JP6851761B2 - 板状物の加工方法 - Google Patents
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Images
Description
22 チャックテーブル
48、148 研磨ユニット
60 加工液供給ノズル
61 電磁切替弁
62 研磨液供給源
63 リンス液供給源
72 スピンドルハウジング
74 スピンドル
76 ホイールマウント
78 研磨ホイール
78a ホイール基台
78b 研磨パッド
79 流体供給路
80 ドレスユニット
81 回転駆動源
82 スピンドル
83 ホイールマウント
84 ドレッシングパッド
85 昇降機構
86 揺動機構
90 領域(研磨パッドの被加工面からはみ出した領域)
G ゲッタリング層
W ウエーハ(板状物)
WR 裏面(被加工面)
Claims (2)
- 板状物の径と同等以上の大きさを有し、研磨パッドを用いて板状物を加工する加工方法であって、
該板状物をチャックテーブルで保持し被加工面を露出させる保持ステップと、
該研磨パッドが該被加工面の中心を覆い、かつ該被加工面からはみ出すように該研磨パッドを位置させ、該チャックテーブルおよび該研磨パッドを回転させながら該研磨パッドで該被加工面を押圧するとともに研磨液を供給しながら該被加工面を研磨する研磨ステップと、
該研磨ステップを実施した後、該研磨パッドの外周が該被加工面の中心を覆い、かつ該被加工面からはみ出すように該研磨パッドを位置させ、該チャックテーブルおよび該研磨パッドを回転させながら該研磨パッドで該被加工面を部分的に押圧するとともに該研磨液とは異なり、かつ砥粒を含有しないリンス液を供給しながら、該被加工面にゲッタリング層を生成するゲッタリング層生成ステップと、を備え、
該ゲッタリング層生成ステップは、該研磨パッドの該被加工面からはみ出した領域にドレッシングパッドを押圧し、該ドレッシングパッドを該領域内で該研磨パッドの中心と外周部との間を半径方向に沿って移動させることにより、該研磨パッドをドレッシングしながら行う、板状物の加工方法。 - 該板状物はシリコンウエーハから構成され、該リンス液は該シリコンウエーハと反応しない液体である請求項1記載の板状物の加工方法。
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