JPH06208221A - ペリクルケース - Google Patents
ペリクルケースInfo
- Publication number
- JPH06208221A JPH06208221A JP304193A JP304193A JPH06208221A JP H06208221 A JPH06208221 A JP H06208221A JP 304193 A JP304193 A JP 304193A JP 304193 A JP304193 A JP 304193A JP H06208221 A JPH06208221 A JP H06208221A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- lower lid
- case
- adhesive
- reticle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レチクルを密閉状態で収納するペリクルに関
し、特にレチクルへのペリクルの貼付を簡単にするペリ
クルケースの提供を目的とする。 【構成】 ペリクル載置面13a にレチクルが載置される
下蓋13と、この下蓋13に冠着する上蓋12とでなるペリク
ルケースに関し、レチクルにペリクルを張り付ける接着
剤15b が殆ど接着しないように構成する。
し、特にレチクルへのペリクルの貼付を簡単にするペリ
クルケースの提供を目的とする。 【構成】 ペリクル載置面13a にレチクルが載置される
下蓋13と、この下蓋13に冠着する上蓋12とでなるペリク
ルケースに関し、レチクルにペリクルを張り付ける接着
剤15b が殆ど接着しないように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レチクル若しくはマス
ク（以降、単にレチクルと呼ぶ）を密閉状態で収納する
ペリクルケース、特にレチクルへのペリクルの貼付を簡
単にするペリクルケースに関する。
ク（以降、単にレチクルと呼ぶ）を密閉状態で収納する
ペリクルケース、特にレチクルへのペリクルの貼付を簡
単にするペリクルケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来のペリクルケースについて図
２及び図３を参照して説明する。図２は、従来のペリク
ルケースの説明図であって、図２(a) はペリクルの模式
的な側断面図、図２(b) は下蓋の模式的な側断面図、ま
た図３はレチクルへのペリクルの貼付方法を説明するた
めの模式的な側断面図である。
２及び図３を参照して説明する。図２は、従来のペリク
ルケースの説明図であって、図２(a) はペリクルの模式
的な側断面図、図２(b) は下蓋の模式的な側断面図、ま
た図３はレチクルへのペリクルの貼付方法を説明するた
めの模式的な側断面図である。
【０００３】従来のペリクルケースは、図２(a) で示す
ように、ペリクル15を載置するペリクル載置面11a を有
する下蓋11と、この下蓋11に冠着し、ペリクル載置面11
a に載置されるレチクル14への異物の付着を防止する上
蓋12とで構成されていた。
ように、ペリクル15を載置するペリクル載置面11a を有
する下蓋11と、この下蓋11に冠着し、ペリクル載置面11
a に載置されるレチクル14への異物の付着を防止する上
蓋12とで構成されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ペリクルケ
ースに収納されたペリクル15は、このペリクルケースか
ら取り出されて、図３で示すようにペリクル15のフレー
ム15a の背面に塗布されている接着剤15b を介してレチ
クル14に貼付されることとなる。
ースに収納されたペリクル15は、このペリクルケースか
ら取り出されて、図３で示すようにペリクル15のフレー
ム15a の背面に塗布されている接着剤15b を介してレチ
クル14に貼付されることとなる。
【０００５】ところが、従来のペリクルケースの下蓋11
は、上述の接着剤15b が良く接着する塩化ビニールで形
成されていた。したがって、図２(b) で示すように接着
剤15b を露出した状態のペリクル15を下蓋11のペリクル
載置面11a に載置すると、この接着剤15b がペリクル載
置面11a に確りと接着し、ペリクル載置面11a からのペ
リクル15の取り上げが不可能となってしまう。
は、上述の接着剤15b が良く接着する塩化ビニールで形
成されていた。したがって、図２(b) で示すように接着
剤15b を露出した状態のペリクル15を下蓋11のペリクル
載置面11a に載置すると、この接着剤15b がペリクル載
置面11a に確りと接着し、ペリクル載置面11a からのペ
リクル15の取り上げが不可能となってしまう。
【０００６】このようなことを避けるために、接着剤15
b が殆ど接着しない素材、たとえばポリテトラフロロエ
チレン (通称、テフロン) で形成したインナーシート15
c を接着剤15b の表面に軽く張り付けていた。
b が殆ど接着しない素材、たとえばポリテトラフロロエ
チレン (通称、テフロン) で形成したインナーシート15
c を接着剤15b の表面に軽く張り付けていた。
【０００７】しかし、このようなインナーシート15c を
接着剤15b の表面に張り付けておくと、レチクル14にペ
リクル15を貼付する際に、図３に示すようにインナーシ
ート15c を事前に剥ぎ取ることが不可欠であった。
接着剤15b の表面に張り付けておくと、レチクル14にペ
リクル15を貼付する際に、図３に示すようにインナーシ
ート15c を事前に剥ぎ取ることが不可欠であった。
【０００８】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的はペリクル15のフレ
ーム15a に塗布されている接着剤15b へのインナーシー
ト15c の張り付けを不要にするペリクルケースの提供に
ある。
になされたものであって、その目的はペリクル15のフレ
ーム15a に塗布されている接着剤15b へのインナーシー
ト15c の張り付けを不要にするペリクルケースの提供に
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１に示すように前記目
的は、レチクル14に接着剤15b を介して張り付けられる
ペリクル15を載置するペリクル載置面13a を有する下蓋
13と、この下蓋13に冠着してペリクル載置面13a に載置
されるレチクル14への異物の付着を防止する上蓋12とで
構成されるペリクルケースにおいて、下蓋13のペリクル
載置面13a が、接着剤15b と殆ど接着しない弗素系樹脂
により形成されていることを特徴とするペリクルケース
により達成される。
的は、レチクル14に接着剤15b を介して張り付けられる
ペリクル15を載置するペリクル載置面13a を有する下蓋
13と、この下蓋13に冠着してペリクル載置面13a に載置
されるレチクル14への異物の付着を防止する上蓋12とで
構成されるペリクルケースにおいて、下蓋13のペリクル
載置面13a が、接着剤15b と殆ど接着しない弗素系樹脂
により形成されていることを特徴とするペリクルケース
により達成される。
【００１０】
【作用】本発明のペリクルケースの下蓋13のペリクル載
置面13a は、ペリクル15の接着剤15b が殆ど接着するこ
とのできない弗素系樹脂、たとえばテフロンでもって形
成している。
置面13a は、ペリクル15の接着剤15b が殆ど接着するこ
とのできない弗素系樹脂、たとえばテフロンでもって形
成している。
【００１１】したがって、接着剤15b を露出させた状態
でペリクル15を下蓋13のペリクル載置面13a に載置して
も、ペリクル15は下蓋13から簡単に取り上げることがで
きるので、図２及び図３を参照して説明したインナーシ
ート15c は不要となる。
でペリクル15を下蓋13のペリクル載置面13a に載置して
も、ペリクル15は下蓋13から簡単に取り上げることがで
きるので、図２及び図３を参照して説明したインナーシ
ート15c は不要となる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例のペリクルケースに
ついて図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の
一実施例のペリクルケースの説明図であって、図１(a)
はペリクルの模式的な側断面図、図１(b) は下蓋の模式
的な側断面図である。
ついて図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の
一実施例のペリクルケースの説明図であって、図１(a)
はペリクルの模式的な側断面図、図１(b) は下蓋の模式
的な側断面図である。
【００１３】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。本発明の一実施例のペリクルケースは、図１(a)
で示すように上蓋12と下蓋13とで構成したものである。
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。本発明の一実施例のペリクルケースは、図１(a)
で示すように上蓋12と下蓋13とで構成したものである。
【００１４】この下蓋13は、図２を参照して説明した従
来のペリクルケースの下蓋11の素材を塩化ビニールから
テフロンに変更して形成したものであって、形状は従来
の下蓋11と同一である。
来のペリクルケースの下蓋11の素材を塩化ビニールから
テフロンに変更して形成したものであって、形状は従来
の下蓋11と同一である。
【００１５】したがって、接着剤15b を露出させた状態
でペリクル15を下蓋13のペリクル載置面13a に載置して
も、ペリクル15は下蓋13から簡単に取り上げることがで
きるので図２及び図３を参照して説明したインナーシー
ト15c は不要となる。
でペリクル15を下蓋13のペリクル載置面13a に載置して
も、ペリクル15は下蓋13から簡単に取り上げることがで
きるので図２及び図３を参照して説明したインナーシー
ト15c は不要となる。
【００１６】また、上述したように本発明の一実施例の
ペリクルケースの下蓋13は、従来の下蓋11の形状と同一
である。この結果、下蓋13に上蓋12を円滑に冠着するこ
とが可能であって、下蓋13のペリクル載置面13a に載置
されるペリクル15は、異物の付着から保護されることと
なる。
ペリクルケースの下蓋13は、従来の下蓋11の形状と同一
である。この結果、下蓋13に上蓋12を円滑に冠着するこ
とが可能であって、下蓋13のペリクル載置面13a に載置
されるペリクル15は、異物の付着から保護されることと
なる。
【００１７】なお、テフロンで構成した本発明の一実施
例の下蓋13は高価になるので、従来のペリクルケースの
下蓋11のペリクル載置面13a にテフロン塗料を塗布して
構成することも当然可能である。
例の下蓋13は高価になるので、従来のペリクルケースの
下蓋11のペリクル載置面13a にテフロン塗料を塗布して
構成することも当然可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ペリクル
の貼付を簡単にするペリクルケースの提供を可能にす
る。
の貼付を簡単にするペリクルケースの提供を可能にす
る。
【図１】は、本発明の一実施例のペリクルケースの説明
図
図
【図２】は、従来のペリクルケースの説明図
【図３】は、レチクルへのペリクルの貼付方法を説明す
るための模式的な側断面図
るための模式的な側断面図
11,13 は、下蓋 11a,13a は、ペリクル載置面 12は、上蓋 14は、レチクル 15は、ペリクル 15a は、フレーム 15b は、接着剤 15c は、インナーシート
Claims (1)
- 【請求項１】 マスク若しくはレチクル(14)に接着剤(1
5b) を介して張り付けられるペリクル(15)を載置するペ
リクル載置面(13a) を有する下蓋(13)と、この下蓋(13)
に冠着して前記ペリクル載置面(13a) に載置される前記
レチクル(14)への異物の付着を防止する上蓋(12)とで構
成されるペリクルケースにおいて、 前記下蓋(13)のペリクル載置面(13a) が、前記接着剤(1
5b) と殆ど接着しない弗素系樹脂により形成されている
ことを特徴とするペリクルケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP304193A JPH06208221A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ペリクルケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP304193A JPH06208221A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ペリクルケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06208221A true JPH06208221A (ja) | 1994-07-26 |
Family
ID=11546233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP304193A Withdrawn JPH06208221A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ペリクルケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06208221A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5577610A (en) * | 1994-10-12 | 1996-11-26 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Casing for frame-supported pellicles |
| JP2016133585A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
| JP2021189303A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 旭化成株式会社 | ペリクルケース、トレイおよびペリクルの保持方法 |
-
1993
- 1993-01-12 JP JP304193A patent/JPH06208221A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5577610A (en) * | 1994-10-12 | 1996-11-26 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Casing for frame-supported pellicles |
| JP2016133585A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
| CN105807560A (zh) * | 2015-01-19 | 2016-07-27 | 信越化学工业株式会社 | 防尘薄膜组件收纳容器 |
| JP2021189303A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 旭化成株式会社 | ペリクルケース、トレイおよびペリクルの保持方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000404 |