KR20150034578A - 척 테이블 세정 장치 - Google Patents

척 테이블 세정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20150034578A
KR20150034578A KR20130130829A KR20130130829A KR20150034578A KR 20150034578 A KR20150034578 A KR 20150034578A KR 20130130829 A KR20130130829 A KR 20130130829A KR 20130130829 A KR20130130829 A KR 20130130829A KR 20150034578 A KR20150034578 A KR 20150034578A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chuck table
cleaning
led package
picker
driving unit
Prior art date
Application number
KR20130130829A
Other languages
English (en)
Inventor
정호승
신금수
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Publication of KR20150034578A publication Critical patent/KR20150034578A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
    • B26D7/18—Means for removing cut-out material or waste
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
    • B26D7/18—Means for removing cut-out material or waste
    • B26D7/1818—Means for removing cut-out material or waste by pushing out
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
    • B26D7/18—Means for removing cut-out material or waste
    • B26D7/1845—Means for removing cut-out material or waste by non mechanical means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
    • B26D7/18—Means for removing cut-out material or waste
    • B26D7/1845—Means for removing cut-out material or waste by non mechanical means
    • B26D7/1854—Means for removing cut-out material or waste by non mechanical means by air under pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
    • B26D7/20—Cutting beds
    • B26D2007/208—Cutting beds having a cleaning device

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Forests & Forestry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Dicing (AREA)

Abstract

척 테이블 세정 장치는 절단이 이루어지는 동안 엘이디 패키지를 지지하는 척 테이블의 상방에 위치하는 몸체부와, 몸체부의 하단에 구비되며, 척 테이블의 상부면에 피커에 의해 픽업되지 않고 남아있는 엘이디 패키지 및 척 테이블의 상부면에 남아있는 잔류 물질을 제거하기 위한 세정부 및 몸체부와 연결되며, 세정부가 척 테이블 상부면의 엘이디 패키지 및 잔류 물질을 제거하도록 몸체부를 척 테이블의 상부면과 평행한 수평 방향 및 척 테이블의 상부면과 수직하는 수직 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. 따라서, 엘이디 패키지를 절단하는 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있다.

Description

척 테이블 세정 장치{Apparatus for cleaning a chuck table}
본 발명은 척 테이블 세정 장치에 관한 것으로, 엘이디 패키지의 소잉 설비에서 소잉이 이루어지는 동안 엘이디 패키지를 지지하는 척 테이블을 세정하는 척 테이블 세정 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 엘이디 패키지의 소잉 설비는 엘이디 패키지를 절단하기 위한 것으로, 척 테이블에 지지된 상기 엘이디 패키지를 블레이드로 절단하고 절단된 엘이디 패키지를 피커로 이송한다.
상기 엘이디 패키지는 렌즈 형성을 위해 사용된 실리콘을 포함한다. 상기 피커로 상기 엘이디 패키지를 이송할 때 상기 실리콘의 접착력으로 인해 상기 엘이디 패키지가 상기 척 테이블로부터 픽업되지 않을 수 있다. 또한, 상기 실리콘 등의 잔류 물질이 상기 척 테이블에 잔류하는 경우 상기 잔류 물질이 상기 엘이디 패키지를 상기 척 테이블로 고정하는 접착제로 작용할 수 있다. 이러한 경우, 작업자가 상기 척 테이블로부터 픽업되지 않은 엘이디 패키지를 수작업으로 제거해야 한다. 그러므로, 상기 엘이디 패키지 절단 공정이 지연되어 효율이 저하되고, 상기 엘이지 패키지 절단 공정을 자동화하기 어렵다.
본 발명은 소잉이 이루어지는 동안 엘이디 패키지를 지지하는 척 테이블에 남아있는 엘이디 패키지 및 잔류 물질을 세정하는 척 테이블 세정 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 척 테이블 세정 장치는 절단이 이루어지는 동안 엘이디 패키지를 지지하는 척 테이블의 상방에 위치하는 몸체부와, 상기 몸체부의 하단에 구비되며, 상기 척 테이블의 상부면에 피커에 의해 픽업되지 않고 남아있는 상기 엘이디 패키지 및 상기 척 테이블의 상부면에 남아있는 잔류 물질을 제거하기 위한 세정부 및 상기 몸체부와 연결되며, 상기 세정부가 상기 척 테이블 상부면의 엘이디 패키지 및 잔류 물질을 제거하도록 상기 몸체부를 상기 척 테이블의 상부면과 평행한 수평 방향 및 상기 척 테이블의 상부면과 수직하는 수직 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 세정부는 브러쉬, 연질 패드 또는 경질 블록 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 세정부는 상기 척 테이블 상부면을 향해 세정액을 분사하는 세정액 분사 노즐 및 상기 척 테이블 상부면을 향해 공기를 분사하는 공기 분사 노즐 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 수평 방향 및 상기 수직 방향으로 이동이 가능한 피커에 고정되며, 상기 구동부가 상기 피커에 고정되는 경우 상기 구동부는 상기 몸체부를 상기 수직 방향으로만 이동시킬 수 있다.
본 발명에 따른 척 테이블 세정 장치는 척 테이블의 상부면에서 피커에 의해 픽업되지 않고 남아있는 엘이디 패키지 및 잔류 물질을 제거할 수 있다. 상기 척 테이블 상의 엘이디 패키지를 제거하므로, 후속하여 소잉될 반도체 패키지가 상기 척 테이블 상에 안정적으로 안착될 수 있다. 또한, 상기 척 테이블 상의 잔류 물질이 제거되므로, 상기 잔류 물질로 인해 상기 엘이디 패키지가 상기 척 테이블에 달라붙어 상기 피커에 의해 픽업되지 않는 현상을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 엘이디 패키지 절단 공정이 지연되어 효율이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 상기 엘이지 패키지 절단 공정을 자동화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 척 테이블 세정 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 척 테이블 세정 장치의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 세정부의 다른 예들을 설명하기 위한 측면도들이다.
도 5은 본 발명의 다른 실시예에 따른 척 테이블 세정 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 척 테이블 세정 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 척 테이블 세정 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 척 테이블 세정 장치의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 척 테이블 세정 장치(100)는 절단이 이루어지는 동안 엘이디 패키지를 지지하는 척 테이블(10)을 세정하기 위한 것으로, 몸체부(110), 세정부(120) 및 구동부(130)를 포함한다.
몸체부(110)는 척 테이블(10)의 상부에 배치된다. 몸체부(110)는 대략 일 방향으로 연장된 블록 형태를 가지며, 세정부(120)를 고정할 수 있다. 일 예로, 몸체부(110)의 연장 방향 폭은 척 테이블(10)의 폭과 같거나 클 수 있다. 다른 예로, 몸체부(110)의 연장 방향 폭은 척 테이블(10)의 폭보다 작을 수도 있다.
상기 엘이디 패키지의 제조시 사용된 실리콘과 같은 잔류 물질로 인해 척 테이블(10)에 지지된 엘이디 패키지가 피커(20)에 의해 픽업되지 않고 남아있을 수 있다. 또한, 척 테이블(10) 상에는 후속하는 엘이디 패키지를 척 테이블(10)에 달라붙게 하는 상기 잔류 물질이 존재할 수 있다.
세정부(120)는 몸체부(110)의 하단에 구비되며, 척 테이블(10) 상의 남아있는 상기 엘이디 패키지 및 척 테이블(10) 상의 상기 잔류 물질을 제거할 수 있다.
세정부(120)는 브러쉬, 연질 패드 또는 경질 블록 중 어느 하나일 수 있다. 상기 연질 패드의 재질은 고무 재질, 상기 경질 블록의 재질은 플라스틱 재질로 이루어질 수 있다.
세정부(120)로 상기 브러쉬 또는 연질 패드가 사용되는 경우, 상기 브러쉬와 연질 패드는 척 테이블(10)을 손상시키지 않으므로, 상기 브러쉬와 연질 패드는 척 테이블(10)의 상부면과 접촉할 수 있다. 상기 브러쉬 또는 연질 패드는 척 테이블(10)의 상부면과 접촉한 상태에서 척 테이블(10)의 상부면과 평행한 수평 방향을 따라 이동한다. 따라서, 세정부(120)는 척 테이블(10) 상의 상기 잔류 엘이디 패키지 및 상기 잔류 물질을 안정적으로 제거할 수 있다.
세정부(120)로 상기 경질 블록이 사용되는 경우, 상기 경질 블록은 척 테이블(10)을 손상시킬 수 있다. 그러므로, 상기 경질 블록은 척 테이블(10)의 상부면과 접촉하지 않고 약간 이격될 수 있다. 상기 경질 블록이 척 테이블(10)의 상부면과 약간 이격된 상태에서 척 테이블(10)의 상부면과 평행한 수평 방향을 따라 이동하면서 상기 잔류 엘이디 패키지 및 상기 잔류 물질을 푸시한다. 따라서, 세정부(120)는 척 테이블(10) 상의 상기 잔류 엘이디 패키지 및 상기 잔류 물질을 안정적으로 제거할 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 세정부의 다른 예들을 설명하기 위한 측면도들이다.
도 3을 참조하면, 세정부(120)는 척 테이블(10)의 상부면으로 세정액을 분사하는 세정액 분사 노즐 및 척 테이블(10)의 상부면으로 공기를 분사하는 공기 분사 노즐을 더 포함할 수 있다. 상기 세정액 분사 노즐 및 공기 분사 노즐은 몸체부(110)의 하단 일측 측면에 구비되며, 척 테이블(10)의 상부면과 이격된 상태에서 척 테이블(10)의 상부면을 향해 상기 세정액 또는 상기 공기를 분사할 수 있다. 이때, 상기 세정액 또는 상기 공기는 세정부(120)의 진행 방향의 전방에 위치하는 척 테이블(10)의 상부면을 향해 분사될 수 있다.
상기 세정액 분사 노즐 및 상기 공기 분사 노즐은 동시에 구비되는 것이 바람직하나, 개별적으로 각각 구비될 수도 있다.
일 예로, 세정부(120)로 상기 브러쉬 또는 경질 블록이 사용되는 경우, 상기 브러쉬 또는 경질 블록이 척 테이블(10) 상의 세정액을 제거하기 어려우므로, 세정부(120)는 상기 세정액 분사 노즐 및 상기 공기 분사 노즐을 동시에 더 포함할 수 있다.
다른 예로, 세정부(120)로 상기 연질 패드가 사용되는 경우, 상기 연질 패드가 척 테이블(10) 상의 세정액을 제거할 수 있으므로, 세정부(120)는 상기 세정액 분사 노즐만을 포함할 수 있다.
도 4를 참조하면, 세정부(120)는 상기 세정액 분사 노즐 및 공기 분사 노즐을 각각 한 쌍식 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 세정부(120)의 진행 방향 양측에 상기 세정액 분사 노즐 및 공기 분사 노즐이 각각 구비될 수 있다.
상기 세정액 분사 노즐 및 상기 공기 분사 노즐은 동시에 구비되는 것이 바람직하나, 개별적으로 각각 구비될 수도 있다.
상기와 같이 세정부(120)가 상기 세정액 분사 노즐 또는 공기 분사 노즐을 더 포함하는 경우, 세정부(120)는 상기 잔류 엘이디 패키지 및 잔류 물질을 보다 효과적으로 제거할 수 있다.
그리고, 세정부(120)의 폭이 척 테이블(10)의 폭과 같거나 클 수 있다. 그러므로, 세정부(120)가 상기 수평 방향을 따라 한번만 이동하더라도 척 테이블(10)의 상부면 전체를 세정할 수 있다. 따라서, 척 테이블(10)의 세정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 구동부(130)는 몸체부(110)와 연결되며, 몸체부(110) 및 세정부(120)를 이동시킨다. 구체적으로, 구동부(130)는 몸체부(100) 및 세정부(120)를 상기 수평 방향 및 척 테이블(10)의 상부면과 수직하는 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
구동부(130)의 구동에 따라 세정부(120)가 상기 수평 방향을 따라 척 테이블(10)의 일단부의 상방으로 이동한 후, 상기 수직 방향을 따라 하강하여 척 테이블(10)의 일단부 상부면과 인접하거나 접촉한다. 이후, 세정부(120)는 척 테이블(10)의 일단부 상부면과 인접하거나 접촉한 상태에서 상기 수평 방향을 따라 척 테이블(10)의 타단부까지 이동하면서 상기 잔류 엘이디 패키지 및 상기 잔류 물질을 제거한다. 상기 잔류 엘이디 패키지 및 상기 잔류 물질의 제거가 완료되면, 세정부(120)는 척 테이블(10)의 타단부 상방으로 상기 수직 방향을 따라 상승한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 척 테이블 세정 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 5를 참조하면, 척 테이블 세정 장치(200)는 절단이 이루어지는 동안 엘이디 패키지를 지지하는 척 테이블(10)을 세정하기 위한 것으로, 몸체부(210), 세정부(220) 및 구동부(230)를 포함한다.
몸체부(210) 및 세정부(220)에 대한 설명은 도 1 내지 도 4를 참조한 몸체부(110) 및 세정부(120)에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다.
구동부(230)는 피커(20)에 고정된 상태에서 몸체부(210)와 연결된다. 피커(20)는 척 테이블(10) 상의 상기 엘이디 패키지를 픽업하기 위해 별도의 구동부에 의해 척 테이블(10)의 상부면과 평행한 수평 방향 및 척 테이블(10)의 상부면과 수직하는 수직 방향으로 이동한다. 따라서, 피커(20)의 이동에 따라 몸체부(210), 세정부(220) 및 구동부(230)는 피커(20)와 같이 상기 수평 방향 및 수직 방향으로 이동할 수 있다.
구동부(230)가 피커(20)에 고정된 상태에서, 세정부(220)의 세정이 이루어지지 않을 때 세정부(220)의 하단 높이는 피커(20)의 하단 높이보다 높을 수 있다. 따라서, 피커(20)가 척 테이블(10) 상의 상기 엘이디 패키지를 픽업할 때 세정부(220)가 척 테이블(10) 또는 척 테이블(10) 상의 상기 엘이디 패키지와 충돌하지 않을 수 있다.
구동부(230)는 몸체부(210) 및 세정부(220)를 상기 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 구동부(230)는 척 테이블(10)의 세정을 위해 세정부(220)를 하강시켜 척 테이블(10)의 상부면과 인접하거나 접촉하도록 하고, 척 테이블(10)의 세정이 완료되면 세정부(220)를 상승시켜 피커(20)의 하단보다 높도록 위치시킨다.
척 테이블 세정 장치(200)의 동작을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 기 설정된 위치의 피커(20)가 이동함에 따라 몸체부(210), 세정부(220) 및 구동부(230)가 피커(20)와 같이 상기 수평 방향을 따라 척 테이블(10)의 일단부의 상방으로 이동한다. 다음으로, 피커(20)가 상기 수직 방향을 따라 하강함에 따라 몸체부(210), 세정부(220) 및 구동부(230)가 상기 수직 방향을 따라 하강하여 척 테이블(10)의 일단부 상부면과 인접한다. 이후, 구동부(230)의 구동에 따라 세정부(220)는 하강하여 척 테이블(10)의 일단부 상부면과 더욱 인접하거나 접촉한다. 세정부(220)가 척 테이블(10)의 일단부 상부면과 인접하거나 접촉한 상태에서 피커(20)가 상기 수평 방향을 따라 척 테이블(10)의 타단부까지 이동함으로써 세정부(220)가 상기 잔류 엘이디 패키지 및 상기 잔류 물질을 제거한다. 상기 잔류 엘이디 패키지 및 상기 잔류 물질의 제거가 완료되면, 구동부(230)의 구동에 따라 세정부(220)는 척 테이블(10)의 타단부 상방으로 상기 수직 방향을 따라 상승한다. 이후, 피커(20)가 상기 기 설정된 위치로 이동함에 따라 몸체부(210), 세정부(220) 및 구동부(230)도 피커(20)와 같이 상기 수직 방향 및 수평 방향을 따라 이동한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 척 테이블 세정 장치는 척 테이블의 상부면에서 피커에 의해 픽업되지 않고 남아있는 엘이디 패키지 및 잔류 물질을 제거할 수 있다. 따라서, 상기 엘이디 패키지 절단 공정이 지연되어 효율이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 상기 엘이지 패키지 절단 공정을 자동화할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 척 테이블 세정 장치 110 : 몸체부
120 : 세정부 130 : 구동부
10 : 척 테이블 20 : 피커

Claims (4)

  1. 절단이 이루어지는 동안 엘이디 패키지를 지지하는 척 테이블의 상방에 위치하는 몸체부;
    상기 몸체부의 하단에 구비되며, 상기 척 테이블의 상부면에 피커에 의해 픽업되지 않고 남아있는 상기 엘이디 패키지 및 상기 척 테이블의 상부면에 남아있는 잔류 물질을 제거하기 위한 세정부; 및
    상기 몸체부와 연결되며, 상기 세정부가 상기 척 테이블 상부면의 엘이디 패키지 및 잔류 물질을 제거하도록 상기 몸체부를 상기 척 테이블의 상부면과 평행한 수평 방향 및 상기 척 테이블의 상부면과 수직하는 수직 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 척 테이블 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세정부는 브러쉬, 연질 패드 또는 경질 블록 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 척 테이블 세정 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 세정부는 상기 척 테이블 상부면을 향해 세정액을 분사하는 세정액 분사 노즐 및 상기 척 테이블 상부면을 향해 공기를 분사하는 공기 분사 노즐 중 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 척 테이블 세정 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 수평 방향 및 상기 수직 방향으로 이동이 가능한 피커에 고정되며, 상기 구동부가 상기 피커에 고정되는 경우 상기 구동부는 상기 몸체부를 상기 수직 방향으로만 이동시키는 것을 특징으로 하는 척 테이블 세정 장치.
KR20130130829A 2013-09-26 2013-10-31 척 테이블 세정 장치 KR20150034578A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130114308 2013-09-26
KR20130114308 2013-09-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150034578A true KR20150034578A (ko) 2015-04-03

Family

ID=53031366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20130130829A KR20150034578A (ko) 2013-09-26 2013-10-31 척 테이블 세정 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20150034578A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6966420B2 (ja) 洗浄装置及び洗浄方法
TWI543274B (zh) A method and a device for cutting a substrate
WO2013009180A1 (en) Device for cleaning an encapsulating device for electronic components
JP2016082195A (ja) 切断装置及び切断方法
TWI837481B (zh) 樹脂密封裝置及其清掃方法
KR101301353B1 (ko) 반도체 칩 패키지 세정 장치
KR101607409B1 (ko) 계자극용 자석체의 제조 장치 및 그 제조 방법
JP2012086301A (ja) 半導体製造装置、及び半導体製造方法
KR101705303B1 (ko) 유리 기판 이송용 캐리어를 세척하는 장치 및 방법
KR101346911B1 (ko) 슬릿코터의 노즐 세정장치
TWI397143B (zh) Automatic cleaning of the nozzle device and methods
WO2024041321A1 (en) Devices for automatic cleaning of a monocrystalline silicon bar
KR20150034578A (ko) 척 테이블 세정 장치
KR20180136880A (ko) 피가공물의 절삭 방법
US20090038638A1 (en) Megasonic cleaning system
JP6012945B2 (ja) 基板切断装置
KR102244566B1 (ko) 반도체 패키지 세정 장치
CN112547598B (zh) 一种清洁装置及清洁方法
KR101515722B1 (ko) 금형 클리닝 장치
KR101328721B1 (ko) 슬릿코터
KR101851143B1 (ko) 스테이지 청소장치
CN102671899A (zh) 清洗机流水线清洗托盘工装
JP6495131B2 (ja) 容器清掃装置
KR101447577B1 (ko) 취성 재료 기판의 스크라이브용 분진 제거장치
KR100359184B1 (ko) 본드 콜렛 클리닝 시스템 및 그 사용방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application