JP6465489B2 - クリーニングヘッドおよび清掃方法 - Google Patents

Description

本発明は、エア吸引口およびその周囲を清掃する機能を有するクリーニングヘッド、および、その清掃方法に関する。

半導体ウエハ、液晶表示器のガラス板、フィルム等の各種基板（以下、単に基板という）の製造工程において、基板の表面から塵埃を除去する除塵を行う必要がある。例えば、基板の水平搬送経路上方にクリーニングヘッドを配置し、搬送される基板に対してクリーニングヘッドが除塵を行う。

クリーニングヘッドの底面にはエア噴射口およびエア吸引口が形成されている。エア噴射口およびエア吸引口は、基板の搬送方向に対して略垂直な方向に長いスリットである。クリーニングヘッドのエア噴射口は、搬送される基板に洗浄エアを噴射して塵埃を吹き飛ばし、また、エア吸引口は、基板から飛散した塵埃を周囲のエアとともに吸引し、基板全面の除塵を行う。

このクリーニングヘッドのエア吸引口に、ガラスやフィルムの欠片が挟まったり、エア吸引口の周囲に静電気により欠片が貼り付いたりすることがある。この異物は、搬送される基板に対して傷を与えるおそれがある。また、特にエア吸引口に異物が挟まっている場合、その箇所では吸引力が弱まるためその箇所の除塵ができない。エア吸引口およびその周囲に固着する異物は、基板品質を低下させ、基板製造の歩留まりを悪化させる。

近年では基板の大型化および薄型化が進んでおり、クリーニングヘッドに固着した目視確認が難しい比較的小さな異物でさえも基板品質に大きな影響を及ぼすおそれがある。

基板品質の低下を防ぐために異物を清掃除去する必要があるが、このような異物がいつ固着するかは特定できない。そこで、従来の清掃作業では、基板不良の発生時に異物が付着したと判断し、作業員がエア吸引口およびその周囲に固着する異物を拭きとることにより清掃除去していた。

しかしながら、搬送ステージからクリーニングヘッドの底面までのギャップは数ミリ程度しかなく、エア吸引口およびその周囲は狭隘な箇所にあり、拭き取りによる異物の清掃除去が容易ではない。この清掃作業は、作業性が低い上に新たな発塵の要因になるなどの問題がある。

そして、この清掃作業が困難なことに起因して製造設備の停止時間が長くなると、製造時間が失われ、また、人的コストも増大する。このように従来技術ではクリーニングヘッドへの異物の固着とその清掃除去に起因して、製造コストが増大するという問題がある。

そこで、クリーニングヘッドのエア吸引口およびその周囲の異物を、機械的に簡単かつ迅速に清掃除去したいという課題が知見された。このようなクリーングヘッドのエア吸引口の清掃を行う装置の先行技術は知見されていなかった。

クリーングヘッドとは異なる他の技術分野において、異物の清掃を機械的に行う装置の先行技術が、例えば、特許文献１（特許第４７７３２０９号公報）に開示されている。特許文献１の部品圧着装置では、その図６Ａ，図６Ｂ，図３Ａ，図３Ｂ等に、ブラシ状の清掃部品２１をステージ面１７の上面に接触させながら水平方向に移動させて異物を除去する構造が記載されている。

また、異物の清掃を機械的に行う装置の他の先行技術が、例えば、特許文献２（特許第４０３１６２５号公報）に開示されている。特許文献２の電子部品実装装置では、その図３，図４等に、バックアップ面の上面の異物をブラシ１０により除去する構造が記載されている。

また、異物の清掃を機械的に行う装置の他の先行技術が、例えば、特許文献３（特許第３７５７２１５号公報）に開示されている。特許文献３の除塵装置では、その図５等に、第１のスクレーパ３０の歯３１に挟まった塵を、第２のスクレーパ４０の掻取部４１によって掻き取ることが記載されている。

また、異物の清掃を機械的に行う装置の他の先行技術が、例えば、特許文献４（特開２０１４−４６５０２号公報）に開示されている。特許文献４の液体噴射装置では、その図５，図６等に、特に液体噴射ヘッド１０の液体噴射面１２に清掃部材４０を接触させながら水平移動させて異物を除去することが記載されている。

特許第４７７３２０９号公報（図６Ａ，図６Ｂ，図３Ａ，図３Ｂ） 特許第４０３１６２５号公報（図３，図４） 特許第３７５７２１５号公報（図５） 特開２０１４−４６５０２号公報（図５，図６）

従来技術のクリーニングヘッドでは、異物が付着するという事象やそれに伴う問題は滅多に起こらないため、これら問題については考慮されていなかった。したがって、クリーニングヘッドに付着した異物を機械的に清掃除去する点についても着目されていなかった。

特許文献１〜４に記載の装置も、接触により異物を清掃除去するものではあるがクリーニングヘッドのエア吸引口およびその周囲の異物を除去する装置については開示されていなかった。

本発明は、上記のように新たに着目された課題を解決するためになされたものであり、その目的は、ヘッド本体のエア吸引口およびその周囲の異物を簡単かつ迅速に除去する清掃機能を有し、基板品質の向上とともに製造コスト低減を実現するクリーニングヘッド、および、清掃方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、請求項１に記載した発明では、
長孔のエア吸引口が長手方向に形成されたヘッド本体と、前記ヘッド本体のエア吸引口およびその周囲を清掃する清掃装置と、を搭載するクリーニングヘッドであって、
前記清掃装置は、
前記ヘッド本体に取り付けられる誘導支持部と、
前記誘導支持部により誘導支持され、前記エア吸引口の長手方向と相対的かつ略平行に移動する移動部と、
前記移動部とともに移動し、前記エア吸引口およびその周囲の異物を接触除去する異物除去部とを備えることを特徴とするクリーニングヘッドとした。

また、請求項２に記載した発明では、
請求項１記載のクリーニングヘッドにおいて、
前記異物除去部は、前記エア吸引口が形成される底面と略平行な棒状または短冊状の長尺体であり、前記エア吸引口およびその周囲に対して前記長尺体が接触して清掃することを特徴とするクリーニングヘッドとした。

また、請求項３に記載した発明では、
請求項１記載のクリーニングヘッドにおいて、
前記異物除去部は、前記エア吸引口が形成される底面と略平行な回転軸に軸支されるローラであり、前記エア吸引口およびその周囲に対して前記ローラが回転しつつ接触して清掃することを特徴とするクリーニングヘッドとした。

また、請求項４に記載した発明では、
請求項３記載のクリーニングヘッドにおいて、
前記ローラは、帯電防止用の静電ローラであることを特徴とするクリーニングヘッドとした。

また、請求項５に記載した発明では、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の前記清掃装置を用いて清掃する方法であって、
前記エア吸引口からの吸引を停止した状態で清掃を行うことを特徴とする清掃方法とした。

また、請求項６に記載した発明では、
請求項５に記載の清掃方法において、
前記クリーニングヘッドのエア噴出口から洗浄エアを噴出する状態で清掃を行うことを特徴とする清掃方法とした。

また、請求項７に記載した発明では、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の前記清掃装置を用いて清掃する方法であって、
前記エア吸引口およびその周囲を監視する異物センサを配置し、前記異物センサからの検出信号に基づいて、異物があると判断したときに清掃を行うことを特徴とする清掃方法とした。

また、請求項８に記載した発明では、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の前記清掃装置を用いて清掃する方法であって、
前記クリーニングヘッドの直下でシャッタを有するように搬送ステージを配置し、清掃時に前記シャッタを開いた状態とし、除去した異物を、前記シャッタを介して前記搬送ステージ下に落とすことを特徴とする清掃方法とした。

本発明によれば、ヘッド本体のエア吸引口およびその周囲の異物を簡単かつ迅速に除去する清掃機能を有し、基板品質の向上とともに製造コスト低減を実現するクリーニングヘッド、および、清掃方法を提供することができる。

本発明を実施するための第１の形態のクリーニングヘッドの説明図であり、図１（ａ）は側面図、図１（ｂ）は正面図である。 本発明を実施するための第２の形態のクリーニングヘッドの説明図であり、図２（ａ）は側面図、図２（ｂ）は正面図である。 本発明を実施するための第１の形態のクリーニングヘッドの使用例の説明図であり、図３（ａ）は清掃前の状態のクリーニングヘッドの側面図、図３（ｂ）は清掃前の状態のクリーニングヘッドの正面図、図３（ｃ）は清掃途中の状態のクリーニングヘッドの側面図、図３（ｄ）は清掃途中の状態のクリーニングヘッドの正面図である。 本発明を実施するための第２の形態のクリーニングヘッドの使用例の説明図である。 本発明を実施するための第１の形態のクリーニングヘッドの他の使用例の説明図であり、図５（ａ）は側面図、図５（ｂ）は正面図である。 本発明を実施するための第２の形態のクリーニングヘッドの他の使用例の説明図であり、図６（ａ）は側面図、図６（ｂ）は正面図である。

以下、本発明を実施するための第１の形態のクリーニングヘッド１００について図を参照しつつ説明する。このクリーニングヘッド１００は、図１に示すように、ヘッド本体１０、清掃装置２０を備えている。

ヘッド本体１０は、さらにエア噴射口１１、エア吸引口１２、給気部１３、排気部１４を備える。ヘッド本体１０の形状は、六面により形成される直方体を例示している。底面には、図示しないが、平行な二線の直線状の長孔であるエア噴射口１１およびエア吸引口１２が、ヘッド本体１０の長手方向（図１（ｂ）の左右方向）に長くなるように形成されている。給気部１３から供給された洗浄エアは、エア噴射口１１から噴射される。そして、エア吸引口１２で吸引された塵埃は排気部１４から排出される。

清掃装置２０は、さらに誘導支持部２１、移動部２２、異物除去部２３を備えている。

誘導支持部２１は、図１（ｂ）に示すように、ヘッド本体１０の正面に形成され、例えばヘッド本体１０の長手方向（図１（ｂ）の左右方向）に長いレールである。なお、誘導支持部２１は、図１ではヘッド本体１０の正面の中段の高さに取り付けてあるが、ヘッド本体１０の底面に近くなるように正面の下段の高さに取り付けても良い。

移動部２２は、その一方の端部で誘導支持部２１に沿って摺動しつつ移動するようになされている。また、この移動部２２の他方の端部に異物除去部２３が取り付けられている。異物除去部２３と移動部２２とが一体になって、誘導支持部２１に沿って長手方向（図１（ｂ）の左右方向）に移動する。

異物除去部２３は、詳しくは、長孔のエア噴射口１１やエア吸引口１２の長手方向に対して略垂直方向であり、かつエア噴射口１１やエア吸引口１２が形成されるヘッド本体１０の底面と略平行方向に長くなるような棒状または短冊状の長尺体である。この長尺体では少なくともヘッド本体１０の底面と当接する辺または面は平行である。なお、図１ではヘッド本体１０の底面と異物除去部２３との間に視認可能なギャップが存在しているが、これは図を見やすくするためであり、実際は接触した状態となっている。

この異物除去部２３は、エア吸引口１２を傷つけない程度に弾性があるが比較的硬質の部材により形成されている。異物除去部２３は、ヘッド本体１０のエア吸引口１２およびその周囲へ適度な力で押圧するため、硬質であることが好ましい。

異物除去部２３は、棒状または短冊状の長尺体による弾性支持の効果によって、エア吸引口１２およびその周囲に線接触または面接触しつつ移動し、エア吸引口１２およびその周囲の異物を掻き取ることになる。なお、エア噴射口１１は殆どの異物を吹き飛ばすため異物が固着するおそれは極めて少ないが、異物除去部２３はエア噴射口１１も清掃可能であり、上記したエア吸引口１２の周囲にはエア噴射口１１も含まれるものとする（以下、本明細書中では同様に定義する）。

続いて本発明のクリーニングヘッド１００による清掃の原理について説明する。クリーニングヘッド１００のエア吸引口１２にガラスの欠片などの異物が挟まった場合やその周囲に固着している場合、何らかの部材を接触させることで異物が簡単に落ちることや、吸引を停止することでも異物が落ちることが、経験上知られている。これら方法を組み合わせて清掃を行う。

続いて本形態のクリーニングヘッド１００の清掃方法について説明する。ヘッド本体１０のエア吸引口１２にガラスの欠片などである異物が挟まったり、また、その周囲に静電気力により異物が張り付いたりした状態とする。まず、エア噴射口１１からの噴射およびエア吸引口１２からの吸引を停止する。これにより、エア吸引口１２に挟まっている異物に加わる吸引力を無くし、異物を取りやすくする。そして、異物除去部２３がエア吸引口１２およびその周囲に線接触または面接触した状態で、作業員が移動部２２を移動させると、異物除去部２３も長手方向に移動し、異物除去部２３がエア吸引口１２およびその周囲の異物を掻き取る。

異物除去部２３はエア吸引口１２およびその周囲への押し付け力が適切となるように調整されており、異物除去部２３が密着接触して異物を掻き取る。この際、吸引を停止しているため、接触により異物はエア吸引口１２およびその周囲から容易に落下する。

そして、異物除去部２３が左右の一方の端部まで移動したところで反転させて元の方向へ戻すように移動させる。最後に、異物除去部２３を、その最初にあった待機位置にて停止させる。この清掃は、除塵していないアイドルタイムなどで定期的に行われたり、また、異物発見時に行われたりする。このような本形態のクリーニングヘッド１００によれば、容易にエア吸引口およびその周囲を清掃することができる。

続いて、本発明を実施するための第２の形態のクリーニングヘッド２００について図を参照しつつ説明する。このクリーニングヘッド２００は、図２で示すように、ヘッド本体１０、清掃装置３０を備えている。

先に図１を用いて説明した第１の形態と比較すると、第２の形態では、ヘッド本体１０は、先に説明した第１形態の構成と同じであるが、清掃装置３０は、その構成が異なる。この清掃装置３０は、さらに誘導支持部２１、移動部２２、異物除去部２４を備える。本形態では異物除去部２４のみが相違する。

そこで、ヘッド本体１０や、清掃装置３０の誘導支持部２１と移動部２２については、同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、相違する清掃装置３０の異物除去部２４のみ説明する。なお、図２ではヘッド本体１０の底面と異物除去部２４との間に視認可能なギャップが存在しているが、これは図を見やすくするためであり、実際は接触した状態となっている。

清掃装置３０の異物除去部２４は、詳しくは、エア噴射口１１やエア吸引口１２の長手方向に対して略垂直方向であり、かつエア噴射口１１やエア吸引口１２が形成されるヘッド本体１０の底面と略平行方向に長くなるような回転軸に軸支されて回転するローラである。このローラは、例えば、外形が円柱状のブラシ、ゴム、スポンジや、筒体の表面に布を巻いたものなどである。これらのようなローラを使用することで、エア吸引口１２およびその周囲の異物を掻き取ることになる。

そして、このローラは、好ましくは帯電防止用の静電ローラである。静電ローラを使用することで、底面の静電気を除電して静電気力を弱めた上で、静電気力で張り付いた異物を掻き取りながら清掃する。

異物除去部２４による清掃では、移動部２２の移動とともに、エア吸引口１２およびその周囲に対してローラである異物除去部２４が回転しつつ適当な押付力で摺接させることで、エア吸引口１２およびその周囲の異物を掻き取ることになる。

続いて本形態のクリーニングヘッド２００の清掃方法について説明する。ヘッド本体１０のエア吸引口１２にガラスの欠片などである異物が挟まったり、また、その周囲に静電気力により異物が張り付いたりした状態とする。まず、エア噴射口１１からの噴射およびエア吸引口１２からの吸引を停止する。そして、異物除去部２４がエア吸引口１２およびその周囲に接触した状態で、作業員が移動部２２を移動させると、異物除去部２４も長手方向に移動し、異物除去部２４がエア吸引口１２およびその周囲の異物を掻き取る。

異物除去部２４はエア吸引口１２およびその周囲への押し付け力が適切となるように調整されており、異物除去部２４が回転接触して異物を掻き取る。この際、吸引を停止しているため、異物はエア吸引口１２およびその周囲から容易に落下する。

そして、異物除去部２４が左右の一方の端部まで移動したところで反転させて元の方向へ戻すように移動させる。最後に、異物除去部２４を、その最初にあった待機位置にて停止させる。この清掃は、除塵していないアイドルタイムなどで定期的に行われたり、また、異物発見時に行われたりする。このような本形態のクリーニングヘッド２００によれば、容易にエア吸引口およびその周囲を清掃することができる。

なお、クリーニングヘッドでは、第１形態の異物除去部２３か第２形態の異物除去部２４のうちの何れか一方を用いるものとして説明したが、この他にも、同一のクリーニングヘッドに対し、状況に応じて長尺体である異物除去部２３を取り付けて第１形態のクリーニングヘッド１００にしたり、また、ローラである異物除去部２４を取り付けて第２形態のクリーニングヘッド２００にしたりして、適宜使い分けて使用しても良い。

また、第１，第２の形態のクリーニングヘッド１００，２００では、ともにエア噴射口１１からの噴射およびエア吸引口１２からの吸引を停止して清掃するものとしたが、エア吸引口１２からの吸引を停止しつつエア噴射口１１から噴射させた状態で清掃しても良い。この場合、掻き取った異物を吹き飛ばすことになる。また、エア噴射口１１からの噴射を停止しつつエア吸引口１２から吸引した状態で清掃しても良い。この場合、掻き取った異物を吸引することになる。事情に応じて適宜採用することができる。

続いて、清掃方法の他の形態について説明する。この形態は先に図１を用いて説明した第１の形態のクリーニングヘッド１００の清掃方法を改良する清掃方法である。図示しないが、クリーニングヘッド１００のエア吸引口１２およびその周囲を監視する異物センサを備えるようにした。

例えば異物センサはカメラであり、異物がないエア吸引口およびその周囲の画像と、撮像したエア吸引口およびその周囲の画像と、を比較して、画像の変化により異物が付着していると作業員が判定したときに作業員が清掃を開始する。さらに、移動部２２を駆動制御する制御部を備え、異物センサの検出信号に基づいて清掃を開始するように制御部が移動部２２を駆動制御しても良い。加えて、制御部に出力部を接続しておき、清掃が必要と判断されたことを音声や表示により作業員に通知するようにしても良い。そしてこの清掃方法を先に図２を用いて説明した第２の形態のクリーニングヘッド２００を用いる第２の清掃方法に適用しても良い。これらのような清掃方法とすることができる。

続いて清掃方法の他の形態について説明する。この形態は先に説明した第１の形態のクリーニングヘッド１００を用いる清掃方法をさらに改良する形態である。この清掃方法について図３を参照しつつ説明する。図３（ａ），（ｂ）に示すように、クリーニングヘッド１００の下側に、搬送ステージ３００により基板が搬送されるようになされている。

搬送ステージ３００は、上流側（図３（ａ）では右側）から基板を順次搬送する。そして、クリーニングヘッド１００の下を通過する際にクリーニングヘッド１００が除塵を行う。

クリーニングヘッド１００の直下ではシャッタ３０１が配置されている。通常の基板搬送時では、図３（ａ）で示すようにシャッタ３０１は閉じられており、図３（ｂ）で示すように清掃装置２０の移動部２２は停止している。

清掃時には、エア噴射口１１からの噴射およびエア吸引口１２からの吸引を停止し、図３（ｃ）で示すようにシャッタ３０１を開いた状態とする。そして、図３（ｄ）で示すように、清掃装置２０の移動部２２が動作して除去した異物を、シャッタ３０１を介して搬送ステージ３００の下に落とす。これにより、異物の除去を行う。なお、この清掃方法では上記の異物センサを用いる清掃方法を併せて適用しても良い。

また、図４で示すように、先に説明した第２の形態のクリーニングヘッド２００を用いる清掃方法に対し、このシャッタ３０１を用いる清掃方法を適用しても良い。また、この清掃方法でも上記の異物センサを用いる清掃方法を併せて適用しても良い。

続いて他の形態について説明する。この形態は、図５（ａ），（ｂ）で示すように、先に説明した第１形態のクリーニングヘッド１００を上側に、また、対向クリーニングヘッド４００を下側に配置した形態である。この場合、クリーニングヘッド１００と対向クリーニングヘッド４００との間は、狭隘な空間であるが、クリーニングヘッド１００の異物除去部２３がこの空間内に配置され、エア吸引口１２を清掃することができる。この場合、クリーニングヘッド１００と対向クリーニングヘッド４００がともに吸引することで、掻き取った異物を上下からの吸引により清掃除去できる。このような基板両面の除塵用のクリーニングヘッドにも適用できる。

続いて他の形態について説明する。この形態は、図６（ａ），（ｂ）で示すように、先に説明した第２形態のクリーニングヘッド２００を上側に、また、対向クリーニングヘッド４００を下側に配置した形態である。この場合も、クリーニングヘッド２００と対向クリーニングヘッド４００との間は、狭隘な空間であるが、クリーニングヘッド２００の異物除去部２４がこの空間内に配置され、エア吸引口１２を清掃することができる。この場合、クリーニングヘッド２００と対向クリーニングヘッド４００がともに吸引することで、掻き取った異物を上下からの吸引により清掃除去できる。このような基板両面の除塵用のクリーニングヘッドにも適用できる。

以上、本発明のクリーニングヘッドおよび清掃方法について図を参照しつつ説明した。なお、先に説明したクリーニングヘッドはエア噴射口およびエア吸引口が一つであるＰＶ型のクリーニングヘッドを想定して説明したが、一つのエア噴射口が二つのエア吸引口の間に配置されるＶＰＶ型のクリーニングヘッドや一つのエア吸引口が二つのエア噴射口の間に配置されるＰＶＰ型のクリーニングヘッドであっても良い。このような場合でも本発明の実施は可能である。

また、先に説明したクリーニングヘッドは、図１（ｂ）や図２（ｂ）で示すように、正面側に清掃装置２０の誘導支持部２１を配置したが、正面側ではなく背面側（図示せず）に誘導支持部２１を配置しても良い。このような場合でも本発明の実施は可能である。

以上説明したこれらクリーニングヘッドおよび清掃方法によれば、ヘッド本体のエア吸引口およびその周囲の異物を簡単かつ迅速に除去する清掃機能を有し、その結果として基板品質の向上とともに製造コスト低減を実現する。

本発明のクリーニングヘッドおよび清掃方法は、電気・電子製品に用いられる各種基板の製造に適用することができる。

１００，２００：クリーニングヘッド
１０：ヘッド本体
１１：エア噴出口
１２：エア吸引口
１３：給気部
１４：排気部
２０，３０：清掃装置
２１：誘導支持部
２２：移動部
２３：異物除去部（長尺体）
２４：異物除去部（ローラ）
３００：搬送ステージ
３０１：シャッタ
４００：対向クリーニングヘッド

Claims (8)

1. 長孔のエア吸引口が長手方向に形成されたヘッド本体と、前記ヘッド本体のエア吸引口およびその周囲を清掃する清掃装置と、を搭載するクリーニングヘッドであって、
   前記清掃装置は、
   前記ヘッド本体に取り付けられる誘導支持部と、
   前記誘導支持部により誘導支持され、前記エア吸引口の長手方向と相対的かつ略平行に移動する移動部と、
   前記移動部とともに移動し、前記エア吸引口およびその周囲の異物を接触除去する異物除去部とを備えることを特徴とするクリーニングヘッド。
2. 請求項１記載のクリーニングヘッドにおいて、
   前記異物除去部は、前記エア吸引口が形成される底面と略平行な棒状または短冊状の長尺体であり、前記エア吸引口およびその周囲に対して前記長尺体が接触して清掃することを特徴とするクリーニングヘッド。
3. 請求項１記載のクリーニングヘッドにおいて、
   前記異物除去部は、前記エア吸引口が形成される底面と略平行な回転軸に軸支されるローラであり、前記エア吸引口およびその周囲に対して前記ローラが回転しつつ接触して清掃することを特徴とするクリーニングヘッド。
4. 請求項３記載のクリーニングヘッドにおいて、
   前記ローラは、帯電防止用の静電ローラであることを特徴とするクリーニングヘッド。
5. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の前記清掃装置を用いて清掃する方法であって、
   前記エア吸引口からの吸引を停止した状態で清掃を行うことを特徴とする清掃方法。
6. 請求項５に記載の清掃方法において、
   前記クリーニングヘッドのエア噴出口から洗浄エアを噴出する状態で清掃を行うことを特徴とする清掃方法。
7. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の前記清掃装置を用いて清掃する方法であって、
   前記エア吸引口およびその周囲を監視する異物センサを配置し、前記異物センサからの検出信号に基づいて、異物があると判断したときに清掃を行うことを特徴とする清掃方法。
8. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の前記清掃装置を用いて清掃する方法であって、
   前記クリーニングヘッドの直下でシャッタを有するように搬送ステージを配置し、清掃時に前記シャッタを開いた状態とし、除去した異物を、前記シャッタを介して前記搬送ステージ下に落とすことを特徴とする清掃方法。

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