JP6925715B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
2 研削装置
4 基台
6 ターンテーブル
8 チャックテーブル
8a 保持面
8b 多孔質部材
8c 供給路
8d 流体
10a,10b 研削ユニット
10b 研磨ユニット
12 コラム
14a,14b スピンドルモータ
16a,16b 研削ホイール
18a,18b 研削砥石
20a,20b 加工送りユニット
22a,22b カセット載置台
24a,24b カセット
26 被加工物搬送ロボット
28 位置決めテーブル
30 被加工物搬入機構(ローディングアーム)
32 被加工物搬出機構(アンローディングアーム)
34 スピンナ洗浄装置
36 洗浄ユニット
38 支持体
40 ガイドレール
42 移動部
44 ボールネジ
46 パルスモータ
48 スピンドルハウジング
50 スピンドル
52 固定基台
54 貫通穴
54a 樹脂
56 ロッド
58 研磨工具
E1 搬入出領域
E2,E3 加工領域
Claims (2)
- 被加工物を保持面上に保持するチャックテーブルと、
被加工物への研削又は研磨が実施される加工領域と、被加工物の搬入および搬出が実施される搬入出領域と、に該チャックテーブルを位置付けるチャックテーブル位置付けユニットと、
該加工領域に位置付けられた該チャックテーブルの上方に配設され、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削又は研磨する加工ユニットと、
該搬入出領域に位置付けられた該チャックテーブルの上方に配設され、該保持面を洗浄するチャックテーブル洗浄ユニットと、
該チャックテーブルに接続され、該保持面から噴出させる流体を該チャックテーブルに供給する流体供給ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該チャックテーブル洗浄ユニットは、
該保持面に当接して該保持面から加工屑を除去する機能を有する研磨工具と、
該研磨工具を該保持面に垂直な回転軸で回転させる回転ユニットと、
該回転ユニットを該回転軸の伸長方向に移動させる移動ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、該保持面を洗浄するとき該チャックテーブルを該保持面に垂直な軸のまわりに回転させ、該回転ユニットにより該研磨工具を回転させるとともに該移動ユニットにより該研磨工具を該回転軸の伸長方向に沿って下降させ、該研磨工具が該保持面に当接する際に該流体供給ユニットを作動させて該保持面から該流体を噴出させ該研磨工具と、該チャックテーブルと、の間に層状の該流体を挟ませることを特徴とする加工装置。 - 該回転ユニットは、該回転軸の下端に該軸方向に貫通する貫通穴を有する固定基台を備え、
該貫通穴の内壁には、樹脂が設けられ、
該研磨工具は、該固定基台の該貫通穴に遊びがあるように通されたロッドに固定されて、該ロッドを介して該固定基台から垂れ下がり、
該制御ユニットは、該保持面を洗浄するとき、該研磨工具が自重を作用して該保持面を研磨するように、該移動ユニットを制御して該回転ユニットを移動させることを特徴とする請求項1記載の加工装置。
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