JP2019069607A - 脆性材料基板のスクライブ方法及びスクライブヘッドユニット - Google Patents
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Abstract
Description
前記異物除去ホルダの下端に設けられた異物除去部材と、を具備するようにしてもよい。
11 ベース
12 貫通孔
13a〜13d 稜線
14a〜14d 第1の傾斜面
15a〜15d 第2の傾斜面
20 ツールホルダ
21 ツールホルダ本体
22a ホルダ保持部
22b ツール保持部
23a,23b,24a,24b 貫通孔
25 厚さ調整溝
26a,26b,26c,31a,31b,31c 傾斜面
27 ねじ溝
28 ツール保持溝
30 ホルダ押さえ
33 厚さ調整ピン
34 ねじ
40A〜40J スクライブヘッドユニット
41 ヘッドプレート
42 エアシリンダ
43 ガイド機構
44 スライド部
45 プレート
50 ブロック
51 異物除去ホルダ
52 スポンジ
53 潤滑剤供給ホルダ
54 スポンジ
55 潤滑剤供給パイプ
56 潤滑剤槽
60 ガラス基板
70,71 サポートプレート
72 インクジェットユニット
73 吐き出し口
74 スポンジ
80 ホルダ
81 チューブ
82 スポンジ
P1〜P8 ポイント
SIL1〜SIL6 スクライブ予定ライン
TL1〜TL6 トレンチライン
AL アシストライン
CL1〜CL6 クラックライン
Claims (6)
- 脆性材料基板に対してスクライブ予定ラインを含む所定幅のラインに沿ってクリーニングを行い、
前記スクライブ予定ライン上にダイヤモンドを用いたスクライビングツールのポイントを押し付け、脆性材料基板とスクライビングツールを相対的に移動させることによってスクライブする脆性材料基板のスクライブ方法。 - 前記スクライビングツールの押し付けにより、前記脆性材料基板の表面に、クラックを伴わない塑性変形による溝であるトレンチラインを形成することを特徴とする請求項1記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 前記脆性材料基板に前記トレンチラインを形成した後、前記トレンチラインに沿ってクラックを発生させるステップを有する請求項1又は2記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 前記スクライブを終えた後にスクライビングツールのポイントを清掃するステップを有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 所定の荷重でスクライビングツールのポイントを脆性材料基板に押し付け、相対的に移動させることによってスクライブするスクライブヘッドユニットであって、
ダイヤモンドを用いた1つ又は複数のポイントを有するスクライビングツールと、
前記スクライブヘッドユニットに取付けられ、前記スクライビングツールを固定するツールホルダと、
前記ツールホルダの前方に、スクライブ予定ラインに沿って脆性材料基板の異物除去を行う異物除去手段と、を具備するスクライブヘッドユニット。 - 前記異物除去手段は、
前記スクライブヘッドに取付けられた異物除去ホルダと、
前記異物除去ホルダの下端に設けられた異物除去部材と、を具備する請求項5記載のスクライブヘッドユニット。
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