JP6173036B2 - 加工装置 - Google Patents
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本実施の形態では、接着剤除去機構について説明する。図1(A)は、本実施の形態に係る接着剤除去機構で処理される板状物の構成例を模式的に示す斜視図であり、図1(B)は、板状物の構成例を模式的に示す断面図である。
本実施の形態では、上述した接着剤除去機構2を備える加工装置について説明する。図5(A)は、本実施の形態に係る加工装置で処理される板状物の構成例を模式的に示す斜視図であり、図5(B)は、板状物の構成例を模式的に示す断面図である。
4 保持テーブル
4a 保持面
6 接着剤除去手段
8 エアシリンダ(位置付け手段)
10 スピンドルハウジング
12 スピンドル
14 パッドマウント
16 接着剤除去パッド
18 基台
18a 下面
18b 供給孔
18c 上面
20 接着剤除去部材
22 加工装置
24 ハウジング
26 基部
26a,26b 開口
28 壁部
30 搬送機構
32a,32b カセット
34 仮載機構
36 搬入搬出機構
38 X軸移動テーブル
40 防水カバー
42 チャックテーブル
44 Z軸移動機構
46 Z軸移動テーブル
48 Z軸ガイドレール
50 Z軸ボールネジ
52 Z軸パルスモータ
54 切削手段
56 スピンドルハウジング
58 スピンドル(回転スピンドル)
60 バイトマウント
62 切削バイト
64 回転駆動源
66 搬入搬出機構
68 柱部
70 噴射ノズル(洗浄手段)
72 操作パネル
11,21 板状物
11a,21a 主面(第二面)
11b,21b 主面(第一面)
13,23 ウェーハ(第一板状物)
15,25 キャリアウェーハ(第二板状物)
17,27 デバイス
19,29 接着剤
31 テープ
Claims (2)
- 第一板状物と第二板状物とが接着剤を介して貼り合わせられた貼り合わせ板状物において、該貼り合わせ板状物の第一面に付着した該接着剤を除去する接着剤除去機構を備える加工装置であって、
該貼り合わせ板状物と同等以上の大きさの保持面を有し、該貼り合わせ板状物の該第一面の背面の第二面側を回転可能に保持する保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された該貼り合わせ板状物の該第一面に対面して配設された接着剤除去パッドと、該接着剤除去パッドを回転させる回転駆動源と、からなる接着剤除去手段と、
該接着剤除去手段を該保持テーブルに対して相対的に近接離反させ、該保持テーブルで保持された該貼り合わせ板状物を該接着剤除去パッドで押圧する作用位置と、該貼り合わせ板状物から離反した退避位置と、に位置付ける位置付け手段と、
を有する接着剤除去機構と、
該貼り合わせ板状物の該第一面側を保持して該第二面側を露出させる保持手段と、
該保持手段で保持された貼り合わせ板状物の該第二面側を切削する切削バイトと、該切削バイトが装着される回転スピンドルと、を備えた切削手段と、
を備えたことを特徴とする加工装置。 - 前記貼り合わせ板状物を回転可能に保持するスピンナテーブルと、
該スピンナテーブルで保持された該貼り合わせ板状物を洗浄する洗浄手段と、を備え、
前記保持テーブルは、該スピンナテーブルで兼用され、
前記接着剤除去手段は、該スピンナテーブルに対面して配設されることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
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JP2013107186A JP6173036B2 (ja) | 2013-05-21 | 2013-05-21 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013107186A JP6173036B2 (ja) | 2013-05-21 | 2013-05-21 | 加工装置 |
Publications (2)
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JP2014226742A JP2014226742A (ja) | 2014-12-08 |
JP6173036B2 true JP6173036B2 (ja) | 2017-08-02 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013107186A Active JP6173036B2 (ja) | 2013-05-21 | 2013-05-21 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6173036B2 (ja) |
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2013
- 2013-05-21 JP JP2013107186A patent/JP6173036B2/ja active Active
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