JPH11255261A - 基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法 - Google Patents
基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法Info
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- JPH11255261A JPH11255261A JP7668698A JP7668698A JPH11255261A JP H11255261 A JPH11255261 A JP H11255261A JP 7668698 A JP7668698 A JP 7668698A JP 7668698 A JP7668698 A JP 7668698A JP H11255261 A JPH11255261 A JP H11255261A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板洗浄用ロールブラシを基板洗浄装置に装
着するに際し、解梱から装着まで基板洗浄用ロールブラ
シのブラシ体に手で触ることなく、基板洗浄装置に装着
できる基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び
基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法を提供する。 【解決手段】 長尺の芯体１１に長手方向外周に筒状に
形成されたスポンジ状の多孔質体からなるブラシ体１２
を有する基板洗浄用ロールブラシ１０の梱包であって、
清浄雰囲気中でブラシ体表面をフィルム１３で密封して
覆い、その後、該ブラシ体１２の表面をフィルム１３で
覆った基板洗浄用ロールブラシ１０を梱包材で梱包す
る。また、フィルム１３には引き剥がし用つまみ１３−
１と切取り線１３−２が設けられており、該引き剥がし
用つまみ１３−１を引くことにより該フィルム１３は該
切取り線１３−２に沿って引き裂かれるようになってい
る。
着するに際し、解梱から装着まで基板洗浄用ロールブラ
シのブラシ体に手で触ることなく、基板洗浄装置に装着
できる基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び
基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法を提供する。 【解決手段】 長尺の芯体１１に長手方向外周に筒状に
形成されたスポンジ状の多孔質体からなるブラシ体１２
を有する基板洗浄用ロールブラシ１０の梱包であって、
清浄雰囲気中でブラシ体表面をフィルム１３で密封して
覆い、その後、該ブラシ体１２の表面をフィルム１３で
覆った基板洗浄用ロールブラシ１０を梱包材で梱包す
る。また、フィルム１３には引き剥がし用つまみ１３−
１と切取り線１３−２が設けられており、該引き剥がし
用つまみ１３−１を引くことにより該フィルム１３は該
切取り線１３−２に沿って引き裂かれるようになってい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハ等の基
板を洗浄する洗浄装置に用いる基板洗浄用ロールブラシ
の梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシを洗浄
装置に取り付ける取り付け方法に関するものである。
板を洗浄する洗浄装置に用いる基板洗浄用ロールブラシ
の梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシを洗浄
装置に取り付ける取り付け方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の基板洗浄用ロールブラシ
は、ブラシ体の汚染を極度に嫌うため、メーカーで製造
した基板洗浄用ロールブラシの梱包には汚染されないよ
うに細心の注意が払われている。例えば、図３に示すよ
うに、複数本の基板洗浄用ロールブラシ３０が載置され
る載架台３１を準備し、載架台３１の両側板３２、３３
の上端の凹部３２ａ、３３ａに基板洗浄用ロールブラシ
３０の両端の取付部３０ａ、３０ｂを装着して、複数本
の基板洗浄用ロールブラシ３０を載置し、その後この複
数本の基板洗浄用ロールブラシ３０を載架台３１ごと真
空容器等（図示せず）に収納して梱包している。
は、ブラシ体の汚染を極度に嫌うため、メーカーで製造
した基板洗浄用ロールブラシの梱包には汚染されないよ
うに細心の注意が払われている。例えば、図３に示すよ
うに、複数本の基板洗浄用ロールブラシ３０が載置され
る載架台３１を準備し、載架台３１の両側板３２、３３
の上端の凹部３２ａ、３３ａに基板洗浄用ロールブラシ
３０の両端の取付部３０ａ、３０ｂを装着して、複数本
の基板洗浄用ロールブラシ３０を載置し、その後この複
数本の基板洗浄用ロールブラシ３０を載架台３１ごと真
空容器等（図示せず）に収納して梱包している。
【０００３】そして上記真空容器等に収納して梱包した
基板洗浄用ロールブラシ３０を基板洗浄装置が設置して
ある現場まで輸送し、該現場で真空容器から、載架台３
１ごと基板洗浄用ロールブラシ３０を取り出し、その
後、図４（ａ）に示すように、基板洗浄装置２０のブラ
シ取付部２１に基板洗浄用ロールブラシ３０の両端の取
付部３０ａ、３０ｂを装着して取り付けている。取り付
け後、図４（ｂ）に示すように基板洗浄用ロールブラシ
３０が軽く回るのを手２２で確認している。
基板洗浄用ロールブラシ３０を基板洗浄装置が設置して
ある現場まで輸送し、該現場で真空容器から、載架台３
１ごと基板洗浄用ロールブラシ３０を取り出し、その
後、図４（ａ）に示すように、基板洗浄装置２０のブラ
シ取付部２１に基板洗浄用ロールブラシ３０の両端の取
付部３０ａ、３０ｂを装着して取り付けている。取り付
け後、図４（ｂ）に示すように基板洗浄用ロールブラシ
３０が軽く回るのを手２２で確認している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記梱
包方法では、洗浄装置２０が配置されている現場で梱包
を解梱し、基板洗浄用ロールブラシ３０のスポンジ状の
多孔質体からなるブラシ体を手２２で掴んで取り付ける
ため、ブラシ体３４が汚染される恐れがあり、半導体ウ
エハ等の基板の汚染の原因となるという欠点があった。
包方法では、洗浄装置２０が配置されている現場で梱包
を解梱し、基板洗浄用ロールブラシ３０のスポンジ状の
多孔質体からなるブラシ体を手２２で掴んで取り付ける
ため、ブラシ体３４が汚染される恐れがあり、半導体ウ
エハ等の基板の汚染の原因となるという欠点があった。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、基板洗浄用ロールブラシを基板洗浄装置に装着する
に際し、解梱から装着まで基板洗浄用ロールブラシのブ
ラシ体に手で触ることなく、基板洗浄装置に装着できる
基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗
浄用ロールブラシの取り付け方法を提供することを目的
とする。
で、基板洗浄用ロールブラシを基板洗浄装置に装着する
に際し、解梱から装着まで基板洗浄用ロールブラシのブ
ラシ体に手で触ることなく、基板洗浄装置に装着できる
基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗
浄用ロールブラシの取り付け方法を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、長尺の芯体に長手方向外周に
筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブ
ラシの梱包方法であって、清浄雰囲気中でブラシ体表面
をフィルムで密封して覆い、その後、該ブラシ体表面を
フィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを梱包材で梱
包することを特徴とする。
請求項１に記載の発明は、長尺の芯体に長手方向外周に
筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブ
ラシの梱包方法であって、清浄雰囲気中でブラシ体表面
をフィルムで密封して覆い、その後、該ブラシ体表面を
フィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを梱包材で梱
包することを特徴とする。
【０００７】また、請求項２に記載の発明は、長尺の芯
体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する
基板洗浄用ロールブラシの梱包体であって、梱包体はブ
ラシ体表面を密封して覆うフィルムと、該ブラシ体表面
をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを収納する
梱包材とからなることを特徴とする。
体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する
基板洗浄用ロールブラシの梱包体であって、梱包体はブ
ラシ体表面を密封して覆うフィルムと、該ブラシ体表面
をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを収納する
梱包材とからなることを特徴とする。
【０００８】また、請求項３に記載の発明は、請求項２
に記載の基板洗浄用ロールブラシの梱包体であって、ブ
ラシ体表面を覆ったフィルムには引き剥がし用つまみ
と、切取り線が設けられており、該引き剥がし用つまみ
を引くことにより、該フィルムは該切取り線に沿って引
き裂かれて前記ブラシ体から取り外されるようになって
いることを特徴とする。
に記載の基板洗浄用ロールブラシの梱包体であって、ブ
ラシ体表面を覆ったフィルムには引き剥がし用つまみ
と、切取り線が設けられており、該引き剥がし用つまみ
を引くことにより、該フィルムは該切取り線に沿って引
き裂かれて前記ブラシ体から取り外されるようになって
いることを特徴とする。
【０００９】また、請求項４に記載の発明は、請求項２
又は３に記載の基板洗浄用ロールブラシの梱包体におい
て、梱包材の内部にはブラシ体表面をフィルムで覆った
基板洗浄用ロールブラシが収納される略同形状の凹部が
形成され、該凹部に該ブラシ体表面をフィルムで覆った
基板洗浄用ロールブラシを収納していることを特徴とす
る。
又は３に記載の基板洗浄用ロールブラシの梱包体におい
て、梱包材の内部にはブラシ体表面をフィルムで覆った
基板洗浄用ロールブラシが収納される略同形状の凹部が
形成され、該凹部に該ブラシ体表面をフィルムで覆った
基板洗浄用ロールブラシを収納していることを特徴とす
る。
【００１０】また、請求項５に記載の発明は、請求項２
乃至４のいずれかに記載の基板洗浄用ロールブラシの梱
包体に梱包された基板洗浄用ロールブラシの洗浄装置へ
の取り付け方法であって、梱包材を取外した後、ブラシ
体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを洗
浄装置のブラシ取り付け位置に装着し、その後該フィル
ムを前記ブラシ体から取り外すことを特徴とする。
乃至４のいずれかに記載の基板洗浄用ロールブラシの梱
包体に梱包された基板洗浄用ロールブラシの洗浄装置へ
の取り付け方法であって、梱包材を取外した後、ブラシ
体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを洗
浄装置のブラシ取り付け位置に装着し、その後該フィル
ムを前記ブラシ体から取り外すことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１（ａ）は基板洗浄用ロール
ブラシの外観を示す図で、図１（ｂ）は基板洗浄用ロー
ルブラシをフィルムで覆った状態を示す外観図である。
基板洗浄用ロールブラシ１０は長尺の芯体１１を具備
し、該芯体１１の外周に長手方向に筒状のスポンジ状の
多孔質体からなるブラシ体１２が形成された構成であ
る。そして芯体１１の両端には洗浄装置への取付部１４
が設けられている。
面に基づいて説明する。図１（ａ）は基板洗浄用ロール
ブラシの外観を示す図で、図１（ｂ）は基板洗浄用ロー
ルブラシをフィルムで覆った状態を示す外観図である。
基板洗浄用ロールブラシ１０は長尺の芯体１１を具備
し、該芯体１１の外周に長手方向に筒状のスポンジ状の
多孔質体からなるブラシ体１２が形成された構成であ
る。そして芯体１１の両端には洗浄装置への取付部１４
が設けられている。
【００１２】上記構成の基板洗浄用ロールブラシ１０の
ブラシ体１２の表面はフィルム１３で密封して覆われて
いる。即ち、芯体１１の両端に設けられた洗浄装置への
取付部１４を残して、全面をフィルム１３で密封してい
る。該フィルム１３には、電荷を帯びにくい材質の樹脂
フィルムを用いる。また、フィルム１３の端部には該フ
ィルム１３を引き剥がすための引き剥がし用つまみ１３
−１と、該引き剥がし用つまみ１３−１を引くことによ
り該フィルム１３が破れるように切取り線（ミシン目）
１３−２が設けられている。また、上記フィルム１３に
よるブラシ体１２の密封はブラシ体１２とフィルム１３
の間にパーティクル等の異物が入りこまないように、ク
リーンルーム内等の清浄雰囲気中で行う。
ブラシ体１２の表面はフィルム１３で密封して覆われて
いる。即ち、芯体１１の両端に設けられた洗浄装置への
取付部１４を残して、全面をフィルム１３で密封してい
る。該フィルム１３には、電荷を帯びにくい材質の樹脂
フィルムを用いる。また、フィルム１３の端部には該フ
ィルム１３を引き剥がすための引き剥がし用つまみ１３
−１と、該引き剥がし用つまみ１３−１を引くことによ
り該フィルム１３が破れるように切取り線（ミシン目）
１３−２が設けられている。また、上記フィルム１３に
よるブラシ体１２の密封はブラシ体１２とフィルム１３
の間にパーティクル等の異物が入りこまないように、ク
リーンルーム内等の清浄雰囲気中で行う。
【００１３】上記のように、ブラシ体１２の表面をフィ
ルム１３で密封して覆っている基板洗浄用ロールブラシ
１０を図２に示すように、梱包材１５に収納する。該梱
包材１５は上下に区分され、内部に基板洗浄用ロールブ
ラシ１０と略同形状の凹部が形成されており、該凹部に
前記ブラシ体１２の表面をフィルム１３で覆った基板洗
浄用ロールブラシ１０を収納する。これにより、基板洗
浄用ロールブラシ１０は梱包材１５の中に安定して収ま
る。
ルム１３で密封して覆っている基板洗浄用ロールブラシ
１０を図２に示すように、梱包材１５に収納する。該梱
包材１５は上下に区分され、内部に基板洗浄用ロールブ
ラシ１０と略同形状の凹部が形成されており、該凹部に
前記ブラシ体１２の表面をフィルム１３で覆った基板洗
浄用ロールブラシ１０を収納する。これにより、基板洗
浄用ロールブラシ１０は梱包材１５の中に安定して収ま
る。
【００１４】上記のように、フィルム１３によるブラシ
体１２の密封を清浄雰囲気中で行うことにより、ブラシ
体１２はパーティクル等の汚染物で汚染されることがな
く、更に基板洗浄用ロールブラシ１０を上記のような構
成の梱包材１５に収納して梱包するので、基板洗浄用ロ
ールブラシ１０は安定し輸送中にフィルム１３が破損し
て汚染されるという心配は殆どなくなる。
体１２の密封を清浄雰囲気中で行うことにより、ブラシ
体１２はパーティクル等の汚染物で汚染されることがな
く、更に基板洗浄用ロールブラシ１０を上記のような構
成の梱包材１５に収納して梱包するので、基板洗浄用ロ
ールブラシ１０は安定し輸送中にフィルム１３が破損し
て汚染されるという心配は殆どなくなる。
【００１５】基板洗浄用ロールブラシ１０を図４の洗浄
装置２０に装着する場合は、洗浄装置２０で梱包材１５
を解梱し、ブラシ体１２の表面をフィルム１３で覆って
いる基板洗浄用ロールブラシ１０を手２２で掴み、基板
洗浄用ロールブラシ１０の両端の取付部１４を洗浄装置
２０のブラシ取付部２１に装着して取り付け、図４
（ｂ）に示すように基板洗浄用ロールブラシ１０が軽く
回転するのを手２２で確認する。
装置２０に装着する場合は、洗浄装置２０で梱包材１５
を解梱し、ブラシ体１２の表面をフィルム１３で覆って
いる基板洗浄用ロールブラシ１０を手２２で掴み、基板
洗浄用ロールブラシ１０の両端の取付部１４を洗浄装置
２０のブラシ取付部２１に装着して取り付け、図４
（ｂ）に示すように基板洗浄用ロールブラシ１０が軽く
回転するのを手２２で確認する。
【００１６】上記基板洗浄用ロールブラシ１０が軽く回
転するのを確認したら、フィルム１３の引き剥がし用つ
まみ１３−１を引くと、該フィルム１３は切取り線１３
−２に沿って引き裂かれる。従って、フィルム１３を容
易に取り外すことができる。
転するのを確認したら、フィルム１３の引き剥がし用つ
まみ１３−１を引くと、該フィルム１３は切取り線１３
−２に沿って引き裂かれる。従って、フィルム１３を容
易に取り外すことができる。
【００１７】なお、上記実施形態例では、フィルム１３
の端部に引き剥がし用つまみ１３−１と、フィルム１３
に切取り線を設けているが、フィルム１３が容易に剥が
せるようになっている場合は、引き剥がし用つまみ１３
−１及び切取り線は必要ではない。
の端部に引き剥がし用つまみ１３−１と、フィルム１３
に切取り線を設けているが、フィルム１３が容易に剥が
せるようになっている場合は、引き剥がし用つまみ１３
−１及び切取り線は必要ではない。
【００１８】また、上記実施形態例では基板洗浄用ロー
ルブラシ１０のブラシ体１２をスポンジ状の多孔質体で
構成したが、ブラシ体１２の材料はこれに限定されるも
のではなく、基板洗浄に適した材質の材料であれば良
い。
ルブラシ１０のブラシ体１２をスポンジ状の多孔質体で
構成したが、ブラシ体１２の材料はこれに限定されるも
のではなく、基板洗浄に適した材質の材料であれば良
い。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１又は２に
記載の発明によれば、ブラシ体表面をフィルムで密封し
て覆い、その後その上を梱包材で梱包するので、梱包材
を取外し、ブラシ体表面をフィルムで覆った状態で、基
板洗浄装置に基板洗浄用ロールブラシを装着し、その後
フィルムを除去できるから、基板洗浄用ロールブラシを
基板洗浄装置に装着するのに、ブラシ体表面が手で触ら
れることなく、ブラシ体表面が汚染することがない。
記載の発明によれば、ブラシ体表面をフィルムで密封し
て覆い、その後その上を梱包材で梱包するので、梱包材
を取外し、ブラシ体表面をフィルムで覆った状態で、基
板洗浄装置に基板洗浄用ロールブラシを装着し、その後
フィルムを除去できるから、基板洗浄用ロールブラシを
基板洗浄装置に装着するのに、ブラシ体表面が手で触ら
れることなく、ブラシ体表面が汚染することがない。
【００２０】また、請求項３に記載の発明によれば、ブ
ラシ体表面を密封するフィルムには引き剥がし用つまみ
と切取り線が設けられているので、基板洗浄装置に基板
洗浄用ロールブラシを装着してから後のフィルムの除去
が容易となる。
ラシ体表面を密封するフィルムには引き剥がし用つまみ
と切取り線が設けられているので、基板洗浄装置に基板
洗浄用ロールブラシを装着してから後のフィルムの除去
が容易となる。
【００２１】また、請求項４に記載の発明によれば、梱
包材の内部にはブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗
浄用ロールブラシが収納される略同形状の凹部が形成さ
れているので、基板洗浄用ロールブラシは安定し輸送中
にフィルムが破損してブラシ体が汚染するという心配が
ない。
包材の内部にはブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗
浄用ロールブラシが収納される略同形状の凹部が形成さ
れているので、基板洗浄用ロールブラシは安定し輸送中
にフィルムが破損してブラシ体が汚染するという心配が
ない。
【００２２】また、請求項５に記載の発明の基板洗浄用
ロールブラシの洗浄装置への取り付け方法を実施すれば
基板洗浄用ロールブラシのブラシ体が汚染されることは
ない。
ロールブラシの洗浄装置への取り付け方法を実施すれば
基板洗浄用ロールブラシのブラシ体が汚染されることは
ない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板洗浄用ロールブラシの梱包方法を
説明するための図で、図１（ａ）は基板洗浄用ロールブ
ラシの外観を示す図で、図１（ｂ）は基板洗浄用ロール
ブラシをフィルムで覆った状態を示す外観図である。
説明するための図で、図１（ａ）は基板洗浄用ロールブ
ラシの外観を示す図で、図１（ｂ）は基板洗浄用ロール
ブラシをフィルムで覆った状態を示す外観図である。
【図２】本発明の基板洗浄用ロールブラシの梱包状態を
示す外観図である。
示す外観図である。
【図３】従来の基板洗浄用ロールブラシの梱包状態を示
す図である。
す図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）は基板洗浄装置に基板洗浄
用ロールブラシを装着する状態を示す図である。
用ロールブラシを装着する状態を示す図である。
１０ 基板洗浄用ロールブラシ １１ 芯体 １２ ブラシ体 １３ フィルム １４ 取付部 １５ 梱包材
Claims (5)
- 【請求項１】 長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成
されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシの梱包
方法であって、 清浄雰囲気中で前記ブラシ体表面をフィルムで密封して
覆い、その後、該ブラシ体表面をフィルムで覆った基板
洗浄用ロールブラシを梱包材で梱包することを特徴とす
る基板洗浄用ロールブラシの梱包方法。 - 【請求項２】 長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成
されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシの梱包
体であって、 前記梱包体はブラシ体表面を密封して覆うフィルムと、
該ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブ
ラシを収納する梱包材とからなることを特徴とする基板
洗浄用ロールブラシの梱包体。 - 【請求項３】 請求項２に記載の基板洗浄用ロールブラ
シの梱包体であって、前記ブラシ体表面を覆ったフィル
ムには引き剥がし用つまみと、切取り線が設けられてお
り、該引き剥がし用つまみを引くことにより、該フィル
ムは該切取り線に沿って引き裂かれて前記ブラシ体から
取り外されるようになっていることを特徴とする基板洗
浄用ロールブラシの梱包体。 - 【請求項４】 請求項２又は３に記載の基板洗浄用ロー
ルブラシの梱包体において、 前記梱包材の内部には前記ブラシ体表面をフィルムで覆
った基板洗浄用ロールブラシが収納される略同形状の凹
部が形成され、該凹部に該ブラシ体表面をフィルムで覆
った基板洗浄用ロールブラシを収納していることを特徴
とする基板洗浄用ロールブラシの梱包体。 - 【請求項５】 請求項２乃至４のいずれかに記載の基板
洗浄用ロールブラシの梱包体に梱包された基板洗浄用ロ
ールブラシの洗浄装置への取り付け方法であって、 前記梱包材を取外した後、前記ブラシ体表面をフィルム
で覆った基板洗浄用ロールブラシを前記洗浄装置のブラ
シ取り付け位置に装着し、その後該フィルムを前記ブラ
シ体から取り外すことを特徴とする基板洗浄用ロールブ
ラシの取り付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7668698A JPH11255261A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7668698A JPH11255261A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11255261A true JPH11255261A (ja) | 1999-09-21 |
Family
ID=13612346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7668698A Pending JPH11255261A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11255261A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100802298B1 (ko) | 2003-12-26 | 2008-02-11 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리 |
| KR20150060778A (ko) * | 2012-09-28 | 2015-06-03 | 인티그리스, 인코포레이티드 | Cmp 브러시 팩키징 |
| JP2019156417A (ja) * | 2018-03-09 | 2019-09-19 | アイオン株式会社 | ローラケース |
| CN113967888A (zh) * | 2020-07-23 | 2022-01-25 | 长鑫存储技术有限公司 | 海绵刷的更换工具和安装方法、半导体化学机械抛光设备 |
| US11911806B2 (en) | 2021-02-15 | 2024-02-27 | Ebara Corporation | Substrate cleaning device, abnormality determination method of substrate cleaning device, storage medium |
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-
1998
- 1998-03-09 JP JP7668698A patent/JPH11255261A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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