JP2009056381A - 除塵ローラー及びそれを備えるクリーニング装置 - Google Patents

除塵ローラー及びそれを備えるクリーニング装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2009056381A
JP2009056381A JP2007225110A JP2007225110A JP2009056381A JP 2009056381 A JP2009056381 A JP 2009056381A JP 2007225110 A JP2007225110 A JP 2007225110A JP 2007225110 A JP2007225110 A JP 2007225110A JP 2009056381 A JP2009056381 A JP 2009056381A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dust
work
roller
workpiece
covering
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007225110A
Other languages
English (en)
Inventor
Ronghwa Ye
榮華 葉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YEE CHANG PREC MACHINERY CO LT
YEE CHANG PRECISION MACHINERY CO Ltd
Original Assignee
YEE CHANG PREC MACHINERY CO LT
YEE CHANG PRECISION MACHINERY CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YEE CHANG PREC MACHINERY CO LT, YEE CHANG PRECISION MACHINERY CO Ltd filed Critical YEE CHANG PREC MACHINERY CO LT
Priority to JP2007225110A priority Critical patent/JP2009056381A/ja
Publication of JP2009056381A publication Critical patent/JP2009056381A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

【課題】ワークの表面における塵埃を粘着し、ワーク又は転移メディアに粘着しない除塵ローラーを提供する。
【解決手段】除塵ローラー2の軸心20の表面は被覆体21に覆われる。被覆体21を介してワークの表面を回転しながら押されて、ワークの塵埃を粘着する。被覆体21はワークの表面における塵埃のみを粘着し、ワークに粘着しない。また、除塵ローラー2が転移メディアを利用して、被覆体21をクリーニングしているとき、被覆体21の粘性が転移メディアに粘着しない。被覆体21にも、静電気が容易に発生しない。
【選択図】図2

Description

本発明は、除塵ローラーに関し、特に、ワークの表面の雑質及び塵埃の除去用の除塵ローラーに関する。
近年以来、科学技術の発展は飛躍的に前進している。特に、電子工業の発展の進歩が非常に速く、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラなど様々な精密な電子製品は、現代科学技術が進展している生活に不可欠のツールになっている。また、近年以来、前掲の様々な精密な電子製品は軽薄短小を重んずるので、そんな風潮の導きで、電子製品の精密度及び品質への要求が次第に高まってきている。製造業者は電子製品の精密度及び品質を向上するために、電子製品の生産の段階を重視している。その中で、クリーニング作業は始めの第一ステップであり、電子製品の洗浄度は、直接に、完成品の品質及び良品率に、影響を及ぼしている。
そして、関係する業界はクリーニング用の除塵ローラーを開発した。図1に示すように、従来から、既知の除塵ローラー1はローラーの本体10及び枢設軸100を設けた。ローラーの本体10は枢設軸100の表面を覆った。除塵ローラー1はクリーニング装置11に取り付けて使用する。除塵ローラー1がワーク13(例えば、回路基板、回路基板、パネル(panel)、ガラス(glass)、プラスチックフィルム(plastic film)、金属など)をクリーニングする。クリーニング装置11は握り部110及び枢設部111を有する。握り部110の一端は枢設部111の中央位置に接続される。枢設部111の両端はそれぞれ、枢設軸100の両側へ向かって延伸している。ローラーの本体10は枢設軸100を経由して、枢設部111に枢設される。そうすると、握り部110を握って、ローラーの本体10をワーク13に対して、往復運動、回転しながら、押しているうちに、ローラーの本体10はワーク13の塵埃等を粘着する。一定時間の使用をしたあとで、ローラーの本体10を転移メディア(例えば、除塵粘着紙、粘着紙の巻き、塵埃収集ローラーなど)に対し、回転しながら、押したら、ローラーの本体10における塵埃等は転移メディアに粘着する。それで、ローラーの本体10における雑質及び塵埃がワーク13に落ち戻るという二次汚染を防ぎ、繰り返して、ローラーの本体10を使用し、ワーク13の雑質、塵埃を除くこともできる。
ローラーの本体10には、静電が容易に出てくる。ワーク13が薄膜状であれば、除塵ローラー10がワーク13の塵埃を除く場合に、除塵ローラー10を、往復運動、回転しながら、押しているうちに、除塵ローラー10の粘性及び発生する静電のせいで、いつもワーク13に粘着する。ひどいものになると、ワーク13を剥ぎ裂く。また、ワーク13は容易に、除塵ローラー10に粘着され、ワーク13の平面台から離れる。その結果、ワーク13は常に、巻き折られて、ローラーの本体10と枢設部111との間に入り込むので、ワーク13及び除塵ローラー1の変形、損壊を招く。
また、ローラー本体10をある時間の使用をしたあとで、ローラーの本体10における塵埃等を転移メディアに粘着するつもりが、ローラー本体10も容易に、転移メディアに粘着するので、ローラーの本体10を回転させて押すことができず、ローラー本体10に雑質及び塵埃が残留する。もう一度、ローラー本体10を使って、ワークの表面をクリーニングしたいときに、塵埃等はしばしば、ワークの表面へ戻って、いわゆる二次汚染を招く。その結果、生産業者は困り、損失をもたらすと同時に、ワークの製造業者の市場競争力も降下される。
いかに、適当な粘性を持ち、静電が出にくい除塵ローラーを設計するかということは、一刻も猶予できなくて、解決しなければならない大切な課題である。したがって、本発明の主な目的は除塵ローラーを提供することにある。本発明のもう一つの目的は除塵ローラーをもつクリーニング装置を提供することにある。
従来の除塵ローラーの各種の欠陥に鑑みて、ワークの製造業者の市場発展阻害、生産の不便、コストの極めて大きな損失を解決するために、発明者は多年以来の技術経験及び累積の専門知識に基づいて、上述問題を工夫、研究し、本発明の除塵ローラー及び除塵ローラーをもつクリーニング装置を創作した。
本発明の除塵ローラーは、軸心部と被覆体とからなる。軸心部の表面は被覆体に覆われる。除塵ローラーが被覆体を経由して、回路基板、パネル、ガラス、プラスチックフィルム、金属などワークの表面で、回転しながら押されて、ワークの塵埃、雑質を粘着する。このとき、被覆体の粘性がワークの表面における塵埃、雑質のみを粘着し、ワークに粘着しない。また、除塵ローラーが除塵粘着紙、粘着紙の巻き、塵埃収集ローラーなど転移メディアを利用して、被覆体をクリーニングしているとき、被覆体の粘性が転移メディアに粘着しない。被覆体にも、静電気が容易に発生しない。つまり、除塵ローラーがワークの表面における塵埃等だけを粘着し、ワーク又は転移メディアに粘着しない。したがって、除塵ローラーが容易にワークに粘着しワークを裂く問題、ワークが被覆体に粘着されワークの平面台から離れる問題、ワークの粘着、巻き折られて損壊を招く問題を有効的に解決し、ワークの製造良品率を向上させる。
クリーニング装置は、握り部、接続部、及び除塵ローラーを設ける。接続部の中央位置は握り部に接続される。接続部の両端はそれぞれ、握り部の遠く離れる方向へ向かって延伸する。除塵ローラーは接続部の上端の間に枢設される。握り部を握ってローラーの本体を制御し、ワークで回転しながら押しているうちに、有効的にワークの表面をクリーニングする。
以下、本発明の具体的な実施例を図面を参照して説明する。
(第1実施例)
本発明の第1実施例による除塵ローラーをもつクリーニング装置を図2に示す。
クリーニング装置30は、握り部300、接続部301、及び除塵ローラー2を設ける。接続部301の中央位置は握り部300に接続される。接続部301の両端はそれぞれ、握り部300から遠く離れる方向へ向かって延伸する。除塵ローラー2は接続部301の上端の間に枢設される。クリーニング装置30の握り部300を握って除塵ローラー2を制御し、ワーク13(図1示すように、ワークは回路基板、パネル、ガラス、プラスチックフィルム、金属などである)で、回転しながら、押しているうちに、有効的にワーク13の表面をクリーニングするという目的を遂げる。
図2に示すように、本発明の第1実施例による除塵ローラー2は、軸心部20、及び被覆体21を有する。被覆体21は軸心部20の表面を覆う。接続部301の両端には、軸心部20に向き合う位置に、それぞれ、第一枢設軸201を貫通する第一開け孔302を設ける。除塵ローラー2をクリーニング装置30に枢設、接続し、ワーク13(図1に示す如く)の表面をクリーニングする。
被覆体21の主要成分は、ブチル合成ゴムとして、0%超から18%のゴム粘性増加剤を添加する。被覆体21の粘着性は、回路基板、パネル、ガラス、プラスチックフィルム、金属などワーク13の表面における塵埃を粘着できる性質と、ワーク13又は除塵粘着紙、粘着紙の巻き、塵埃収集ローラーなど転移メディアに粘着できない性質との間である。また、被覆体は静電対抗の特性を具有する。除塵ローラー2が被覆体21を経由して、ワーク13の表面で回転しながら押されているうちに、被覆体21はワーク13の表面における塵埃のみを粘着し、静電対抗の特性をもつので、ワーク13又は転移メディアに粘着せず、有効的に、ワーク13が被覆体21に粘着され裂かれるという問題を防ぐ。つまり、ワーク13が被覆体21の粘着のために、ワーク13の平面台から離れる恐れを防ぐばかりでなく、ワーク13が粘着され損壊する問題も避けられ、ワーク13の製造良品率を向上する。
図2に示すように、本発明の第1実施例によれば、軸心部20の両端はそれぞれ、内へ凹むように、枢設接続溝200を設ける。それら枢設接続溝200に、それぞれ、第一枢設軸201を通過して設ける。第一枢設軸201は被覆体21から突出する。除塵ローラー2で、ワーク13(図1)をクリーニングするとき、除塵ローラー2は第一枢設軸201を経由して、クリーニング装置30に接続される。即ち、第一枢設軸201は第一開け孔302を経由して、除塵ローラー2をクリーニング装置30に接続する。
図2に示すように、本発明の第1実施例によれば、握り部300を握って、被覆体21をワーク13(図1の如く)上で往復運動、回転しながら、押しているうちに、被覆体21はワーク13の塵埃等を粘着し、ワーク13の表面のクリーニング効果が得られる。一定時間の使用をしたあとで、被覆体21を転移メディア上で回転しながら、押しても、被覆体21の塵埃等が転移メディアに付着しない。被覆体21における雑質及び塵埃がワーク13に落ち戻るという二次汚染を防ぎ、繰り返して被覆体21を使用し、ワーク13の表面の塵埃等を除くこともできる。
被覆体21はクリーニング装置30の操作を経由して、ワーク13(図1)の表面で、回転しながら押され、ワークの塵埃等を粘着しているうちに、被覆体21の適度な粘性及び静電気の発生しにくい特性で、被覆体21がワーク13の表面における塵埃等のみ粘着し、ワーク13に粘着しない。そのため、有効に被覆体21がワーク13に粘着し裂くという問題を防止する。ワーク13が被覆体21の粘着のために、ワーク13の平面台から離れる恐れを防ぐばかりでなく、ワーク13が粘着され、巻き折られて被覆体21と接続部301との間に入り込むことによるワーク13又はクリーニング装置30の損壊問題も避けられる。除塵ローラー2が転移メディアを経由して、被覆体21をクリーニングするときに、被覆体21の粘性が転移メディアに粘着しないので、転移メディアは有効的に、被覆体21をクリーニングし、塵埃等がもう一度、被覆体21から、ワーク13の表面に落ち戻ることを防ぐ。除塵ローラー2は順調に、ワーク13の表面で回転して塵埃を除くので、ワーク13の製造良品率を向上する。
(第2実施例)
本発明の第2実施例によれば、図3に示すように、軸心部20の両端から、それぞれ、外へ延伸するように接続柱202を設ける。除塵ローラー2で、ワーク13(図1)の表面をクリーニングする場合に、除塵ローラー2は接続柱202を経由して、クリーニング機41に接続される。クリーニング機41には、作業台412があって、クリーニングしたいワーク13を設置する。クリーニング機41の両側には作業台412に隣接する位置に、それぞれ第二開け孔411を配置する。接続柱202は第二開け孔411を経由して除塵ローラー2をクリーニング機41に接続する。
クリーニング機41には、除塵ローラー2に隣接する位置に、塵埃の収集ローラー410を枢設する。被覆体21で、ワーク13(図1)の表面の塵埃等を粘着する場合に、塵埃の収集ローラー410は被覆体21に付着した塵埃等を粘着し、被覆体21における雑質及び塵埃がワーク13に戻るという二次汚染を防ぐ。また、繰り返し被覆体21を使用し、ワーク13の表面の塵埃等を除くこともできる。
図3に示すように、本発明の第2実施例によれば、ワーク13(図1の如く)の表面では、クリーニング機41を経由して除塵、クリーニングを行うときに作業台412から除塵ローラー2へ移動し、除塵ローラー2と接触して除塵をする。被覆体21の適度な粘性及び静電気の発生しにくい特性で、被覆体21がワーク13の表面における塵埃等のみ粘着し、ワーク13に粘着せず、有効に被覆体21がワーク13に粘着し裂くという問題を防止する。ワーク13が被覆体21の粘着性のためにワーク13の平面台から離れることを防ぐばかりでなく、ワーク13が収集ローラー410に粘着され、巻き折られて被覆体21と塵埃の収集ローラー410との間に入り込むことによるワーク13又はクリーニング機41の損壊問題も避けられる。除塵ローラー2が塵埃の収集ローラー410を介して、被覆体21をクリーニングするとき、被覆体21の粘性が塵埃の収集ローラー410に粘着しないので、塵埃の収集ローラー410は有効に、被覆体21をクリーニングし、塵埃等が再び被覆体21からワーク13の表面に戻ることを防ぐ。除塵ローラー2は順調にワーク13の表面で回転したり、押したり、塵埃を除くので、ワーク13の製造良品率を向上する。
(第3実施例)
本発明の第3実施例によれば、図4に示すように、軸心部20には、貫通孔400がある。貫通孔400を通過するように、第二枢設軸401は設置される。第二枢設軸401の長さは被覆体21の長さより長い。除塵ローラー2で、ワーク13(図1)の表面をクリーニングする場合に、除塵ローラー2は第二枢設軸401を介して、クリーニング機グループ42に接続される。クリーニング機グループ42には、複数の除塵ローラー2を接続する。クリーニング機グループ42の両側には、それぞれ、フレーム420を配置する。フレーム420には、それぞれ、複数の向き合う第三開け孔421を設ける。いずれかの向き合う第三開け孔421を経由して、第二枢設軸401を接続する。第三開け孔421を経由して、第二枢設軸401は除塵ローラー2をクリーニング機グループ42に接続する。
図4に示すように、本発明の第3実施例によれば、ワーク13(図1)の表面では、クリーニング機グループ42を経由して、除塵、クリーニングを行うときに、除塵ローラー2へ移動し、それら除塵ローラー2と接触し、除塵をする。被覆体21の適度な粘性及び静電気の発生しにくい特性で、被覆体21がワーク13の表面における塵埃のみ粘着し、ワーク13に粘着せず、有効に被覆体21がワーク13に粘着し裂くという問題を防止する。ワーク13が被覆体21の粘着のためにワーク13の平面台から離れることを防ぐばかりでなく、ワーク13が粘着され、巻き折られて、クリーニング機グループ42に入り込むことによるワーク13又はクリーニング機グループ42の損壊問題も避けられる。除塵ローラー2が転移メディアを経由して、被覆体21をクリーニングするときに、被覆体21の粘性が転移メディアに粘着しないので、転移メディアは有効的に、被覆体21をクリーニングし、塵埃及び雑質が再び被覆体21からワーク13の表面に落ち戻ることを防ぐ。除塵ローラー2はワーク13の表面で回転したり、押したり、塵埃を除くので、ワーク13の製造良品率を向上する。
以上の実施例において、図2、図3、及び図4に示すように、除塵ローラー2をクリーニング装置30やクリーニング機41やクリーニング機グループ42に接続することができる以外に実際の設計に基づいて、それをワーク13のクリーニング用の様々な器具に接続することもできる。また、軸心部20と前掲のクリーニング器具との接続部位ならば、除塵ローラー2の実際の設計に応じて、変更してもよい。除塵ローラー2を接続するクリーニング装置30やクリーニング機41やクリーニング機グループ42などは、ワーク13がクリーニングできるいずれの器具でもよい。なお、除塵ローラー2の硬度は制限されない。除塵ローラー2の硬度は異なるクリーニングプロセスに応じて変更してもよいし、クリーニングしたいワーク13の材質に応じて変更してもよい。ワーク13の表面における塵埃等が粘着でき、ワークが被覆体21の粘着のためにワーク13の平面台から離れることが防止でき、ワーク13が粘着され、巻き折りの損壊問題が避けられれば何でもよい。
本発明の掲示するのは理想的な実施例だけである。本発明の技術思想で、その技術の習熟者がいずれの局部の変更、修飾をしても、皆、本発明の請求に含まれる。
従来の除塵ローラーの使用状態を示す模式図である。 本発明の第1実施例による除塵ローラーをもつクリーニング装置を示す斜視図である。 本発明の第2実施例による除塵ローラーをもつクリーニング装置を示す斜視図である。 本発明の第3実施例による除塵ローラーをもつクリーニング装置を示す斜視図である。
符号の説明
2:除塵ローラー、20:軸心部、21:被覆体、200:枢設、接続溝、201:第一枢設軸、202:接続柱、30:クリーニング装置、300:握り部、301:接続部、302:第一開け孔、400:貫通孔、401:第二枢設軸、41:クリーニング機、410:塵埃の収集ローラー、411:第二開け孔、412:作業台、42:クリーニング機グループ、420:フレーム、421:第三開け孔

Claims (7)

  1. 軸心部と、
    軸心部の表面を覆って、粘着性がワークの表面における塵埃が粘着可能な性質とワーク又は転移メディアに粘着可能でない性質とを併有する被覆体と、
    を備えることを特徴とする除塵ローラー。
  2. 前記被覆体の主要成分はブチル合成ゴムであり、18%以下のゴム粘性増加剤を添加することを特徴とする請求項1に記載の除塵ローラー。
  3. 前記軸心部の両端は内側へ凹むように、第一枢設軸の貫通用の枢設、接続溝を設けることを特徴とする請求項1に記載の除塵ローラー。
  4. 前記軸心部の両端は外側へ延伸するように、接続柱を設けることを特徴とする請求項1に記載の除塵ローラー。
  5. 前記軸心部に、第二枢設軸の貫通用の貫通孔を設けることを特徴とする請求項1に記載の除塵ローラー。
  6. 握り部と、
    中央位置が握り部と接続し、両端がそれぞれ握り部から遠く離れる方向へ延伸する接続部と、
    接続部の両端の間に枢設する軸心部と、
    軸心部の表面に覆われ、ワークの表面における塵埃を粘着可能な物質とワーク又は転移メディアに粘着可能でない物質との間に介入される被覆体を有する除塵ローラーと、
    を備えることを特徴とする除塵ローラーを備えるクリーニング装置。
  7. 前記接続部の両端が軸心部に向き合う位置に、それぞれ第一開け孔を設けることを特徴とする請求項6に記載の除塵ローラーを備えるクリーニング装置。
JP2007225110A 2007-08-31 2007-08-31 除塵ローラー及びそれを備えるクリーニング装置 Pending JP2009056381A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007225110A JP2009056381A (ja) 2007-08-31 2007-08-31 除塵ローラー及びそれを備えるクリーニング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007225110A JP2009056381A (ja) 2007-08-31 2007-08-31 除塵ローラー及びそれを備えるクリーニング装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009056381A true JP2009056381A (ja) 2009-03-19

Family

ID=40552624

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007225110A Pending JP2009056381A (ja) 2007-08-31 2007-08-31 除塵ローラー及びそれを備えるクリーニング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009056381A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102989698A (zh) * 2012-11-26 2013-03-27 吴江市金真缝纫机有限公司 纺织用品除尘装置
KR101928853B1 (ko) * 2017-12-05 2018-12-13 주식회사 에이치에스디 로우 차지 핸드 롤러 구조체
CN111299216A (zh) * 2020-03-24 2020-06-19 北京天泉善达科技有限公司 家用仿真静电吸尘除菌清洁装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07241269A (ja) * 1994-03-02 1995-09-19 Techno Roll Kk 粘着性除電ゴミ取りロールとアース電極材
JP2004181024A (ja) * 2002-12-04 2004-07-02 Atom Kosan Kk 帯電防止塵埃除去装置
JP2006006690A (ja) * 2004-06-28 2006-01-12 Atom Kosan Kk スティック型塵埃除去具及び軽量物品の吸着移送具
JP2006198541A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Shin Etsu Chem Co Ltd クリーニングローラー

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07241269A (ja) * 1994-03-02 1995-09-19 Techno Roll Kk 粘着性除電ゴミ取りロールとアース電極材
JP2004181024A (ja) * 2002-12-04 2004-07-02 Atom Kosan Kk 帯電防止塵埃除去装置
JP2006006690A (ja) * 2004-06-28 2006-01-12 Atom Kosan Kk スティック型塵埃除去具及び軽量物品の吸着移送具
JP2006198541A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Shin Etsu Chem Co Ltd クリーニングローラー

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102989698A (zh) * 2012-11-26 2013-03-27 吴江市金真缝纫机有限公司 纺织用品除尘装置
KR101928853B1 (ko) * 2017-12-05 2018-12-13 주식회사 에이치에스디 로우 차지 핸드 롤러 구조체
CN111299216A (zh) * 2020-03-24 2020-06-19 北京天泉善达科技有限公司 家用仿真静电吸尘除菌清洁装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4851609B2 (ja) クリーニング装置
JP4693696B2 (ja) ワーク処理装置
JP2008168188A (ja) クリーニング装置
JP2013082557A (ja) 基板保護フィルム剥離装置及びその方法
JP2009056381A (ja) 除塵ローラー及びそれを備えるクリーニング装置
JP6465489B2 (ja) クリーニングヘッドおよび清掃方法
JP2006266461A (ja) Fpcクリーニングマシンのクリーニングローラ機構
JP6064831B2 (ja) 試験装置、試験方法
JP2008282865A (ja) スクラブ洗浄装置及びそれに用いられるロールスポンジアセンブリ
JP5497534B2 (ja) テープ貼着装置
JP2020097092A (ja) 打抜き用具、及び、打抜き方法
TWM580041U (zh) Vacuum adsorption stripping device
KR101414717B1 (ko) 반도체 패키지 제조장치의 브러쉬 어셈블리
JP6095151B2 (ja) 基板収容容器および異物除去方法
JP2013184885A (ja) カッターホイールの異物除去方法およびスクライブ装置
KR20110045961A (ko) 회로기판의 이물 제거 장치
CN101327112A (zh) 除尘滚轮及具有除尘滚轮的清洁工具
JP5887151B2 (ja) 粘着性表面の異物除去回復方法
CN111847079A (zh) 自动化用卷式胶带的制造方法
JP4650791B2 (ja) ディスプレイ用ガラス基板の処理方法
JP2008034666A (ja) ピックアップ装置
JP2010064893A (ja) 基板搬送装置、基板搬送方法、及び、クリーニング方法
CN105457962B (zh) 电子元件的清洁方法
KR101447578B1 (ko) 취성 재료 기판의 분단용 분진 제거장치
KR101447577B1 (ko) 취성 재료 기판의 스크라이브용 분진 제거장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100405

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110928

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111004

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120302