KR100954472B1 - 토출 노즐의 청소 장치 - Google Patents

Abstract

<과제> 청소 작용을 구비하는 복수의 요소를 적절히 배열하는 것으로, 청소 효과를 충분히 보증하는 것이 가능한 토출 노즐의 청소 장치를 제공한다.

<해결 수단> 토출 노즐(1)을 승강이 자유롭게 설치하고, 토출 노즐의 길이 방향에 따라서 주행이 자유로운 슬라이딩 베이스(4)에 전후에 위치시켜, 청소 부재(5, 6)를 탑재하고, 청소 부재에는 토출 노즐의 립부(lip block)(3)의 외형 윤곽에 따른 형상을 가지며, 토출 노즐의 하강으로 립부에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트 되는 탄성 변형 가능한 메인 블레이드부(7)와, 메인 블레이드부의 전방에서 립부를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되고, 립부로 향하여 세정액을 분출하는 분출 노즐(8)과, 메인 블레이드부에 인접 배치되고, 세정액을 흡인하는 흡인부를 구비하며, 슬라이딩 베이스에 청소 부재 개방으로 립부를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되고, 립부에 대해 주행 방향 전방으로 향하여 만곡 가능하게 가요 변형이 자유롭고, 토출 노즐의 하강으로 립부에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트 되는 보조 블레이드부(10)를 탑재했다.

Description

토출 노즐의 청소 장치{DISCHARGE NOZZLE CLEANING APPARATUS}

본 발명은 청소 작용을 구비한 복수의 요소를 적절히 배열하는 것으로 청소 효과를 충분히 보증하는 것이 가능한 토출 노즐의 청소 장치에 관한 것이다.

테이블 코터(table coater)는 유리 기판을 도장하기 위해서, 도공액(塗工液 : liquid coating medium)을 토출하는 슬릿 모양 토출구를 립부(lip block)에 형성한 토출 노즐이 채용되고 있다. 그리고 이 토출 노즐의 립부를 청정화하기 위한 청소 장치가 개발되고 있어, 예를 들면 특허문헌 1 ~ 3에 개시되어 있다. 특허문헌 1의 「도포 장치 및 도포 방법 및 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치」에서는 상면이 노즐부의 횡단면에 합치하는 형상을 가지고, 토출구의 길이 방향에 따라서 이동할 때 도포기의 토출구 주변부에 슬라이딩 콘택트(sliding contact)하면서 이 토출구 주변부에 부착하고 있는 도포액을 제거하는 전후 한 쌍의 청소 부재를 도포기의 길이 방향으로 이동시키도록 하고 있다.

특허문헌 2의 「도포용 다이(die) 청소 장치 및 이것을 이용한 도포 방법 및 컬러 필터의 제조 장치 및 제조 방법」에서는 청소도구를 세척하는 세척 수단을 포함함과 동시에 토출구로부터 제거한 도포액을 흡인 배제하는 흡인 유니트를 청소도 구 근방에 배치하도록 하고 있다. 특허문헌 3의 「도포용 다이의 청소 장치 및 청소 방법 및 이것을 이용한 컬러 필터의 제조 장치 및 제조 방법」에서는 이동이 자유로운 트레이(tray)에 리브면 청소용 청소 헤드 및 이것과 서로 전후하는 한 쌍의 리브 사면(斜面) 청소용 청소 헤드를 1조로 하여 조립한 청소 유니트를 구비함과 동시에, 또한 도포액을 흡인 배제하는 폐액(廢液) 유니트와 청소용의 용제(溶劑)를 토출하는 세정 유니트를 구비하고 있다.

[특허문헌 1] 일본국 특허 제3757992호 공보

[특허문헌 2] 일본국 특개평11-300261호 공보

[특허문헌 3] 일본국 특개2002-177848호 공보

어느 배경 기술에 있어서도 노즐부의 횡단면에 합치하는 형상을 가지는 단일 형태의 청소 부재를 인접시켜 배치하거나, 혹은 인접하는 복수의 헤드를 조합하는 것으로 해당 형상이 얻어지는 청소 부재를 이용하고. 해당 청소 부재의 근방에 세척부·흡인 배제부를 배치하여 청소 부재에 의한 슬라이딩 콘택트 작용의 과정에서 도공액을 씻어 흘려 흡인 제거하도록 하여, 이른바 립부를 청정화하도록 하고 있지만, 동일한 형태의 것을 단지 복수 늘어놓아 그 근방에 세정액을 내뿜을 뿐이거나, 복수의 헤드를 조합하지만 거기에 따라 결국은 하나의 청소 부재를 구성하여 그 근방에 세정액을 내뿜는 것 만으로는 도포액을 립부로부터 확실히 닦아낼 수 있다고 할 수 없고, 취할 수 없는 경우에는 줄무늬 등의 흔적이 희미하게 남아, 다시 후처리가 필요하게 되는 등, 배경 기술에서는 청소 부재에 의한 청소 효과를 충분히 보증하는 것이 어렵다고 하는 과제가 있었다.

본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 창안된 것으로서, 청소 작용을 구비한 복수의 요소를 적절히 배열하는 것으로 청소 효과를 충분히 보증하는 것이 가능한 토출 노즐의 청소 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 토출 노즐의 청소 장치는 토출 노즐의 길이 방향에 따라서 주행 이동하고, 도공액을 토출하는 슬릿 모양 토출구가 형성된 이 토출 노즐의 립부를 청소하는 토출 노즐의 청소 장치로서, 상기 토출 노즐을 승강이 자유롭게 설 치하고, 상기 토출 노즐의 길이 방향에 따라서 주행이 자유롭게 슬라이딩 베이스를 설치하며, 이 슬라이딩 베이스에 그 주행 방향 전방 및 후방에 위치시켜, 한 쌍의 청소 부재를 탑재하고, 이들 청소 부재에는 상기 립부의 외형 윤곽에 따른 형상을 가지며, 상기 토출 노즐의 하강으로 이 립부에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트되는 탄성 변형 가능한 메인 블레이드부와, 이 메인 블레이드부보다도 주행 방향 전방 위치에 이 립부를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되고, 해당 립부로 향하여 세정액을 분출하는 분출 노즐과, 이 메인 블레이드부에 인접 배치되고, 세정액을 흡인하는 흡인부를 구비하며, 상기 슬라이딩 베이스에 한 쌍의 상기 청소 부재 사이에서 상기 립부를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되며, 이 립부에 대해 주행 방향 전방으로 향하여 만곡 가능하게 가요 변형이 자유롭고, 상기 토출 노즐의 하강으로 해당 립부에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트되는 메인 블레이드부를 탑재한 것을 특징으로 한다.

상기 보조 블레이드부에는 상기 립부로 향하여 세정액을 분출하는 보조 분출 노즐 및 세정액을 흡인하는 보조 흡인부가 설치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 토출 노즐의 청소 장치에 있어서는 청소 작용을 구비하는 복수의 요소를 적절히 배열하는 것으로 청소 효과를 충분히 보증할 수 있다.

이하에, 본 발명에 관한 토출 노즐의 청소 장치의 바람직한 일실시 형태를 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 실시 형태에 관한 토출 노즐의 청소 장치는 기본적으로는, 도 1 내지 도 4, 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 토출 노즐(1)의 길이 방향에 따라서 주행 이동하고, 도공액(L)을 토출하는 슬릿 모양 토출구(2)가 형성된 토출 노즐(1)의 립부(lip block)(3)를 청소하는 토출 노즐의 청소 장치로서, 토출 노즐(1)을 승강이 자유롭게 설치하고, 토출 노즐의 길이 방향에 따라서 주행이 자유롭게 슬라이딩 베이스(4)를 설치하며, 슬라이딩 베이스(4)에 그 주행 방향 전방 및 후방에 위치시켜, 한 쌍의 전단(前段) 청소 부재(5) 및 후단 청소 부재(6)을 탑재하고, 이들 청소 부재(5, 6)에는 립부(3)의 외형 윤곽에 따른 형상을 가지며, 토출 노즐(1)의 하강으로 립부(3)에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트되는 탄성 변형 가능한 메인 블레이드부(7)와, 메인 블레이드부(7)보다도 주행 방향 전방 위치에 립부(3)를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되고, 해당 립부(3)로 향하여 세정액(W)을 분출하는 분출 노즐(8)과, 메인 블레이드부(7)에 인접 배치되고, 세정액(W)을 흡인하는 흡인부(9)를 구비하며, 슬라이딩 베이스(4)에 한 쌍의 청소 부재(5, 6) 사이에 립부(3)를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되고, 립부(3)에 대해 주행 방향 전방으로 향하여 만곡 가능하게 가요 변형이 자유롭고, 토출 노즐(1)의 하강으로 해당 립부(3)에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트되는 보조 블레이드부(10)를 탑재하여 구성된다.

테이블 코터에는 흡착석(吸着石) 정반(定盤) 위에 흡착하여 고정한 액정 디스플레이 패널용 등의 유리 기판에 도장을 실시하기 위해서 유리 기판 위쪽을 주행 하는 토출 노즐(1)이 마련된다. 토출 노즐(1)은 유리 기판을 횡단하는 방향에 해당 유리 기판의 폭 치수 이상의 길이 치수로 형성된다. 토출 노즐(1) 내에는 그 길이 방향에 따라서 공급되는 도공액(L)을 일단 저장하는 챔버(chamber)(1a)가 형성된다(도 8 참조). 챔버(1a)에는 이것보다 아래쪽으로 향하여 슬릿 모양의 토출구(2)가 형성된다. 토출구(2)도 토출 노즐(1)의 길이 방향에 따라서 형성된다. 도공액(L)은 토출구(2)로부터 유리 기판의 전폭(全幅)에 걸쳐서 토출되고, 토출 노즐(1)이 유리 기판 위쪽을 주행하는 것에 의해 도장을 행하도록 되어 있다.

토출 노즐(1)의 토출구(2) 주변에는 토출 노즐(1)의 폭 치수를 토출구(2)로 향하여 순차적으로 가늘게 오므라지는 한 쌍의 경사면에 의해서, 외형 윤곽이 V자 모양의 립부(3)가 형성되어 있다. 그리고 토출 노즐(1)의 립부(3)에 부착한 도공액(AL)을 닦아내어 청소하기 위해서, 테이블 코터에는 청소 장치가 구비된다. 청소 장치는 본 실시 형태에 있어서는 주로 토출 노즐(1)을 승강이 자유롭게 승강시키는 승강 수단(11)과, 토출 노즐(1)의 길이 방향에 따라서 주행 이동되는 슬라이딩 베이스(4)와, 슬라이딩 베이스(4) 위에 탑재되는 청소 부재(5, 6) 및 보조 블레이드부(10)로 구성된다.

토출 노즐(1)의 상면에는 해당 토출 노즐(1)의 길이 방향에 적당한 간격을 떨어뜨려 승강 수단(11)이 장착된다. 이들 승강 수단(11)은 도시하지 않은 지지 가구(架構)(support structure)에 탑재되고, 토출 노즐(1)은 승강 수단(11)을 통하여 지지 가구에 승강이 자유롭게 지지된다. 승강 수단(11)으로서는 예를 들면, 승강량을 미세 조정하는 것이 용이한 볼 나사 기구 등이 채용된다. 또, 흡착석 정반 위 혹은 이것에 인접 배치되는 도시하지 않은 대(臺) 위에는 그 위쪽으로 이동되어 오는 토출 노즐(1)의 길이 방향에 따라서 해당 토출 노즐(1)과 평행하게 리니어 모터 식 등의 슬라이드 레일(12)이 부설되고, 이 슬라이드 레일(12) 위에 주행 이동이 자유롭게 슬라이딩 베이스(4)가 설치된다. 슬라이딩 베이스(4)는 이것에 탑재된 청소 부재(5, 6)나 보조 블레이드부(10)를 토출 노즐(1)과 평행하게 그 길이 방향에 따라서 주행 이동시키기 위해서, 슬라이드 레일(12) 위를 주행 이동된다.

슬라이딩 베이스(4) 위에는 그 주행 방향 전방의 전단부(前端部) 및 주행 방향 후방의 후단부(後端部)에 위치시켜, 전단(前段) 및 후단(後段) 청소 부재(5, 6)가 탑재된다. 또 이들 청소 부재(5, 6)의 사이에 위치시켜, 보조 블레이드부(10)가 탑재된다.

전단 및 후단 청소 부재(5, 6)는 아울러, 립부(3)에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 콘택트 가능한 메인 블레이드부(7)와, 립부(3)로 향하여 세정액(W)을 분출하는 분출 노즐(8)과, 세정액(W)을 흡인하는 흡인부(9)를 구비한다. 메인 블레이드부(7)는 고무제 플레이트(plate)재로 형성된다. 흡인부(9)는 테플론(Teflon)(등록상표)제의 홈이 형성된 플레이트재(13)를 메인 블레이드부(7)에 겹치게 하여 형성되고, 이것에 의해 메인 블레이드부(7)에 인접시켜 배치된다. 이들 메인 블레이드부(7)와 홈이 형성된 플레이트재(13)는 이들을 겹치게 한 다음, 그 양측으로부터 스테인리스제의 판재(14)를 겹치게 하여 장착하는 것으로 일체화된다. 예를 들면, 메인 블레이드부(7) 및 홈이 형성된 플레이트재(13)를 통하여 판재(14) 사이에 걸쳐서 관통시킨 볼트에 너트를 체결하는 등의 주지의 체결 수단에 의해서 일체화된다.

이들 판재(14), 메인 블레이드부(7) 및 홈이 형성된 플레이트재(13)는 립 부(3)에 접하는 상부에 해당 립부(3)의 외형 윤곽에 따른 형상, 도시한 예에 있어서는 대체로 V자 모양으로 절개한 오목부(7a, 13a, 14a)가 각각 형성된다. 판재(14), 메인 블레이드부(7) 및 홈이 형성된 플레이트재(13)의 각 오목부(7a, 13a, 14a)의 상호 관계는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 판재(14)의 오목부(14a)에 대해서 메인 블레이드부(7)의 오목부(7a)가 돌출하고, 또 홈이 형성된 플레이트재(13)의 오목부(13a)는 판재(14)의 오목부(14a)에 대해서 안으로 들어가도록 설정된다.

메인 블레이드부(7)의 오목부(7a)의 외형 윤곽 치수는 립부(3)의 외형 윤곽 치수와 동일 혹은 근소하게 작게 설정되고, 이것에 의해 메인 블레이드부(7)의 오목부(7a)는 승강 수단(11)에 의해 토출 노즐(1)이 하강하는 것에 의해 립부(3)가 밀어 붙여지므로, 약간이지만 탄성 변형을 일으키면서, 도 6에 나타내는 바와 같이 해당 립부(3)에 긴밀히 밀착하도록 설정된다. 립부(3)는 승강 수단(11)에 의한 토출 노즐(1)의 하강 동작에 의해서, 메인 블레이드부(7)에 밀어 붙여지고, 이것에 의해 메인 블레이드부(7)는 립부(3)에 부착하고 있는 도공액(AL)을 닦아 내기 위해서 해당 립부(3)에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 콘택트 된다. 슬라이딩 베이스(4) 위의 메인 블레이드부(7)와, 토출 노즐(1)의 립부(3)와의 위치 맞춤은 주행 이동되는 토출 노즐(1)과, 슬라이드 레일(12)이 설치된 대(臺) 상호를 레이저 빔 등을 이용하는 등 주지의 위치 맞춤 수단으로 위치 조정하는 것으로 행해진다.

립부(3)의 밀어 붙임을 고려하면, 메인 블레이드부(7)를 구성하는 고무제 플레이트재의 경도는 Hs 40 ~ 60이 바람직하고, Hs 50이 가장 바람직하며, 그 두께도 3 ~ 7mm가 바람직하고, 5mm가 가장 바람직하며, 립부(3)와 메인 블레이드부(7)를 위치 맞춤한 상태에 있어서의 해당 고무제 플레이트재의 립부(3)에 대한 접촉 길이(X)(도 6 참조)는 안정적인 슬라이딩 콘택트를 확보할 수 있는 점으로부터 5 ~ 15mm가 바람직하고, 12mm가 가장 바람직하며, 또한, 토출 노즐(1)의 밀어 붙임에 의한 고무제 플레이트재의 휘어짐 양(토출 노즐(1)이 밀어붙임 양)도 동일한 점으로부터 50 ~ 150㎛가 바람직하고, 100㎛가 가장 바람직하다.

한편, 판재(14)의 오목부(14a)의 외형 윤곽 치수는 메인 블레이드부(7)가 립부(3)에 밀착하고 있는 상태에서 립부(3)와의 사이에 틈새가 생기는 외형 윤곽 치수로 형성된다. 또한, 홈이 형성된 플레이트재(13)의 오목부(13a)의 외형 윤곽 치수는 판재(14)의 오목부(14a)보다 아래로 들어가고, 메인 블레이드부(7)와 판재(14)와의 사이에 세정액(W)의 액체 고임(P)이 되는 공간이 형성되도록 설정된다. 흡인부(9)를 구성하는 홈이 형성된 플레이트재(13)에는 도 7에 나타내는 바와 같이, 메인 플레이트부(7)와 서로 마주 보는 표면에 오목부(13a)로부터 그 반대측의 하부로 향하여 일련으로 틈(13b)이 새겨 형성된다. 틈(13b)은 오목부(13a) 측으로 향하여 한 개가 3개로 분기되고, 각각 메인 블레이드부(7)와 판재(14)와의 사이의 액체 고임(P)에 연통된다. 틈(13b)은 홈이 형성된 플레이트재(13)가 메인 블레이드부(7)에 겹쳐지는 것으로 세정액(W)의 흡인 통로가 되고, 홈이 형성된 플레이트재(13)의 하부에는 흡인 통로와 접속되는 도시하지 않은 흡인 장치의 흡인 배관이 장착된다.

메인 블레이드부(7)보다 슬라이딩 베이스(4)의 주행 방향 전방 위치에는 립부(3)에 부착하고 있는 도공액(AL)을 씻어내기 위한 세정액(W)을 분출하는 분출 노 즐(8)이 한 쌍 배치된다. 이들 분출 노즐(8)은 립부(3)의 양면에 각각 서로 마주 보도록 토출 노즐(1)의 폭 방향 양측에 해당 립부(3)를 사이에 두도록 하여 배치된다. 각 분출 노즐(8)은 슬라이딩 베이스(4) 위에 L자 모양으로 세워 올려지고, 그러한 분출단(8a)은 립부(3)에 대해 이것과 접촉하지 않도록 거리를 떨어뜨려 위치된다. 또, 분출단(8a)의 높이 위치는 도 8에 나타내는 바와 같이, 분출되는 세정액(W)이 토출구(2)로 유입하지 않도록 토출구(2)의 높이 위치보다도 위쪽이 되도록 설정된다(도면 중, Y로 나타낸다). 분출 노즐(8)의 내경은 너무 가늘면 세척에 충분한 세정액(W)을 분출하지 못하고, 또 너무 굵으면 세정액(W)이 소용없게 되므로, 0.3mm정도로 설정된다.

이상과 같은 구성을 구비하는 전단(前段) 및 후단(後段) 청소 부재(5, 6)가 슬라이딩 베이스(4) 위에 한 쌍 탑재됨과 동시에 이들 청소 부재(5, 6) 사이에 위치시켜, 보조 블레이드부(10)가 설치된다. 보조 블레이드부(10)는 립부(3)의 양면 각각에 서로 마주 보는 배치로 토출 노즐(1)의 폭 방향 양측에 해당 립부(3)를 사이에 두도록 하여 한 쌍 설치된다. 보조 블레이드부(10)는 도 9에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 수지(樹脂)제 박판(10a)과, 이들 수지제 박판(10a)의 사이에 끼워 넣어 설치되는 2매 1조의 테플론(등록상표)제 플레이트 조각(10b)으로 구성된다. 수지제 박판(10a)은 판 스프링 모양으로 가요 변형이 자유롭게 형성된다. 플레이트 조각(10b)은 수지제 박판(10a) 사이에서 서로 마주 보게 늘어놓는 것으로, 이들 박판(10a) 사이에 일련으로 연속하는 폭이 넓은 통로부(15a)와 폭이 좁은 통로부(15b)가 형성되도록 각각 L자 모양으로 형성된다.

보조 블레이드부(10)는 폭이 넓은 통로부(15a)가 립부(3)에 근접하도록 설치된다. 또, 보조 블레이드부(10)는 적어도 폭이 넓은 통로부(15a) 측에서 수지제 박판(10a) 사이에 틈새(V)가 생기도록(도 12 참조), 수지제 박판(10a)의 외형치수보다도 플레이트 조각(10b)의 외형치수가 짧게 설정된다. 이것에 의해, 보조 블레이드부(10)는 수지제 박판(10a)가 립부(3) 측에서 가요 변형이 자유롭게 된다.

한 쌍의 보조 블레이드부(10)는 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 베이스(4)의 주행 방향에 따라서 전후에 위치를 옮기고, 또한 토출 노즐(1)에 대한 슬라이딩 베이스(4)의 상대 이동 방향 전방으로 향하여 돌출하도록 경사지게 하여 설치된다. 또, 전후에 위치가 옮겨진 이들 한 쌍의 보조 블레이드부(10)는 도 10에 나타내는 바와 같이, 립부(3)가 수지제 박판(10a)의 사이에 헤집고 들어가도록, 해당 수지제 박판(10a)의 선단(先端) 가장자리(10c)가 메인 블레이드부(7)의 오목부(7a)보다도 립부(3) 측에 상당한 치수 Z로 돌출하도록 설정된다. 바꾸어 말하면, 이들 보조 블레이드부(10)의 선단 가장자리(10c)는 립부(3)의 외형 윤곽에 따른 형상을 가지는 메인 블레이드부(7)의 오목부(7a)보다도 더욱 좁아진 V자 모양 형태를 구성하도록 되어 있다.

이것에 의해 각 보조 블레이드부(10)의 수지제 박판(10a)은 립부(3)에 대해 도 11에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 베이스(4)의 주행 방향 전방으로 향하여 만곡하도록 가요 변형되고, 상술한 토출 노즐(1)의 하강 및 주행 이동으로 립부(3)로부터 거기에 부착하고 있는 도공액(AL) 혹은 그 층을 잡아당겨 벗겨서 떠오르게 하는, 이른바 「깎음」혹은 「문지름」작용이 얻어지도록 해당 립부(3)에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 콘택트 된다.

이들 보조 블레이드부(10)에는 도 12에 나타내는 바와 같이, 립부(3)로 향하여 세정액(W)을 분출하는, 상기 분출 노즐(8)과 동일한 구성의 보조 분출 노즐(16)을 설치하도록 하여도 좋다. 보조 분출 노즐(16)의 내경 및 높이 위치는 분출 노즐(8)과 동일하게 설정하면 좋다. 또, 보조 블레이드부(10)를 구성하는 상기플레이트 조각(10b)에 의해서 형성된 통로부(15a, 15b)를 상기 흡인부(9)와 동일하게 구성하여 세정액(W)을 흡인하기 위한 보조 흡인부(17)로 하여도 좋다. 안정적인 슬라이딩 콘택트 작용을 확보하는 점으로부터 립부(3)에 대한 수지제 박판(10a)의 접촉각(α)(도 11 참조)은 35 ~ 55°가 바람직하고, 45°가 가장 바람직하며, 또, 메인 블레이드부(7)의 오목부(7a)로부터의 수지제 박판(10a)의 돌출량(Z)(도 10 참조)는 0.5 ~ 2mm정도로 설정하는 것이 바람직하다. 수지제 박판(10a) 사이의 틈새(V)의 치수는 보조 흡인부(17)로서 이용하는 경우, 강한 흡인력이 얻어지도록, 0.5 ~ 1mm로 설정하는 것이 바람직하다. 보조 블레이드부(10)에 대해, 슬라이딩 베이스(4) 후방의 후단 청소 부재(6)는 잡아당겨 벗겨져 깎아 나온 도공액의 깎임 찌꺼기(scrap)(D)에 오손되지 않는 적당한 거리(R)를 떨어뜨려 배치된다(도 2 참조).

다음에, 본 실시 형태에 관한 토출 노즐의 청소 장치의 작용에 대해서 설명한다. 청소가 필요하게 된 토출 노즐(1)을 슬라이드 레일(12)로 향하여 주행시키고, 위치 맞춤 수단에 의해 해당 슬라이드 레일(12)의 바로 위쪽 위치에서 정지시킨다. 청소 부재(5, 6) 등을 탑재한 슬라이딩 베이스(4)는 유리 기판의 도장 범위보다도 외측의 토출 노즐의 일단 측에 배치해 둔다. 위치 맞춤 수단에 의해, 이미 립부(3)와 청소 부재(5, 6) 등과의 위치 맞춤은 완료하고 있다. 토출 노즐(1)을 승강 수단(11)으로 하강시켜, 메인 블레이드부(7)에 소정의 휘어짐이 발생하도록 립부(3)를 메인 블레이드부(7)나 보조 블레이드부(10)로 밀어붙인다. 이것에 의해 청소 대기 상태가 된다.

청소는 토출 노즐(1)의 길이 방향에 따라서 그 일단측으로부터 타단측으로 향하여 슬라이딩 베이스(4)를 주행 이동시키는 것에 의해 행해진다. 이 주행 이동 중에 청소 부재(5, 6)와 보조 블레이드부(10)가 토출 노즐(1)의 립부(3)의 청소를 실시한다. 청소 상태에서는 분출 노즐(8)이나 보조 분출 노즐(16)로부터 세정액(W)을 립부(3)로 향하여 분출한다. 슬라이딩 베이스(4)의 주행에 의해, 우선, 주행 방향 전방의 전단 청소 부재(5)의 메인 블레이드부(7)가 미청소 상태의 립부(3)에 대해서 슬라이딩한다. 미청소 상태에서는 도공액(AL)은 약간이지만 요철로 된 덩어리 상태와 같이 립부(3)에 부착하고 있어, 분출 노즐(8)로부터의 세정액(W)이 이것을 연화시키게 되고, 이와 같이 연화한 도공액(AL)을 메인 블레이드부(7)의 슬라이딩 작용에 의해서 얇게 잡아 늘이면서, 대부분의 오물을 닦아낼 수 있다. 메인 블레이드부(7)에 의한 슬라이딩시, 립부(3)에 부착하고 있는 여분의 세정액(W)도 닦아낼 수 있고, 닦아낸 세정액(W)은 닦아낸 도공액(AL)과 함께 액체 고임(P)으로 회수되며, 액체 고임(P)으로 회수된 세정액(W) 및 도공액(AL)을 흡인부(9)에 의해서 흡인 제거할 수 있다.

보조 블레이드부(10)는 립부(3)에 대해서 슬라이딩 베이스(4)의 주행 방향 전방으로 향하여 만곡한 상태로 문지를 수 있도록 슬라이딩하고, 이것에 의해 그 선단 가장자리(10c)에서 메인 블레이드부(7)에 의해서 얇게 잡아 늘려져 막(膜) 형상으로 잔존하는 도공액(AL)의 층을 깎아낼 수 있다. 이때, 보조 세척 노즐(16)로부터 분출되는 세정액(W)에 의해 깎임 찌꺼기(D)를 효과적으로 제거할 수 있다. 또, 여분의 세정액(W)은 보조 흡인부(17)에 의해서 적절히 흡인 제거할 수 있다. 보조 블레이드부(10)와 후단 청소 부재(6)와의 사이에 적당한 거리(R)를 설정함으로써, 깎임 찌꺼기(D)는 이들 양자 사이에 낙하하고, 후단 청소 부재(6)가 깎임 찌꺼기(D)로 오손되는 것을 방지할 수 있다. 후단 청소 부재(6)의 분출 노즐(8)은 세정액(W)을 분출하고, 이것에 의해 보조 블레이드부(10)에서 다 제거되지 않고 남은 깎임 찌꺼기(D)나 립부(3)의 오물을 씻어낼 수 있다.

또한 후단 청소 부재(6)의 메인 블레이드부(7)가 립부(3)를 슬라이딩하여, 오물을 더욱 닦아 떨어뜨릴 수 있고, 이것에 의해 립부(3)의 청소의 마무리를 실시하여, 높은 청정도를 확보할 수 있다. 후단 청소 부재(6)의 메인 블레이드부(7)에 의한 슬라이딩시에는 전단 청소 부재(5)와 마찬가지로, 립부(3)에 부착하고 있는 여분의 세정액(W)이 닦아 내어지고, 이 닦아낸 세정액(W)은 닦아낸 도공액(AL)과 함께 액체 고임(P)에 회수되며, 액체 고임(P)에 회수된 세정액(W) 및 도공액(AL)을 흡인부(9)에 의해서 흡인 제거할 수 있다. 그리고, 슬라이딩 베이스(4)가 토출 노즐(1)의 타단 측에 이름으로써, 청소 작업을 완료할 수 있다. 본 실시 형태에 적용 가능한 세정액으로서는 도포액의 용제(溶劑)를 사용할 수 있다. 예를 들면, PGMEA(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)의 사용이 가능하다. 단, 이것으로 한정되는 것이 아니고, 도포액의 종류에 따라 여러 가지의 용제를 사용하면 좋다.

이상 설명한 본 실시 형태에 관한 토출 노즐의 청소 장치에 있어서는 토출 노즐(1)의 길이 방향에 따라서 주행이 자유롭게 슬라이딩 베이스(4)를 설치하고, 슬라이딩 베이스(4)에 그 주행 방향 전방 및 후방에 위치시켜, 한 쌍의 전단 및 후단 청소 부재(5, 6)를 탑재하며, 이들 청소 부재(5, 6)에는 립부(3)의 외형 윤곽에 따른 형상을 가지고, 토출 노즐(1)의 하강으로 립부(3)에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트 되는 탄성 변형 가능한 메인 블레이드부(7)와, 메인 블레이드부(7)보다도 주행 방향 전방 위치에 립부(3)를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되고, 해당 립부(3)로 향하여 세정액(W)을 분출하는 분출 노즐(8)과, 메인 블레이드부(7)에 인접 배치되며, 세정액(W)을 흡인하는 흡인부(9)를 구비하고, 슬라이딩 베이스(4)에 청소 부재(5, 6) 사이에 립부(3)를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되며, 립부(3)에 대해 주행 방향 전방으로 향하여 만곡 가능하게 가요 변형이 자유롭고, 토출 노즐(1)의 하강으로 해당 립부(3)에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트 되는 보조 블레이드부(10)를 탑재함으로써, 청소 부재(5, 6)와 보조 블레이드부(10)와의 적절한 배열에 의해서, 이들 청소 부재(5, 6) 등이 구비하는 청소 기능에 의해, 합리적이면서 또한 효과적으로 립부(3)를 청정화할 수 있어, 높은 청소 능력을 보증할 수 있다.

또, 청소 부재(5, 6) 등이 탑재되는 슬라이딩 베이스(4)에 대해, 토출 노즐(1)을 승강시키도록 하여, 이것에 의해 립부(3)를 청소 부재(5, 6)의 메인 블레이드부(7)나 보조 블레이드부(10)로 밀어붙여 슬라이딩 콘택트 시키도록 함으로써, 이들 메인 블레이드부(7) 등을 스프링 등으로 탄성 지지하여 플렉서빌러티(flexibility)를 주도록 하면 청소 이동 중에 슬라이딩 콘택트 상태에 격차가 생겨 안정하지 않을 우려가 있는 것에 비하여, 주행 중에 있어서의 양자의 슬라이딩 콘택트 상태의 안정성을 높게 확보할 수 있어, 길이가 긴 토출 노즐(1)에 대해서도 뛰어난 청소 성능을 발휘할 수 있다.

또, 보조 블레이드부(10)를 립부(3)에 대해 주행 방향 전방으로 향하여 만곡시키도록 함으로써, 깎아내는 작용 혹은 문지르는 작용을 높일 수 있고, 립부(3)의 외형 윤곽에 따른 형상을 가지는 메인 블레이드부(7)에서 다 제거하지 못할 우려가 있는 도공액(AL)의 부착물을 효율적으로 제거할 수 있다. 또, 보조 블레이드부(10)와 후단 청소 부재(6)를 거리(R)를 떨어뜨려 마련함으로써, 보조 블레이드부(10)에 의해서 충분한 깎아내는 작용이나 문지르는 작용을 확보하면서, 그것에 악영향을 받지 않고, 후단 청소 부재(6)에서 적절히 청소의 마무리를 실시할 수 있다. 또한, 보조 블레이드부(10)에 보조 분출 노즐(16)이나 보조 흡인부(17)를 마련하면, 청소 부재(5, 6)에 의한 청소 작용을 보충할 수 있어, 더욱 청소 효과를 높일 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 토출 노즐의 청소 장치의 바람직한 일실시 형태를 나타내는 사시도이다.

도 2는 도 1에 나타낸 토출 노즐의 청소 장치의 측면도이다.

도 3은 도 1에 나타낸 토출 노즐의 청소 장치의 평면도이다.

도 4는 도 3 중, A-A선 화살표의 단면도이다.

도 5은 도 1에 나타낸 토출 노즐의 청소 장치에 채용되는 청소 부재의 정면도이다.

도 6은 도 5에 나타낸 청소 부재의 메인 블레이드부를 나타내는 정면도이다.

도 7은 도 5에 나타낸 청소 부재의 홈이 형성된 플레이트를 나타내는 정면도이다.

도 8은 도 1에 나타낸 토출 노즐의 청소 장치에 채용되는 분출 노즐과 립부와의 위치 관계를 나타내는 개략 정면도이다.

도 9는 도 1에 나타낸 토출 노즐의 청소 장치에 채용되는 보조 블레이드부의 분해 사시도이다.

도 10은 도 9에 나타낸 보조 블레이드부와 청소 부재와의 위치 관계를 나타내는 개략 부분 정면도이다.

도 11은 도 9에 나타낸 보조 블레이드부의 수지제 박판과 립부와의 슬라이딩 콘택트 상태를 나타내는 개략 부분 확대도이다.

도 12는 도 9에 나타낸 보조 블레이드부에 채용 가능한 보조 분출 노즐과 보 조 흡인부를 나타내는 보조 블레이드부의 개략측 단면도이다.

<부호의 설명>

1 토출 노즐

2 슬릿 모양 토출구

3 립부

4 슬라이딩 베이스

5 전단 청소 부재

6 후단 청소 부재

7 메인 블레이드부

8 분출 노즐

9 흡인부

10 보조 블레이드부

11 승강 수단

16 보조 분출 노즐

17 보조 흡인부

AL, L 도공액

W 세정액

Claims (2)

1. 토출 노즐의 길이 방향에 따라서 주행 이동하고, 도공액(塗工液 : liquid coating medium)을 토출하는 슬릿(slit) 모양 토출구가 형성된 이 토출 노즐의 립부(lip block)를 청소하는 토출 노즐의 청소 장치로서,

   승강이 자유로운 상기 토출 노즐의 길이 방향에 따라서 주행이 자유롭게 설치된 슬라이딩 베이스(sliding base)와,

   이 슬라이딩 베이스에 그 주행 방향 전방 위치 및 후방 위치에 각각 탑재되고, 상기 립부의 도공액을 연화시켜 잡아 늘리는 전단 청소 부재 및 상기 립부의 청소의 마무리를 행하는 후단 청소 부재와,

   상기 슬라이딩 베이스에 탑재됨과 동시에, 상기 전단 청소 부재와 상기 후단 청소 부재 사이에서 상기 립부를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되며, 상기 립부에 대하여 주행 방향 전방으로 향하여 만곡 가능하게 가요 변형이 자유롭고, 상기 토출 노즐의 하강으로 상기 립부에 슬라이딩 자유롭게 슬라이딩 컨택트(sliding contact)되어 상기 립부의 오물을 긁어내는 보조 블레이드부를 구비하고,

   상기 보조 블레이드부에는 상기 립부를 향하여 세정액을 분출하는 보조 분출노즐이 설치되며,

   상기 전단 청소 부재 및 상기 후단 청소 부재에는, 상기 립부의 외형 윤곽에 따른 형상을 가지며, 상기 토출 노즐의 하강으로 이 립부에 슬라이딩이 자유롭게 슬라이딩 컨택트되는 탄성 변형 가능한 메인 블레이드(blade)부와, 이 메인 블레이드부보다도 주행 방향 전방 위치에 이 립부를 양측으로부터 사이에 두도록 한 쌍 배치되고, 해당 립부로 향하여 세정액을 분출하는 분출 노즐과, 이 메인 블레이드부에 인접 배치되고, 세정액을 흡인(吸引)하는 흡인부를 구비하며,

   상기 전단 청소 부재는 상기 분출노즐로부터의 세정액에 의해 상기 립부에 부착되어 있는 도공액을 연화시키고, 연화된 도공액을 상기 메인 블레이드부에 의해서 얇게 잡아 늘려 대부분 닦아 내며,

   상기 보조 블레이드부는 상기 메인 블레이드부에 의해서 얇게 잡아 늘려져 막 형상으로 잔존하는 도공액의 층을 깍아 내며,

   상기 보조 분출노즐은 깍임 찌꺼기를 상기 립부로부터 제거하며,

   상기 후단 청소 부재는 상기 분출노즐로부터의 세정액에 의해 상기 립부에 잔존한 깍임 찌꺼기나 상기 립부의 오물을 닦아 떨어뜨리고 상기 메인 블레이드부에 의해서 상기 립부의 오물을 다시 닦아 떨어뜨려 청소의 마무리를 행하는

   것을 특징으로 하는 토출 노즐의 청소 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 보조 블레이드부에는 세정액을 흡인하는 보조 흡인부가 설치되는 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 청소 장치.

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