JP2010063992A - 予備塗布装置及びそれを備える塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ローラの外周面に付着した塗布液がローラの外周面に残留するのを抑制し、塗布ユニットの初期化を安定して行うことができる予備塗布装置及びそれを備える塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布ユニットのスリットから吐出される塗布液を付着させるローラを備え、このローラの外周面に前記スリットから塗布液を吐出させた状態で前記ローラを軸心回りに回転させることにより、塗布ユニットを初期化する予備塗布装置であって、前記ローラの外周面に付着した塗布液を除去するスクレーパユニットを備え、このスクレーパユニットは、ローラの外周面に当接する当接部を有するブレードがローラの回転方向に沿って複数枚設けるように構成する。
【選択図】図４

Description

本発明は、基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットを初期化する予備塗布装置及び、その予備塗布装置を備える塗布装置に関するものである。

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス等で形成された基板上にレジスト液等の塗布液が塗布されたものが使用されている。この塗布基板は、塗布液を均一に塗布する塗布装置によって形成されている。

この塗布装置は、基板が載置されるステージと、塗布液が吐出される塗布ユニットを備えており、塗布ユニットのスリットから塗布液を吐出させながら塗布ユニットを移動させることにより、基板上に均一厚さの塗布膜が形成されるようになっている。

このような塗布装置は、下記特許文献１に示されるように、基板上に塗布（基板上への塗布を本塗布という）を行う前には、塗布ユニットを初期化する予備塗布装置が備えられている。具体的には、予備塗布装置１００は、図７に示すように、軸心回りに回転可能なローラ１０１を備えており、塗布ユニット１０２がローラ１０１に塗布液を塗布することにより予備塗布が行われる。すなわち、塗布ユニット１０２のスリット１０２ａからローラ外周面１０１ａに塗布液を吐出させるとスリット１０２ａとローラ外周面１０１ａとが塗布液で連結される。そして、この状態でローラ１０１を回転させることによりスリット１０２ａの長手方向に亘って所定量の塗布液が引き出され、スリット１０２ａの長手方向に亘って塗布液が一様に除去される。これにより、スリット１０２ａは、長手方向に亘って塗布液が充填された状態となり、本塗布に適した状態に維持される。そして、この状態から本塗布を行うことにより、基板上には均一厚さの塗布膜が形成される。

一方、予備塗布装置１００には、ローラ外周面１０１ａに付着した塗布液を除去する洗浄装置１０３が設けられている。この洗浄装置１０３にはスクレーパユニット１０５が設けられており、このスクレーパユニット１０５によりローラ外周面１０１ａに付着した塗布液が除去されるようになっている。具体的には、スクレーパユニット１０５は、ローラ外周面１０１ａの長手方向に亘って延びるブレード１０５ａを有しており、その先端部分がローラ外周面１０１ａに長手方向に亘って当接した状態で取付けられている。したがって、この状態でローラを回転させると、ローラ外周面１０１ａに付着した塗布液がブレード１０５ａによって掻き取られることにより、ローラ外周面１０１ａに付着した塗布液が除去される。なお、スクレーパユニットには塗布液を軟化させる洗浄液を吐出する洗浄液吐出部１０４が設けられており、ブレード１０５ａによる塗布液除去処理前のローラ外周面１０１ａに洗浄液が塗布されるようになっている。

特開２００７−２６０４８５号公報

しかしながら、従来の予備塗布装置１００では、ローラ外周面１０１ａから塗布液が完全に除去しきれない虞がある。すなわち、近年では、基板の大型化に伴って塗布領域が広域になっており、これに対応するため塗布ユニット１０２のスリット１０２ａが長尺化している。そのため、予備塗布装置１００のローラ１０１も軸心方向への長尺化を余儀なくされ、それに対応するようにブレード１０５ａの長手方向寸法も長尺化せざるを得なくなっている。

このように、ローラ１０１及びブレード１０５ａが長尺化すると、ローラ１０１の真直度等の問題から、ローラ外周面１０１ａの長手方向に亘ってブレード１０５ａを当接させることが困難になり、当接不十分な箇所からは、塗布液がブレード１０５ａをすり抜けることにより、ローラ外周面１０１ａに塗布液が残留してしまう。このような塗布液残留による清掃ムラが存在すると、予備塗布動作の際、スリット１０２ａの長手方向に亘って塗布液が均一に引き出すことが困難になり、予備塗布動作が不十分になるという問題が生じる虞がある。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ローラの外周面に付着した塗布液がローラの外周面に残留するのを抑制し、塗布ユニットの初期化を安定して行うことができる予備塗布装置及びそれを備える塗布装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために本発明の予備塗布装置は、塗布ユニットのスリットから吐出される塗布液を付着させるローラを備え、このローラの外周面に前記スリットから塗布液を吐出させた状態で前記ローラを軸心回りに回転させることにより、塗布ユニットを初期化する予備塗布装置であって、前記ローラの外周面に付着した塗布液を除去するスクレーパユニットを有しており、このスクレーパユニットは、ローラの外周面に当接するブレードがローラの回転方向に沿って複数枚設けられ、前記複数枚のブレードがローラの外周面に当接した状態で、ローラを軸回りに回転させることにより、外周面に付着した塗布液が掻き取られてローラの外周面の塗布液が除去されることを特徴としている。

上記予備塗布装置によれば、上記ブレードがローラの回転方向に沿って複数枚設けられているため、ローラの外周面に付着した塗布液を安定して除去することができる。具体的には、一のブレードとローラの外周面との間に隙間が生じていることにより、外周面に付着した塗布液がブレードをすり抜けた場合であっても、そのブレードをすり抜けた塗布液は、ローラの回転方向下流側に位置する他のブレードにより掻き取られる。すなわち、ブレードとローラの外周面とで形成される隙間は、ローラの回転方向に沿って同形状に形成される可能性は低いため、ローラの外周面に付着した塗布液は複数枚のブレードのいずれかによって掻き取られ、塗布液がローラの外周面に残留するのを抑えることができる。したがって、ローラの外周面に付着した塗布液が安定して除去されることにより、塗布ユニットの初期化を安定して行うことができる。

また、前記スクレーパユニットは、ローラの回転方向に沿って複数設けらる構成としてもよい。

この構成によれば、ローラの回転方向に沿って設置されるブレードの枚数が多くなるため、ブレードをすり抜ける塗布液がより一層低減される。

また、前記スクレーパユニットは、複数枚のブレードの当接部がローラの外周面に当接する状態に、前記複数枚のブレードを一体的に取付けるブレードホルダを有している構成にしてもよい。

この構成によれば、ブレードホルダを取付け、取外しを行うだけで複数枚のブレードの取付け及び取外しを行うことができるため、スクレーパユニットのメンテナンス性を向上させることができる。

また、上記課題を解決するために本発明の塗布装置は、上記のいずれかの形態の予備塗布装置と、基板を載置するステージと、このステージに載置された基板に対して相対的に移動しつつ塗布液を吐出する塗布ユニットとを備えることを特徴としている。

上記塗布装置によれば、予備塗布装置により塗布ユニットの初期化を安定して行うことができるため、塗布ムラの発生した不良基板が生産されるのを抑えることができる。

本発明の予備塗布装置及びそれを備える塗布装置によれば、ローラの外周面に付着した塗布液がローラの外周面に残留するのを抑制することができ、これにより、塗布ユニットの初期化を安定して行うことができる。

本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。具体的には、予備塗布装置及びそれを用いた塗布装置について説明する。

図１は、本発明の一実施形態における塗布装置１を概略的に示す図であり、図２は塗布ユニット３０の要部を概略的に示す図である。

図１、図２に示すように、塗布装置１は、基板１０上に薬液やレジスト液等の塗布液を塗布して塗布膜を形成するものであり、基台２０と、基板１０を載置するためのステージ２１と、このステージ２１に対し特定方向に移動可能に構成される塗布ユニット３０とを備えており、さらにこの塗布ユニット３０を初期化する予備塗布装置２（図１において左側）を備えている。

なお、以下の説明では、塗布ユニット３０が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。

前記ステージ２１は、搬入された基板１０をその表面に載置して保持するものである。このステージ２１には、その表面に開口する複数の吸引孔（不図示）が形成されており、これらの吸引孔と真空ポンプ（不図示）とが連通して接続されている。そして、ステージ２１の表面に基板１０が載置された状態で真空ポンプを作動させると、吸引孔に吸引力が発生し基板１０がステージ２１の表面に吸引されて基板１０を吸着保持できるようになっている。また、ステージ２１には、基板１０を昇降動作させる基板昇降機構が設けられている。すなわち、ステージ２１の表面には複数のピン孔（不図示）が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピン（不図示）が埋設されている。そして、ステージ２１の表面に基板１０を載置した状態でリフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分が基板１０に当接し、複数のリフトピンの先端部分で基板１０を所定の高さ位置に保持できるようになっている。これにより、基板１０との接触部分を極力抑えて保持することができ、基板１０を損傷させることなくスムーズに交換できるようになっている。

また、塗布ユニット３０は、基板１０上に塗布液を塗布するものである。この塗布ユニット３０は、基台２０に取付けられた脚部３１（図２参照）とＹ軸方向に延びる口金部３４とを有しており、基台２０上をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。具体的には、基台２０のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール２２が設置されており、脚部３１がこのレール２２にスライド自在に取り付けられている。そして、脚部３１にはリニアモータ３３の可動子が取り付けられており、リニアモータ３３を駆動制御することにより、塗布ユニット３０がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。

本実施形態では、予備塗布を行う予備塗布位置、本塗布を行う本塗布開始位置に移動し、それぞれの位置で精度よく停止できるようになっている。ここで、予備塗布位置とは、塗布ユニット３０を初期化するために予備塗布を行う位置であり、後述する塗布ユニット３０のスリットノズル３４ａの位置が、ローラ４の軸心位置とＸ軸方向において一致する位置（図１における位置Ａ）である。また、本塗布位置とは、Ｘ軸方向において基板１０上に塗布を開始する位置（図１における位置Ｂ）のことである。

塗布ユニット３０の脚部３１には、図２に示すように、塗布液を塗布する口金部３４が取り付けられている。具体的には、この脚部３１にはＺ軸方向に延びるレール３７と、このレール３７に沿ってスライドするスライダ３５が設けられており、これらのスライダ３５と口金部３４とが連結されている。そして、スライダ３５にはサーボモータ（不図示）により駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータを駆動制御することにより、スライダ３５がＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、口金部３４が、ステージ２１に保持された基板１０に対して接離可能に支持されている。

口金部３４は、塗布液を塗布して基板１０上に塗布膜を形成するものである。この口金部３４は、一方向に延びる形状を有する柱状部材であり、塗布ユニット３０の走行方向（Ｘ軸方向）とほぼ直交するように設けられている。この口金部３４には、長手方向に延びるスリットノズル３４ａが形成されており、口金部３４に供給された塗布液がスリットノズル３４ａから長手方向に亘って一様に吐出されるようになっている。したがって、このスリットノズル３４ａから塗布液を吐出させた状態で塗布ユニット３０をＸ軸方向に走行させることにより、スリットノズル３４ａの長手方向に亘って基板１０上に一定厚さの塗布膜が形成されるようになっている。

塗布装置１のＸ軸方向端部（図１の左側）には予備塗布装置２が設けられている。この予備塗布装置２は、塗布ユニット３０を初期化するものであり、一軸方向に延びる円筒形状のローラ４とこのローラ４を洗浄するローラ洗浄機５とを備えている。ここで、図３は、予備塗布装置２を概略的に示す図である。

ローラ４は、円筒形状を有しており、その外周面４１の長手方向寸法がスリットノズル３４ａの長手方向寸法より大きい寸法に設定されている。そして、このローラ４は、洗浄液の廃液を受けるケース部２４内に配置されており、塗布ユニット３０の進行方向（Ｘ軸方向）に対して直交する方向（Ｙ軸方向）に延びるように配置されている。また、ケース部２４には後述する開口部２６ａが形成されており、その開口部２６ａからローラ外周面４１の一部がその長手方向に亘って臨めるようになっている。したがって、塗布ユニット３０が予備塗布位置（位置Ａ）で停止すると、塗布ユニット３０のスリットノズル３４ａの長手方向とローラ外周面４１の長手方向とが互いに一致してスリットノズル３４ａとローラ外周面４１とが互いに対向するようになっている。

また、ローラ４は軸心回りに回転可能に設けられている。具体的には、ローラ４には図示しないモータが接続されており、このモータを駆動させることによりローラ４が軸心回り（図３の矢印方向）に回転できるようになっている。これにより、塗布ユニット３０から吐出された塗布液をローラ外周面４１に付着させ、この状態でローラ４を回転させると、外周面４１に付着した塗布液がローラ４の回転に従って引き込まれることにより、スリットノズル３４ａの長手方向に亘って所定量の塗布液が除去されて塗布ユニット３０が初期化されるようになっている。

また、ケース部２４は、ローラ４で除去された塗布液や洗浄液の廃液を受けるものであり、ローラ４等を収容するケース部本体２５とこのケース部本体２５を上方から覆う天壁部２６とを有している。このケース部２４は、基台２０のＸ軸方向端部側（図１において左側）に配置されており、その上端の一部が基台２０から突出するように埋設されている。

ケース部本体２５には、Ｘ軸方向ほぼ中央部分にローラ４が取付けられており、このローラ４を洗浄するローラ洗浄機５が設けられている。そして、ケース部本体２５の底部には、排出口２５ａが設けられており、この排出口２５ａと廃液回収装置とが配管で連結されている。これにより、ケース部本体２５内の廃液がこの排出口２５ａを通じて廃液回収装置に排出されるようになっている。また、ケース部本体２５の側面部には、ガス吸引口２５ｂが設けられている。これにより、後述のガスノズル７０からローラ４に対して供給されたガスが吸引され、このガス吸引口２５ｂを通じてガス吸引口２５ｂと接続されるガス回収装置に回収されるようになっている。

天壁部２６には、上述のようにローラ４の一部を露出させる開口部２６ａが形成されている。具体的には、ローラ外周面４１の形状に合わせて形成されており、ほぼ長方形に開口して形成されている。この開口部２６ａからは図３に示すようにローラ外周面４１の一部が天壁部２６よりも上方に露出するようになっている。これにより、塗布ユニット３０のスリットノズル３４ａ位置が予備塗布位置（位置Ａ）に位置した状態でスリットノズル３４ａから塗布液を吐出することにより、ローラ外周面４１に塗布液を付着させることができるようになっている。

また、開口部２６ａには、ゴム等の弾性部材で形成されたシール部材２６ｂがローラ外周面４１の長手方向に亘って取付けられている。すなわち、この開口部２６ａのシール部材２６ｂはローラ外周面４１に極力接近する位置まで延伸した状態で取付けられており、ケース部２４内に塵埃等が侵入するのを抑えることができるようになっている。

また、ローラ洗浄機５は、洗浄液供給器５０、スクレーパユニット６０、ガスノズル７０を有しており、ローラ外周面４１付近にローラ４の回転方向に沿ってこの順に取付けられている。

この洗浄液供給器５０は、ローラ外周面４１に洗浄液を供給するものであり、洗浄液貯留部５１と洗浄液吐出部５２とを有している（図４参照）。この洗浄液貯留部５１は、ローラ４の軸心方向寸法よりも大きい寸法の長尺円筒状に形成されており、その内部には、ローラ外周面４１に付着した塗布液を軟化させる洗浄液が貯留できるようになっている。そして、ケース部２４内ではローラ４の軸心方向と洗浄液貯留部５１の延びる方向とが平行となるように設置されており、洗浄液貯留部５１とローラ外周面４１とが長手方向に亘って対向する状態で設置されている。

また、洗浄液貯留部５１には、ローラ外周面４１と対向する側に洗浄液を吐出する洗浄液吐出部５２が形成されている。この洗浄液吐出部５２は、複数の小穴が長手方向に所定間隔で配列されて形成されており、洗浄液貯留部５１に貯留された洗浄液が、この洗浄液吐出部５２を通じてローラ外周面４１に吐出されるようになっている。これにより、洗浄液貯留部５１内の洗浄液が加圧されると、複数の洗浄液吐出部５２から洗浄液が吐出され、洗浄液貯留部５１と対向するローラ外周面４１の長手方向に亘って洗浄液が一様に塗布されるようになっている。

また、スクレーパユニット６０は、ローラ外周面４１上に付着した塗布液を掻き取るものであり、本実施形態ではローラ４の回転方向に沿って２カ所設けられている。このスクレーパユニット６０は、ローラ外周面４１の長手方向に亘って延びるブレード６１が取付けられており、このブレード６１がローラ外周面４１に押しつけられた状態でケース部２４内に固定されている。これにより、洗浄液供給器５０により洗浄液がローラ外周面４１に塗布されつつローラ４を回転させると、ブレード６１によってローラ外周面４１に付着した塗布液が異物とともに掻き取られ、ローラ外周面４１が清掃されるようになっている。

ここで、図４は、スクレーパユニット６０を示す図である。このスクレーパユニット６０は、複数のブレード６１（ブレード６１ａ、６１ｂ）と、これら複数のブレード６１を一体的に固定するブレードホルダ６２とを有しており、ケース部２４内に固定されている。具体的には、ケース部２４にはスクレーパユニット６０を取付けるための取付ステー６４が設けられており、この取付ステー６４にブレードホルダ６２がボルトで連結されることにより固定されている。

ブレード６１は、ローラ外周面４１に付着した塗布液を掻き取るものであり、一方向に延びる平板状部材で形成されている。具体的には、ブレード６１は、口金部３４のスリット３４ａの長手方向寸法よりも大きい寸法に形成されており、その先端部には先鋭状の先端部Ｔが長手方向に亘って形成されている。また、これらのブレード６１は、同種材料で形成されており、本実施形態ではＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）で形成されている。なお、ブレード６１の材料については、樹脂、ゴム、金属等、適宜使用することができる。

また、本実施形態では、２枚のブレード６１ａ、６１ｂがブレードホルダ６２により一体化されて固定されている。このブレードホルダ６２は、ホルダ本体６２ａと当て板６２ｂとを有しており、これらの間に２枚のブレード６１ａ、６１ｂがスペーサ６３を介してボルトで固定されている。

具体的には、ホルダ本体６２ａには、ブレード６１ａに当接する平板状のブレード当接部６２１と取付ステー６４に当接する平板状のステー当接部６２２とを有しており、ブレード当接部６２１には雌ネジ部が形成されている。これにより、ブレード６１ａ、６１ｂ及びスペーサ６３に形成されているボルト挿通孔にボルトを挿通させた状態で、このボルトと雌ネジ部とを螺合させることにより、ブレード６１ａ、６１ｂがスペーサ６３を挟み込む状態で一体的に固定されるようになっている。
なお、ブレード６１ａ、６１ｂがブレードホルダ６２に取付けられた状態では、ブレード当接部６２１に当接するブレード６１ａが、当て板６２ｂに当接するブレード６１ｂよりも当接部Ｔが突出するように固定される。すなわち、ブレードホルダ６２がケース部２４内に固定された状態で、ブレード６１ａ、６１ｂそれぞれがローラ外周面４１に適切に当接できる寸法に固定されるようになっている。

また、ホルダ本体６２ａは、ブレード当接部６２１とステー当接部６２２とが所定の角度を有する略「く」の字状に形成されており、ブレードホルダ６２を取付ステー６４に取付けると２枚のブレード６１ａ、６１ｂが塗布液を掻き取るのに適切な状態でセットされるようになっている。

すなわち、ブレードホルダ６２が取付ステー６４に取付けられると、ステー当接部６２２は、ローラ外周面４１に対して塗布液を掻き取るのに適切な角度を有する姿勢に固定される。したがって、ブレード６１ａは、ステー当接部６２２に当接して取付けられているため、ブレード６１ａの当接部Ｔがローラ外周面４１に対して塗布液を掻き取るのに適切な角度を有するように固定される。さらに、ブレード６１ｂは、ブレード６１ａに対してスペーサ６３によって精度よくオフセットされるため、ブレード６１ｂの当接部Ｔもローラ外周面４１に対して塗布液を掻き取るのに適切な角度を有するように固定される。これにより、ブレード６１ａ、６１ｂを取付けたブレードホルダ６２を取付ステー６４に取付けるだけで２枚のブレード６１ａ、６１ｂが塗布液を掻き取るのに適切な状態でセットされるようになっている。

したがって、ブレードホルダ６２を取付ステー６４に取付けて、ブレード６１ａ、６１ｂがケース部２４内に固定されると、それぞれの当接部Ｔが長手方向に亘ってローラ外周面４１に当接し、この状態でローラ４を軸心回りに回転させると、当接部Ｔがローラ外周面４１の長手方向に亘って付着した塗布液を掻き取ることができる。これにより、ローラ外周面４１に付着した塗布液が除去できるようになっている。

ここで、仮に、ローラ外周面４１に付着した塗布液がブレード６１ａをすり抜けてローラ外周面４１に残留した場合であっても、ブレード６１ａとはローラ４の回転方向に沿って接触位置が異なるブレード６１ｂが存在することにより、残留した塗布液を掻き取ることができるようになっている。

また、本実施形態では、上述のスクレーパユニット６０がローラ４の回転方向に沿って２カ所設けられている。したがって、仮に、ローラ４の真直度等の問題により、ローラ外周面４１に付着した塗布液がローラ４の回転方向上流側のスクレーパユニット６０をすり抜けてローラ外周面４１に残留した場合であっても、接触位置が異なる下流側のスクレーパユニット６０の存在により、残留した塗布液が掻き取られるようになっている。これにより、ローラ外周面４１に付着した塗布液がローラ外周面４１に残留するのを抑制できるようになっている。

また、ガスノズル７０は、ローラ外周面４１にガスを噴出することにより、ローラ外周面４１に残存している洗浄液を除去・乾燥させるものである。本実施形態では、ガスノズル７０がローラ外周面４１に向かって延びており、このガスノズル７０から窒素ガスが噴出される。そして、洗浄液供給器５０により洗浄液が塗布され、スクレーパユニット６０により塗布液や洗浄液が掻き取られた後、ローラ外周面４１に窒素ガスが吹き付けられることにより、ローラ外周面４１が乾燥されるようになっている。なお、本実施形態では窒素ガスを噴出させるように構成されているが、ＣＤＡ（クリーンドライエア）等も使用することができる。

次に、この予備塗布装置２を含む塗布装置１の動作について、図５、図６に示すフローチャートを参照しながら説明する。

まず、基板１０上に塗布液を塗布する本塗布工程を行う前に予備塗布工程、すなわち、塗布ユニット３０の初期化が行われる（ステップＳ１）。この予備塗布工程は、図６に示すフローチャートのステップＳ１１〜Ｓ１４に従って行われる。まず、塗布ユニット３０の位置決め（予備塗布時）が行われる（ステップＳ１１）。具体的には、リニアモータを駆動させることにより塗布ユニット３０を移動させ、塗布ユニット３０が予備塗布位置（位置Ａ）に位置させたところで停止させる。そして、サーボモータを駆動させることにより口金部３４を下降させ、口金部３４のスリットノズル３４ａとローラ外周面４１との距離が所定値になる位置で停止させる。

次に、予備塗布装置２を稼働させる（ステップＳ１２）。すなわち、洗浄液供給器５０から洗浄液を吐出させるとともに、ガスノズル７０から窒素ガスを噴出させた状態で、ローラ４を回転させる。具体的には、洗浄液貯留部５１の洗浄液吐出部５２から洗浄液が吐出されることにより、ローラ外周面４１の長手方向に亘って一様に洗浄液が塗布される。これにより、回転するローラ４のローラ外周面４１全体が洗浄され、予備塗布を行える状態になる。

次に、予備塗布が行われる（ステップＳ１３）。すなわち、塗布ユニット３０から所定量の塗布液を回転しているローラ外周面４１に吐出させる。これにより、塗布ユニット３０のスリットノズル３４ａとローラ外周面４１とが塗布液で連結された状態となるとともに、この状態からローラ４が回転していることにより、ローラ外周面４１に一定厚さの塗布膜をローラ４の回転方向に亘って形成される。そして、所定量の塗布液を吐出した後、口金部３４を上昇させる。これにより、スリットノズル３４ａとローラ４との間に形成された塗布膜が断ち切られ、塗布ユニット３０の初期化が完了する。

また、ローラ外周面４１に付着した塗布液は、ローラ洗浄機５によって洗浄される。具体的には、塗布液が付着しているローラ外周面４１に洗浄液供給機５０からの洗浄液が塗布されることにより、塗布液が軟化し剥がれやすい状態となる。そして、まず上流側のスクレーパユニット６０のブレード６１ａ、６１ｂによりローラ外周面４１に付着した塗布液が掻き取られる。ここで、塗布液がブレード６１ａをすり抜けた場合であっても、ブレード６１ｂにより塗布液が掻き取られる。

なお、ローラ４の真直度等の影響により、上流側のスクレーパユニット６０をすり抜けて塗布液がローラ外周面４１に残留したままの場合であっても、下流側のスクレーパユニット６０のブレード６１ａ、６１ｂにより残留した塗布液が掻き取られる。その後、ガスノズル７０から噴出されるガスにより乾燥処理が行われ、清掃されたローラ外周面４１が形成される。その後、予備塗布装置は停止する（ステップＳ１４）。

また、この塗布ユニット３０の初期化と同時に、ステップＳ２において基板１０の搬入が行われる。具体的には、ステージ２１の表面から複数のリフトピンが突出した状態で待機されており、図示しないロボットハンドにより、リフトピンの先端部分に基板１０が載置される。そして、リフトピンの先端部分に基板１０が載置された状態から、リフトピンを下降させて、基板１０をステージ２１の表面に載置される。

次に、ステップＳ３により、基板１０がステージ２１上に保持される。具体的には、真空ポンプを駆動させることにより、吸引孔に急速に吸引力を発生させる。すなわち、吸引孔内の大気が真空ポンプにより急速に吸引されることにより、吸引孔に吸引力が発生し、瞬時に基板１０がステージ２１上に吸着されて保持される。

次に、ステップＳ４により、塗布ユニット３０が本塗布位置に位置決めされる。具体的には、ステップＳ１３による予備塗布が完了した後、リニアモータを駆動させることにより塗布ユニット３０を本塗布位置（位置Ｂ）まで移動させる。そして、サーボモータを駆動させることにより口金部３４を下降させ、口金部３４のスリットノズル３４ａと基板１０表面との距離が所定値になる位置で停止させる。

次に、ステップＳ５において、塗布動作が行われる。すなわち、塗布ユニット３０を特定の方向（Ｘ軸方向）に走行させつつ、塗布液を吐出させることにより、基板１０の表面に塗布膜を形成させる。

次に、ステップＳ６において、基板１０の取出しが行われる。すなわち、Ｓ５における塗布動作により基板１０表面に塗布膜が形成された後、真空ポンプを停止させて、吸引孔２１ａにおける圧力を大気圧に戻す。そして、リフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分で基板１０を保持させ、図示しないロボットハンドに基板１０の受け渡しが行われ、ステージ２１の表面から基板１０が排出される。

このような予備塗布装置２及びこれを備えた塗布装置１によれば、ブレード６１ａ、６１ｂがローラ４の回転方向に沿って複数枚設けられているため、ローラ外周面４１に付着した塗布液を安定して除去することができ、塗布ユニットの初期化を安定して行うことができる。

また、上記実施形態では、ブレード６１を２枚取付けた場合について説明したが、ブレードを３枚以上取付けたものであってもよい。なお、ブレードを多数取付けた場合には、摩擦の影響によりローラ４の駆動力を大きくする必要があり、予備塗布装置が大型化する虞がある。したがって、ブレードは２、３枚にすることが好ましい。

また、上記実施形態では、ブレード６１の材質を同じ材質である場合について説明したが、互いに異なる材質のブレード６１ａ、６１ｂを用いたものであってもよい。異なる材質を用いることにより、それぞれのブレード６１ａ、６１ｂにおいて、ローラ外周面４１への接触状態（圧接状態）が異なる状態となるため、ローラ外周面４１に付着した塗布液の付着状態に幅広く対応することが可能である。

本発明の実施形態に係る塗布装置を概略的に示す正面図である。 上記塗布装置における塗布ユニットの脚部付近を示す概略図である。 本発明の実施形態に係る予備塗布装置を概略的に示す図である。 スクレーパユニットを示す概略図である。 塗布装置の動作を示すフローチャートである。 予備塗布装置の動作を示すフローチャートである。 従来の予備塗布装置を説明するための図である。

符号の説明

１ 塗布装置
２ 予備塗布装置
４ ローラ
５ ローラ洗浄機
１０ 基板
３０ 塗布ユニット
６０ スクレーパユニット
６１ａ、６１ｂ ブレード
６２ ブレードホルダ

Claims (4)

1. 塗布ユニットのスリットから吐出される塗布液を付着させるローラを備え、このローラの外周面に前記スリットから塗布液を吐出させた状態で前記ローラを軸心回りに回転させることにより、塗布ユニットを初期化する予備塗布装置であって、
   前記ローラの外周面に付着した塗布液を除去するスクレーパユニットを有しており、
   前記スクレーパユニットは、ローラの外周面に当接するブレードがローラの回転方向に沿って複数枚設けられ、
   前記複数枚のブレードがローラの外周面に当接した状態で、ローラを軸回りに回転させることにより、外周面に付着した塗布液が掻き取られてローラの外周面の塗布液が除去されることを特徴とする予備塗布装置。
2. 前記スクレーパユニットは、ローラの回転方向に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載の予備塗布装置。
3. 前記スクレーパユニットは、複数枚のブレードそれぞれがローラの外周面に当接する状態に、前記複数枚のブレードを一体的に固定するブレードホルダを有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の予備塗布装置。
4. 前記請求項１〜３のいずれかに記載の予備塗布装置と、基板を載置するステージと、このステージに載置された基板に対して相対的に移動しつつ塗布液を吐出する塗布ユニットと、を備えることを特徴とする塗布装置。

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