JP2013115063A - ワーク切断部用冷却液体の供給装置及び供給方法 - Google Patents
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- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 title claims abstract description 105
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 96
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 25
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 22
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 19
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 118
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000009471 action Effects 0.000 description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 9
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 5
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 2
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
Abstract
【解決手段】ワークWが載置固定されるワークテーブル24と、ワークWを切断するブレード25と、ワークテーブル24をブレード25に対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構26と、ブレード25を回転可能に取り付けたスピンドル30と、ブレード25及びワークWに向けて冷却液体を吐出するノズル41と備える。ノズル41は、ブレード25の回転中心よりも上流側にてブレード25側面に対して略直角方向に配設され、且つ、ノズル41から吐出した冷却液体Cの到着地点が、ブレード25とワークWとの接触・摩擦点よりも若干上流側の地点とされている。又、ワーク支持面42は、ノズル41側が高くなるように傾斜して設けられている。ノズル41は、ワーク切断加工の進行に従い、ブレード25に対して相対的な位置関係を保持すべく同期して移動する。
【選択図】図3
Description
例えば、図9、並びに図10及び図11に夫々冷却水の供給方式の従来例を示す。図9は、冷却水Cをブレード1の両側面から該ブレード1の側面に吹き付けて、ブレード1及びウェーハWの切断部を冷却する方式である。又、図10及び図11は、ブレード1の上流側にノズル2を配置し、ブレード1の上流側端面に冷却水Cを供給して、ブレード1及びウェーハWの切断部を冷却する方式である(関連技術として特許文献1,2参照)。
供給しているわけではないので、液体が遠心力によって跳ね返されることはほとんどない。
搬送装置等から構成されている。このダイシング加工では、加工前のウェーハWは、ワークテーブル上に載置されてそのワーク支持面に吸着保持され、そして、アライメントされた後、図8に例示する切断装置10を構成するブレード25のスピンドル軸方向への移動と、ワークテーブル24の移動とによって、ストリートが切断される。
0には、ブレード25,25が回転可能に取り付けられている。又、スピンドル移動機構28とワークテーブル送り機構26とが直交する部分にはワーク切断加工部32が配設され、このワーク切断加工部32でブレード25,25によりウェーハWが切断加工される。
した後、ウェーハ上面の傾斜によって、広がりをもってウェーハの上面に沿って自然流下する。そのため、ブレードが高速に回転しても、吐出した冷却水の殆どをブレードとウェーハとの接触・摩擦点に供給でき、以て、少量の冷却水でワーク切断部全面を効率良く冷却・潤滑することができ、冷却水を多量に使用する必要がない。
21 ダイシング装置(ワーク切断装置)
22 方形匡体
24 ワークテーブル(ワーク支持面)
25,44,47 ブレード
26 ワークテーブル送り機構
28 スピンドル移動機構
29 ガイドレール
30 スピンドル(ブレード固定部)
32 ワーク切断加工部
33 ワーク交換部
34 オイルパン
35 排水口
36 排水機構
41,43 ノズル
42 ワーク支持面
45 線状部材
46 固定部材
48 水受け部
49 溝
72 フランジカバー
P 着水点
C 冷却水(冷却液体)
W ウェーハ(ワーク)
Claims (5)
- ブレード固定部に取り付けたブレードの回転により、ワーク支持面上に固定されたワークを切断しながら、ノズルから吐出した冷却液体を前記ブレード及びワークに供給するワーク切断部用冷却液体の供給装置において、
前記ワーク支持面は、ワーク切断方向に向かって冷却液体が流れるように下方に傾斜して形成され、
前記ノズルは、前記ワーク支持面上における前記ブレードより離れて、該ブレード側面に向けて配設され、且つ、該ノズルから吐出した冷却液体が、前記ブレードとワークとの接触・摩擦点よりも前記傾斜方向上方側の地点に着水するように設けことを特徴とするワーク切断部用冷却液体の供給装置。 - 上記ワーク支持面は、該ワークを把持するチャックごと傾斜して設けられていることを特徴とする請求項1記載のワーク切断部用冷却液体の供給装置。
- 上記ノズルは、上記ワークの切断加工の進行に従い、上記ブレードに対する相対的な位置関係を保持すべく移動するように構成したことを特徴とする請求項1又は2記載のワーク切断部用冷却液体の供給装置。
- ワーク支持面上に固定されたワークをブレードで切断しながら、ノズルから吐出した冷却液体を前記ブレード及びワークに供給するワーク切断部用冷却液体の供給方法において、前記ノズルを前記ブレードより離れて配設し、且つ、前記ワーク支持面を傾斜させた状態で、前記ノズルから吐出した冷却液体を前記ブレードとワークとの接触・摩擦点よりも上流側地点に供給し、冷却液体を、ワークの傾斜面に沿って自然流下させブレード側面に供給することを特徴とするワーク切断部用冷却液体の供給方法。
- ワーク支持面上に固定されたワークをブレードで切断しながら、ノズルから吐出した冷却液体を前記ブレード及びワークに供給するワーク切断部用冷却液体の供給方法において、前記ノズルを前記ブレードから離れて配設し、前記ワーク支持面を傾斜させた状態で、前記ノズルから吐出した冷却液体を、線状部材を介して前記ブレード側面の外周縁部(外周刃先部)に供給し、冷却液体を該ブレード側面外周縁部に塗るように付着させることを特徴とするワーク切断部用冷却液体の供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011256853A JP5731959B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | ワーク切断部用冷却液体の供給装置及び供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011256853A JP5731959B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | ワーク切断部用冷却液体の供給装置及び供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013115063A true JP2013115063A (ja) | 2013-06-10 |
JP5731959B2 JP5731959B2 (ja) | 2015-06-10 |
Family
ID=48710377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011256853A Active JP5731959B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | ワーク切断部用冷却液体の供給装置及び供給方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5731959B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2011110631A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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