JP5731959B2 - ワーク切断部用冷却液体の供給装置及び供給方法 - Google Patents
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Description
例えば、図9、並びに図10及び図11に夫々冷却水の供給方式の従来例を示す。図9は、冷却水Cをブレード1の両側面から該ブレード1の側面に吹き付けて、ブレード1及びウェーハWの切断部を冷却する方式である。又、図10及び図11は、ブレード1の上流側にノズル2を配置し、ブレード1の上流側端面に冷却水Cを供給して、ブレード1及びウェーハWの切断部を冷却する方式である(関連技術として特許文献1,2参照)。
供給しているわけではないので、液体が遠心力によって跳ね返されることはほとんどない。
搬送装置等から構成されている。このダイシング加工では、加工前のウェーハWは、ワークテーブル上に載置されてそのワーク支持面に吸着保持され、そして、アライメントされた後、図8に例示する切断装置10を構成するブレード25のスピンドル軸方向への移動と、ワークテーブル24の移動とによって、ストリートが切断される。
0には、ブレード25,25が回転可能に取り付けられている。又、スピンドル移動機構28とワークテーブル送り機構26とが直交する部分にはワーク切断加工部32が配設され、このワーク切断加工部32でブレード25,25によりウェーハWが切断加工される。
した後、ウェーハ上面の傾斜によって、広がりをもってウェーハの上面に沿って自然流下する。そのため、ブレードが高速に回転しても、吐出した冷却水の殆どをブレードとウェーハとの接触・摩擦点に供給でき、以て、少量の冷却水でワーク切断部全面を効率良く冷却・潤滑することができ、冷却水を多量に使用する必要がない。
21 ダイシング装置(ワーク切断装置)
22 方形匡体
24 ワークテーブル(ワーク支持面)
25,44,47 ブレード
26 ワークテーブル送り機構
28 スピンドル移動機構
29 ガイドレール
30 スピンドル(ブレード固定部)
32 ワーク切断加工部
33 ワーク交換部
34 オイルパン
35 排水口
36 排水機構
41,43 ノズル
42 ワーク支持面
45 線状部材
46 固定部材
48 水受け部
49 溝
72 フランジカバー
P 着水点
C 冷却水(冷却液体)
W ウェーハ(ワーク)
S 冷却水供給方向
Claims (4)
- ブレード固定部に取り付けたブレードの回転により、ワーク支持面上に固定されたワークを切断しながら、ノズルから吐出した冷却液体を前記ブレード及びワークに供給するワーク切断部用冷却液体の供給装置において、
前記ワーク支持面は、ワークの切断線に沿った方向に冷却液体が流れるように前記方向に傾斜して形成され、
前記ノズルは、該ブレード側面に冷却液体を供給するようにブレード側面に対して略直角または略斜め方向に配設され、
該ノズルから吐出した冷却液体は、ワーク上に着水し、
前記ワーク上に着水した冷却液体は、前記ワーク上を広がりながら、前記ブレードと前記ワークとの接触・摩擦点に供給されることを特徴とするワーク切断部用冷却液体の供給装置。 - 上記ワーク支持面は、該ワークを把持するチャックごと傾斜して設けられていることを特徴とする請求項1記載のワーク切断部用冷却液体の供給装置。
- 上記ノズルは、上記ワークの切断加工の進行に従い、上記ブレードに対する相対的な位置関係を保持すべく移動するように構成したことを特徴とする請求項1記載又は2記載のワーク切断部用冷却液体の供給装置。
- ワーク支持面上に固定されたワークをブレードで切断しながら、ノズルから吐出した冷却液体を前記ブレード及びワークに供給するワーク切断部用冷却液体の供給方法において、
前記ワーク支持面を傾斜させた状態で、前記ノズルから吐出した冷却液体をワーク上に着水させてブレード側面に広げながら供給し、
前記ワーク上に着水して広がった冷却液体は、前記ワークと前記ブレードとの接触・摩擦点に供給されることを特徴とするワーク切断部用冷却液体の供給方法。
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