JP6765267B2 - 研磨ユニット - Google Patents
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Description
22 チャックテーブル
48 研磨ユニット
70 パルスモータ
72 スピンドルハウジング
74 スピンドル
75a,75b ボルト
76 ホイールマウント
77 ヒータ(加熱部)
78 研磨ホイール
79 流体供給路
80 中央基台
80a 外周面
81 環状基台
81a 内周面
100 制御部
W ウエーハ(被加工物)
WR 裏面(被研磨面)
Wa 外周部
Claims (2)
- 一端が研磨装置のスピンドルに装着されるホイールマウントと、該ホイールマウントの他端に固定される基台と、該基台の下面に配設され被加工物の被研磨面よりも大きな面積を有する研磨パッドと、を備え、該被加工物を研磨する研磨ユニットであって、
該基台は中央基台と、該中央基台を同心状に囲繞する環状基台と、を含み、
該ホイールマウントには、該中央基台および該環状基台を加熱する加熱部を備え、
該中央基台の熱膨張率と該環状基台の熱膨張率とは異なり、該中央基台と該環状基台との該被加工物への押圧力を異ならせ該被加工物の研磨形状を調整する、研磨ユニット。 - 該中央基台の熱膨張率は、該環状基台の熱膨張率よりも大きい、請求項1に記載の研磨ユニット。
Priority Applications (1)
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JP2016190001A JP6765267B2 (ja) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 研磨ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016190001A JP6765267B2 (ja) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 研磨ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018051679A JP2018051679A (ja) | 2018-04-05 |
JP6765267B2 true JP6765267B2 (ja) | 2020-10-07 |
Family
ID=61833774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016190001A Active JP6765267B2 (ja) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 研磨ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6765267B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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