TWI335245B - Discharge nozzle cleaning apparatus - Google Patents

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TWI335245B
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Wei Zhidan
Kohda Masanori
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Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd
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    • B05B15/555—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids discharged by cleaning nozzles
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5258811B2 (ja) 2010-02-17 2013-08-07 東京エレクトロン株式会社 スリットノズル洗浄装置及び塗布装置
KR101205834B1 (ko) * 2010-08-24 2012-11-29 세메스 주식회사 세정 유닛 및 이를 가지는 처리액 토출 장치, 헤드 세정 방법
JP5138058B2 (ja) * 2011-03-07 2013-02-06 東レ株式会社 清掃部材と塗布器の清掃方法及び清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法
JP5841449B2 (ja) * 2012-02-10 2016-01-13 東京エレクトロン株式会社 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置
KR101328721B1 (ko) 2012-03-28 2013-11-11 주식회사 디엠에스 슬릿코터
KR101379387B1 (ko) * 2012-07-12 2014-04-01 주식회사 진영이노텍 복층유리 제조용 티피에스 공급노즐 청소장치
CN103286030B (zh) * 2013-06-28 2016-08-31 深圳市华星光电技术有限公司 一种狭缝喷嘴清洁装置
KR102232661B1 (ko) * 2014-05-30 2021-03-29 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 헤드 세정 방법
JP6523100B2 (ja) * 2015-08-18 2019-05-29 東京応化工業株式会社 清掃部材、塗布装置及び塗布方法
JP6697324B2 (ja) * 2016-05-26 2020-05-20 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法
KR101884983B1 (ko) * 2016-07-19 2018-08-03 주식회사 프로텍 점성 용액 디스펜서용 노즐 세정 장치
JP6824673B2 (ja) * 2016-09-13 2021-02-03 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置
CN106733748A (zh) * 2016-12-13 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 一种清洁系统
CN206425274U (zh) * 2017-01-05 2017-08-22 惠科股份有限公司 一种喷嘴的清洁装置
JP6430056B1 (ja) * 2018-07-17 2018-11-28 中外炉工業株式会社 塗布用ノズルの清掃装置
JP7094635B2 (ja) * 2018-11-28 2022-07-04 東レエンジニアリング株式会社 清掃装置
JP7197525B2 (ja) * 2020-01-22 2022-12-27 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3757992B2 (ja) * 1996-01-18 2006-03-22 東レ株式会社 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置
JP2002177848A (ja) * 2000-12-15 2002-06-25 Toray Ind Inc 塗布用ダイの清掃装置および清掃方法並びにこれを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法
JP4168603B2 (ja) 2001-05-31 2008-10-22 凸版印刷株式会社 洗浄装置付大型塗布装置
JP4779234B2 (ja) * 2001-06-05 2011-09-28 東レ株式会社 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置
KR100505180B1 (ko) * 2002-02-20 2005-08-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 노즐세정장치를 구비한 액정적하장치 및 액정적하방법
JP2004066164A (ja) * 2002-08-08 2004-03-04 Dainippon Printing Co Ltd 塗工ヘッドのクリーニング装置及びクリーニング方法
JP4188043B2 (ja) * 2002-09-18 2008-11-26 中外炉工業株式会社 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置
JP3940054B2 (ja) * 2002-10-07 2007-07-04 大日本スクリーン製造株式会社 ノズル清掃装置およびこのノズル清掃装置を備えた基板処理装置
JP2006167508A (ja) 2004-12-13 2006-06-29 Toray Ind Inc 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置
JP4792787B2 (ja) * 2005-03-31 2011-10-12 凸版印刷株式会社 洗浄装置付塗布装置
JP4884038B2 (ja) * 2006-03-10 2012-02-22 東京応化工業株式会社 スリットノズル洗浄装置
JP4808147B2 (ja) * 2006-12-15 2011-11-02 中外炉工業株式会社 塗布用ダイの清掃装置

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