20B is different from the lid 20 in that the second portion 210B is attached to the lid body 21B. That is, in the lid 20, the second portion 210 is a part of the lid body 21 (as opposed to being integrally formed), whereas in the lid 20 ⁇ / b> B shown in FIG. 210B is not part of the lid body 21B, but is integrated by being attached to the lid body 21B.
  • the lid body 21B is formed of a resin material such as polycarbonate, cycloolefin polymer, liquid crystal polymer, polyetheretherketone, or polypropylene.
  • the second portion 210B is formed of a resin material having high slidability such as polyether ketone, polybutylene terephthalate, polyacetal, etc., in addition to polypropylene. Even when the lid 20B requires low hygroscopicity, the second portion 210B may be formed of a material that is not low hygroscopic because the second portion 210B is a relatively small portion of the lid 20B.
  • the material of the second portion 210B includes thermoplastic elastomers such as polyester elastomers, polyolefin elastomers, fluorine elastomers, urethane elastomers, fluorine rubber, ethylene propylene rubber, silicone rubber, etc.
  • the elastic body can also be used. These materials include fillers made of carbon, glass fiber, mica, talc, silica, calcium carbonate, etc., and resins such as polyethylene, polyamide, polyacetal, fluororesin, and silicone resin from the viewpoint of improving adhesion. A predetermined amount may be selectively added. In addition, from the viewpoint of imparting conductivity and antistatic properties, carbon fibers, metal fibers, metal oxides, various antistatic agents, and the like may be added as appropriate.
  • the second part 210B is integrated with the lid main body 21B, for example, by fitting.
  • the second portion 210B may be integrated with the lid main body 21B by bonding.
  • the second portion 210B may be integrally molded (for example, two-color molding) with the lid main body 21B.
  • At least a part of the first part 110 around the opening 11 in the container body 10 and the second part 210B facing the first part 110 in the lid 20B is non-contact, and cooperates with the labyrinth.
  • a seal structure 70B is formed.
  • the labyrinth seal structure 70B itself may be the same as the labyrinth seal structure 70A shown in FIG. However, in FIG. 4, since the 2nd site
  • the second portion 210B may be provided on the container body 10 side.
  • the second portion 210B is separate from the lid main body 21B, and therefore can be formed of a material different from that of the lid main body 21B. Therefore, the second portion 210B can be formed of a resin material having high slidability. In this case, the generation of particles is kept to a minimum even when the first part 110 and the second part 210B, which are supposed to be non-contact if they are designed values (nominal values), due to component tolerances or the like. be able to.
  • the second member 210B even if a part of the second member 210B comes into contact with the first portion 110, it can be absorbed by an elastic body, and other gaps ⁇ 2 can be secured, so the dimensional accuracy of the molded product is wide. Since it can be secured, control is easy and stable.
  • FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70C according to another example.
  • the same components as those in the example shown in FIG. 2 described above may be denoted by the same reference numerals and description thereof may be omitted.
  • the example shown in FIG. 5 differs from the example shown in FIG. 2 in that the container body 10 is replaced with a container body 10C, and the lid 20 is replaced with a lid 20C.
  • the container body 10C is different from the container body 10 shown in FIG. 2 in that the first part 110 is replaced with the first part 110C.
  • the lid body 20C is different from the lid body 20 shown in FIG. 2 in that the lid body 21 is replaced with the lid body 21C.
  • the lid body 21C is different from the lid body 21C shown in FIG. 2 in that the second part 210 is replaced with the second part 210C.
  • the labyrinth seal structure 70C is formed.
  • the first part 110C has a surface 101C (an example of a first surface) that faces the second part 210C in the Y direction, and a surface 102C that faces the second part 210C in the X direction.
  • the surface 101C forms the seal surface 12 (see FIG. 1).
  • the second part 210C has a surface 211C (an example of a first surface) that faces the first part 110C in the Y direction, and a surface 212C that faces the first part 110C in the X direction.
  • the first portion 110C and the second portion 210C face each other in the Y direction and face each other in the X direction.
  • the labyrinth seal structure 70C is formed by the surface 101C of the first part 110C and the surface 211C of the second part 210C.
  • the first portion 110C has a rib group 120C protruding toward the second portion 210C.
  • the rib group 120C has two ribs 120C-1 and 120C-2, but the number of ribs is arbitrary. For example, any one of the two ribs 120C-1 and 120C-2 may be omitted, or further additional ribs may be set.
  • the second part 210C has a rib group 710C protruding toward the first part 110C.
  • the rib group 710C has two ribs 710C-1 and 710C-2, but the number of ribs is arbitrary. For example, any one of the two ribs 710C-1 and 710C-2 may be omitted, or further additional ribs may be set.
  • the ribs 120C-1 and 120C-2 and the ribs 710C-1 and 710C-2 are formed over the entire circumference around the opening 11.
  • the ribs 120C-1 and 120C-2 and the ribs 710C-1 and 710C-2 may be formed in an equal cross section over the entire circumference around the opening.
  • at least one of the ribs 120C-1 and 120C-2 and the ribs 710C-1 and 710C-2 may have a cross-section that changes in part in the circumferential direction around the opening 11, or the opening 11 It may be discontinuous in a part of the surrounding circumferential direction.
  • the ribs 120C-1 and 120C-2 preferably have a form considering the moldability of the container body 10C, that is, a form that can be removed from the mold. As shown in FIG. 5, the ribs 120C-1 and 120C-2 are inclined such that the outer circumferential surface is directed inward as it goes toward the Y2 side. However, in a modified example, the ribs 120C-1 and 120C-2 may be inclined so that the inner peripheral surface is directed outward as it goes to the Y2 side.
  • the ribs 710C-1 and 710C-2 preferably have a form considering the moldability of the lid body 21C, that is, a form that can be removed from the mold. As shown in FIG. 5, the outer circumferential surface of the rib 710-2 is inclined inwardly toward the Y1 side. However, in the modification, the rib 710-2 may be inclined so that the inner peripheral surface is directed outward as it goes to the Y1 side.
  • the ribs 120C-1 and 120C-2 and the ribs 710C-1 and 710C-2 preferably have a height difference (see height H in FIG. 5) within 10 mm, for example within a range of 1 mm to 10 mm. Good. If the height difference is 5 times or more, preferably 10 times or more of the gap ⁇ 2, a large sealing effect can be expected.
  • the gas flow path is key-shaped, the path can be lengthened, and a higher sealing effect can be expected.
  • the labyrinth seal structure 70C is formed between the surface 101C of the first part 110C and the surface 211C of the second part 210C, but instead of or in addition to this, the first part A similar labyrinth seal structure may be formed between the surface 102C of 110C and the surface 212C of the second portion 210C.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70D according to another example.
  • the same components as those in the example illustrated in FIG. 5 described above may be denoted by the same reference numerals and description thereof may be omitted.
  • the lid 20C is replaced with a lid 20D.
  • the lid body 20D is different from the lid body 20C in that the second portion 210D is attached to the lid body 21D. That is, in the lid 20C, the second portion 210C is a part of the lid main body 21C (as opposed to being integrally formed), whereas in the lid 20D shown in FIG. 210D is not part of the lid body 21D, but is integrated by being attached to the lid body 21D.
  • the lid main body 21D is formed of a low hygroscopic resin material such as polyether ether ketone or polypropylene.
  • the second portion 210D is formed of a resin material having high slidability such as polyether ketone, polybutylene terephthalate, polyacetal, etc. in addition to polypropylene. Even if the lid 20D is required to have low hygroscopicity, the second portion 210D may be formed of a material that is not low hygroscopic because the second portion 210D is a relatively small portion of the lid 20D.
  • the material of the second portion 210D includes thermoplastic elastomers such as polyester elastomers, polyolefin elastomers, fluorine elastomers, urethane elastomers, fluorine rubber, ethylene propylene rubber, silicone rubber, etc.
  • the elastic body can also be used. These materials include fillers made of carbon, glass fiber, mica, talc, silica, calcium carbonate, etc., and resins such as polyethylene, polyamide, polyacetal, fluororesin, and silicone resin from the viewpoint of improving adhesion. A predetermined amount may be selectively added.
  • the second portion 210D may be formed of a material that is not low hygroscopic because the second portion 210D is a relatively small portion of the lid 20D.
  • the second portion 210D is integrated with the lid main body 21D by fitting, for example.
  • the second portion 210D may be integrated with the lid main body 21D by adhesion.
  • the second portion 210D may be integrally molded (for example, two-color molding) with the lid main body 21D.
  • the first part 110C around the opening 11 in the container main body 10C and the second part 210D facing the first part 110C in the lid 20D are at least partially non-contact, and cooperate to form a labyrinth.
  • a seal structure 70D is formed.
  • the labyrinth seal structure 70D itself may be the same as the labyrinth seal structure 70C shown in FIG. However, in FIG. 6, since 2nd site
  • the second portion 210D can be formed of a material different from that of the lid main body 21D because it is separate from the lid main body 21D. Accordingly, the second portion 210D can be formed of a resin material having high slidability. In this case, the generation of particles is kept to a minimum even when the first part 110C and the second part 210D, which are supposed to be non-contact if they are designed values (nominal values) due to component tolerances, etc. be able to.
  • the second member 210D even if a part of the second member 210D comes into contact with the first portion 110C, if it is an elastic body, it can be absorbed and other gaps can be secured, so that the dimensional accuracy of the molded product is widely secured. Because it is possible, control is easy and stable.
  • FIGS. 7A and 7B are schematic cross-sectional views showing a labyrinth seal structure 70E according to another example.
  • the labyrinth seal structure 70C is replaced with a labyrinth seal structure 70E as compared to the example shown in FIG.
  • the example shown in FIGS. 7A and 7B is different from the example shown in FIG. 5 in that the ribs 120C-1 and 120C-2 and the ribs 710C-1 and 710C-2 are replaced with the ribs 120E-1 and 120E. -2 and ribs 710E-1 and 710E-2.
  • the ribs 120E-1 and 120E-2 and the ribs 710E-1 and 710E-2 include the gap ⁇ 3 in the X direction between the rib 120E-1 and the rib 710E-2, and the rib 120E-2 and the rib 710E-1.
  • a gap ⁇ 3 in the X direction is formed so as to be constant in the Y direction.
  • the gap ⁇ 3 is greater than 0 mm, preferably 1.0 mm or less, and more preferably 0.5 mm or less. This is because if it is larger than 1.0 mm, the sealing performance cannot be obtained effectively.
  • the gap between the side surfaces of adjacent ribs facing each other in the X direction when the lid 20E is closed (in FIG. 7A, the X direction between the rib 120E-1 and the rib 710E-2).
  • the gap ⁇ 3 and the gap ⁇ 3 in the X direction between the rib 120E-2 and the rib 710E-1 are made constant so that the seal is not necessarily in a completely closed state (see FIG. 7B).
  • the effect can be maintained.
  • the sealing state can be ensured to the limit when the lid 20E is opened and closed, and good sealing performance can be ensured even if the lid 20E is locked halfway.
  • a structure in which a second part is attached to the lid main body 21E. It may be.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70F according to another example.
  • FIG. 8 it is an example at the time of forming a rib in the container main body side.
  • the example shown in FIG. 8 differs from the example shown in FIG. 5 in that the container body 10C is replaced with the container body 10F, and the lid 20C is replaced with the lid 20F.
  • the container body 10F is different from the container body 10C shown in FIG. 5 in that the first part 110C is replaced with the first part 110F.
  • the lid 20F is different from the lid 20C shown in FIG. 2 in that the lid main body 21C is replaced with the lid main body 21F.
  • the lid main body 21F differs from the lid main body 21C shown in FIG. 2 in that the second part 210C is replaced with the second part 210F.
  • the labyrinth seal structure 70F is formed.
  • the labyrinth seal structure 70F is formed by the surface 101F of the first part 110F and the surface 211F of the second part 210F.
  • the first portion 110F has a rib group 120F that protrudes toward the second portion 210F.
  • the rib group 120F has three ribs 120F-1, 120F-2, and 120F-3, but the number of ribs is arbitrary.
  • the ribs 120F-1, 120F-2, and 120F-3 are formed over the entire circumference around the opening 11.
  • the ribs 120F-1, 120F-2, 120F-3 may be formed in an equal cross section over the entire circumference around the opening.
  • the effect similar to the example shown in FIG. 2 is acquired.
  • the shape of the second part 210F on the lid body 21F side and the shape of the first part 110F on the container body 10F side may be reversed.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70G according to another example. Note that the example shown in FIG. 9 is an example in which fine steps are formed on the ribs of the container body and the lid body. The example shown in FIG. 9 is different from the example shown in FIG. 5 in that the container body 10C is replaced with the container body 10G and the lid 20C is replaced with the lid 20G.
  • the container body 10G is different from the container body 10C shown in FIG. 5 in that the first part 110C is replaced with the first part 110G.
  • the lid body 20G is different from the lid body 20C shown in FIG. 5 in that the lid body 21 is replaced with the lid body 21G.
  • the lid main body 21G is different from the lid main body 21C shown in FIG. 5 in that the second part 210C is replaced with the second part 210G.
  • the labyrinth seal structure 70G is formed.
  • the labyrinth seal structure 70G is formed by the surface 101G of the first part 110G and the surface 211G of the second part 210G.
  • the first part 110G has a rib group 120G protruding toward the second part 210G.
  • the rib group 120G has three ribs 120G-1, 120G-2, and 120G-3, but the number of ribs is arbitrary.
  • the second portion 210G has a rib group 710G that protrudes toward the first portion 110G.
  • the rib group 710G includes three ribs 710G-1, 710G-2, and 710G-3, but the number of ribs is arbitrary.
  • fine step portions G-1, G-2, G-3 are formed on the ribs 120G-1, 120G-2, 120G-3.
  • Fine steps G-11, G-12, and G-13 are formed on the ribs 710G-1, 710G-2, and 710G-3.
  • the ribs 120G-1, 120G-2, 120G-3 and 710G-1, 710G-2, 710G-3 are formed over the entire circumference around the opening 11. The same effect as the example shown in FIG. 2 can be obtained by the example shown in FIG.
  • FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70H according to another example.
  • the example shown in FIG. 10 is an example in which ribs are provided on the container body and the lid body, and fine steps are formed on the ribs of the container body.
  • the example shown in FIG. 10 is different from the example shown in FIG. 5 in that the container body 10C is replaced with the container body 10H and the lid 20C is replaced with the lid 20H.
  • the container body 10H is different from the container body 10C shown in FIG. 5 in that the first part 110C is replaced with the first part 110H.
  • the lid 20H is different from the lid 20C shown in FIG. 5 in that the lid main body 21C is replaced with the lid main body 21H.
  • the lid body 21H is different from the lid body 21C shown in FIG. 5 in that the second part 210C is replaced with the second part 210H.
  • the labyrinth seal structure 70H is formed.
  • the labyrinth seal structure 70H is formed by the surface 101H of the first part 110H and the surface 211H of the second part 210H.
  • the first portion 110H has a rib group 120H that protrudes toward the second portion 210H.
  • the rib group 120H has three ribs 120H-1, 120H-2, and 120H-3, but the number of ribs is arbitrary.
  • the second portion 210H has a rib group 710H protruding toward the first portion 110H.
  • the rib group 710G includes three ribs 710H-1, 710H-2, and 710H-3, but the number of ribs is arbitrary.
  • fine step portions H-1, H-2, and H-3 are formed on the ribs 120H-1, 120H-2, and 120H-3.
  • the ribs 710H-1, 710H-2, and 710H-3 are formed with inclinations H-11, H-12, and H-13 in which the inner peripheral surface is inclined outward as it goes to the Y1 side. .
  • the ribs 120H-1, 120H-2, 120H-3 and 710H-1, 710H-2, 710H-3 are formed over the entire circumference around the opening 11. Also by the example shown in FIG. 10, the same effect as the example shown in FIG. 2 is acquired.
  • FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70I according to another example.
  • FIG. 11 it is an example in case the rib shape of a container main body and a lid body main body differs.
  • the example shown in FIG. 11 is different from the example shown in FIG. 5 in that the container body 10C is replaced with the container body 10I and the lid 20C is replaced with the lid 20I.
  • the container body 10I is different from the container body 10C shown in FIG. 5 in that the first part 110C is replaced with the first part 110I.
  • the lid body 20I is different from the lid body 20C shown in FIG. 5 in that the lid body 21C is replaced with the lid body 21I.
  • the lid main body 21I is different from the lid main body 21C shown in FIG. 5 in that the second part 210C is replaced with the second part 210I.
  • the labyrinth seal structure 70I is formed.
  • the labyrinth seal structure 70I is formed by the surface 101I of the first part 110I and the surface 211I of the second part 210I.
  • the first portion 110I has a rib group 120I that protrudes toward the second portion 210I.
  • the rib group 120I has four ribs 120I-1, 120I-2, 120I-3, and 120I-4, but the number of ribs is arbitrary.
  • the second part 210I has a rib group 710I that protrudes toward the first part 110I.
  • the rib group 710I has two ribs 710I-1 and 710I-2, but the number of ribs is arbitrary.
  • the ribs 120I-1, 120I-2, and 120I-3 have inclinations I-1, I-2, I that the inner peripheral surfaces are inclined toward the outer side toward the Y2 side. -3, I-4.
  • the ribs 120I-2 and 120I-4 corresponding to the ribs 710I-2 and 710I-4 are formed lower than the ribs 120I-1 and 120I-3.
  • the ribs 120I-1 and 120I-2 are formed so as to be closer to the surface 211I of the second portion 210I than the tips of the ribs 710I-1 and 710I-2.
  • the ribs 120I-1, 120I-2, 120I-3, 120I-4 and 710I-1, 710I-2 are formed over the entire circumference around the opening 11. Also by the example shown in FIG. 11, the same effect as the example shown in FIG. 2 is acquired.
  • the shape of the second part 210I on the lid body 21I side and the shape of the first part 110I on the container body 10I side may be reversed.
  • FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70J according to another example.
  • the example shown in FIG. 12 differs from the example shown in FIG. 5 in that the container body 10C is replaced with the container body 10J and the lid 20C is replaced with the lid 20J.
  • the container body 10J is different from the container body 10C shown in FIG. 5 in that the first part 110C is replaced with the first part 110J.
  • the lid body 20J is different from the lid body 20C shown in FIG. 5 in that the lid body 21 is replaced with the lid body 21J.
  • the lid body 21J is different from the lid body 21C shown in FIG. 5 in that the second part 210 is replaced with the second part 210J.
  • the labyrinth seal structure 70J is formed.
  • the labyrinth seal structure 70J is formed by the surface 101J of the first part 110J and the surface 211J of the second part 210J.
  • the first portion 110J includes a rib group 120J that protrudes toward the second portion 210J.
  • the rib group 120J has three ribs 120J-1, 120J-2, and 120J-3, but the number of ribs is arbitrary.
  • part 210J has the rib group 710J which protrudes toward the 1st site
  • the rib group 710J includes three ribs 710J-1, 710J-2, and 710J-3, but the number of ribs is arbitrary. As shown in FIG.
  • the ribs 120J-1, 120J-2, and 120J-3 have slopes J-1, J-2, J that the outer peripheral surfaces are inclined inward toward the Y2 side. -3.
  • the ribs 710J-1, 710J-2, and 710J-3 have slopes J-11, J-12, and J-13, in which the inner peripheral surface is inclined outward as it goes to the Y1 side.
  • the ribs 120J-1, 120J-2, 120J-3 and 710J-1, 710J-2 are formed over the entire circumference around the opening 11. Also by the example shown in FIG. 12, the same effect as the example shown in FIG. 2 is acquired.
  • FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70K according to another example.
  • the example shown in FIG. 13 differs from the example shown in FIG. 5 in that the container body 10C is replaced with the container body 10K and the lid 20C is replaced with the lid 20K.
  • the container body 10K is different from the container body 10C shown in FIG. 5 in that the first part 110C is replaced with the first part 110K.
  • the lid body 20K is different from the lid body 20C shown in FIG. 5 in that the lid body 21C is replaced with the lid body 21K.
  • the lid body 21K is different from the lid body 21C shown in FIG. 5 in that the second part 210C is replaced with the second part 210K.
  • the labyrinth seal structure 70K is formed.
  • the labyrinth seal structure 70K is formed by the surface 101K of the first part 110K and the surface 211K of the second part 210K.
  • the first portion 110K has a rib 120K that protrudes toward the second portion 210K.
  • the second portion 210K has a rib group 710K that protrudes toward the first portion 110K.
  • the rib group 710K has two ribs 710K-1 and 710K-2, but the number of ribs is arbitrary.
  • the rib 120K is formed of an insert member and is inserted into the lid body 10K.
  • the rib 120K has projecting shapes K-1 and K-2 so that the tips thereof face the outer peripheral ribs 710K-1 and 710K-2, respectively.
  • the material of the rib 120K includes elastic bodies such as thermoplastic elastomers such as polyester elastomers, polyolefin elastomers, fluorine elastomers, urethane elastomers, fluorine rubber, ethylene propylene rubber, and silicone rubber. It can also be used. These materials include fillers made of carbon, glass fiber, mica, talc, silica, calcium carbonate, etc., and resins such as polyethylene, polyamide, polyacetal, fluororesin, and silicone resin from the viewpoint of improving adhesion. A predetermined amount may be selectively added.
  • the ribs 120K, 710K-1, and 710K-2 are formed over the entire circumference around the opening 11. Also by the example shown in FIG. 13, the same effect as the example shown in FIG. 2 is acquired.
  • the form of FIG. 13 has an effect that can be realized with a narrow dimension in the X direction to provide two narrow flow paths because the rib 120K has two projecting shapes K-1 and K-2. Further, when the rib 120K is insert-molded with an elastic body, it is effective because an allowable range of dimensional errors can be increased.
  • the shape of the second part 210K on the lid body 21K side and the shape of the first part 110K on the container body 10K side may be reversed.
  • FIG. 14 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70L according to another example.
  • the example shown in FIG. 14 differs from the example shown in FIG. 5 in that the container body 10C is replaced with the container body 10L and the lid 20C is replaced with the lid 20L.
  • the container body 10L is different from the container body 10C shown in FIG. 5 in that the first part 110C is replaced with the first part 110L.
  • the lid 20L is different from the lid 20C shown in FIG. 5 in that the lid main body 21C is replaced with the lid main body 21L.
  • the lid main body 21L is different from the lid main body 21C shown in FIG. 5 in that the second part 210C is replaced with the second part 210L.
  • the labyrinth seal structure 70L is formed.
  • the labyrinth seal structure 70L is formed by the surface 101L of the first part 110L and the surface 211L of the second part 210L.
  • the first portion 110L has a rib group 120L protruding toward the second portion 210L.
  • the rib group 120L includes ribs 120L-1 and 120L-2, but the number of ribs is arbitrary.
  • the second portion 210L has a rib group 710L that protrudes toward the first portion 110L.
  • the rib group 710L has two ribs 710L-1 and 710L-2, but the number of ribs is arbitrary.
  • the ribs 120L-1 and 120L-2 are formed of insert members and are inserted into the lid body 10L.
  • the two ribs 120L-1 and 120L-2 have projecting shapes L-1 and L-2 so that the tips thereof are directed to the outer peripheral ribs 710L-1 and 710L-2, respectively.
  • the ribs 120L-1 and 120L-2 are formed of a resin material such as polycarbonate, cycloolefin polymer, liquid crystal polymer, polyetheretherketone, or polypropylene.
  • the ribs 120L-1, 120L-2 and 710L-1, 710L-2 are formed over the entire circumference around the opening 11.
  • the example shown in FIG. 14 also provides the same effect as the example shown in FIG.
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view showing a labyrinth seal structure 70M according to another example.
  • the same components as those described above may be denoted by the same reference numerals and description thereof may be omitted.
  • the example shown in FIG. 15 is different from the example shown in FIG. 5 in that the container body 10C is replaced with the container body 10M, and the lid 20C is replaced with the lid 20M.
  • the container body 10M is different from the container body 10C shown in FIG. 5 in that the first part 110C is replaced with the first part 110M.
  • the lid body 20M is different from the lid body 20C shown in FIG. 5 in that the lid body 21C is replaced with the lid body 21M.
  • the lid main body 21M is different from the lid main body 21C shown in FIG. 5 in that the second part 210C is replaced with the second part 210M.
  • the labyrinth seal structure 70M is formed.
  • the labyrinth seal structure 70M is formed by the surface 101M of the first part 110M and the surface 211M of the second part 210M.
  • the first portion 110M includes a rib group 120M that protrudes toward the second portion 210M.
  • the rib group 120M includes ribs 120M-1 and 120M-2, but the number of ribs is arbitrary.
  • the second portion 210M has a rib 710M that protrudes toward the first portion 110M.
  • the ribs 120M-1 and 120M-2 are formed of an insert member and are inserted into the lid body 10M.
  • the two ribs 120M-1 and 120M-2 have projecting shapes M-1 and M-2 so as to face the rib 710M, respectively.
  • the ribs 120M-1 and 120M-2 are formed of a resin material such as polycarbonate, cycloolefin polymer, liquid crystal polymer, polyetheretherketone, or polypropylene.
  • the ribs 120M-1, 120M-2, and 710M are formed over the entire circumference around the opening 11. Also by the example shown in FIG. 15, the same effect as the example shown in FIG. 2 is acquired.
  • the shape of the second part 210K on the lid body 21K side and the shape of the first part 110K on the container body 10K side may be reversed.
  • the second parts 210K, 210L, and 210M shown in FIGS. 13, 14, and 15 are made of a resin material having high slidability such as polyether ketone, polybutylene terephthalate, and polyacetal in addition to polypropylene.
  • a resin material having high slidability such as polyether ketone, polybutylene terephthalate, and polyacetal in addition to polypropylene.
  • the second parts 210K, 210L, and 210M are relatively small parts of the lids 20K, 20L, and 20M. You may form with the material which is not hygroscopic.
  • the materials of the second portions 210K, 210L, and 210M include thermoplastic elastomers such as polyester elastomers, polyolefin elastomers, fluorine elastomers, urethane elastomers, fluorine rubber, ethylene propylene rubber, and silicone.
  • An elastic body such as rubber can also be used.
  • These materials include fillers made of carbon, glass fiber, mica, talc, silica, calcium carbonate, etc., and resins such as polyethylene, polyamide, polyacetal, fluororesin, and silicone resin from the viewpoint of improving adhesion. A predetermined amount may be selectively added.
  • carbon fibers, metal fibers, metal oxides, various antistatic agents, and the like may be added as appropriate.
  • the container body is a large member, when a small complicated structure or another member is insert-molded, the accuracy is better provided on the lid body side rather than the container body side. Therefore, it is preferable to provide a complicated structure or shape on the lid side.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

内部の陽圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減する。基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体における開口まわりの第１部位と、蓋体における第１部位に対向する第２部位とは、非接触であり、協動してラビリンスシール構造を形成する、基板収納容器が開示される。

Description

基板収納容器
　本開示は、基板収納容器に関する。
　基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体と蓋体との間に設けられる環状のパッキンと、を備えたものであり、基板を気密状態で収納している。
　この種のパッキンとして、延出片がその延長線とシール面との間に略鋭角を形成するように形成されたもの、シール面に接触して基板収納容器の外側に湾曲したもの及び開口正面外方に向けて屈曲しているものなどが知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
　これらのパッキンは、基板収納容器の内部が陰圧の場合、言い換えると、外部の圧力が高い場合に、延出片がシール面に押し付けられる方向に変形するため、良好なシール性を奏するようになっている。
特開２００２－０６８３６４号公報 特開２００８－０６２９７９号公報
　しかしながら、上記のような従来技術では、内部の陽圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減することが難しい。パッキンは、エラストマー等により形成されており、摩擦によりパーティクルが比較的発生しやすい。また、不活性ガスなどのパージガスを基板収納容器の内部に供給した場合、つまり、基板収納容器の内部が陽圧になる場合は、延出片はシール面から剥がされる方向に変形するため、シール性が低下することがある。
　そこで、１つの側面では、本発明は、内部の陽圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減することを目的とする。
　１つの側面では、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体における前記開口まわりの第１部位と、前記蓋体における前記第１部位に対向する第２部位とは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造を形成する、基板収納容器が提供される。
　１つの側面では、本発明によれば、内部の陽圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減することが可能となる。
一実施例の基板収納容器を示す分解概略斜視図である。 一例によるラビリンスシール構造を示す概略的な断面図である。 図２に示すラビリンスシール構造によるシール効果の説明図である。 他の一例によるラビリンスシール構造を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造を示す概略的な断面図である。 図７Ａの構造の効果の説明図である。 他の一例によるラビリンスシール構造７０を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造７０を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造７０を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造７０を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造７０を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造７０を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造７０を示す概略的な断面図である。 他の一例によるラビリンスシール構造７０を示す概略的な断面図である。
　以下、添付図面を参照しながら各実施例について詳細に説明する。
　図１は、一実施例の基板収納容器１を示す分解概略斜視図である。
　図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、を備えている。
　容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面がシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。
　容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、耐熱性や、洗浄性、摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。
　また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示せず）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナ３０と対となって、基板Ｗを保持する。ただし、変形例では、リアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナ３０と基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。
　基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハ、ガラスウェーハ、樹脂ウェーハなどであってもよい。
　容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを収容した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。
　また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。
　容器本体１０の底面には、例えば、チェックバルブ機能を有する給気弁１８と排気弁１９とが設けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気弁１８から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、排気弁１９から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、気密状態を維持したりする。なお、給気弁１８及び排気弁１９は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気弁１８及び排気弁１９の数量や位置は、図示したものに限らない。また、給気弁１８及び排気弁１９は、気体を濾過するフィルタを有している。
　内部の気体の置換は、収納した基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたり、内部の湿度を低くしたりするなどの目的で行われ、搬送中の基板収納容器１の内部の清浄性を保つ。気体の置換は、排気弁１９側においてガスを検知することで、確実に行われているか確認することができる。そして、内部の気体を置換する時や、蓋体２０を容器本体１０に取り付けて、閉止する時に、基板収納容器１の内部は陽圧になり、逆に、蓋体２０を容器本体１０から取り外す時に、基板収納容器１の内部は陰圧となる。
　蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図１に示すように、蓋部本体２１と、この蓋部本体２１に設置されて施錠する一対の施錠機構２６と、各施錠機構２６を着脱自在に覆う一対のプレート２７とを備え、容器本体１０の開口正面部に着脱自在に嵌合される。蓋体２０は、施錠機構２６によって、容器本体１０に形成された係止穴（図示せず）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。なお、蓋体２０の蓋部本体２１、一対の施錠機構２６、及び一対のプレート２７は、容器本体１０と同様の成形材料を使用して成形される。
　また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ３０が着脱自在に装着又は一体形成されている。
　このフロントリテーナ３０は、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナ３０も、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。
　これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。
　ここで、本実施例では、基板収納容器１は、容器本体１０と蓋体２０との間に、本来使用される環状のパッキンが設けられない。それに代えて、容器本体１０と蓋体２０との間にラビリンスシール構造が形成される。以下、ラビリンスシール構造の各例について説明する。
　図２は、一例によるラビリンスシール構造７０Ａを示す概略的な断面図である。図２（後出の図３以降も同様）は、図１の容器本体１０のラインＡ－Ａに沿った部分の断面図（蓋体２０が閉じられた容器本体１０の状態での断面図）である。図２は、直交する２方向として、Ｘ，Ｙ方向が定義されている。Ｘ方向において、Ｘ１側が内側に対応し、Ｘ２側が外側に対応する。Ｘ方向は、開口１１まわりの径方向に対応する。また、Ｙ方向において、Ｙ１側が内側に対応し、Ｙ２側が外側に対応する。なお、Ｙ方向（第１方向の一例）は、容器本体１０に収納されるときの基板Ｗ（図１参照）の表面に略平行な方向である。
　図２に示すように、容器本体１０における開口１１まわりの第１部位１１０と、蓋体２０における第１部位１１０に対向する第２部位２１０とは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ａを形成する。
　具体的には、第１部位１１０は、第２部位２１０とＹ方向に対向する表面１０１（第１表面の一例）と、第２部位２１０とＸ方向に対向する表面１０２とを有する。なお、表面１０１は、シール面１２（図１参照）を形成する。同様に、第２部位２１０は、第１部位１１０とＹ方向に対向する表面２１１（第１表面の一例）と、第１部位１１０とＸ方向に対向する表面２１２とを有する。このように、第１部位１１０及び第２部位２１０は、Ｙ方向に対向し合うとともに、Ｘ方向に対向し合う。
　なお、図２では、表面１０１と表面２１１との間の隙間δ２と、表面１０２と表面２１２との間の隙間δ１（最小の隙間）は、略同じであるが、異なってもよい。隙間δ２及び隙間δ２は、公差等に起因して、表面１０１と表面２１１との間の接触や表面１０２と表面２１２との間の接触が生じないように設定される。隙間δ１及び隙間δ２は、０ｍｍより大きく、１．０ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以下が更に好ましい。１．０ｍｍより大きいとシール性が効果的に得られなくなるためである。
　容器本体１０における開口１１まわりの第１部位１１０と、蓋体２０における第１部位１１０に対向する第２部位２１０との非接触度合いについては、接触度合いが０％の場合、パーティクルの発生が無いので「最良」、０－１０％の場合は「良」、１０－５０％の場合は「可」（使用は可能だがパーティクルへの優位性が下がる為）、５０％以上の場合は「ＮＧ」とそれぞれ評価することができる。
　図２では、ラビリンスシール構造７０Ａは、第１部位１１０の表面１０１及び第２部位２１０の表面２１１により形成される。
　具体的には、第２部位２１０は、第１部位１１０に向かって突出するリブ群７１０を有する。図２では、リブ群７１０は、３本のリブ７１０－１、７１０－２、７１０－３を有するが、リブの本数は任意である。例えば、３つのリブ７１０－１、７１０－２、７１０－３のうちの任意の１つ又は２つが省略されてもよいし、更なる追加のリブが設定されてもよい。
　リブ７１０－１、７１０－２、７１０－３は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。例えば、リブ７１０－１、７１０－２、７１０－３は、開口まわりの全周にわたり、等断面で形成されてもよい。なお、変形例では、リブ７１０－１、７１０－２、７１０－３は、開口１１まわりの周方向の一部で断面が変化してもよいし、開口１１まわりの周方向の一部で不連続となってもよい。
　リブ７１０－１、７１０－２、７１０－３は、好ましくは、蓋部本体２１の成形性を考慮した形態、すなわち金型から抜ける形態を有する。なお、リブ７１０－２、７１０－３は、図２に示すように、外側の周面が、Ｙ１側に向かうほど内側に向かう向きに傾斜している。この場合、内側の周面が、Ｙ１側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜している場合よりも、内部の陽圧に対するシール性を高めることができる（原理については後述する）。ただし、変形例では、リブ７１０－２、７１０－３は、内側の周面が、Ｙ１側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜してもよいし、傾斜していなくてもよい。
　リブ７１０－１、７１０－２、７１０－３は、好ましくは、高低差（図２の高さＨ参照）が１０ｍｍ以内であり、例えば、１ｍｍ～１０ｍｍの範囲内であってよい。高低差（図２の高さＨ参照）は、隙間δ２の５倍以上、好ましくは１０倍以上あれば大きなシール効果が期待できる。なお、蓋体本体２１側の第２部位２１０の形状と容器本体１０側の第１部位１１０の形状を逆にしてもよい。なお、図面においては、ラビリンス効果を分かりやすく説明するために、Ｈの高さに対して、δ１とδ２の距離を大きく記載している。
　図３は、図２に示すラビリンスシール構造７０Ａによるシール効果の説明図である。
　ラビリンスシール構造７０Ａは、図３（図２も同様）に示すように、Ｘ方向に沿って狭小部７０１と拡大部７０２とを繰り返す。従って、例えば容器本体１０の内部が陽圧であるとき、容器本体１０の内部Ｐ０から外部Ｐ１までの流れにおいては、図３で矢印にて模式的に示すように、狭小部７０１から拡大部７０２への移行の際の流路面積の急拡大と、拡大部７０２から狭小部７０１への移行の際の流路面積の急縮小とが繰り返すことで、圧力損失が生じる。また、容器本体１０の内部Ｐ０から１つ目の狭小部７０１への移行の際も、流路面積が急縮小するので、圧力損失が生じる。また、容器本体１０の外部Ｐ１への移行の際も、流路面積が急拡大するので、圧力損失が生じる。このようにして、ラビリンスシール構造７０Ａにおいては内部Ｐ０と外部Ｐ１との間で圧力が徐々に変化する。この結果、ラビリンスシール構造７０Ａを介した内部Ｐ０と外部Ｐ１との間の気体の流動が低減又は無くなり、シール機能が発揮される。すなわち、内部の陽圧に対するシール性が確保される。
　また、容器本体１０の内部が陰圧であるときも、同様に、シール機能が発揮される。これは、容器本体１０の外部Ｐ１から内部Ｐ０までの流れにおいても、狭小部７０１から拡大部７０２への移行の際の流路面積の急拡大と、拡大部７０２から狭小部７０１への移行の際の流路面積の急縮小とが繰り返すことで、圧力損失が生じるためである。
　なお、急拡大と急縮小との繰り返しの数は、容器本体１０の内部Ｐ０からの急縮小と、容器本体１０の外部Ｐ１への急拡大を含めて、少なくとも３回以上が好ましい。すなわち、上述のように、リブの本数は１本以上あればよい。ただし、シール性を高めるためには、リブの本数は２本以上が望ましい。
　ここで、基板収納容器１は、何度も使用されるものであり、蓋体２０の開閉が何度も行われる。この点、エラストマー等により形成されるパッキンを用いてシール性を確保する比較例の場合、摩擦によりパーティクルが発生しやすい。すなわち、蓋体の開閉に伴うパッキンのシール面に対する摺動によって、パーティクルの発生が起こり易い。かかるパーティクルが発生した状態において、蓋体の開時に容器本体の内部が陰圧であると、パーティクルが容器本体の内部に入り、基板Ｗを汚染するおそれがある。
　また、エラストマー等により形成されるパッキンを用いてシール性を確保する比較例の場合、パッキンが容器本体のシール面に貼りつき、蓋体２０の開閉トルクが過大となり、製造工程におけるエラー等の発生要因となる。
　これに対して、図２に示す例によれば、パッキンを用いないので、パッキンを用いることに起因して生じる上述の不都合（すなわち比較例による問題点）を回避できる。なお、図２に示す例によれば、第１部位１１０と第２部位２１０との間が非接触であるので、摩擦による第１部位１１０と第２部位２１０からのパーティクルの発生の可能性が低い。
　また、図２に示す例によれば、第１部位１１０と第２部位２１０との間が非接触であるにもかかわらず、ラビリンスシール構造７０Ａにより高いシール性を確保できる。ラビリンスシール構造７０Ａによるシール効果は、図３を参照して上述したとおりである。
　このようにして、図２に示す例によれば、容器本体１０の内部の陽圧及び陰圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体２０の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減できる。
　なお、図２に示す例では、ラビリンスシール構造７０Ａは、第１部位１１０の表面１０１と第２部位２１０の表面２１１との間に形成されるが、これに代えて又は加えて、第１部位１１０の表面１０２と第２部位２１０の表面２１２との間に、同様のラビリンスシール構造が形成されてもよい。
　また、図２に示す例では、リブ群７１０は、第２部位２１０に形成されるが、これに代えて、第１部位１１０に、同様のリブ群７１０が形成されてもよい。
　図４は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｂを示す概略的な断面図である。なお、図４に示す例では、上述した図２に示した例と同じ構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する場合がある。
　図４に示す例は、図２に示した例に対して、蓋体２０が蓋体２０Ｂで置換された点が異なる。蓋体２０Ｂは、蓋体２０に対して、蓋部本体２１Ｂに第２部位２１０Ｂが取り付けられた点が異なる。すなわち、蓋体２０では、第２部位２１０は蓋部本体２１の一部であるのに対して（一体で形成されているのに対して）、図４に示す蓋体２０Ｂでは、第２部位２１０Ｂは蓋部本体２１Ｂの一部ではなく、蓋部本体２１Ｂに取り付けられることで一体化される。
　蓋部本体２１Ｂは、ポリカーボネートや、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン等のような樹脂材料により形成される。他方、第２部位２１０Ｂは、ポリプロピレンの他、ポリエーテルケトンや、ポリブチレンテレフタレートやポリアセタール等のような、摺動性が高い樹脂材料により形成される。なお、蓋体２０Ｂに低吸湿性が求められる場合であっても、第２部位２１０Ｂは、蓋体２０Ｂの比較的小さい部位であることから、低吸湿性でない材料により形成されてもよい。
　また、第２部位２１０Ｂの材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性体を用いることもできる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。また、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤などが適宜添加されてもよい。
　第２部位２１０Ｂは、例えば、蓋部本体２１Ｂに嵌合により一体化される。あるいは、第２部位２１０Ｂは、蓋部本体２１Ｂに接着により一体化されてもよい。あるいは、第２部位２１０Ｂは、蓋部本体２１Ｂと一体成形（例えば二色成形）されてもよい。
　図４では、容器本体１０における開口１１まわりの第１部位１１０と、蓋体２０Ｂにおける第１部位１１０に対向する第２部位２１０Ｂとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｂを形成する。
　ラビリンスシール構造７０Ｂ自体は、図２に示したラビリンスシール構造７０Ａと同じであってもよい。ただし、図４では、第２部位２１０Ｂは、蓋部本体２１Ｂとは別体であるので、蓋部本体２１Ｂとは別に成形できる。従って、第２部位２１０Ｂは、蓋部本体２１Ｂの成形性を考慮せずに設計することも可能である。
　なお、第２部位２１０Ｂは容器本体１０側に備えられてもよい。
　図４に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。また、図４に示す例によれば、第２部位２１０Ｂは、蓋部本体２１Ｂとは別体であるので、蓋部本体２１Ｂとは異なる材料により形成できる。従って、第２部位２１０Ｂは、摺動性が高い樹脂材料により形成できる。この場合、部品公差等に起因して、設計値（ノミナル値）であれば非接触となるはずの第１部位１１０と第２部位２１０Ｂとが接触する場合でも、パーティクルの発生を最小限に留めることができる。
　また、第２部材２１０Ｂの一部が第１部位１１０に接触したとしても弾性体であればそれを吸収することができ、他の隙間δ２を確保可能であることから成形品の寸法精度が広く確保可能なため制御が容易で安定性がある。
　図５は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｃを示す概略的な断面図である。なお、図５に示す例では、上述した図２に示した例と同じ構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する場合がある。
　図５に示す例は、図２に示した例に対して、容器本体１０が容器本体１０Ｃで置換され、かつ、蓋体２０が蓋体２０Ｃで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｃは、図２に示した容器本体１０に対して、第１部位１１０が第１部位１１０Ｃで置換された点が異なる。蓋体２０Ｃは、図２に示した蓋体２０に対して、蓋部本体２１が蓋部本体２１Ｃで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｃは、図２に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０が第２部位２１０Ｃで置換された点が異なる。
　図５に示すように、容器本体１０Ｃにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｃと、蓋体２０Ｃにおける第１部位１１０Ｃに対向する第２部位２１０Ｃとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｃを形成する。
　具体的には、第１部位１１０Ｃは、第２部位２１０ＣとＹ方向に対向する表面１０１Ｃ（第１表面の一例）と、第２部位２１０ＣとＸ方向に対向する表面１０２Ｃとを有する。なお、表面１０１Ｃは、シール面１２（図１参照）を形成する。同様に、第２部位２１０Ｃは、第１部位１１０ＣとＹ方向に対向する表面２１１Ｃ（第１表面の一例）と、第１部位１１０ＣとＸ方向に対向する表面２１２Ｃとを有する。このように、第１部位１１０Ｃ及び第２部位２１０Ｃは、Ｙ方向に対向し合うとともに、Ｘ方向に対向し合う。
　図５では、ラビリンスシール構造７０Ｃは、第１部位１１０Ｃの表面１０１Ｃ及び第２部位２１０Ｃの表面２１１Ｃにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｃは、第２部位２１０Ｃに向かって突出するリブ群１２０Ｃを有する。図５では、リブ群１２０Ｃは、２本のリブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２を有するが、リブの本数は任意である。例えば、２本のリブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２のうちの任意の１本が省略されてもよいし、更なる追加のリブが設定されてもよい。
　また、第２部位２１０Ｃは、第１部位１１０Ｃに向かって突出するリブ群７１０Ｃを有する。図５では、リブ群７１０Ｃは、２本のリブ７１０Ｃ－１、７１０Ｃ－２を有するが、リブの本数は任意である。例えば、２本のリブ７１０Ｃ－１、７１０Ｃ－２のうちの任意の１本が省略されてもよいし、更なる追加のリブが設定されてもよい。
　リブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２及びリブ７１０Ｃ－１、７１０Ｃ－２は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。例えば、リブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２及びリブ７１０Ｃ－１、７１０Ｃ－２は、開口まわりの全周にわたり、等断面で形成されてもよい。なお、変形例では、リブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２及びリブ７１０Ｃ－１、７１０Ｃ－２の少なくともいずれかは、開口１１まわりの周方向の一部で断面が変化してもよいし、開口１１まわりの周方向の一部で不連続となってもよい。
　リブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２は、好ましくは、容器本体１０Ｃの成形性を考慮した形態、すなわち金型から抜ける形態を有する。なお、リブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２は、図５に示すように、外側の周面が、Ｙ２側に向かうほど内側に向かう向きに傾斜している。ただし、変形例では、リブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２は、内側の周面が、Ｙ２側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜してもよい。
　リブ７１０Ｃ－１、７１０Ｃ－２は、好ましくは、蓋部本体２１Ｃの成形性を考慮した形態、すなわち金型から抜ける形態を有する。なお、リブ７１０－２は、図５に示すように、外側の周面が、Ｙ１側に向かうほど内側に向かう向きに傾斜している。ただし、変形例では、リブ７１０－２は、内側の周面が、Ｙ１側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜してもよい。
　リブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２及びリブ７１０Ｃ－１、７１０Ｃ－２は、好ましくは、高低差（図５の高さＨ参照）が１０ｍｍ以内であり、例えば、１ｍｍ～１０ｍｍの範囲内であってよい。高低差は、隙間δ２の５倍以上、好ましくは１０倍以上あれば大きなシール効果が期待できる。
　図５に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。図５に示す例では、気体の流れの経路がカギ状になり、また経路を長くすることができ、より高いシール効果を期待できる。
　なお、図５に示す例では、ラビリンスシール構造７０Ｃは、第１部位１１０Ｃの表面１０１Ｃと第２部位２１０Ｃの表面２１１Ｃとの間に形成されるが、これに代えて又は加えて、第１部位１１０Ｃの表面１０２Ｃと第２部位２１０Ｃの表面２１２Ｃとの間に、同様のラビリンスシール構造が形成されてもよい。
　図６は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｄを示す概略的な断面図である。なお、図６に示す例では、上述した図５に示した例と同じ構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する場合がある。
　図６に示す例は、図５に示した例に対して、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｄで置換された点が異なる。蓋体２０Ｄは、蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１Ｄに第２部位２１０Ｄが取り付けられた点が異なる。すなわち、蓋体２０Ｃでは、第２部位２１０Ｃは蓋部本体２１Ｃの一部であるのに対して（一体で形成されているのに対して）、図６に示す蓋体２０Ｄでは、第２部位２１０Ｄは蓋部本体２１Ｄの一部ではなく、蓋部本体２１Ｄに取り付けられることで一体化される。
　蓋部本体２１Ｄは、ポリエーテルエーテルケトンやポリプロピレン等のような低吸湿性の樹脂材料により形成される。他方、第２部位２１０Ｄは、ポリプロピレンの他、ポリエーテルケトンや、ポリブチレンテレフタレートやポリアセタール等のような、摺動性が高い樹脂材料により形成される。なお、蓋体２０Ｄに低吸湿性が求められる場合であっても、第２部位２１０Ｄは、蓋体２０Ｄの比較的小さい部位であることから、低吸湿性でない材料により形成されてもよい。
　また、第２部位２１０Ｄの材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性体を用いることもできる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。また、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤などが適宜添加されてもよい。
　なお、蓋体２０Ｄに低吸湿性が求められる場合であっても、第２部位２１０Ｄは、蓋体２０Ｄの比較的小さい部位であることから、低吸湿性でない材料により形成されてもよい。
　第２部位２１０Ｄは、例えば、蓋部本体２１Ｄに嵌合により一体化される。あるいは、第２部位２１０Ｄは、蓋部本体２１Ｄに接着により一体化されてもよい。あるいは、第２部位２１０Ｄは、蓋部本体２１Ｄと一体成形（例えば二色成形）されてもよい。
　図６では、容器本体１０Ｃにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｃと、蓋体２０Ｄにおける第１部位１１０Ｃに対向する第２部位２１０Ｄとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｄを形成する。
　ラビリンスシール構造７０Ｄ自体は、図５に示したラビリンスシール構造７０Ｃと同じであってもよい。ただし、図６では、第２部位２１０Ｄは、蓋部本体２１Ｄとは別体であるので、蓋部本体２１Ｄとは別に成形できる。従って、第２部位２１０Ｄは、蓋部本体２１Ｄの成形性を考慮せずに設計することも可能である。
　図６に示す例によっても、図５に示した例と同様の効果が得られる。また、図６に示す例によれば、第２部位２１０Ｄは、蓋部本体２１Ｄとは別体であるので、蓋部本体２１Ｄとは異なる材料により形成できる。従って、第２部位２１０Ｄは、摺動性が高い樹脂材料により形成できる。この場合、部品公差等に起因して、設計値（ノミナル値）であれば非接触となるはずの第１部位１１０Ｃと第２部位２１０Ｄとが接触する場合でも、パーティクルの発生を最小限に留めることができる。また、第２部材２１０Ｄの一部が第１部位１１０Ｃに接触したとしても弾性体であればそれを吸収することができ、他の隙間を確保可能であることから成形品の寸法精度が広く確保可能なため制御が容易で安定性がある。
　図７Ａ及び図７Ｂは、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｅを示す概略的な断面図である。なお、図７Ａ及び図７Ｂに示す例では、上述した図５に示した例と同様の構成要素については、同様の参照符号を付して説明を省略する場合がある。
　図７Ａに示す例は、図５に示した例に対して、ラビリンスシール構造７０Ｃがラビリンスシール構造７０Ｅで置換される。具体的には、図７Ａ及び図７Ｂに示す例は、図５に示した例に対して、リブ１２０Ｃ－１、１２０Ｃ－２及びリブ７１０Ｃ－１、７１０Ｃ－２が、リブ１２０Ｅ－１、１２０Ｅ－２及びリブ７１０Ｅ－１、７１０Ｅ－２で置換される。
　リブ１２０Ｅ－１、１２０Ｅ－２及びリブ７１０Ｅ－１、７１０Ｅ－２は、リブ１２０Ｅ－１とリブ７１０Ｅ－２との間のＸ方向の隙間δ３、及び、リブ１２０Ｅ－２とリブ７１０Ｅ－１との間のＸ方向の隙間δ３が、Ｙ方向で一定になるように、形成される。隙間δ３は、０ｍｍより大きく、１．０ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以下が更に好ましい。１．０ｍｍより大きいとシール性が効果的に得られなくなるためである。
　図７Ａに示す例によれば、蓋体２０Ｅを閉めた時にＸ方向で対向配置する隣り合うリブの側面同士の隙間（図７Ａでは、リブ１２０Ｅ－１とリブ７１０Ｅ－２との間のＸ方向の隙間δ３、及び、リブ１２０Ｅ－２とリブ７１０Ｅ－１との間のＸ方向の隙間δ３）を一定にすることで、必ずしも蓋体が完全に閉まった状態（図７Ｂ参照）でなくともシール効果を維持できる。これにより、蓋体２０Ｅの開閉時においてシール状態をぎりぎりまで確保でき、また、例え蓋体２０Ｅが中途半端な状態でロックされても良好なシール性を確保できる。
　なお、図７Ａに示す例においても、上述した図６に示した例と同様、蓋部本体２１Ｅに、別体の第２部位（リブ７１０Ｅ－１、７１０Ｅ－２を形成する部位）を取り付ける構成であってもよい。
　図８は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｆを示す概略的な断面図である。なお、図８に示す例では、容器本体側にリブを形成した場合の例である。
　図８に示す例は、図５に示した例に対して、容器本体１０Ｃが容器本体１０Ｆで置換され、かつ、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｆで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｆは、図５に示した容器本体１０Ｃに対して、第１部位１１０Ｃが第１部位１１０Ｆで置換された点が異なる。蓋体２０Ｆは、図２に示した蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１Ｃが蓋部本体２１Ｆで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｆは、図２に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０Ｃが第２部位２１０Ｆで置換された点が異なる。
　図８に示すように、容器本体１０Ｆにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｆと、蓋体２０Ｆにおける第１部位１１０Ｆに対向する第２部位２１０Ｆとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｆを形成する。ラビリンスシール構造７０Ｆは、第１部位１１０Ｆの表面１０１Ｆ及び第２部位２１０Ｆの表面２１１Ｆにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｆは、第２部位２１０Ｆに向かって突出するリブ群１２０Ｆを有する。図８では、リブ群１２０Ｆは、３本のリブ１２０Ｆ－１、１２０Ｆ－２、１２０Ｆ－３を有するが、リブの本数は任意である。
　リブ１２０Ｆ－１、１２０Ｆ－２、１２０Ｆ－３は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。例えば、リブ１２０Ｆ－１、１２０Ｆ－２、１２０Ｆ－３は、開口まわりの全周にわたり、等断面で形成されてもよい。図８に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。なお、蓋体本体２１Ｆ側の第２部位２１０Ｆの形状と容器本体１０Ｆ側の第１部位１１０Ｆの形状を逆にしてもよい。
　図９は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｇを示す概略的な断面図である。なお、図９に示す例では、容器本体と蓋体本体のリブに微細な段差を形成した場合の例である。図９に示す例は、図５に示した例に対して、容器本体１０Ｃが容器本体１０Ｇで置換され、かつ、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｇで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｇは、図５に示した容器本体１０Ｃに対して、第１部位１１０Ｃが第１部位１１０Ｇで置換された点が異なる。蓋体２０Ｇは、図５に示した蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１が蓋部本体２１Ｇで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｇは、図５に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０Ｃが第２部位２１０Ｇで置換された点が異なる。
　図９に示すように、容器本体１０Ｇにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｇと、蓋体２０Ｇにおける第１部位１１０Ｇに対向する第２部位２１０Ｇとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｇを形成する。ラビリンスシール構造７０Ｇは、第１部位１１０Ｇの表面１０１Ｇ及び第２部位２１０Ｇの表面２１１Ｇにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｇは、第２部位２１０Ｇに向かって突出するリブ群１２０Ｇを有する。図９では、リブ群１２０Ｇは、３本のリブ１２０Ｇ－１、１２０Ｇ－２、１２０Ｇ－３を有するが、リブの本数は任意である。また、第２部位２１０Ｇは、第１部位１１０Ｇに向かって突出するリブ群７１０Ｇを有する。図９では、リブ群７１０Ｇは、３本のリブ７１０Ｇ－１、７１０Ｇ－２及び７１０Ｇ－３を有するが、リブの本数は任意である。
　図９に示すように、リブ１２０Ｇ－１、１２０Ｇ－２、１２０Ｇ－３には、微細な段部Ｇ－１、Ｇ－２、Ｇ－３が形成されている。リブ７１０Ｇ－１、７１０Ｇ－２及び７１０Ｇ－３には、微細な段部Ｇ－１１、Ｇ－１２及びＧ－１３が形成されている。
　リブ１２０Ｇ－１、１２０Ｇ－２、１２０Ｇ－３及び７１０Ｇ－１、７１０Ｇ－２、７１０Ｇ－３は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。図９に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。
　図１０は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｈを示す概略的な断面図である。なお、図１０に示す例では、容器本体と蓋体本体にリブを設け、容器本体のリブに微細な段差を形成した場合の例である。
　図１０に示す例は、図５に示した例に対して、容器本体１０Ｃが容器本体１０Ｈで置換され、かつ、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｈで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｈは、図５に示した容器本体１０Ｃに対して、第１部位１１０Ｃが第１部位１１０Ｈで置換された点が異なる。蓋体２０Ｈは、図５に示した蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１Ｃが蓋部本体２１Ｈで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｈは、図５に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０Ｃが第２部位２１０Ｈで置換された点が異なる。
　図１０に示すように、容器本体１０Ｈにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｈと、蓋体２０Ｈにおける第１部位１１０Ｈに対向する第２部位２１０Ｈとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｈを形成する。ラビリンスシール構造７０Ｈは、第１部位１１０Ｈの表面１０１Ｈ及び第２部位２１０Ｈの表面２１１Ｈにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｈは、第２部位２１０Ｈに向かって突出するリブ群１２０Ｈを有する。図１０では、リブ群１２０Ｈは、３本のリブ１２０Ｈ－１、１２０Ｈ－２、１２０Ｈ－３を有するが、リブの本数は任意である。また、第２部位２１０Ｈは、第１部位１１０Ｈに向かって突出するリブ群７１０Ｈを有する。
　図１０では、リブ群７１０Ｇは、３本のリブ７１０Ｈ－１、７１０Ｈ－２及び７１０Ｈ－３を有するが、リブの本数は任意である。図１０に示すように、リブ１２０Ｈ－１、１２０Ｈ－２、１２０Ｈ－３には、微細な段部Ｈ－１、Ｈ－２、Ｈ－３が形成されている。
　リブ７１０Ｈ－１、７１０Ｈ－２及び７１０Ｈ－３には、内側の周面が、Ｙ１側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜する傾斜Ｈ－１１、Ｈ－１２及びＨ－１３が形成されている。リブ１２０Ｈ－１、１２０Ｈ－２、１２０Ｈ－３及び７１０Ｈ－１、７１０Ｈ－２、７１０Ｈ－３は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。図１０に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。
　図１１は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｉを示す概略的な断面図である。なお、図１１に示す例では、容器本体と蓋体本体のリブ形状が異なる場合の例である。
　図１１に示す例は、図５に示した例に対して、容器本体１０Ｃが容器本体１０Ｉで置換され、かつ、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｉで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｉは、図５に示した容器本体１０Ｃに対して、第１部位１１０Ｃが第１部位１１０Ｉで置換された点が異なる。蓋体２０Ｉは、図５に示した蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１Ｃが蓋部本体２１Ｉで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｉは、図５に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０Ｃが第２部位２１０Ｉで置換された点が異なる。
　図１１に示すように、容器本体１０Ｉにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｉと、蓋体２０Ｉにおける第１部位１１０Ｉに対向する第２部位２１０Ｉとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｉを形成する。ラビリンスシール構造７０Ｉは、第１部位１１０Ｉの表面１０１Ｉ及び第２部位２１０Ｉの表面２１１Ｉにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｉは、第２部位２１０Ｉに向かって突出するリブ群１２０Ｉを有する。図１１では、リブ群１２０Ｉは、４本のリブ１２０Ｉ－１、１２０Ｉ－２、１２０Ｉ－３、１２０Ｉ－４を有するが、リブの本数は任意である。また、第２部位２１０Ｉは、第１部位１１０Ｉに向かって突出するリブ群７１０Ｉを有する。
　図１１では、リブ群７１０Ｉは、２本のリブ７１０Ｉ－１、７１０Ｉ－２を有するが、リブの本数は任意である。図１１に示すように、リブ１２０Ｉ－１、１２０Ｉ－２、１２０Ｉ－３には、内側の周面が、Ｙ２側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜する傾斜Ｉ－１、Ｉ－２、Ｉ－３、Ｉ－４を有する。
　リブ７１０Ｉ－２、７１０Ｉ－４に対応するリブ１２０Ｉ－２、１２０Ｉ－４は、リブ１２０Ｉ―１、１２０Ｉ－３よりも低く形成されている。リブ１２０Ｉ－１、リブ１２０Ｉ－２は、リブ７１０Ｉ－１、リブ７１０Ｉ－２の先端よりも第２部位２１０Ｉの表面２１１Ｉに近づくように形成されている。
　リブ１２０Ｉ－１、１２０Ｉ－２、１２０Ｉ－３、１２０Ｉ－４及び７１０Ｉ－１、７１０Ｉ－２は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。図１１に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。なお、蓋体本体２１Ｉ側の第２部位２１０Ｉの形状と容器本体１０Ｉ側の第１部位１１０Ｉの形状を逆にしてもよい。
　図１２は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｊを示す概略的な断面図である。　図１２に示す例は、図５に示した例に対して、容器本体１０Ｃが容器本体１０Ｊで置換され、かつ、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｊで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｊは、図５に示した容器本体１０Ｃに対して、第１部位１１０Ｃが第１部位１１０Ｊで置換された点が異なる。
　蓋体２０Ｊは、図５に示した蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１が蓋部本体２１Ｊで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｊは、図５に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０が第２部位２１０Ｊで置換された点が異なる。
　図１２に示すように、容器本体１０Ｊにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｊと、蓋体２０Ｊにおける第１部位１１０Ｊに対向する第２部位２１０Ｊとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｊを形成する。ラビリンスシール構造７０Ｊは、第１部位１１０Ｊの表面１０１Ｊ及び第２部位２１０Ｊの表面２１１Ｊにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｊは、第２部位２１０Ｊに向かって突出するリブ群１２０Ｊを有する。図１２では、リブ群１２０Ｊは、３本のリブ１２０Ｊ－１、１２０Ｊ－２、１２０Ｊ－３を有するが、リブの本数は任意である。また、第２部位２１０Ｊは、第１部位１１０Ｊに向かって突出するリブ群７１０Ｊを有する。
　図１２では、リブ群７１０Ｊは、３本のリブ７１０Ｊ－１、７１０Ｊ－２、７１０Ｊ－３を有するが、リブの本数は任意である。図１２に示すように、リブ１２０Ｊ－１、１２０Ｊ－２、１２０Ｊ－３には、外側の周面が、Ｙ２側に向かうほど内側に向かう向きに傾斜する傾斜Ｊ－１、Ｊ－２、Ｊ－３を有する。
　リブ７１０Ｊ－１、７１０Ｊ－２、７１０Ｊ－３には、内側の周面が、Ｙ１側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜する傾斜Ｊ－１１、Ｊ－１２、Ｊ－１３を有する。
　リブ１２０Ｊ－１、１２０Ｊ－２、１２０Ｊ－３及び７１０Ｊ－１、７１０Ｊ－２は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。図１２に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。
　図１３は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｋを示す概略的な断面図である。　図１３に示す例は、図５に示した例に対して、容器本体１０Ｃが容器本体１０Ｋで置換され、かつ、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｋで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｋは、図５に示した容器本体１０Ｃに対して、第１部位１１０Ｃが第１部位１１０Ｋで置換された点が異なる。蓋体２０Ｋは、図５に示した蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１Ｃが蓋部本体２１Ｋで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｋは、図５に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０Ｃが第２部位２１０Ｋで置換された点が異なる。
　図１３に示すように、容器本体１０Ｋにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｋと、蓋体２０Ｋにおける第１部位１１０Ｋに対向する第２部位２１０Ｋとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｋを形成する。ラビリンスシール構造７０Ｋは、第１部位１１０Ｋの表面１０１Ｋ及び第２部位２１０Ｋの表面２１１Ｋにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｋは、第２部位２１０Ｋに向かって突出するリブ１２０Ｋを有する。また、第２部位２１０Ｋは、第１部位１１０Ｋに向かって突出するリブ群７１０Ｋを有する。図１３では、リブ群７１０Ｋは、２本のリブ７１０Ｋ－１、７１０Ｋ－２を有するが、リブの本数は任意である。リブ１２０Ｋは、インサート部材によって形成され、蓋体本体１０Ｋにインサートされている。
　リブ１２０Ｋは、先端が外周側のリブ７１０Ｋ－１、７１０Ｋ－２にそれぞれ向かうように突形状Ｋ－１、Ｋ－２を有する。リブ１２０Ｋの材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性体を用いることもできる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。また、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤などが適宜添加されてもよい。
　リブ１２０Ｋ及び７１０Ｋ－１、７１０Ｋ－２は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。図１３に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。図１３の形態は、リブ１２０Ｋが２つの突形状Ｋ－１，Ｋ－２を有するため２つの狭い流路を設けるのに狭いＸ方向の寸法で実現できる効果がある。またリブ１２０Ｋを弾性体でインサート成形すると寸法誤差の許容範囲が大きくできることから効果的である。なお、蓋体本体２１Ｋ側の第２部位２１０Ｋの形状と容器本体１０Ｋ側の第１部位１１０Ｋの形状を逆にしてもよい。
　図１４は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｌを示す概略的な断面図である。　図１４に示す例は、図５に示した例に対して、容器本体１０Ｃが容器本体１０Ｌで置換され、かつ、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｌで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｌは、図５に示した容器本体１０Ｃに対して、第１部位１１０Ｃが第１部位１１０Ｌで置換された点が異なる。蓋体２０Ｌは、図５に示した蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１Ｃが蓋部本体２１Ｌで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｌは、図５に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０Ｃが第２部位２１０Ｌで置換された点が異なる。
　図１４に示すように、容器本体１０Ｌにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｌと、蓋体２０Ｌにおける第１部位１１０Ｌに対向する第２部位２１０Ｌとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｌを形成する。ラビリンスシール構造７０Ｌは、第１部位１１０Ｌの表面１０１Ｌ及び第２部位２１０Ｌの表面２１１Ｌにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｌは、第２部位２１０Ｌに向かって突出するリブ群１２０Ｌを有する。図１４では、リブ群１２０Ｌは、リブ１２０Ｌ－１、１２０Ｌ－２を有するが、リブの本数は任意である。また、第２部位２１０Ｌは、第１部位１１０Ｌに向かって突出するリブ群７１０Ｌを有する。図１４では、リブ群７１０Ｌは、２本のリブ７１０Ｌ－１、７１０Ｌ－２を有するが、リブの本数は任意である。
　リブ１２０Ｌ－１、１２０Ｌ－２は、インサート部材によって形成され、蓋体本体１０Ｌにインサートされている。２本のリブ１２０Ｌ－１、１２０Ｌ－２は、先端が外周側のリブ７１０Ｌ－１、７１０Ｌ－２にそれぞれ向かうように突形状Ｌ－１、Ｌ－２を有する。
　リブ１２０Ｌ－１、１２０Ｌ－２は、ポリカーボネートや、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン等のような樹脂材料により形成される。
　リブ１２０Ｌ－１、１２０Ｌ－２及び７１０Ｌ－１、７１０Ｌ－２は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。図１４に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。
　図１５は、他の一例によるラビリンスシール構造７０Ｍを示す概略的な断面図である。図１５に示す例では、上述した例と同じ構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する場合がある。図１５に示す例は、図５に示した例に対して、容器本体１０Ｃが容器本体１０Ｍで置換され、かつ、蓋体２０Ｃが蓋体２０Ｍで置換された点が異なる。
　容器本体１０Ｍは、図５に示した容器本体１０Ｃに対して、第１部位１１０Ｃが第１部位１１０Ｍで置換された点が異なる。蓋体２０Ｍは、図５に示した蓋体２０Ｃに対して、蓋部本体２１Ｃが蓋部本体２１Ｍで置換された点が異なる。蓋部本体２１Ｍは、図５に示した蓋部本体２１Ｃに対して、第２部位２１０Ｃが第２部位２１０Ｍで置換された点が異なる。
　図１５に示すように、容器本体１０Ｍにおける開口１１まわりの第１部位１１０Ｍと、蓋体２０Ｍにおける第１部位１１０Ｍに対向する第２部位２１０Ｍとは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造７０Ｍを形成する。ラビリンスシール構造７０Ｍは、第１部位１１０Ｍの表面１０１Ｍ及び第２部位２１０Ｍの表面２１１Ｍにより形成される。
　具体的には、第１部位１１０Ｍは、第２部位２１０Ｍに向かって突出するリブ群１２０Ｍを有する。図１５では、リブ群１２０Ｍは、リブ１２０Ｍ－１、１２０Ｍ－２を有するが、リブの本数は任意である。また、第２部位２１０Ｍは、第１部位１１０Ｍに向かって突出するリブ７１０Ｍを有する。リブ１２０Ｍ－１、１２０Ｍ－２は、インサート部材によって形成され、蓋体本体１０Ｍにインサートされている。
　２本のリブ１２０Ｍ－１、１２０Ｍ－２は、リブ７１０Ｍにそれぞれ向かうように突形状Ｍ－１、Ｍ－２を有する。リブ１２０Ｍ－１、１２０Ｍ－２は、ポリカーボネートや、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン等のような樹脂材料により形成される。
　リブ１２０Ｍ－１、１２０Ｍ－２及び７１０Ｍは、開口１１まわりの全周にわたり形成される。図１５に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。なお、蓋体本体２１Ｋ側の第２部位２１０Ｋの形状と容器本体１０Ｋ側の第１部位１１０Ｋの形状を逆にしてもよい。
　図１３、図１４及び図１５に示した第２部位２１０Ｋ、２１０Ｌ及び２１０Ｍは、ポリプロピレンの他、ポリエーテルケトンや、ポリブチレンテレフタレートやポリアセタール等のような、摺動性が高い樹脂材料により形成される。なお、蓋体２０Ｋ、２０Ｌ及び２０Ｍに低吸湿性が求められる場合であっても、第２部位２１０Ｋ、２１０Ｌ及び２１０Ｍは、蓋体２０Ｋ、２０Ｌ及び２０Ｍの比較的小さい部位であることから、低吸湿性でない材料により形成されてもよい。
　また、第２部位２１０Ｋ、２１０Ｌ及び２１０Ｍの材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性体を用いることもできる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。また、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤などが適宜添加されてもよい。
　上記各実施形態において、容器本体は大型部材のため、細かい複雑な構造や別部材をインサート成形する場合は、容器本体側ではなく、蓋体側に設けるほうが精度がよくなる。したがって、複雑な構造又は形状は蓋体側に設けるのが好ましい。
　以上、各実施例について詳述したが、特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施例の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。
１　基板収納容器
１０　容器本体
１０Ｃ　容器本体
１１　開口
１２　シール面
１３　支持体
１４　ロボティックフランジ
１５　マニュアルハンドル
１８　給気弁
１９　排気弁
２０　蓋体
２１　蓋部本体
２６　施錠機構
２７　プレート
３０　フロントリテーナ
７０Ａ　ラビリンスシール構造
１０１　表面
１０２　表面
１１０　第１部位
２１０　第２部位
２１１　表面
２１２　表面
７０１　狭小部
７０２　拡大部
７１０　リブ群
Ａ－Ａ　ライン
Ｐ０　内部
Ｐ１　外部
Ｗ　基板
δ１　隙間
δ２　隙間

Claims (8)

  1. 　基板を収納する容器本体と、
    　前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
    　前記容器本体における前記開口まわりの第１部位と、前記蓋体における前記第１部位に対向する第２部位とは、少なくとも一部が非接触であり、協動してラビリンスシール構造を形成する、基板収納容器。
  2. 　前記ラビリンスシール構造は、前記開口まわりの全周にわたり形成される、請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記第１部位及び前記第２部位は、前記容器本体に収納されるときの基板の表面に略平行な第１方向で、対向し合う第１表面を有し、
    　前記ラビリンスシール構造は、前記第１部位の前記第１表面及び前記第２部位の前記第１表面により形成される、請求項１に記載の基板収納容器。
  4. 　前記第１部位及び前記第２部位のうちの少なくとも一方は、前記開口まわりの全周にわたり、前記第１部位及び前記第２部位のうちの他方に向かって突出するリブであって、前記ラビリンスシール構造を形成するリブを有する、請求項１に記載の基板収納容器。
  5. 　前記リブは、２本以上形成される、請求項４に記載の基板収納容器。
  6. 　前記リブは、高低差が１０ｍｍ以内である、請求項４又は５に記載の基板収納容器。
  7. 　前記第２部位は、前記蓋体の本体の材料とは異なる材料により形成される、請求項１～６のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
  8. 　前記第２部位は、前記蓋体の本体とは別体であり、前記蓋体の本体に取り付けられる、請求項７に記載の基板収納容器。
PCT/JP2019/016468 2018-04-19 2019-04-17 基板収納容器 WO2019203270A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020514413A JP7283843B2 (ja) 2018-04-19 2019-04-17 基板収納容器
US17/048,094 US11450543B2 (en) 2018-04-19 2019-04-17 Substrate storage container
KR1020207032203A KR20200142540A (ko) 2018-04-19 2019-04-17 기판 수납 용기
CN201980026613.3A CN112005358A (zh) 2018-04-19 2019-04-17 基板收纳容器

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018-080505 2018-04-19
JP2018080505 2018-04-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019203270A1 true WO2019203270A1 (ja) 2019-10-24

Family

ID=68239663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2019/016468 WO2019203270A1 (ja) 2018-04-19 2019-04-17 基板収納容器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11450543B2 (ja)
JP (1) JP7283843B2 (ja)
KR (1) KR20200142540A (ja)
CN (1) CN112005358A (ja)
TW (1) TWI781316B (ja)
WO (1) WO2019203270A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021211480A1 (en) * 2020-04-17 2021-10-21 Kla Corporation Mini-environment system for controlling oxygen and humidity levels within a sample transport device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111170613A (zh) * 2020-01-15 2020-05-19 重庆工业职业技术学院 养殖粪便快速脱水机

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62193259A (ja) * 1986-02-20 1987-08-25 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> カセツト搬送ケ−ス
JPS63318738A (ja) * 1987-06-15 1988-12-27 コンバツク　ゲーエムベーハー 半導体素子の製造用ウエーハの処理装置
JPH09252048A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Fujitsu Ltd 保管装置およびシール材
JP2002357271A (ja) * 2001-05-31 2002-12-13 Sony Corp 密閉部材及び半導体収納容器
JP2013021118A (ja) * 2011-07-11 2013-01-31 Toshiba Corp ウェハ搬送容器保護ケース
WO2013157462A1 (ja) * 2012-04-16 2013-10-24 ローツェ株式会社 収納容器、収納容器のシャッター開閉ユニット、及びこれらを用いたウエハストッカー

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63178958A (ja) * 1986-12-27 1988-07-23 キヤノン株式会社 防塵容器
CA1333987C (en) * 1989-02-08 1995-01-17 Jean Archambault Gasketless door for dishwashers
US5046615A (en) * 1989-04-03 1991-09-10 Fluoroware, Inc. Disk shipper
JP3089590B2 (ja) * 1991-07-12 2000-09-18 キヤノン株式会社 板状物収納容器およびその蓋開口装置
JP3556185B2 (ja) 2000-06-13 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 シール部材、密封容器及びそのシール方法
JP4667140B2 (ja) * 2005-06-30 2011-04-06 キヤノン株式会社 露光装置およびデバイス製造方法
JP4916258B2 (ja) 2006-09-08 2012-04-11 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2012127386A (ja) * 2010-12-14 2012-07-05 Canon Anelva Corp 真空容器
WO2017006406A1 (ja) 2015-07-03 2017-01-12 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR101695125B1 (ko) * 2016-01-11 2017-01-10 두산중공업 주식회사 터빈의 다단 실링 구조

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62193259A (ja) * 1986-02-20 1987-08-25 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> カセツト搬送ケ−ス
JPS63318738A (ja) * 1987-06-15 1988-12-27 コンバツク　ゲーエムベーハー 半導体素子の製造用ウエーハの処理装置
JPH09252048A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Fujitsu Ltd 保管装置およびシール材
JP2002357271A (ja) * 2001-05-31 2002-12-13 Sony Corp 密閉部材及び半導体収納容器
JP2013021118A (ja) * 2011-07-11 2013-01-31 Toshiba Corp ウェハ搬送容器保護ケース
WO2013157462A1 (ja) * 2012-04-16 2013-10-24 ローツェ株式会社 収納容器、収納容器のシャッター開閉ユニット、及びこれらを用いたウエハストッカー

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021211480A1 (en) * 2020-04-17 2021-10-21 Kla Corporation Mini-environment system for controlling oxygen and humidity levels within a sample transport device

Also Published As

Publication number Publication date
TW201943984A (zh) 2019-11-16
CN112005358A (zh) 2020-11-27
US11450543B2 (en) 2022-09-20
JP7283843B2 (ja) 2023-05-30
US20210159104A1 (en) 2021-05-27
TWI781316B (zh) 2022-10-21
JPWO2019203270A1 (ja) 2021-05-13
KR20200142540A (ko) 2020-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019203270A1 (ja) 基板収納容器
US11211275B2 (en) Substrate storage container
JP7069475B2 (ja) 基板収納容器及びその製造方法
JP6539355B2 (ja) 基板収納容器
WO2019187982A1 (ja) 基板収納容器
JP2010129765A (ja) 精密基板収納容器
JP2011138863A (ja) 基板収納容器
KR102484514B1 (ko) 기판 수납 용기
JP7073599B2 (ja) 基板収納容器
JP6491590B2 (ja) 基板収納容器
JP6870513B2 (ja) 基板収納容器

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 19788474

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2020514413

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20207032203

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 19788474

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1