JP6095151B2 - 基板収容容器および異物除去方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る基板収容容器1の斜視図である。図2は、基板収容容器1の横断面図である。図3は、図2中のIII−III位置から見た基板収容容器1の縦断面図である。この基板収容容器1は、半導体の製造工程において、略円板状の基板である半導体ウエハ9を搬送または保管するために、複数枚の半導体ウエハ9を収容する容器である。図1〜図3に示すように、基板収容容器1は、容器本体部10と、蓋部20とを備えている。容器本体部10および蓋部20の材料には、例えば、ポリカーボネート等の樹脂が使用される。ただし、樹脂に代えて、ガラスや金属等の材料が使用されていてもよい。
図4および図5は、基板収容容器1の部分縦断面図である。図4および図5に示すように、半導体ウエハ9の周縁部90は、外端面91と、外端面91に隣接する上傾斜面92および下傾斜面93と、を含んでいる。外端面91は、半導体ウエハ9の最外周部において、円環状に広がっている。上傾斜面92は、外端面91の上端部から上方へ向かうにつれて径が縮小するように、テーパ状に広がっている。下傾斜面93は、外端面91の下端部から下方へ向かうにつれて径が縮小するように、テーパ状に広がっている。
続いて、上記の基板収容容器1を用いた異物除去処理の流れについて、図6のフローチャートを参照しつつ、説明する。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
9 半導体ウエハ
10 容器本体部
11 搬入出口
12 天板部
13 底板部
14 奥壁部
15 側壁部
16 内部空間
20 蓋部
21 駆動機構
30 保持部
31 第1溝
32 空隙
33 第1粘着材
40 押圧部
41 第2溝
42 第2粘着材
90 周縁部
91 外端面
92 上傾斜面
93 下傾斜面
311 中央保持面
312 上傾斜保持面
313 下傾斜保持面
411 中央押圧面
412 上傾斜押圧面
413 下傾斜押圧面
Claims (11)
- 基板を収容する基板収容容器であって、
搬入出口を有する容器本体部と、
前記搬入出口を閉鎖する蓋部と、
を備え、
前記容器本体部が、
基板の周縁部を保持する保持面をもつ保持部と、
前記保持面を被覆する第1粘着材と、
を有し、
基板の収容時に、前記第1粘着材の粘着面が基板の周縁部に接触する基板収容容器。
- 請求項1に記載の基板収容容器であって、
前記保持面が、
基板の外端面に対向する中央保持面と、
基板の前記外端面に隣接する傾斜面に対向する一対の傾斜保持面と、
を含み、
前記第1粘着材が、前記中央保持面と、前記一対の傾斜保持面とを被覆している基板収容容器。 - 請求項1または請求項2に記載の基板収容容器であって、
前記第1粘着材が、前記保持面に対して着脱可能である基板収容容器。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板収容容器であって、
前記保持部が、弾性を有する材料で形成されている基板収容容器。 - 請求項1から請求項4までのいずれかに記載の基板収容容器であって、
前記蓋部が、前記基板を前記保持部側へ押圧する押圧部を有する基板収容容器。 - 請求項5に記載の基板収容容器であって、
前記押圧部が、
基板の周縁部を押圧する押圧面と、
前記押圧面を被覆する第2粘着材と、
を有し、
基板の収容時に、前記第2粘着材が基板の周縁部に接触する基板収容容器。 - 請求項6に記載の基板収容容器であって、
前記第1粘着材の粘着力が、前記第2粘着材の粘着力より強い基板収容容器。 - 請求項6または請求項7に記載の基板収容容器であって、
前記容器本体部が、基板と前記蓋部との間に介在するストッパー部をさらに有する基板収容容器。 - 請求項5に記載の基板収容容器であって、
前記押圧部が、基板の周縁部を押圧する押圧面を有し、
前記押圧面において、非粘着性の材料が露出している基板収容容器。 - 請求項1から請求項9までのいずれかに記載の基板収容容器であって、
前記容器本体部が、上下に多段に配列された複数の前記保持面を有し、
複数の前記保持面が、上下に多段に収容される複数枚の基板の周縁部を、それぞれ保持する基板収容容器。 - 基板の周縁部から異物を除去する異物除去方法であって、
a)基板収容容器内に基板を搬入し、前記基板収容容器内に設けられた粘着材の粘着面と基板の周縁部とを接触させる工程と、
b)前記粘着材と基板の周縁部とを引き離し、前記基板収容容器から基板を搬出する工程と、
を含む異物除去方法。
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