JP4808147B2

JP4808147B2 - 塗布用ダイの清掃装置

Info

Publication number: JP4808147B2
Application number: JP2006337686A
Authority: JP
Inventors: 敏也土井; 正紀甲田; 久也永井; 貴史黒木
Original assignee: Chugai Ro Co Ltd
Current assignee: Chugai Ro Co Ltd
Priority date: 2006-12-15
Filing date: 2006-12-15
Publication date: 2011-11-02
Anticipated expiration: 2026-12-15
Also published as: KR100839781B1; TW200824798A; TWI322039B; CN101204687B; JP2008149224A; CN101204687A

Description

本発明は、塗布用ダイのリップ部の先端面に設けられた細長のスリット状になった吐出口から塗布液をガラス基板，樹脂フィルム，金属箔等の様々な被塗布体に供給した後、上記の塗布用ダイのリップ部に付着して残留している塗布液を除去するのに使用する塗布用ダイの清掃装置に係り、特に、上記の吐出口が設けられた塗布用ダイのリップ部の先端面に清掃部材の先端部を塗布用ダイの長手方向と交差する方向に接触させた状態で、この清掃部材を塗布用ダイの長手方向に沿って移動させて、塗布用ダイのリップ部に付着して残留している塗布液を除去する塗布用ダイの清掃装置に関するものである。

従来より、プラズマディスプレーパネル，有機エレクトロルミネッセンスディスプレーパネル，液晶ディスプレーパネル等を製造するにあたり、リップ部の先端面に細長のスリット状になった吐出口が設けられた塗布用ダイを、ガラス基板，樹脂フィルム，金属箔等の様々な被塗布体に対して相対的に走行させながら、この塗布用ダイの吐出口から塗布液を上記の被塗布体に供給して、被塗布体の表面に塗布液を塗布させることが行われている。

ここで、上記のように塗布用ダイの吐出口から塗布液を上記の被塗布体に供給して被塗布体に塗布液を塗布した場合、上記の塗布用ダイのリップ部の先端面やこの先端面の両側の傾斜面に塗布液が付着して残留し、このように残留する塗布液が次の塗布作業を行うまでの待機時間に乾燥してその濃度が上昇し、この状態で、次の塗布作業を行うと、高濃度化した塗布液により被塗布体に筋状の塗布むらが生じたり、途切れが発生したりするという問題があった。

このため、近年においては、ブレード等の清掃部材の先端部を、吐出口が設けられた塗布用ダイのリップ部の先端面に塗布用ダイの長手方向と交差する方向に接触させ、この状態で、この清掃部材を塗布用ダイの長手方向に沿って移動させて、塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去し、このように除去した塗布液を吸引ノズル等により吸引するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献１，２参照。）。

また、上記のように清掃部材により塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去した際に、この清掃部材に塗布液が付着して残るのを防止するため、上記のように清掃部材により塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去しながら、この清掃部材の移動方向側の面に洗浄液供給ノズルから洗浄液を供給することや（例えば、特許文献１参照。）、清掃部材により塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去した後、この清掃部材を洗浄装置が設けられた所定の位置に導いて洗浄させることが提案されている（例えば、特許文献２参照。）。

しかし、上記のように清掃部材により塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去しながら、この清掃部材の移動方向の面に洗浄液供給ノズルから洗浄液を供給する場合、塗布用ダイの先端面に設けられた吐出口から塗布用ダイの内部に洗浄液が流入されないようにする必要があり、このため、この塗布用ダイの先端面に接触する清掃部材の先端部に洗浄液を供給して洗浄することが困難で、清掃部材の先端部に塗布液が付着して残るという問題があった。

また、清掃部材により塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去した後、この清掃部材を洗浄装置が設けられた所定の位置に導いて洗浄させる場合には、上記の清掃部材を洗浄装置が設けられた位置に適切にセットさせる機構が必要であり、洗浄操作に時間がかかり、生産効率も悪くなるという問題があった。
特開平１１−１４７０６２号公報特開２００２−１７７８４８号公報

本発明は、細長のスリット状になった吐出口が設けられた塗布用ダイの先端面に清掃部材の先端部を塗布用ダイの長手方向と交差する方向に接触させ、この状態で、この清掃部材を塗布用ダイの長手方向に沿って移動させて、塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去する塗布用ダイの清掃装置における上記のような問題を解決することを課題とするものである。

すなわち、本発明においては、清掃部材により塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去した際に、この清掃部材に付着した塗布液を簡単かつ確実に除去できるようにすることを課題とするものである。

本発明においては、上記のような課題を解決するため、塗布液を供給する細長のスリット状になった吐出口が設けられた塗布用ダイのリップ部の先端面に、清掃部材の先端部を塗布用ダイの長手方向と交差する方向に接触させ、この状態で、この清掃部材を塗布用ダイの長手方向に沿って移動させて、塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去する塗布用ダイの清掃装置において、上記の清掃部材によって塗布用ダイのリップ部から除去された塗布液を吸引する吸引部を設けると共に、清掃部材の移動方向後方側に清掃部材と一緒に移動する洗浄液供給ノズルを設け、塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液の除去が終了した後に、この洗浄液供給ノズルから上記の清掃部材の先端部に向けて洗浄液を供給するようにした。

ここで、上記の清掃部材によって塗布用ダイのリップ部から除去された塗布液を吸引する吸引部を設けるにあたっては、上記の清掃部材を、所要間隔を介した２枚のブレード部材で構成し、この２枚のブレード部材間の隙間を、塗布液を吸引する吸引部とすることができる。

また、上記の塗布用ダイの清掃装置においては、上記の清掃部材の移動方向前方側に清掃部材と一緒に移動する第２洗浄液供給ノズルを設け、清掃部材を移動させて塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去する途中において、上記の第２洗浄液供給ノズルから塗布用ダイのリップ部の先端面の両側に位置する傾斜面に洗浄液を供給することができる。

さらに、上記の塗布用ダイの清掃装置においては、上記の清掃部材とは別に、上記の塗布用ダイのリップ部の先端面の両側に位置するそれぞれの傾斜面に接触して移動する一対の補助清掃部材を設けることができる。

本発明における塗布用ダイの清掃装置においては、上記のように清掃部材によって塗布用ダイのリップ部から除去された塗布液を吸引する吸引部を設けると共に、清掃部材の移動方向後方側に清掃部材と一緒に移動する洗浄液供給ノズルを設け、塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液の除去が終了した後に、この洗浄液供給ノズルから上記の清掃部材の先端部に向けて洗浄液を供給して、清掃部材を洗浄するようにしたため、従来のように、この清掃部材を所定の位置に導いて洗浄装置によって洗浄させる必要がなく、清掃部材の洗浄が簡単かつ効率よく行えると共に、清掃部材の先端部に付着した塗布液も上記の洗浄液によって十分に除去されるようになる。

また、上記の清掃部材の移動方向前方側に清掃部材と一緒に移動する第２洗浄液供給ノズルを設け、清掃部材を移動させて塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去する途中において、上記の第２洗浄液供給ノズルから塗布用ダイのリップ部の先端面の両側に位置する傾斜面に洗浄液を供給すると、上記の傾斜面に付着している塗布液が洗浄液により傾斜面から除去されて塗布用ダイのリップ部の先端面に導かれ、このように洗浄液と一緒に導かれた塗布液が清掃部材によって塗布用ダイのリップ部の先端面に付着している塗布液と一緒に除去されるようになる。

なお、この場合、洗浄液は塗布用ダイのリップ部の先端面ではなく、その両側に位置する傾斜面に供給されるので、この洗浄液が吐出口から塗布用ダイの内部に流入することがない。

さらに、上記の清掃部材とは別に、上記の塗布用ダイのリップ部の先端面の両側に位置するそれぞれの傾斜面に接触して移動する一対の補助清掃部材を設け、上記のように傾斜面に付着している塗布液を洗浄液により溶かした状態にして、この一対の補助清掃部材によって除去させるようにすると、上記の傾斜面に付着している塗布液をより確実に除去できるようになる。

以下、この発明の実施形態に係る塗布用ダイの清掃装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、この発明に係る塗布用ダイの清掃装置は下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。

この実施形態における塗布用ダイの清掃装置においては、図１〜図３に示すように、塗布用ダイ１０のリップ部１１の先端面１１ａに設けられた細長のスリット状の吐出口１２から塗布液１を被塗布体（図示せず）に供給した後、この塗布用ダイ１０のリップ部１１の先端面１１ａ及びこの先端面１１ａの両側に位置する傾斜面１１ｂに付着して残留する塗布液１を除去するようになっている。

そして、この実施形態における塗布用ダイの清掃装置においては、上記の吐出口１２が設けられた塗布用ダイ１０の先端面１１ａに、清掃部材２０の先端部を塗布用ダイ１０の長手方向と交差する方向に接触させ、この状態で、移動装置３０によりこの清掃部材２０を塗布用ダイ１０の長手方向に沿って移動させるようにしている。

また、この移動装置３０によって清掃部材２０と一緒に移動するようにして、この清掃部材２０の移動方向後方側にこの清掃部材２０の先端部に向けて洗浄液２を供給する洗浄液供給ノズル２１を設けると共に、この清掃部材２０の移動方向前方側に、吐出口１２が設けられた塗布用ダイ１０の先端面１１ａの両側に位置する各傾斜面１１ｂ，１１ｂに洗浄液２を供給する一対の第２洗浄液供給ノズル２２，２２を設けている。

また、この実施形態における塗布用ダイの清掃装置においては、上記の清掃部材２０として、２枚のブレード部材２０ａ，２０ｂを所要間隔を介して対向するように設け、この２枚のブレード部材２０ａ，２０ｂ間の隙間を塗布用ダイ１０のリップ部１１から除去された塗布液１を吸引する吸引部２３として用いるようにしている。なお、このように２枚のブレード部材２０ａ，２０ｂを所要間隔を介して対向するように設けて吸引部２３として用いる場合、この２枚のブレード部材２０ａ，２０ｂの間隔が狭い方が強い吸引力が得られるため、この２枚のブレード部材２０ａ，２０ｂの間隔を０．５〜１ｍｍの範囲にすることが好ましい。

また、この実施形態における塗布用ダイの清掃装置においては、上記の清掃部材２０よりもその移動方向後方側の位置に、塗布用ダイ１０のリップ部１１の先端面１１ａの両側に位置する各傾斜面１１ｂ，１１ｂにそれぞれブレードからなる補助清掃部材４１，４１の先端部を塗布用ダイ１０の長手方向と交差する方向に接触させ、これらの補助清掃部材４１，４１を移動装置３１，３１によって塗布用ダイ１０の長手方向に沿って移動させるようにしている。

そして、この実施形態における塗布用ダイの清掃装置において、塗布用ダイ１０のリップ部１１の先端面１１ａやその両側に位置する各傾斜面１１ｂ，１１ｂに付着している塗布液１を除去するにあたっては、図１に示すように、清掃部材２０の移動方向前方側に設けた一対の第２洗浄液供給ノズル２２，２２から塗布用ダイ１０の先端面１１ａの両側に位置する各傾斜面１１ｂ，１１ｂにそれぞれ洗浄液２を供給すると共に、上記のように清掃部材２０の先端部を塗布用ダイ１０の長手方向と交差する方向に接触させた状態で、この清掃部材２０を移動装置３０により塗布用ダイ１０の長手方向に沿って移動させるようにする。

このようにすると、塗布用ダイ１０の各傾斜面１１ｂ，１１ｂに付着している塗布液１が第２洗浄液供給ノズル２２，２２から供給された洗浄液２により傾斜面１１ｂ，１１ｂから流れて先端面１１ａに導かれ、この塗布液１と洗浄液２との混合物が塗布用ダイ１０の先端面１１ａに付着している塗布液１と同様に上記の清掃部材２０により掻き取られて一緒に除去され、上記の清掃部材２０における吸引部２３に吸引されるようになる。

また、この実施形態における塗布用ダイの清掃装置においては、上記の清掃部材２０よりもその移動方向後方側の位置において、塗布用ダイ１０の先端面１１ａの両側に位置する各傾斜面１１ｂ，１１ｂに、それぞれ先端部を接触させた各補助清掃部材４１，４１を移動装置３１，３１によってそれぞれ塗布用ダイ１０の長手方向に沿って移動させ、上記の傾斜面１１ｂ，１１ｂに残留している塗布液１や洗浄液２を各補助清掃部材４１，４１によって除去させるようにする。

このようにすると、塗布用ダイ１０の先端面１１ａに付着している塗布液１が除去されると共に、各傾斜面１１ｂ，１１ｂに付着している塗布液１も洗浄液２と一緒に塗布用ダイ１０から適切に除去されるようになる。

そして、上記のように清掃部材２０により塗布用ダイ１０の先端面１１ａや各傾斜面１１ｂ，１１ｂに付着している塗布液１を洗浄液２と一緒に除去させた後は、図４に示すように、上記の各移動装置３０，３１が塗布用ダイ１０から離れた適当な位置において、この清掃部材２０の移動方向後方側に設けた上記の洗浄液供給ノズル２１から清掃部材２０の先端部に向けて洗浄液２を供給する。

このようにすると、上記のようにして清掃部材２０により塗布用ダイ１０に付着している塗布液１を除去させた際に、この清掃部材２０に除去された塗布液１が付着して残ったとしても、この塗布液１が上記の洗浄液供給ノズル２１から供給された洗浄液２によって清掃部材２０から適切に除去されるようになり、この清掃部材２０の先端部に塗布液１が付着して残るということがなくなる。なお、この時に生じた洗浄液２と塗布液１との混合物を、上記の清掃部材２０の吸引部２３により吸引させるようにしてもよい。

また、この実施形態における塗布用ダイの清掃装置においては、移動装置３０，３１を水平方向に離したが、上下方向に離すようにしてもよい。

なお、この実施形態における塗布用ダイの清掃装置においては、塗布用ダイ１０の先端面１１ａの両側に位置する各傾斜面１１ｂ，１１ｂにそれぞれ補助清掃部材４１，４１の先端部を接触させて、各傾斜面１１ｂ，１１ｂに残留する塗布液１を除去するようにしたが、これらの補助清掃部材４１，４１によって各傾斜面１１ｂ，１１ｂに残留する塗布液１を除去した際に、これらの傾斜面１１ｂ，１１ｂに残留する塗布液１が清掃済みの塗布用ダイ１０の先端面１１ａに再び導かれるおそれがあるため、これらの補助清掃部材４１，４１よりも移動方向後方側の位置に、図示していないが、塗布用ダイ１０の先端面１１ａに接触する第２の清掃部材を設け、この第２の清掃部材の先端部を接触させて移動させ、上記のように塗布用ダイ１０の先端面１１ａに再び導かれた塗布液１を除去させるようにすることも可能である。

また、塗布用ダイ１０の先端面１１ａの両側に位置する各傾斜面１１ｂ，１１ｂに残留する塗布液１を除去する上記の補助清掃部材４１，４１についても、図示していないが、上記の清掃部材２０と同様に、２枚のブレード部材を所要間隔を介して対向するように設け、この２枚のブレード部材間の隙間を塗布用ダイ１０の傾斜面１１ｂ，１１ｂから除去された塗布液１を吸引する吸引部として用いるようにしたり、またこれらの補助清掃部材４１，４１の移動方向後方側の位置に、これらの補助清掃部材４１，４１と一緒に移動するようにして、これらの補助清掃部材４１，４１の先端部に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルを設けるようにすることも可能である。

本発明の一実施形態における塗布用ダイの清掃装置において、塗布用ダイのリップ部の先端面やその両側の傾斜面に付着している塗布液を除去する状態を塗布用ダイの側面側から示した概略説明図である。同実施形態における塗布用ダイの清掃装置において、塗布用ダイのリップ部の先端面やその両側の傾斜面に付着している塗布液を除去する状態を塗布用ダイの正面側から示した概略説明図である。同実施形態における塗布用ダイの清掃装置において、塗布用ダイの先端面の両側に位置する傾斜面にそれぞれ補助清掃部材の先端部を接触させた状態を示した概略説明図である。同実施形態における塗布用ダイの清掃装置において、清掃部材により塗布用ダイに付着している塗布液を除去させた後、清掃部材の移動方向後方側に設けた洗浄液供給ノズルから清掃部材の先端部に向けて洗浄液を供給する状態を示した概略説明図である。

符号の説明

１塗布液
２洗浄液
１０塗布用ダイ
１１リップ部
１１ａ先端面
１１ｂ傾斜面
１２吐出口
２０清掃部材
２０ａ，２０ｂブレード部材
２１洗浄液供給ノズル
２２第２洗浄液供給ノズル
２３吸引部
３０，３１移動装置
４１補助清掃部材

Claims

塗布液を供給する細長のスリット状になった吐出口が設けられた塗布用ダイのリップ部の先端面に、清掃部材の先端部を塗布用ダイの長手方向と交差する方向に接触させ、この状態で、この清掃部材を塗布用ダイの長手方向に沿って移動させて、塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去する塗布用ダイの清掃装置において、上記の清掃部材によって塗布用ダイのリップ部から除去された塗布液を吸引する吸引部を設けると共に、清掃部材の移動方向後方側に清掃部材と一緒に移動する洗浄液供給ノズルを設け、塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液の除去が終了した後に、この洗浄液供給ノズルから上記の清掃部材の先端部に向けて洗浄液を供給することを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。
請求項１に記載した塗布用ダイの清掃装置において、上記の清掃部材が所要間隔を介した２枚のブレード部材で構成され、この２枚のブレード部材間の隙間が上記の吸引部になっていることを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。
請求項１又は請求項２に記載した塗布用ダイの清掃装置において、上記の清掃部材の移動方向前方側に清掃部材と一緒に移動する第２洗浄液供給ノズルを設け、清掃部材を移動させて塗布用ダイのリップ部に付着している塗布液を除去する途中において、上記の第２洗浄液供給ノズルから塗布用ダイのリップ部の先端面の両側に位置する傾斜面に洗浄液を供給することを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載した塗布用ダイの清掃装置において、上記の清掃部材とは別に、上記の塗布用ダイのリップ部の先端面の両側に位置するそれぞれの傾斜面に接触して移動する一対の補助清掃部材を設けたことを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。