JP7069475B2 - 基板収納容器及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、機能部材をインサート成形した基板収納容器及びその製造方法に関する。
基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、を備えた基板収納容器において、容器本体などと異なる材料を用いて、摺動性や耐摩耗性などの機能を向上させた機能部材、例えば、基板収納容器を搬送する搬送装置又は基板を加工する加工装置の位置決め手段に位置決めされる装置位置決め部材を設けることがある。この機能部材は、インサート成形により、容器本体などに一体成形されている（特許文献１及び特許文献２参照）。
インサート成形では、成形時の加熱又は成形後の除熱などにより、装置位置決め部材４Ｒの取付部４１Ｒに収縮が起こり、ひけや凹凸が発生し、寸法や位置の精度が悪化したり、インサート成形した機能部材が変形することがあった（図１０参照）。
そこで、特許文献１には、成形樹脂が流れ込む溝部を機能部材に形成し、収縮時の応力を緩和させることが記載されている。また、特許文献２には、縦又は横方向の密着強化リブを機能部材に形成し、容器本体との密着度を高めることが記載されている。
国際公開第２００６／１２０８６６号 特開２００２－２９９４２８号公報
しかしながら、特許文献２には、密着強化リブについて、具体的な形状や寸法が記載されておらず、機能部材の種類（形状・寸法）に応じて、実際に試作し、密着強化リブを設計する必要があった。
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、インサート成形される機能部材の変形を抑制できる基板収納容器及びその製造方法を提供することを目的とする。
（１）本発明に係る一つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体又は前記蓋体に対してインサート成形により一体化される機能部材と、を備える基板収納容器であって、前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体の壁部材の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部、及び前記厚肉部から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部を有する取付部と、前記取付部に連結される本体部と、を含み、前記厚肉部の一面が、前記壁部材の内面と面一となるように、前記容器本体又は前記蓋体に配置されている基板収納容器を提供する。
（２）上記（１）の態様において、前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、傾斜した傾斜面を有する鋭角な形状であってもよい。
（３）上記（１）の態様において、前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、肉厚方向に直交する方向に対して２０°以上傾斜した傾斜面と、肉厚方向の頂面とを有する薄肉形状であってもよい。
（４）上記（１）の態様において、前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、肉厚方向に直交する方向に向かって突出する凸部であってもよい。
（５）上記（１）から（４）までのいずれか一つの態様において、前記薄肉部は、前記厚肉部の外縁における肉厚方向の段差面を介して、前記厚肉部の外縁に設けられてもよい。
（６）上記（５）の態様において、前記薄肉部は、前記段差面から肉厚方向に直交する方向における先端までの突出量が２．００ｍｍ以下であってもよい。
（７）上記（１）から（６）までのいずれか一つの態様において、前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体を形成する材料と摩擦係数が異なる材料で形成されてもよい。
（８）上記（１）から（７）までのいずれか一つの態様において、前記機能部材は、前記開口を正面とした場合、前記容器本体の外側に形成されるとともに、加工装置又は搬送装置の位置決め手段に位置決めされる装置位置決め部であってもよい。
（９）上記（８）の態様において、前記装置位置決め部は、前記容器本体又は前記蓋体に位置する一方側が前記取付部となるブロック形状に形成であり、他方側に前記位置決め手段を位置決めする位置決め溝が形成されており、前記一方側と前記他方側とまでの間の周面に複数のリブが形成されてもよい。
（１０）本発明に係る別の態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体又は前記蓋体に対してインサート成形により一体化される機能部材と、を備える基板収納容器の製造方法であって、前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体の壁部材の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部、及び前記厚肉部から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部を有する取付部と、前記取付部に連結される本体部と、を含み、前記機能部材を、前記取付部の一面が前記容器本体又は前記蓋体の内面と面一となるように、前記容器本体又は前記蓋体にインサート成形するものである。
本発明によれば、インサート成形される機能部材の変形を抑制できる基板収納容器及びその製造方法を提供することができる。
第１実施形態に係る基板収納容器を示す分解概略斜視図である。 基板収納容器の底面図である。 基板収納容器の位置決めの様子を表す概略図である。 （ａ）装置位置決め部付近を示す断面斜視図、（ｂ）装置位置決め部材を示す斜視図である。 （ａ）装置位置決め部材を示す断面図、（ｂ）薄肉部を示す斜視図である。 インサート成形の様子を示す概略図である。 変形例１の（ａ）装置位置決め部材を示す断面図、（ｂ）薄肉部を示す断面斜視図である。 変形例２の（ａ）装置位置決め部材を示す断面図、（ｂ）薄肉部を示す断面斜視図である。 他の機能部材を示す概略図である。 従来の装置位置決め部材において、インサート成形により、（ａ）応力が作用した場合その１、（ｂ）応力が作用した場合その２、を示す概略図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材、部には同一の符号を付している。
図１は、基板収納容器１を示す分解概略斜視図である。図２は、基板収納容器１の底面図である。図３は、基板収納容器１の位置決めの様子を示す概略図である。
図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０とを備えている。
容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。容器本体１０は、開口１１が上面に形成されたボトムオープン型であってもよい。ただし、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗは、容器本体１０への挿入操作の行い易さから、フロントオープン型が好ましい。
容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。
また、容器本体１０の内部の後方側（背面壁）には、リアリテーナが配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようなリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に「く」字状の基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。リアリテーナにも、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。リアリテーナの材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形などにより設けられている。
基板Ｗは、フロントリテーナと支持体１３とに支持されて容器本体１０に収納されるが、フロントリテーナとリアリテーナとに支持されて容器本体１０に収納されてもよい。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが、特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。
容器本体１０の天板の中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、清浄な状態で基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置１００に搬送される。
容器本体１０の開口１１の内周縁には、係止穴（図示なし）が形成されている。蓋体２０は、パッキン３０を介して容器本体１０に押し付けた状態で、容器本体１０に係止される。また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。
また、容器本体１０の底板１８の外部には、加工装置１００又は搬送装置２００の位置決め手段である位置決めピン１１０，２１０に位置決めされる装置位置決め部４０が形成されているが（図３参照）、装置位置決め部４０の詳細については後述する。なお、底板１８の略中央部には、加工装置１００への固定時に使用されるクランピングフィーチャ５０も形成されている（図２参照）。
一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。なお、蓋体２０には、基板収納容器１の内部と基板収納容器１の外部とを連通する小型の通気用のフィルタ（図示なし）が設けられている。
このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられてもよい。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。
そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい突出部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この突出部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたとき、開口１１の段差部より奥に入り込む。
容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー等の熱可塑性樹脂があげられ、これらの熱可塑性樹脂には、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤等が適宜添加されてもよい。
つぎに、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。
パッキン３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。
パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマー等からなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴム等の弾性体を用いることができる。この材料には、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤等が適宜添加される。また、表面の固着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等からなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。
ここで、装置位置決め部４０について詳細に説明する。
図４（ａ）は、装置位置決め部４０付近を示す断面斜視図であり、図４（ｂ）は、装置位置決め部材４を示す斜視図である。図５（ａ）は、装置位置決め部材４を示す断面図であり、図５（ｂ）は、薄肉部４１０を示す斜視図である。図６は、インサート成形の様子を示す概略図である。
装置位置決め部４０は、底面視において略トラック形状を有しており、その長手方向を底板１８のクランピングフィーチャ５０に向けて、略同一円周上に等間隔で底板１８に３か所配置されている（図２参照）。
装置位置決め部４０は、機能部材である装置位置決め部材４が、容器本体１０に対してインサート成形により一体化されることで設けられている。装置位置決め部４０は、加工装置１００又は搬送装置２００の位置決めピン１１０，２１０に接触する。
装置位置決め部材４は、容器本体１０の底板１８（壁部材）の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部４１３を有する取付部４１と、取付部４１に連結される本体部４２と、を含み、取付部４１の一面４２０が容器本体１０の底板１８の内面１９と面一となるように、容器本体１０のインサート位置に配置されている（図４参照）。なお、取付部４１の詳細については後述する。
また、本実施形態では、装置位置決め部材４を構成する取付部４１と本体部４２とは、一体成形されているが、別体成形されてもよい。
本体部４２は、加工装置１００又は搬送装置２００の位置決めピン１１０，２１０に接触する位置決め溝４３と、複数のリブ４５と、複数のリブ４５によって区画された複数の凹部４４と、を含む。
位置決め溝４３は、後述する縦メインリブ４５１を介して取付部４１に連結されるように、装置位置決め部４０の長手方向に沿って２つ並んで形成されている。例えば、搬送装置２００から加工装置１００に基板収納容器１を受け渡す際に、一方の位置決め溝４３に加工装置１００の位置決めピン１１０が接触し、他方の位置決め溝４３に搬送装置２００の位置決めピン２１０が接触して位置決めを行う。
複数のリブ４５は、取付部４１と位置決め溝４３とを連結する１つの縦メインリブ４５１と、縦メインリブ４５１に直交するように、位置決め溝４３に連結される１つの横リブ４５２と、取付部４１と横リブ４５２とを連結する２つの縦サブリブ４５３と、を有している。なお、２つの縦サブリブ４５３は、縦メインリブ４５１及び横リブ４５２に直交するように、１つの縦メインリブ４５１に連結されている。
このように、装置位置決め部材４は、容器本体１０側に位置する一方側が取付部４１となるブロック形状に形成されており、他方側の他方面に位置決めピン１１０，２１０を位置決めする位置決め溝４３が形成されている。そして、装置位置決め部材４の一方側と他方側とまでの間の周面に複数の凹部４４が形成されており、凹部４４同士の間にリブ４５が形成されている。
つぎに、取付部４１の説明に戻る。図４及び図５に示すように、取付部４１は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、厚肉部４１３の外縁に亘って厚肉部４１３と一体に設けられる薄肉部４１０を更に有している。
この実施形態では、薄肉部４１０は、外縁に向かうに従って肉厚が連続的に薄くなるように、傾斜した傾斜面４１００を有する鋭角な形状である。詳細には、薄肉部４１０は、外縁に向かうに従って肉厚が連続的に薄くなるように、厚肉部４１３の外縁の一面４２０及び一面４２０と対向する他面４３０からそれぞれ傾斜した傾斜面４１００を有する鋭角な形状である。なお、傾斜面４１００は、肉厚方向に直交する方向に対して２０°以上傾斜したものが好ましい。
例えば、鋭角な形状の一例として、厚肉部４１３の厚み３．６５ｍｍ、取付部４１の一面４２０から肉厚方向における薄肉部４１０の先端までの距離ｄが１．７３ｍｍ、傾斜面４１００の傾斜角度θが６７．５°である。この場合、厚肉部４１３の外縁から肉厚方向に直交する方向における薄肉部４１０の先端までの突出量Ｌは、４．１８ｍｍである。
装置位置決め部４０は、容器本体１０を形成する材料と異なる材料で形成されてもよい。装置位置決め部４０を構成する装置位置決め部材４の材料としては、加工装置１００又は搬送装置２００に設けられた位置決めピン１１０，２１０が、当接しながら摺動するため、容器本体１０の材料よりも位置決めピン１１０，２１０に対する摩擦係数が低く、かつ、硬い材料で形成されているのが好ましい。例えば、ポリテトラフルオロエチレン、カーボンファイバー材、その他の摺動材を入れたポリカーボネート、ポリカーボネート、環状オレフィンポリマー（シクロオレフィンポリマー）などの非結晶性樹脂を用いるとよい。
ここで、装置位置決め部材４の取付部４１は、容器本体１０の材料と同一の材料、又は、容器本体１０と溶着可能な材料から形成されているのが好ましく、例えば、取付部４１にポリカーボネート、環状オレフィンポリマー等の非結晶性樹脂を用い、本体部４２をポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート等の結晶性樹脂で形成する２色成形を行ってもよい。
位置決めピン１１０，２１０の材料は、特定に限定されないが、摩擦による摩擦粉等の発生を抑えるためにＳＵＳ鋼が用いられるのが好ましい。
図４及び図６において、基板収納容器１の製造方法は、容器本体１０の底板１８の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部４１３、及び厚肉部４１３から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部４１０を有する取付部４１と、取付部４１に連結される本体部４２と、を含む装置位置決め部材４を複数形成する工程と、装置位置決め部材４を取付部４１の一面４２０が容器本体１０の内面１９と面一となるとともに、取付部４１の他面４３０が、装置位置決め部材４のインサート成形に用いられる一方の金型としてのキャビティブロックＭ１の上面に当接する（重なる）ように、容器本体１０のインサート位置に配置する工程と、取付部４１の一面４２０がキャビティブロックＭ１に対応する他方の金型としてのコアブロックＭ２の下面に当接する（重なる）ように、キャビティブロックＭ１とコアブロックＭ２とを合わせて、２次樹脂Ｒを注入して、装置位置決め部材４と２次樹脂Ｒとを固着するようにインサート成形して容器本体１０を成形する工程とを含む。図６中の矢印は、２次樹脂Ｒが注入される方向を示している。
図６において、本実施形態によれば、装置位置決め部材４をインサート成形するときに、２次樹脂Ｒが収縮する際に取付部４１に加わる図中矢印で示した応力が、取付部４１の薄肉部４１０が外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる溶融しやすい形状であるので緩和される。そのため、インサート成形される装置位置決め部材４の変形を抑制できる基板収納容器１を提供することができる。
また、装置位置決め部材４が、摩擦係数が低い摺動性の良い材料で形成されているので、位置決めピン１１０，２１０が摺動しやすくなり、位置決めピン１１０，２１０が装置位置決め部４０の所定に位置に誘導されやすくなる。そのため、基板収納容器１の加工装置１００又は搬送装置２００に対する位置決めを高精度で行える基板収納容器１を提供することができる。
さらに、装置位置決め部材４の一方側と他方側とまでの間の周面に複数の凹部４４が形成されており、凹部４４同士の間にリブ４５が形成されているので樹脂量が少なく、装置位置決め部材４の成形の際にひけが生じにくい。また、リブ４５によって機械強度も確保できる。
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
（変形例１）
ここで、変形例１の装置位置決め部材４Ａについて説明する。
図７（ａ）は、変形例１の装置位置決め部材４Ａを示す断面図であり、図７（ｂ）は、薄肉部４１１を示す断面斜視図である。
変形例１では、装置位置決め部材４Ａの薄肉部４１１は、図７に示すように、外縁に向かうに従って肉厚が連続的に薄くなるように、肉厚方向に直交する方向に対して２０°以上傾斜した傾斜面４１１１と、肉厚方向に沿った頂面４１１２とを有する薄肉形状である。また、薄肉部４１１は、厚肉部４１３の外縁における肉厚方向に沿った段差面４４０を介して、厚肉部４１３の外縁に亘って設けられている。
なお、段差面４４０から肉厚方向に直交する方向における頂面４１１２までの薄肉部４１１の突出量Ｌ１は、２．００ｍｍ以下であることが好ましい。さらに、段差面４４０から肉厚方向に直交する方向における頂面４１１２までの薄肉部４１１の突出量Ｌ１は、１．７０ｍｍ以下であることがより好ましい。
変形例１によれば、上記実施形態の効果に加え、上記実施形態と比較して肉厚方向に直交する方向における薄肉部４１１の突出量Ｌが少なく、溶ける樹脂の量が少ないので、端面の溶融樹脂の広がりを抑えることができ、外観の不良を減らせることができる。また、薄肉部４１１は、段差面４４０を介して厚肉部４１３の外縁に亘って設けられているので、端面の溶融樹脂の広がりを更に抑えることができ、外観の不良をより減らせることができる。
（変形例２）
ここで、変形例２の装置位置決め部材４Ｂについて説明する。
図８（ａ）は、変形例２の装置位置決め部材４Ｂを示す断面図であり、図８（ｂ）は、薄肉部４１２を示す断面斜視図である。
変形例２では、装置位置決め部材４Ｂの薄肉部４１２は、図８に示すように、外縁に向かうに従って肉厚が連続的に薄くなるように、肉厚方向に直交する方向に向かって突出する半円形状の凸部４１２１である。また、薄肉部４１２は、上記変形例１と同様に、厚肉部４１３の外縁における肉厚方向に沿った段差面４４０を介して、厚肉部４１３の外縁に亘って設けられている。なお、凸部４１２１は、半円形状に限らず、例えば鋭角な形状であってもよい。
段差面４４０から肉厚方向に直交する方向における凸部４１２１の先端までの薄肉部４１２の突出量Ｌ２は、２．００ｍｍ以下であることが好ましい。さらに、段差面４４０から肉厚方向に直交する方向における凸部４１２１の先端までの薄肉部４１２の突出量Ｌ２は、１．７０ｍｍ以下であることがより好ましい。
変形例２によれば、上記変形例１と同様の効果を得ることができる。
上記実施形態において、機能部材としての装置位置決め部材４は、容器本体１０の底板１８にインサート成形されたが、容器本体１０を構成する他の壁部材、例えば、左右側壁や背面壁や天板などにインサート成形されてもよく、あるいは、蓋体２０にインサート成形されてもよい。
また、機能部材としては、例えば、図９に示すように、支持体１３、リアリテーナ１３Ａ、クランピングフィーチャ５０などが挙げられる。なお、リアリテーナ１３Ａの場合は、変形例２で示した薄肉部４１２の形状が好ましい。
また、機能部材は、支持体１３又はリアリテーナ１３Ａである場合、その摩擦係数が、容器本体１０又は蓋体２０を形成する材料の基板Ｗに対する摩擦係数よりも高いのが好ましい。
さらに、上記実施形態及び上記変形例１，２において、薄肉部４１０，４１１，４１２は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるような形状であれば、実施形態及び変形例に示した形状に特に限定されない。
１ 基板収納容器
４，４Ａ，４Ｂ 装置位置決め部材（機能部材）
１０ 容器本体、１１ 開口、１２ シール面、１３ 支持体、１３Ａ リアリテーナ、１４ ロボティックフランジ、１５ マニュアルハンドル、１８ 底板（壁部材）、１９ 内面
２０ 蓋体、２１ 取付溝、２２ 突出部
３０ パッキン
４０ 装置位置決め部、４１ 取付部、４２ 本体部、４３ 位置決め溝、４４ 凹部、４５ リブ、４１０，４１１，４１２ 薄肉部、４１３ 厚肉部、４２０ 一面、４３０ 他面、４４０ 段差面、４５１ 縦メインリブ、４５２ 横リブ、４５３ 縦サブリブ、４１００，４１１１ 傾斜面、４１１２ 頂面、４１２１ 凸部
５０ クランピングフィーチャ
１００ 加工装置、１１０ 位置決めピン
２００ 搬送装置、２１０ 位置決めピン
ｄ 距離
Ｌ，Ｌ１，Ｌ２ 突出量
Ｍ１ キャビティブロック
Ｍ２ コアブロック
Ｒ ２次樹脂
Ｗ 基板
θ 傾斜角度

Claims (11)

  1. 基板を収納する容器本体と、
    前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
    前記容器本体又は前記蓋体に対してインサート成形により一体化される機能部材と、を備える基板収納容器であって、
    前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体の壁部材の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部、及び前記厚肉部から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部を有する取付部と、前記取付部に連結される本体部と、を含み、
    前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、傾斜した傾斜面を有する鋭角な形状であり、
    前記厚肉部の一面が、前記壁部材の内面と面一となるように、前記容器本体又は前記蓋体に配置されている
    ことを特徴とする基板収納容器。
  2. 基板を収納する容器本体と、
    前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
    前記容器本体又は前記蓋体に対してインサート成形により一体化される機能部材と、を備える基板収納容器であって、
    前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体の壁部材の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部、及び前記厚肉部から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部を有する取付部と、前記取付部に連結される本体部と、を含み、
    前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、肉厚方向に直交する方向に対して２０°以上傾斜した傾斜面と、前記薄肉部の外縁に設けられる肉厚方向に沿った頂面とを有する薄肉形状であり、
    前記厚肉部の一面が、前記壁部材の内面と面一となるように、前記容器本体又は前記蓋体に配置されている
    ことを特徴とする基板収納容器。
  3. 基板を収納する容器本体と、
    前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
    前記容器本体又は前記蓋体に対してインサート成形により一体化される機能部材と、を備える基板収納容器であって、
    前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体の壁部材の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部、及び前記厚肉部から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部を有する取付部と、前記取付部に連結される本体部と、を含み、
    前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、肉厚方向に直交する方向に向かって突出する断面半円形状の凸部であり、
    前記厚肉部の一面が、前記壁部材の内面と面一となるように、前記容器本体又は前記蓋体に配置されている
    ことを特徴とする基板収納容器。
  4. 前記薄肉部は、前記厚肉部の外縁における肉厚方向に沿った段差面を介して、前記厚肉部の外縁に設けられている
    ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
  5. 前記薄肉部は、前記段差面から肉厚方向に直交する方向における先端までの突出量が２．００ｍｍ以下である
    ことを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
  6. 前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体を形成する材料と摩擦係数が異なる材料で形成されている
    ことを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
  7. 前記機能部材は、前記開口を正面とした場合、前記容器本体の外側に形成されるとともに、加工装置又は搬送装置の位置決め手段に位置決めされる装置位置決め部である
    ことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
  8. 前記装置位置決め部は、前記容器本体又は前記蓋体に位置する一方側が前記取付部となるブロック形状であり、他方側に前記位置決め手段を位置決めする位置決め溝が形成されており、
    前記一方側と前記他方側とまでの間の周面に複数のリブが形成されている
    ことを特徴とする請求項７に記載の基板収納容器。
  9. 基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体又は前記蓋体に対してインサート成形により一体化される機能部材と、を備える基板収納容器の製造方法であって、
    前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体の壁部材の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部、及び前記厚肉部から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部を有する取付部と、前記取付部に連結される本体部と、を含み、
    前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、傾斜した傾斜面を有する鋭角な形状であり、
    前記機能部材を、前記取付部の一面が前記容器本体又は前記蓋体の内面と面一となるように、前記容器本体又は前記蓋体にインサート成形する
    ことを特徴とする基板収納容器の製造方法。
  10. 基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体又は前記蓋体に対してインサート成形により一体化される機能部材と、を備える基板収納容器の製造方法であって、
    前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体の壁部材の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部、及び前記厚肉部から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部を有する取付部と、前記取付部に連結される本体部と、を含み、
    前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、肉厚方向に直交する方向に対して２０°以上傾斜した傾斜面と、前記薄肉部の外縁に設けられる肉厚方向に沿った頂面とを有する薄肉形状であり、
    前記機能部材を、前記取付部の一面が前記容器本体又は前記蓋体の内面と面一となるように、前記容器本体又は前記蓋体にインサート成形する
    ことを特徴とする基板収納容器の製造方法。
  11. 基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体又は前記蓋体に対してインサート成形により一体化される機能部材と、を備える基板収納容器の製造方法であって、
    前記機能部材は、前記容器本体又は前記蓋体の壁部材の肉厚と等しい肉厚で形成される厚肉部、及び前記厚肉部から外縁に向かうに従って肉厚が薄くなる薄肉部を有する取付部と、前記取付部に連結される本体部と、を含み、
    前記薄肉部は、外縁に向かうに従って肉厚が薄くなるように、肉厚方向に直交する方向に向かって突出する断面半円形状の凸部であり、
    前記機能部材を、前記取付部の一面が前記容器本体又は前記蓋体の内面と面一となるように、前記容器本体又は前記蓋体にインサート成形する
    ことを特徴とする基板収納容器の製造方法。
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