JP2013184885A - カッターホイールの異物除去方法およびスクライブ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ガラス基板断裁用カッターホイールに強固に付着したガラスの破片や樹脂などの異物を除去することにより、清浄に維持することが可能なガラス基板断裁用のカッターホイールの異物除去方法およびスクライブ装置を提供することである。
【解決手段】スクライブ装置に使用される基板断裁用のカッターホイールの異物除去方法であって、少なくとも、断裁体であるカッターホイールを、スクライブ動作を実施する位置から、異物除去手段の主要部を構成するクリーニング材が配置されている位置に移動させるカッターホイール移動工程と、前記カッターホイールを前記クリーニング材に押し付けながら前記カッターホイールが回転する方向に移動させることによって前記カッターホイールに付着した異物を除去する異物除去工程と、からなることを特徴とするカッターホイールの異物除去方法。
【選択図】図2
【解決手段】スクライブ装置に使用される基板断裁用のカッターホイールの異物除去方法であって、少なくとも、断裁体であるカッターホイールを、スクライブ動作を実施する位置から、異物除去手段の主要部を構成するクリーニング材が配置されている位置に移動させるカッターホイール移動工程と、前記カッターホイールを前記クリーニング材に押し付けながら前記カッターホイールが回転する方向に移動させることによって前記カッターホイールに付着した異物を除去する異物除去工程と、からなることを特徴とするカッターホイールの異物除去方法。
【選択図】図2
Description
本発明は、フラットパネルディスプレイで使用される薄膜トランジスタ基板やカラーフィルタ基板などのガラス基板上に電子素子やカラーフィルタが形成されたガラス基板の断裁技術に関し、特にガラス基板に線状にキズをつけることで、ガラス基板を断裁できるようにするガラス断裁用のカッターホイールの異物除去技術に関する。
従来から、ガラス基板などの板状ガラスの断裁には、ダイヤモンドペン、ダイヤモンドなどを使ったカッターホイールなどのガラスより硬い材料によってガラス基板にキズをつけることによりマイクロクラックを発生させ、そのマイクロクラックに応力をかけることで断裁する、という方法が使用されてきた。
フラットパネルディスプレイ用のガラス基板を断裁する際に、ガラス基板がカッターホイールなどによってキズをつけられる時に、ガラス粉やガラスのかけらが発生し、その一部が異物となってガラス基板に付着する問題が発生する。
一方、ガラス基板にキズをつけたカッターホイールにもガラス粉やガラスのかけらが付着する。それだけでなく、ガラス基板の表面に形成されていたカラーフィルタや薄膜トランジスタの構成部材の微小な破片やパーティクルが付着する。
これらのガラスの破片や、カラーフィルタ、薄膜トランジスタの構成物質の破片やパーティクルなどの異物が、カッターホイールに付着していると、ガラス基板へのマイクロクラックの形成が不完全になる。また、カッターホイールの走行が不安定になるため、均一なカット線が得られなくなる。
そのため、カッターホイールを清浄に保つ必要がある。例えば特許文献1には、カッターに付着したガラスの破片や付着した樹脂などにガスを噴射して吹き飛ばす技術が開示されているが、この方法ではカッターに強固に付着した物質を完全に除去するのは困難であると考えられる。
上記の問題点に鑑み、本発明の課題は、ガラス基板断裁用のカッターホイールに強固に付着した異物を除去することにより、カッターホイールを清浄に維持することが可能な異物除去方法およびスクライブ装置を提供することである。
上記の課題を解決する手段として、本発明の請求項1は、スクライブ装置に使用される基板断裁用のカッターホイールの異物除去方法であって、少なくとも、
断裁体であるカッターホイールを、異物除去手段の主要部を構成するクリーニング材が配置されている位置に移動させるカッターホイール移動工程と、
前記カッターホイールを、前記クリーニング材に押し付けながら、前記カッターホイールが回転する方向に移動させることによって、前記カッターホイールに付着した異物を除
去する異物除去工程と、からなることを特徴とするカッターホイールの異物除去方法である。
断裁体であるカッターホイールを、異物除去手段の主要部を構成するクリーニング材が配置されている位置に移動させるカッターホイール移動工程と、
前記カッターホイールを、前記クリーニング材に押し付けながら、前記カッターホイールが回転する方向に移動させることによって、前記カッターホイールに付着した異物を除
去する異物除去工程と、からなることを特徴とするカッターホイールの異物除去方法である。
また請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のカッターホイールの異物除去方法を実施するためのスクライブ装置であって、少なくとも、
基板を載置し保持するステージとカッターホイールと前記カッターホイールを保持するカッターユニットと前記カッターホイールの異物除去手段を備えてなり、
前記カッターユニットは、前記カッターユニットを前記ステージの上方で予め設定した情報に基づき上下左右に自在に移動可能で、且つ、前記カッターホイールを基板に予め設定した力で押し付けるための押圧手段を備えており、
前記異物除去手段は、少なくとも、前記移動手段に保持されたカッターホイールとクリーニング材から構成されることを特徴とするスクライブ装置である。
基板を載置し保持するステージとカッターホイールと前記カッターホイールを保持するカッターユニットと前記カッターホイールの異物除去手段を備えてなり、
前記カッターユニットは、前記カッターユニットを前記ステージの上方で予め設定した情報に基づき上下左右に自在に移動可能で、且つ、前記カッターホイールを基板に予め設定した力で押し付けるための押圧手段を備えており、
前記異物除去手段は、少なくとも、前記移動手段に保持されたカッターホイールとクリーニング材から構成されることを特徴とするスクライブ装置である。
また請求項3に記載の発明は、クリーニング材がゴムであることを特徴とする請求項2に記載のスクライブ装置である。
また請求項4に記載の発明は、ゴムの硬度がショアA60以上80以下であることを特徴とする請求項2または3に記載のスクライブ装置である。
本発明になるカッターホイールの異物除去方法およびスクライブ装置によれば、常にカッターホイールを清浄に保つことが可能であるため、カッターホイールへの異物付着が起因するカッターホイールの走行の不安定性がなくなり、従来より均一なカット線を得ることが可能となる。
本発明のカッターホイールの異物除去方法について説明する。
本発明は、ガラス基板の断裁工程で使用されるスクライブ装置のカッターホイールに付着する異物を、クリーニング材としてゴムを使用して除去する異物除去方法である。ゴムとしては天然ゴムや合成ゴムの何れも使用することできる。異物に対する強い除去能力を発揮するには、粘着剤の硬さより硬く、弾力性を兼ね備えていれば、天然ゴムや合成ゴム以外の材料も適用することが可能である。
本発明は、ガラス基板の断裁工程で使用されるスクライブ装置のカッターホイールに付着する異物を、クリーニング材としてゴムを使用して除去する異物除去方法である。ゴムとしては天然ゴムや合成ゴムの何れも使用することできる。異物に対する強い除去能力を発揮するには、粘着剤の硬さより硬く、弾力性を兼ね備えていれば、天然ゴムや合成ゴム以外の材料も適用することが可能である。
スクライブ装置にてカット線の形成が終了したのち、異物が付着したカッターホイールをカッターユニットの移動手段によってクリーニング材が備えられているおおよその位置に移動させる。次に、クリーニング材の予め設定した正確な位置にカッターホイールを移動したのち、移動手段によって、予め設定した力でクリーニング材の表面にカッターホイールを押し当てた状態で、カッターホイールが転がる方向に行ったり来たりさせる往復運動または移動を、移動手段により行うことによって、クリーニング材の一定範囲以内の領域で、異物除去を行うことができる。
移動手段による往復運動または移動の範囲は、クリーニング材の大きさに従って、予め任意に設定することができる。往復運動ではなく、単に一方方向に移動させることでも良い。
また、カッターホイールをクリーニング材に押し付ける力についても、経験的に設定できる。付着する異物の種類や使用するクリーニング材によって、異物が除去できる条件が変化するため、それに対応した設定条件を設定すれば良い。
また、カッターホイールを移動させる速度についても、異物が除去できる条件として、上記のクリーニング材やカッターホイールをクリーニング材に押し付ける力とセットで設定すれば良い。
またゴムの硬さは、ショアA60以上80以下であれば、良好に異物の除去を行うことが可能である。ショアA60より小さい場合は、樹脂の異物が除去できない場合が出て来る。またショアA80より大きい場合は、ゴムが硬すぎてカッターホイールをゴムに押し当てても、ゴムの中にカッターホイールが容易に入り込むことができなくなり、カッターホイールの先端部の異物しか除去できなくなる。しかしながらカッターホイールの先端部の近傍には異物が残留していることがあるため、ある程度、クリーニング材であるゴムの中に先端部がめり込むのが望ましい。
次に、図面を用いて、本発明のスクライブ装置について説明する。
まず図1(a)は、従来から使用されている基板断裁用のスクライブ装置の一例を示す概略図である。基板断裁用のスクライブ装置7は、基本的にはガラス基板2を載置し、保持するステージ1と、カッターホイール3を備えるカッターユニット4から構成されている。ガラス基板2は図示していないガラス基板の搬送手段によってステージ1上に搬送され載置されたのち、ステージ1に備えられている真空吸着などの図示していない吸着手段を使って、予め設定された位置に保持される。
まず図1(a)は、従来から使用されている基板断裁用のスクライブ装置の一例を示す概略図である。基板断裁用のスクライブ装置7は、基本的にはガラス基板2を載置し、保持するステージ1と、カッターホイール3を備えるカッターユニット4から構成されている。ガラス基板2は図示していないガラス基板の搬送手段によってステージ1上に搬送され載置されたのち、ステージ1に備えられている真空吸着などの図示していない吸着手段を使って、予め設定された位置に保持される。
ステージ1上に保持されたガラス基板2に対して、ステージ1の端部またはステージ1の外部に備えられた図示していないカッターユニット4の待機位置から、ガラス基板2の予め設定された位置に、カッターユニット4をカッターユニット4の移動手段によって移動させ、予め設定された力でカッターユニット4の先端に備えられたカッターホイール3をガラス基板2の表面に押し付けながら、予め設定された方向に向って、予め設定された距離だけカッターホイール3を移動させる。この時、カッターホイール3は回転しながらガラス基板2の表面を移動してガラス基板2の表面にキズをつけることで、ガラス基板2を断裁するためのカット線5を形成する。
1本のカット線の形成が終了すると、移動手段によってカッターホイール3はガラス基板2から引き離され、次のカット線のスタートポイントに移動し、移動手段によって、カッターホイール3がガラス基板2の表面に押し付けられながら、予め設定された方向に向って、予め設定された距離だけカッターホイール3を移動させることを繰り返し、予定した全てのカット線を形成してカット線を形成する工程を終了する。
スクライブ装置が1つのカッターユニットしか備えていない場合は、1つのカット線を形成し、次のカット線を形成する前に、カッターホイールの異物除去を都度実施するのが望ましい。また、スクライブ装置が複数のカッターユニットを備えている場合も、1つのカット線を形成し、次のカット線を形成する前に、カッターホイールの異物除去を都度実施するのが望ましいが、例えば、形成するカット線の数とカッターユニットの数が同じ場合は、1つのカット線に1つのカッターユニットを使い、全てのカット線の形成が終了してから、全てのカッターユニットのカッターホイールの異物除去をまとめて行うこともできる。
カット線の形成が終了したガラス基板2は、ブレイク工程でカット線に沿って断裁され、ガラス基板2の断裁が終了する。ガラス基板2が断裁された部分の端部は、鋭い部分や欠け易い部分が形成されているため、面取りや端部を丸く加工するR加工などを施す。
図1(b)は、従来から使用されている基板断裁用のスクライブ装置のカッターユニットの一例を示す概略図である。カッターユニット4は、スクライブ装置7のステージ1の範囲を超えて移動することができるカッターユニット4の図示していない移動手段に保持されており、その先端部にカッターホイール3が備えられている。またカッターユニット4は、移動手段を支点としてカッターユニット4を設定した力でガラス基板2に押し付けることができる図示していない押圧手段を備えている。
図2は、本発明の異物除去手段の一例を示す概略図である。
この異物除去手段8は、図1(a)に示したステージ1上のガラス基板2が載置されない位置に備えられるか、またはステージ1の外部に備えられるクリーニング材6と図示されていないクリーニング材6を保持する手段とカッターユニット4とカッターユニット4の移動手段から構成されている。
この異物除去手段8は、図1(a)に示したステージ1上のガラス基板2が載置されない位置に備えられるか、またはステージ1の外部に備えられるクリーニング材6と図示されていないクリーニング材6を保持する手段とカッターユニット4とカッターユニット4の移動手段から構成されている。
本発明の基板断裁用のスクライブ装置のカッターユニットの異物除去手段8は、従来から使用されている基板断裁用のスクライブ装置に、図示されていないクリーニング材6を保持する手段を新たに付設し、そこにゴム等のクリーニング材を備えるだけで良い。そして、カッターホイール3をクリーニング材6に押し付けた状態で、このカッターホイール3を移動させることにより、カッターホイール3の刃面や側面に付着した異物を除去することができる。なお、移動の方向はカッターホイール3が回転する方向である。
以上のように、本発明の異物除去手段を備えた基板断裁用のスクライブ装置は、従来のスクライブ装置の簡単な改造によって容易に実現することができる。
1・・・ステージ
2・・・ガラス基板
3・・・カッターホイール
4・・・カッターユニット
5・・・カット線
6・・・クリーニング材
7・・・スクライブ装置
8・・・異物除去手段
2・・・ガラス基板
3・・・カッターホイール
4・・・カッターユニット
5・・・カット線
6・・・クリーニング材
7・・・スクライブ装置
8・・・異物除去手段
Claims (4)
- スクライブ装置に使用される基板断裁用のカッターホイールの異物除去方法であって、少なくとも、
断裁体であるカッターホイールを、異物除去手段の主要部を構成するクリーニング材が配置されている位置に移動させるカッターホイール移動工程と、
前記カッターホイールを、前記クリーニング材に押し付けながら、前記カッターホイールが回転する方向に移動させることによって、前記カッターホイールに付着した異物を除去する異物除去工程と、からなることを特徴とするカッターホイールの異物除去方法。 - 請求項1に記載のカッターホイールの異物除去方法を実施するためのスクライブ装置であって、少なくとも、
基板を載置し保持するステージとカッターホイールと前記カッターホイールを保持するカッターユニットと前記カッターホイールの異物除去手段を備えてなり、
前記カッターユニットは、前記カッターユニットを前記ステージの上方で予め設定した情報に基づき上下左右に自在に移動可能で、且つ、前記カッターホイールを基板に予め設定した力で押し付けるための押圧手段を備えており、
前記異物除去手段は、少なくとも、前記移動手段に保持されたカッターホイールとクリーニング材から構成されることを特徴とするスクライブ装置。 - クリーニング材がゴムであることを特徴とする請求項2に記載のスクライブ装置。
- ゴムの硬度がショアA60以上80以下であることを特徴とする請求項2または3に記載のスクライブ装置。
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JP2012054260A JP2013184885A (ja) | 2012-03-12 | 2012-03-12 | カッターホイールの異物除去方法およびスクライブ装置 |
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JP7374746B2 (ja) | 2019-12-13 | 2023-11-07 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミック電子部品の製造方法及び積層セラミック電子部品の製造装置 |
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2012
- 2012-03-12 JP JP2012054260A patent/JP2013184885A/ja active Pending
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