JP6949424B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
3 保護テープ
2 研磨装置
4 基台
4a 開口
6a,6b カセット載置台
8a,8b カセット
10 被加工物搬送ロボット
12 位置決めテーブル
14 被加工物搬入機構(ローディングアーム)
16 被加工物搬出機構(アンローディングアーム)
18 X軸移動テーブル
20 保持テーブル
20a 保持面
20b 吸引路
22 搬入出領域
24 加工領域
26 研磨ユニット
28 支持部
30 Z軸ガイドレール
32 Z軸移動プレート
34 Z軸ボールねじ
36 Z軸パルスモータ
38 スピンドルハウジング
40 スピンドル
42 マウント
44 研磨パッド
46 固定具
48 研磨液供給源
50 研磨液供給路
52 洗浄ユニット
54 基材層
56 研磨層
58 ねじ穴
60 研削液供給路
62 溝
64 栓状部材
66 孔
68 研磨液
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を研磨する研磨ユニットと、を備える研磨装置の該研磨ユニットに装着される円板状の研磨パッドであって、
基材層と、
該被加工物に接触する研磨層と、
該基材層及び該研磨層に形成され中央部を厚さ方向に貫く研磨液供給路と、
該研磨層の該被加工物に接触する面に形成され該研磨液供給路に達する溝と、
該厚さ方向に貫通する複数の孔を有し、該研磨液供給路を塞ぐように配設された栓状部材と、
を具備することを特徴とする研磨パッド。 - 該研磨液供給路に研磨液を供給すると、該研磨液は該栓状部材の上方に一時的に溜まり、該孔から下方に流出し、該基材層及び該研磨層に形成された該研磨液供給路の内壁面を伝って下方に流れ、該研磨層の該溝に供給され、該被加工物の被加工面の全域に供給されることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
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