KR101328721B1 - 슬릿코터 - Google Patents

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주식회사 디엠에스
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Abstract

슬릿코터를 개시한다.
이러한 슬릿코터는, 기판이 놓여지는 작업대와, 약액이 토출되는 노즐립을 구비하고, 상기 작업대 측에 놓여진 기판에 약액을 도포할 수 있도록 형성된 슬릿노즐부와, 상기 슬릿노즐부의 길이방향과 대응하는 길이를 가지며 상기 노즐립의 폭방향 일면 및 타면에 묻어있는 약액을 긁어낼 수 있는 상태로 상기 작업대 상에 배치되는 제1 블레이드부 및 제2 블레이드부 그리고, 상기 제1 블레이드부 및 상기 제2 블레이드부가 상기 작업대 상에서 상기 슬릿노즐부의 길이방향과 교차하는 방향으로 움직이면서 약액의 긁음 동작이 이루어지게 지지할 수 있도록 형성되는 지지부를 포함한다.

Description

슬릿코터{Slit Coater}
본 발명은 기판 측에 약액을 도포하는 작업에 사용하는 슬릿코터에 관한 것이다.
평판표시소자용 기판 제조 공정 중에는 각종 약액을 기판 측에 도포하는 작업이 있으며, 이러한 약액 도포 작업에 사용하는 장치 중에는 슬릿코터가 있다.
상기 슬릿코터는, 약액이 토출되는 노즐립이 슬릿형(slit type)으로 형성된 슬릿노즐부를 구비하여 이 슬릿노즐부를 이용하여 기판의 일측에서 타측을 향하여 순차적으로 약액을 도포할 수 있도록 형성된다.
상기한 슬릿코터는 기판에 약액을 균일하게 도포할 수 있어야 하며, 특히 약액 도포시 상기 슬릿노즐부의 노즐립 외부면에 묻는 약액을 깨끗하게 제거한 상태로 도포 작업을 진행하는 것이 중요하다.
이와 같이 노즐립에 묻어있는 약액의 제거가 가능한 구조를 갖는 슬릿코터로는, 2007년 본 출원인에 의해 특허 출원되어 등록된 "특허 제10-0897240호의 세정장치를 구비한 슬릿코터"가 있다.
상기 특허 제10-0897240호의 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 슬릿노즐의 노즐립을 향하여 세정용 유체를 분사 및 흡입하는 상태로 상기 노즐립의 길이방향을 따라 일측에서 타측을 향하여 이동되면서 클린 및 석션, 건조 분위기로 노즐립을 세정(약액 제거)하는 세정수단을 구비하여 이루어진다.
하지만, 상기와 같이 세정용 유체를 이용하여 노즐립을 세정하는 방식은, 유체를 분사 및 석션하기 위한 유체 라인 및 구동원들이 추가로 필요하므로 구조가 복잡하고, 제작 및 유지 보수에 과다한 비용이 소요되는 단점이 있다.
그리고, 노즐립의 길이방향 일측에서 타측을 향하여 이동되면서 세정하는 방식은 약액 세정에 과다한 시간이 소요되어 신속하게 세정 작업을 진행할 수 없으므로 과다한 홀딩 시간이 발생하여 작업성을 크게 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.
또한, 세정용 유체를 분사 및 석션하는 습식 방식으로 세정 작업을 진행하면, 세정 작업 중에 세정용 유체(액체)가 불규칙하게 튀면서 발생할 수 있는 2차 오염은 줄일 수는 있지만, 세정용 유체(액체)에 의한 2차 오염의 발생을 근본적으로 방지하기 어려우므로 만족할 만한 세정 신뢰도 및 작동 안정성을 기대하기에는 구조적으로 한계가 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,
본 발명의 목적은 노즐립(Nozzle Lip)에 묻어 있는 약액을 간편하고 신속하게 제거한 상태로 슬릿 도포 작업을 진행할 수 있는 슬릿코터를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,
기판이 놓여지는 작업대;
약액이 토출되는 노즐립을 구비하고, 상기 작업대 측에 놓여진 기판에 약액을 도포할 수 있도록 형성된 슬릿노즐부;
상기 슬릿노즐부의 길이방향과 대응하는 길이를 가지며 상기 노즐립의 폭방향 일면 및 타면에 묻어있는 약액을 긁어낼 수 있는 상태로 상기 작업대 상에 배치되는 제1 블레이드부 및 제2 블레이드부;
상기 제1 블레이드부 및 상기 제2 블레이드부가 상기 작업대 상에서 상기 슬릿노즐부의 길이방향과 교차하는 방향으로 움직이면서 약액의 긁음 동작이 이루어지게 지지할 수 있도록 형성되는 지지부;
를 포함하는 슬릿코터를 제공한다.
이와 같은 본 발명은, 특히 슬릿노즐부의 노즐립 측에 묻어있는 약액을 긁어내는 방식으로 제거할 수 있도록 형성된 제1 블레이드부, 제2 블레이드부 및 지지부를 구비하고 있으므로 상기 노즐립 측에 묻어있는 약액을 간편하게 제거한 상태로 기판 측에 약액 도포 작업을 진행할 수 있다.
더욱이, 상기 제1 블레이드부 및 상기 제2 블레이드부는, 상기 슬릿노즐부의 폭방향으로 이격 배치되어 상기 노즐립의 폭방향 일면 및 타면을 향하여 한 번의 긁음 동작으로 신속하게 약액을 긁어낼 수 있으므로 약액 제거 작업에 소요되는 시간을 대폭 단축시킬 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면들이다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.
본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면들이고, 도 3 내지 도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면들로서, 도면 부호 2는 작업대를 지칭하고, 도면 부호 4는 슬릿노즐부를 지칭한다.
상기 작업대(2)는 기판(G)이 눕혀진 상태로 놓여질 수 있는 작업면(A)이 상부에 구비된다.
상기 작업면(A)은 기판(G)의 양쪽면 중에서 일면이 지지되면서 평면을 이루는 상태로 놓여질 수 있도록 형성된다.
그리고, 상기 작업대(2)는 도면에는 나타내지 않았지만, 예를 들어, 통상의 컨베이어 이송 방식 또는 플로팅(floating) 이송 방식으로 상기 작업면(A) 일측에서 타측을 향하여 기판(G)을 이송할 수 있는 구조로 제공될 수 있다.
상기 슬릿노즐부(4)는 기판(G) 상에 포토레지스트와 같은 각종 약액(W)을 슬릿(slit) 도포 방식으로 도포할 수 있도록 형성된다.
상기 슬릿노즐부(4)는 약액(W)이 토출되는 노즐(N1)이 형성된 노즐립(N, Nozzle Lip)을 구비하고, 이 노즐립(N)이 기판(G) 사이즈와 대응하는 길이로 연장된 슬릿(slit) 타입으로 형성된다.
즉, 상기 슬릿노즐부(4)는 예를 들어, 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면이 아래쪽을 향하여 점차 폭이 좁아지는 형태를 이루면서 일측에서 타측을 향하여 슬릿 타입으로 연장 형성된 구조로 제공될 수 있다.
상기 슬릿노즐부(4)는 기판(G) 일측에서 타측을 향하여 이동되면서 슬릿 코팅 방식으로 기판(G) 측에 약액(W)을 도포할 수 있는 이송 구조를 갖도록 상기 작업대(2)에 셋팅될 수 있다.
예를 들어, 상기 슬릿노즐부(4)는 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 작업대(2)의 작업면(A) 일측에서 타측을 향하여 이동 가능하게 설치된 겐트리(B, gantry) 측에 고정되어 상기 작업대(2) 상에서 상기 겐트리(B)에 의해 도포방향으로 이동될 수 있는 구조로 제공될 수 있다.
그리고, 상기 슬릿노즐부(4)는 상기 겐트리(B) 측에 설치될 때 예를 들어, 레일(B1)을 따라 움직이면서 상기 작업대(2)의 작업면(A)을 향하여 상,하 방향으로 이동이 가능한 구조로 제공될 수 있다.
상기 겐트리(B)는 도면에는 나타내지 않았지만 모터나 실린더와 같은 구동원으로부터 동력을 전달받아서 LM가이드와 같은 레일을 따라 움직이는 통상의 구조로 이루어질 수 있다.
그러면, 상기 슬릿노즐부(4)는, 상기 작업대(2) 상에서 도 3에서와 같이 상기 겐트리(B)에 의해 작업면(A) 일측에서 타측을 향하여 이동되면서 슬릿 코팅 방식으로 기판(G)에 약액(W)을 도포할 수 있다.
상기에서는 작업대(2) 상에 겐트리(B)를 설치하고, 상기 슬릿노즐부(4)가 상기 겐트리(B)에 의해 움직이면서 약액(W)을 도포하는 구조를 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만, 본 발명이 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만, 상기 슬릿노즐부(4)는 상기 작업대(2) 일측에 고정되고, 상기 작업면(A)에 놓여진 기판(G)이 통상의 컨베이어 이송 방식 또는 플로팅(floating) 이송 방식에 의해 일측에서 타측으로 움직일 때 약액(W)의 도포가 이루어지도록 형성될 수도 있다.
한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터는, 제1 블레이드부(6) 및 제2 블레이드부(8)를 포함한다.
상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)는, 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 외부면에 묻어있는 약액(W)을 긁어서 걷어내는 방식으로 제거하기 위한 것이다.
특히, 상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)는, 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 외부면 중에서 폭방향 양측면에 묻어있는 약액(W)을 간단한 동작으로 긁어서 신속하게 제거할 수 있도록 형성된다.
상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)는 탄성력을 갖는 박판형의 블레이드로 이루어질 수 있으며, 내구성 및 내부식성, 내화학성 등이 우수한 금속 블레이드나 합성수지 블레이드 중에서 사용할 수 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)는, 상기 노즐립(N)의 길이방향과 대응하는 블레이드 길이를 갖도록 형성되며, 상기 작업대(2) 상에서 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 폭방향 양측면과 대응하도록 도면에서와 같은 상태로 배치될 수 있다.
그러면, 후술하는 지지부(10) 의해 상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)가 상기 노즐립(N)을 향하여 전, 후진되면서 긁음동작될 때, 블레이드 끝단(자유단)이 상기 노즐립(N)의 폭방향 일면 또는 타면과 접촉되면서 한 번의 긁음동작으로 약액(W)을 긁어서 신속하게 걷어낼 수 있다.
한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터는, 상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)와 대응하는 지지부(10)를 포함한다.
상기 지지부(10)는 상기 작업대(2) 상에서 상기 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)를 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N)을 향하여 전,후 방향으로 긁음동작이 가능하게 지지할 수 있도록 형성된다.
상기 지지부(10)는, 상기 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)를 지지하기 위한 지지면(C1)이 형성된 지지대(C)를 구비하고, 상기 슬릿노즐부(4)와 대응하는 상태로 상기 블레이드부(6, 8)들을 지지할 수 있도록 상기 작업대(2) 상에 배치된다.
예를 들어, 도 4 및 도 5에서와 같이 상기 제1 블레이드부(6)는 일측 지지면(C1)에 고정되고, 상기 제2 블레이드부(8)는 타측 지지면(C1)에 고정되어 상기 두 개의 블레이드부(6, 8) 자유단이 간격을 띄우고 대략 수평을 이루는 상태로 상기 지지대(C) 측에 배치될 수 있다.
그리고, 상기 지지대(C)는 상기 슬릿노즐부(4)의 이송구간 내에 위치되도록 도 1에서와 같이 상기 작업대(2) 상에 제공될 수 있다.
상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)는 통상의 방법(예; 볼팅)으로 상기 지지대(C)의 지지면(C1) 측에 고정 설치될 수 있다.
특히, 상기 지지대(C)는 예를 들어, 도 5에서와 같이 상기 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)의 자유단 높이가 고정단 높이보다 더 낮은 상태를 유지할 수 있는 지지 구조를 갖도록 형성될 수 있다.
그러면, 상기 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)가 대략 수평방향으로 전, 후진되는 상태로 긁음동작될 때, 자유단이 상기 노즐립(N)의 폭방향 일면 또는 타면 상부와 접촉되어 하부를 향하는 상태로 긁음동작이 이루어질 수 있으므로 약액(W)을 더욱 원활하게 긁어서 걷어낼 수 있다.
상기 지지대(C)는 예를 들어, 상기 노즐립(N)에서 분리된 약액(W)이 담겨지기 위한 수납부(C2)를 더 구비하여 이루어질 수 있다.
상기 수납부(C2)는 도 5에서와 같이 상기 두 개의 지지면(C1) 사이에서 윗면에 개방된 수납공간을 형성하는 상태로 제공될 수 있다.
그러면, 상기 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)에 의해 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면에서 긁어낸 약액(W)이 아래로 낙하되면서 상기 수납부(C2) 측에 그대로 담겨질 수 있으므로 제거된 약액(W)을 한 곳에 간편하게 수거할 수 있다.
그리고, 상기 지지대(C)는 상기 작업대(2) 상에서 상기 노즐립(N)의 길이방향과 직교하는 방향으로 이동이 가능한 구조로 제공된다.
예를 들어, 상기 지지대(C)는 도 4 및 도 5에서와 같이 상기 작업대(2) 상에서 레일(C3)을 따라 움직이면서 상기 노즐립(N)의 길이방향과 직교하는 전,후 방향으로 이동이 가능하게 형성될 수 있다.
이때, 상기 지지대(C)는 도면에는 나타내지 않았지만 모터 또는 실린더와 같은 구동원의 동력을 통상의 방법으로 전달받아서 상기 레일(C3)을 따라 전,후 방향으로 이동되도록 셋팅될 수 있다.
상기한 지지부(10)의 구조에 의하면, 상기 작업대(2) 상에서 상기 노즐립(N)의 약액(W) 제거가 가능하게 상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)를 지지 및 구동할 수 있다.
예를 들어, 도 6에서와 같이 상기 지지대(C)가 일측으로 이동될 때 상기 제1 블레이드부(6)의 자유단이 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면 중에서 일면의 상부 측에서 하부를 향하여 약액(W)을 긁어내는 상태로 걷어낼 수 있다.
그리고, 도 7에서와 같이 상기 지지대(C)가 타측으로 이동될 때 상기 제2 블레이드부(8)의 자유단이 상기 노즐립(N)의 폭방향 타면 상부 측에서 하부를 향하여 약액(W)을 긁어내는 상태로 걷어낼 수 있다.
그러므로, 상기와 같이 지지대(C)의 이동시 상기 제1 블레이드부(6) 또는 상기 제2 블레이드부(8)의 긁음동작으로 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면에 묻어있는 약액(W)을 간편하게 긁어내는 방식으로 제거할 수 있다.
특히, 상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)는 도 4 및 5에서와 같이 상기 슬릿노즐부(4)의 폭방향 양측에 배치되어 긁음동작을 위한 이동거리가 짧을 뿐만 아니라, 노즐립(N)의 길이방향과 대응하는 블레이드 길이로 형성되어 한 번의 긁음동작으로 약액(W)을 신속하게 제거할 수 있으므로 약액(W) 제거에 소요되는 시간을 대폭 단축시킬 수 있다. 즉, 본 발명은, 약액(W) 제거시 도 6 및 도 7에서와 같이 상기 슬릿노즐부(4)는 일체 움직이지 않는 상태에서 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측에 배치된 상기 제1 및 제2 블레이드부(6, 8)가 상기 지지부(10)의 지지대(C) 측에 고정된 상태로 레일(C3)을 따라 간단한 전,후진 동작만으로 상기 노즐립(N)의 폭방향 일면 및 타면의 약액(W)들을 연속으로 신속하고 간편하게 제거할 수 있다.
상기에서는 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)를 움직이는 방식으로 긁음동작이 이루어지는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만, 본 발명이 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만, 상기 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)는 상기 작업대(2) 상에 움직이지 않도록 고정하고, 상기 슬릿노즐부(4)를 움직이는 방식으로 긁음동작이 이루어지는 구조로 제공될 수도 있다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터는, 약액용제부(12)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 약액용제부(12)는, 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N)에 묻어있는 약액(W)이 상기 노즐립(N)의 외부면에서 더욱 원활하게 분리될 수 있는 구조를 제공한다.
특히, 상기 약액용제부(12)는 상기 노즐립(N)의 약액(W)을 녹여서 상기 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)의 긁음동작 중에 약액(W)이 원활하게 분리될 수 있도록 형성된다.
다시 도 4를 참조하면, 상기 약액용제부(12)는, 용제(D1)를 분사하는 분사기(D)를 구비하고, 이 분사기(D)들은 예를 들어, 도면에서와 같이 상기 지지대(C) 측에서 상기 노즐립(N) 외부면을 향하여 용제(D1)를 분사할 수 있도록 한 개 이상 설치될 수 있다.
상기 분사기(D)들은 도면에는 나타내지 않았지만 통상의 방법으로 용제(D1)를 공급받아서 분사할 수 있도록 셋팅되며, 상기 용제(D1)는 신너(thinner)를 사용할 수 있다.
상기한 약액용제부(12)는 상기 제1 및 상기 제2 블레이드부(6, 8)로 노즐립(N)의 약액(W)을 제거하기 전에, 상기 노즐립(N)의 외부면을 향하여 용제(D1)를 분사하는 방식으로 약액(W)을 녹일 수 있으므로 상기 블레이드부(6, 8)들의 긁음동작시 약액(W)이 더욱 원활하게 걷혀질 수 있다.
그리고, 상기 작업대(2) 상에는 도면에는 나타내지 않았지만, 예를 들어, 유체를 분사 및 석션하는 방식으로 상기 블레이드부(6, 8)들을 세정 및 건조할 수 있도록 형성된 세정구를 더 설치할 수도 있다.
그러면, 약액(W) 제거 작업 중에 상기 제1 블레이드부(6) 또는 상기 제2 블레이드부(8) 측에 약액(W)이 달라붙더라도 간편하게 세정 및 건조할 수 있다.
따라서, 상기한 본 발명의 일실시 에에 따른 슬릿코터는, 도 3에서와 같이 상기 작업대(2) 상에 놓여진 기판(G) 측에 상기 슬릿노즐부(4)를 이용한 슬릿도포 방식으로 약액(W)의 도포 작업을 간편하게 진행할 수 있다.
특히, 본 발명은, 상기와 같이 약액(W) 도포 작업을 진행할 때, 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 외부면에 묻어있는 약액(W)을 상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)의 긁음동작으로 간편하게 제거할 수 있다.
즉, 도 6 및 도 7에서와 같이 상기 제1 블레이드부(6) 및 상기 제2 블레이드부(8)가 상기 작업대(2) 상에서 지지부(10)에 의해 전,후방향으로 긁음동작되면서 상기 노즐립(N)의 폭방향 일면 또는 타면에 묻어있는 약액(W)을 간편하게 긁어낼 수 있다.
특히, 상기와 같은 제1 블레이드부(6), 제2 블레이드부(8) 및 지지부(10)의 구조 및 작용에 의하면, 예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 노즐립 길이방향 일측에서 타측을 향하여 이동하는 상태로 약액을 긁어내는 방식과 비교할 때 긁음동작 거리가 짧을 뿐만 아니라, 상기 노즐립(N)의 폭방향 일면 또는 타면과 대응하여 한 번의 긁음 동작으로 약액(W)을 신속하게 걷어낼 수 있다.
그러므로, 본 발명은, 약액 도포 작업시 상기 노즐립(N)의 외부면에 묻어있는 약액(W)을 간편하게 제거할 수 있고, 이에 소요되는 시간도 대폭 줄일 수 있으므로 한층 향상된 작업성을 확보할 수 있다.
2: 작업대 4: 슬릿노즐부 6: 제1 블레이드부
8: 제2 블레이드부 10: 지지부 12: 약액용제부
G: 기판 W: 약액

Claims (5)

  1. 기판이 놓여지는 작업대;
    약액이 토출되는 노즐립을 구비하고, 상기 작업대 측에 놓여진 기판에 약액을 도포할 수 있도록 형성된 슬릿노즐부;
    상기 슬릿노즐부의 길이방향과 대응하는 길이를 가지며, 상기 노즐립의 폭방향 일면 및 타면에 묻어있는 약액을 긁어낼 수 있는 상태로 상기 작업대 상에 배치되는 제1 블레이드부 및 제2 블레이드부;
    상기 작업대 상에서 상기 슬릿노즐부의 길이방향과 교차하는 방향으로 배치되는 레일과, 이 레일을 따라 이동 가능하게 배치되며 상기 제1 블레이드부 및 상기 제2 블레이드부가 고정 지지되는 지지대를 구비하고, 상기 레일을 따라 상기 지지대의 전,후 이동 중에 상기 제1 블레이드부 및 상기 제2 블레이드부의 자유단으로 상기 노즐립의 폭방향 일면 또는 타면의 약액을 긁어내는 긁음동작이 이루어질 수 있도록 하는 지지부;
    를 포함하는 슬릿코터.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지대는,
    상기 제1 블레이드부 및 상기 제2 블레이드부의 자유단의 높이가 고정단의 높이보다 낮은 상태로 지지될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿코터.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬릿코터는, 약액용제부를 더 포함하며,
    상기 약액용제부는,
    용제를 분사할 수 있는 분사기를 구비하고, 상기 작업대 상에서 상기 슬릿노즐부의 노즐립 폭방향 일면 및 타면을 향하여 상기 분사기로 용제를 분사할 수 있도록 셋팅되는 슬릿코터.
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