JP6611565B2 - 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体 - Google Patents
洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体 Download PDFInfo
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Description
フレームに固定されたテープに貼り付けられた基板を、前記テープを介して保持する基板保持部と、
前記基板保持部を回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部と共に回転する前記基板に向けて洗浄液を供給する液供給部と、
前記洗浄液から前記フレームを保護するフレームカバーと、
前記フレームカバーを前記フレームと共に前記基板保持部に対し固定するフレームカバー固定部と、
前記基板保持部に対し、前記基板と前記フレームカバーとを受け渡す受渡部とを備え、
前記フレームカバーは、前記基板よりも外側かつ前記フレームよりも内側において前記テープに接触することで、前記テープにおける前記洗浄液の濡れ広がりを規制する環状のリップ部を1つ以上有し、
最も内側の前記リップ部は、前記テープを介して前記基板保持部に押し付けられることで弾性変形し、
前記受渡部は、前記フレームを保持することで前記基板を保持するフレーム保持部と、前記フレームカバーを保持するフレームカバー保持部と、前記フレーム保持部と前記フレームカバー保持部とを同時に前記基板保持部に対して昇降させる第1昇降部とを有し、
前記第1昇降部が前記フレーム保持部と前記フレームカバー保持部とを同時に前記基板保持部に対して上昇させ、その間に、前記フレームカバー保持部が前記フレームカバーを保持して前記フレームカバーと前記テープとを剥離させ、次いで、前記フレーム保持部が前記フレームを保持する、洗浄装置が提供される。
15 剥離装置
16 第1洗浄装置
30 制御装置
40 スピンチャック
41 基板保持部
41a インナー保持部
41b アウター保持部
41c 弾性リング部
42 シール部
46 回転駆動部
50 液供給機構
51 洗浄液ノズル
70 フレームカバー
71 液侵入規制部
71a インナーリップ部
71b アウターリップ部
80 フレームカバー固定機構
81 メカニカルチャック
82 磁石ユニット
90 受渡機構
91 フレーム保持部
94 フレームカバー保持部
97 昇降部
Claims (16)
- フレームに固定されたテープに貼り付けられた基板を、前記テープを介して保持する基板保持部と、
前記基板保持部を回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部と共に回転する前記基板に向けて洗浄液を供給する液供給部と、
前記洗浄液から前記フレームを保護するフレームカバーと、
前記フレームカバーを前記フレームと共に前記基板保持部に対し固定するフレームカバー固定部と、
前記基板保持部に対し、前記基板と前記フレームカバーとを受け渡す受渡部とを備え、
前記フレームカバーは、前記基板よりも外側かつ前記フレームよりも内側において前記テープに接触することで、前記テープにおける前記洗浄液の濡れ広がりを規制する環状のリップ部を1つ以上有し、
最も内側の前記リップ部は、前記テープを介して前記基板保持部に押し付けられることで弾性変形し、
前記受渡部は、前記フレームを保持することで前記基板を保持するフレーム保持部と、前記フレームカバーを保持するフレームカバー保持部と、前記フレーム保持部と前記フレームカバー保持部とを同時に前記基板保持部に対して昇降させる第1昇降部とを有し、
前記第1昇降部が前記フレーム保持部と前記フレームカバー保持部とを同時に前記基板保持部に対して上昇させ、その間に、前記フレームカバー保持部が前記フレームカバーを保持して前記フレームカバーと前記テープとを剥離させ、次いで、前記フレーム保持部が前記フレームを保持する、洗浄装置。 - 前記フレームカバーは、前記リップ部を含む液侵入規制部と、前記フレームに対し前記基板保持部とは反対側から接触する固定リング部と、前記固定リング部を前記洗浄液から保護すると共に前記固定リング部との間に前記液侵入規制部を挟んで固定する固定リングカバー部とを有し、
前記フレームカバー固定部は、前記基板保持部の周方向に間隔をおいて設けられる複数の腕部と、複数の前記腕部のそれぞれの先端部に揺動自在に取り付けられる爪部とを有し、
複数の前記爪部は、前記フレームカバーの前記固定リング部を上方から押さえることで、前記フレームカバーを前記基板保持部に対し固定し、
前記固定リングカバー部は、前記爪部を前記洗浄液から保護する、請求項1に記載の洗浄装置。 - 前記フレームカバーは、前記リップ部を複数有し、
前記基板保持部は、前記基板保持部に保持された前記基板よりも外側かつ前記フレームよりも内側に、環状の弾性リング部を有し、
最も内側の前記リップ部を除く少なくとも1つの前記リップ部は、前記テープを前記弾性リング部に押し込み、前記弾性リング部を弾性変形させる、請求項1または2に記載の洗浄装置。 - 前記フレームカバー固定部は、前記フレームカバーを前記フレームと共に前記基板保持部に対し吸着する磁石ユニットを有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 前記フレームカバー保持部は、前記フレームカバーの中心線の周りに放射状に配される複数のフレームカバー保持爪と、複数の前記フレームカバー保持爪を径方向に開閉させるフレームカバー保持爪開閉機構とを有し、
前記受渡部は、一の前記フレームカバー保持爪に対し他の一の前記フレームカバー保持爪を昇降させる第2昇降部を有し、前記基板保持部に保持された前記テープと前記フレームカバーとの剥離を、前記フレームカバーの周方向一端部から周方向他端部に向けて順次行う、請求項1〜4のいずれか1項に記載の洗浄装置。 - 前記液供給部は、前記洗浄液として、前記基板に付着する接合剤を溶かす溶剤を供給する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離装置、および剥離後の前記第1基板の接合面を洗浄する洗浄装置とを備える剥離システムであって、
前記洗浄装置として、請求項1〜6のいずれか1項に記載の洗浄装置を備える、剥離システム。 - フレームに固定されたテープに貼り付けられた基板を、前記テープを介して基板保持部に保持させると共に、フレームカバーを前記フレームと共に前記基板保持部に対し固定させる準備工程と、
前記準備工程の後に、前記基板保持部と共に回転する前記基板に対し洗浄液を供給すると共に前記フレームカバーによって前記フレームを前記洗浄液から保護する洗浄液供給工程と、
前記洗浄液供給工程の後に、前記基板保持部に保持された前記テープと前記フレームカバーとを剥離し、前記基板保持部による前記テープの保持を解除する回収工程とを有し、
前記フレームカバーは、前記基板よりも外側かつ前記フレームよりも内側において前記テープに接触することで、前記テープにおける前記洗浄液の濡れ広がりを規制する環状のリップ部を1つ以上有し、
最も内側の前記リップ部は、前記テープを介して前記基板保持部に押し付けられることで弾性変形し、
前記回収工程では、フレーム保持部とフレームカバー保持部とを同時に前記基板保持部に対して上昇させ、その間に、前記フレームカバー保持部が前記フレームカバーを保持して前記フレームカバーと前記テープとを剥離させ、次いで、前記フレーム保持部が前記フレームを保持する、洗浄方法。 - 前記フレームカバーは、前記リップ部を含む液侵入規制部と、前記フレームに対し前記基板保持部とは反対側から接触する固定リング部と、前記固定リング部を前記洗浄液から保護すると共に前記固定リング部との間に前記液侵入規制部を挟んで固定する固定リングカバー部とを有し、
フレームカバー固定部は、前記基板保持部の周方向に間隔をおいて設けられる複数の腕部と、複数の前記腕部のそれぞれの先端部に揺動自在に取り付けられる爪部とを有し、
複数の前記爪部は、前記フレームカバーの前記固定リング部を上方から押さえることで、前記フレームカバーを前記基板保持部に対し固定し、
前記固定リングカバー部は、前記爪部を前記洗浄液から保護する、請求項8に記載の洗浄方法。 - 前記フレームカバーは、前記リップ部を複数有し、
前記基板保持部は、前記基板保持部に保持された前記基板よりも外側かつ前記フレームよりも内側に、環状の弾性リング部を有し、
最も内側の前記リップ部を除く少なくとも1つの前記リップ部は、前記テープを前記弾性リング部に押し込み、前記弾性リング部を弾性変形させる、請求項8または9に記載の洗浄方法。 - 前記準備工程では、前記フレームカバーを前記フレームと共に前記基板保持部に対し磁力によって吸着する、請求項8〜10のいずれか1項に記載の洗浄方法。
- 前記フレームカバー保持部は、前記フレームカバーの中心線の周りに放射状に配される複数のフレームカバー保持爪と、複数の前記フレームカバー保持爪を径方向に開閉させるフレームカバー保持爪開閉機構とを有し、
前記回収工程では、一の前記フレームカバー保持爪に対し他の一の前記フレームカバー保持爪を昇降させ、前記基板保持部に保持された前記テープと前記フレームカバーとの剥離を、前記フレームカバーの周方向一端部から周方向他端部に向けて順次行う、請求項8〜11のいずれか1項に記載の洗浄方法。 - 前記洗浄液として、前記基板に付着する接合剤を溶かす溶剤を供給する、請求項8〜12のいずれか1項に記載の洗浄方法。
- 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離工程と、
剥離後の前記第1基板の接合面を洗浄する洗浄工程とを備える剥離方法であって、
前記洗浄工程では、請求項8〜13のいずれか1項に記載の洗浄方法を用いる、剥離方法。 - 請求項8〜13のいずれか1項に記載の洗浄方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項15に記載のプログラムを記憶した情報記憶媒体。
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JP2015215586A JP6611565B2 (ja) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017092062A JP2017092062A (ja) | 2017-05-25 |
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