JPH09162274A - ウエハキャリアケース - Google Patents
ウエハキャリアケースInfo
- Publication number
- JPH09162274A JPH09162274A JP31780695A JP31780695A JPH09162274A JP H09162274 A JPH09162274 A JP H09162274A JP 31780695 A JP31780695 A JP 31780695A JP 31780695 A JP31780695 A JP 31780695A JP H09162274 A JPH09162274 A JP H09162274A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- main body
- carrier case
- lid
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ウエハキャリアケースに収容された半導体ウ
エハの水分や有機ガス付着による汚染を防止する。 【解決手段】 上部が開口した箱型の本体２と、本体に
着脱自在に取り付けられる蓋体３とからなるウエハキャ
リアケース１であって、本体および蓋体の内壁６，７
は、気体を透過せずかつ気体を放出しない物質（金属
体）で形成されている。本体および蓋体の外壁８，９は
樹脂で形成されている。金属体はアルミニウムフィルム
となっている。
エハの水分や有機ガス付着による汚染を防止する。 【解決手段】 上部が開口した箱型の本体２と、本体に
着脱自在に取り付けられる蓋体３とからなるウエハキャ
リアケース１であって、本体および蓋体の内壁６，７
は、気体を透過せずかつ気体を放出しない物質（金属
体）で形成されている。本体および蓋体の外壁８，９は
樹脂で形成されている。金属体はアルミニウムフィルム
となっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウエハキャリアケー
スに関し、特に半導体装置製造に用いる半導体ウエハを
収容したウエハキャリアを収容するウエハキャリアケー
スに適用して有効な技術に関する。
スに関し、特に半導体装置製造に用いる半導体ウエハを
収容したウエハキャリアを収容するウエハキャリアケー
スに適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造において、半導体ウエ
ハ（以下単にウエハとも称する）の汚れを除去するた
め、ウエハを洗浄・乾燥する作業がある。たとえば、複
数のウエハを収容したウエハキャリアをウエット洗浄装
置に設置して洗浄した後、スピンドライヤでウエハを乾
燥することによって、ウエハの表面に付着している無機
物質や有機物質からなる異物の除去を行っている。
ハ（以下単にウエハとも称する）の汚れを除去するた
め、ウエハを洗浄・乾燥する作業がある。たとえば、複
数のウエハを収容したウエハキャリアをウエット洗浄装
置に設置して洗浄した後、スピンドライヤでウエハを乾
燥することによって、ウエハの表面に付着している無機
物質や有機物質からなる異物の除去を行っている。
【０００３】洗浄・乾燥後のウエハは、ウエハキャリア
に収容したまま樹脂製のウエハキャリアケースに保管し
て次工程に搬送される。ウエハキャリアは、上部が開口
した箱型の本体と、前記本体に着脱自在に取り付けられ
る蓋体とからなっている。
に収容したまま樹脂製のウエハキャリアケースに保管し
て次工程に搬送される。ウエハキャリアは、上部が開口
した箱型の本体と、前記本体に着脱自在に取り付けられ
る蓋体とからなっている。
【０００４】また、クリーンルーム以外の場所へ移動す
る場合は、ウエハを収容したウエハキャリアケースを熱
圧着フィルム付きアルミニウム袋で包み、その中に窒素
ガスを充填させて熱圧着シールして搬送している。
る場合は、ウエハを収容したウエハキャリアケースを熱
圧着フィルム付きアルミニウム袋で包み、その中に窒素
ガスを充填させて熱圧着シールして搬送している。
【０００５】工業調査会発行「電子材料」1988年11月
号、同年11月１日発行、資料頁181 には、樹脂製のウエ
ーハキャリアボックスが記載されている。
号、同年11月１日発行、資料頁181 には、樹脂製のウエ
ーハキャリアボックスが記載されている。
【０００６】また、工業調査会発行「電子材料」1993年
５月号、同年５月１日発行、Ｐ79〜Ｐ84には、金属表面
を酸化（錆）させることなく保存する技術について記載
され、たとえば、包装材料としてアルミ箔複合フィルム
や透明性フィルムが記載されている。
５月号、同年５月１日発行、Ｐ79〜Ｐ84には、金属表面
を酸化（錆）させることなく保存する技術について記載
され、たとえば、包装材料としてアルミ箔複合フィルム
や透明性フィルムが記載されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来のウエハキャリア
ケースは、ポリプロピレン，ポリカーボネート等の樹脂
で形成されている。このようなウエハキャリアケース
は、以下のような問題を起こすことがあきらかにされて
いる。
ケースは、ポリプロピレン，ポリカーボネート等の樹脂
で形成されている。このようなウエハキャリアケース
は、以下のような問題を起こすことがあきらかにされて
いる。
【０００８】ウエハキャリアケースを構成するポリプロ
ピレン，ポリカーボネート等の樹脂は、多孔質であるこ
とから大気中の水分が透過してケース内に入り込み、ウ
エハの表面に付着する（「第55回応用物理学会予稿集」
1994年秋、20a-ZB-1）。
ピレン，ポリカーボネート等の樹脂は、多孔質であるこ
とから大気中の水分が透過してケース内に入り込み、ウ
エハの表面に付着する（「第55回応用物理学会予稿集」
1994年秋、20a-ZB-1）。
【０００９】また、ポリプロピレン，ポリカーボネート
等の樹脂で形成されたウエハキャリアケースは、ケース
成形時に使用した酸化防止剤等の有機物が脱ガス成分と
なって外部に洩れ出る（放出する）ため、アルミニウム
袋にウエハキャリアを入れ、かつ窒素ガスを充填して封
入しても、ケースから放出した有機ガスがウエハ表面に
付着してしまう。
等の樹脂で形成されたウエハキャリアケースは、ケース
成形時に使用した酸化防止剤等の有機物が脱ガス成分と
なって外部に洩れ出る（放出する）ため、アルミニウム
袋にウエハキャリアを入れ、かつ窒素ガスを充填して封
入しても、ケースから放出した有機ガスがウエハ表面に
付着してしまう。
【００１０】ウエハ表面に水分や有機ガス等が付着して
ウエハが汚染されると、以後のホトリソグラフィにおい
て微細パターンの形成歩留りが低下する。たとえば、ウ
エハの有機ガス汚染は、ＭＯＳＦＥＴ（Metal Oxide Se
miconductor Field Effect Transistor)の製造におい
て、ゲート絶縁膜（酸化膜）の絶縁破壊を招く原因とな
る（「第55回応用物理学会予稿集」1994年秋、19P-ZC-4
「カーボン有機汚染が起因する経時絶縁膜破壊現
象」）。
ウエハが汚染されると、以後のホトリソグラフィにおい
て微細パターンの形成歩留りが低下する。たとえば、ウ
エハの有機ガス汚染は、ＭＯＳＦＥＴ（Metal Oxide Se
miconductor Field Effect Transistor)の製造におい
て、ゲート絶縁膜（酸化膜）の絶縁破壊を招く原因とな
る（「第55回応用物理学会予稿集」1994年秋、19P-ZC-4
「カーボン有機汚染が起因する経時絶縁膜破壊現
象」）。
【００１１】本発明の目的は、収容される半導体ウエハ
の水分や有機ガス等による汚染を防止できるウエハキャ
リアケースを提供することにある。
の水分や有機ガス等による汚染を防止できるウエハキャ
リアケースを提供することにある。
【００１２】本発明の前記ならびにそのほかの目的と新
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【００１４】（１）上部が開口した箱型の本体と、前記
本体に着脱自在に取り付けられる蓋体とからなるウエハ
キャリアケースであって、前記本体および蓋体の内壁
は、気体を透過せずかつ気体を放出しない物質（金属
体）で形成されている。前記本体および蓋体の外壁は樹
脂で形成されている。前記金属体はアルミニウムフィル
ムとなっている。
本体に着脱自在に取り付けられる蓋体とからなるウエハ
キャリアケースであって、前記本体および蓋体の内壁
は、気体を透過せずかつ気体を放出しない物質（金属
体）で形成されている。前記本体および蓋体の外壁は樹
脂で形成されている。前記金属体はアルミニウムフィル
ムとなっている。
【００１５】前記（１）の手段によれば、ウエハキャリ
アケースの本体および蓋体は樹脂で形成されているが、
本体および蓋体の内壁は、気体を透過せずかつ気体を放
出することがないアルミニウムフィルムで形成されてい
るため、ウエハキャリアケースの外の大気中の水分や、
本体および蓋体から洩れ出た有機ガス等はウエハキャリ
アケース内へ浸入しなくなり、ウエハを清浄な雰囲気で
保管できる。
アケースの本体および蓋体は樹脂で形成されているが、
本体および蓋体の内壁は、気体を透過せずかつ気体を放
出することがないアルミニウムフィルムで形成されてい
るため、ウエハキャリアケースの外の大気中の水分や、
本体および蓋体から洩れ出た有機ガス等はウエハキャリ
アケース内へ浸入しなくなり、ウエハを清浄な雰囲気で
保管できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００１７】なお、発明の実施の形態を説明するための
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。
【００１８】図１は本発明の一実施形態であるウエハキ
ャリアケースを示す断面図、図２は本実施形態のウエハ
キャリアケースの透視的外観を示す斜視図、図３は本実
施形態のウエハキャリアケースの模式的断面図である。
ャリアケースを示す断面図、図２は本実施形態のウエハ
キャリアケースの透視的外観を示す斜視図、図３は本実
施形態のウエハキャリアケースの模式的断面図である。
【００１９】本実施形態のウエハキャリアケース１は、
図１乃至図３に示すように、上部が開口した箱構造から
なる本体２と、この本体２の開口部を塞ぐ着脱自在の蓋
体３とからなり、矩形体となっている。また、前記本体
２の開口部の内縁に沿って突条４が設けられるととも
に、この突条４の外側に嵌合する突条５が前記蓋体３の
開口部の外縁に沿って設けられている。これによって、
蓋体３は本体２に簡単かつ確実に取り付けることができ
る。
図１乃至図３に示すように、上部が開口した箱構造から
なる本体２と、この本体２の開口部を塞ぐ着脱自在の蓋
体３とからなり、矩形体となっている。また、前記本体
２の開口部の内縁に沿って突条４が設けられるととも
に、この突条４の外側に嵌合する突条５が前記蓋体３の
開口部の外縁に沿って設けられている。これによって、
蓋体３は本体２に簡単かつ確実に取り付けることができ
る。
【００２０】前記本体２および蓋体３は軽量化のため、
ポリプロピレンやポリカーボネート等からなる樹脂で形
成されている。また、本体２および蓋体３の内壁６，７
は、気体を透過せずかつ有機ガス等の気体を放出しない
物質、たとえば、金属体で形成されている。
ポリプロピレンやポリカーボネート等からなる樹脂で形
成されている。また、本体２および蓋体３の内壁６，７
は、気体を透過せずかつ有機ガス等の気体を放出しない
物質、たとえば、金属体で形成されている。
【００２１】たとえば、前記内壁６，７は本体２および
蓋体３の内面に接着剤によってアルミニウムフィルムを
貼り付けることによって形成されている。
蓋体３の内面に接着剤によってアルミニウムフィルムを
貼り付けることによって形成されている。
【００２２】したがって、本実施形態のウエハキャリア
ケース１は、外壁８，９が樹脂で形成され、内壁６，７
がアルミニウムフィルムで形成された二重構造のケース
とも言える。
ケース１は、外壁８，９が樹脂で形成され、内壁６，７
がアルミニウムフィルムで形成された二重構造のケース
とも言える。
【００２３】前記アルミニウムフィルムは金属体からな
ることから、気体や水分を透過しないとともに、樹脂ケ
ースのように有機ガスを放出しない。
ることから、気体や水分を透過しないとともに、樹脂ケ
ースのように有機ガスを放出しない。
【００２４】このようなウエハキャリアケース１は、そ
の内部に通常使用されているウエハキャリア１０が収容
される。ウエハキャリア１０は、たとえば、四フッ化エ
チレン樹脂で形成され、複数のウエハ（半導体ウエハ）
１１を林立状態で載置保持する構造となっている。
の内部に通常使用されているウエハキャリア１０が収容
される。ウエハキャリア１０は、たとえば、四フッ化エ
チレン樹脂で形成され、複数のウエハ（半導体ウエハ）
１１を林立状態で載置保持する構造となっている。
【００２５】本実施形態のウエハキャリアケース１は、
本体２および蓋体３の内壁６，７が金属体、すなわち水
分や気体を透過させないアルミニウムフィルムで形成さ
れていることから、ウエハキャリアケース１の外の大気
中の水分のウエハキャリアケース１内への浸入を防止で
きる。この結果、大気中の水分がウエハ１１の表面に付
着することが防止できる。
本体２および蓋体３の内壁６，７が金属体、すなわち水
分や気体を透過させないアルミニウムフィルムで形成さ
れていることから、ウエハキャリアケース１の外の大気
中の水分のウエハキャリアケース１内への浸入を防止で
きる。この結果、大気中の水分がウエハ１１の表面に付
着することが防止できる。
【００２６】また、ウエハキャリアケース１の外壁８，
９は、樹脂で形成されていることから、使用途中で有機
ガスを放出する場合があるが、前記外壁８，９の内側の
内壁６，７は、前述のように気体を透過させないアルミ
ニウムフィルムで形成されているため、前記有機ガスは
ウエハキャリアケース１内に到達しなくなり、従来のよ
うに有機ガスがウエハ１１の表面に付着することも防止
できる。
９は、樹脂で形成されていることから、使用途中で有機
ガスを放出する場合があるが、前記外壁８，９の内側の
内壁６，７は、前述のように気体を透過させないアルミ
ニウムフィルムで形成されているため、前記有機ガスは
ウエハキャリアケース１内に到達しなくなり、従来のよ
うに有機ガスがウエハ１１の表面に付着することも防止
できる。
【００２７】以上のことから、本実施形態のウエハキャ
リアケース１によれば、ウエハの保管時、ウエハの水分
付着や有機ガス汚染を防止できる。したがって、ウエハ
の水分付着や有機ガス汚染に起因する次工程での処理歩
留りの低下が防止できる。
リアケース１によれば、ウエハの保管時、ウエハの水分
付着や有機ガス汚染を防止できる。したがって、ウエハ
の水分付着や有機ガス汚染に起因する次工程での処理歩
留りの低下が防止できる。
【００２８】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない、たとえば、
前記本体２および蓋体３の内壁６，７はアルミニウム以
外の金属フィルムで形成しても良い。また、気体を透過
せず気体を放出しない物質であるならば、金属以外の物
質でも良い。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない、たとえば、
前記本体２および蓋体３の内壁６，７はアルミニウム以
外の金属フィルムで形成しても良い。また、気体を透過
せず気体を放出しない物質であるならば、金属以外の物
質でも良い。
【００２９】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【００３０】（１）ウエハキャリアケースの本体および
蓋体は樹脂で形成されているが、本体および蓋体の内壁
は、気体を透過せずかつ気体を放出することがないアル
ミニウムフィルムで形成されているため、ウエハキャリ
アケースの外の大気中の水分や、本体および蓋体から洩
れ出た有機ガス等がウエハキャリアケース内に浸入しな
くなり、ウエハ表面に水分や有機ガス等が付着しなくな
り、ウエハを常に汚染しない状態で保管できる。
蓋体は樹脂で形成されているが、本体および蓋体の内壁
は、気体を透過せずかつ気体を放出することがないアル
ミニウムフィルムで形成されているため、ウエハキャリ
アケースの外の大気中の水分や、本体および蓋体から洩
れ出た有機ガス等がウエハキャリアケース内に浸入しな
くなり、ウエハ表面に水分や有機ガス等が付着しなくな
り、ウエハを常に汚染しない状態で保管できる。
【図１】本発明の一実施形態であるウエハキャリアケー
スを示す断面図である。
スを示す断面図である。
【図２】本実施形態のウエハキャリアケースの透視的外
観を示す斜視図である。
観を示す斜視図である。
【図３】本実施形態のウエハキャリアケースの模式的断
面図である。
面図である。
１…ウエハキャリアケース、２…本体、３…蓋体、４，
５…突条、６，７…内壁、８，９…外壁、１０…ウエハ
キャリア、１１…ウエハ（半導体ウエハ）。
５…突条、６，７…内壁、８，９…外壁、１０…ウエハ
キャリア、１１…ウエハ（半導体ウエハ）。
Claims (5)
- 【請求項１】 上部が開口した箱型の本体と、前記本体
に着脱自在に取り付けられる蓋体とからなるウエハキャ
リアケースであって、前記本体および蓋体の内壁は、気
体を透過しない物質で形成されていることを特徴とする
ウエハキャリアケース。 - 【請求項２】 上部が開口した箱型の本体と、前記本体
に着脱自在に取り付けられる蓋体とからなるウエハキャ
リアケースであって、前記本体および蓋体の内壁は、気
体を放出しない物質で形成されていることを特徴とする
ウエハキャリアケース。 - 【請求項３】 上部が開口した箱型の本体と、前記本体
に着脱自在に取り付けられる蓋体とからなるウエハキャ
リアケースであって、前記本体および蓋体の内壁は、気
体を透過せずかつ気体を放出しない物質で形成されてい
ることを特徴とするウエハキャリアケース。 - 【請求項４】 前記本体および蓋体の外壁は樹脂で形成
されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のい
ずれか１項記載のウエハキャリアケース。 - 【請求項５】 前記気体を透過しない物質，気体を放出
しない物質は金属体であることを特徴とする請求項１乃
至請求項４のいずれか１項記載のウエハキャリアケー
ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31780695A JPH09162274A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | ウエハキャリアケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31780695A JPH09162274A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | ウエハキャリアケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162274A true JPH09162274A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18092254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31780695A Pending JPH09162274A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | ウエハキャリアケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09162274A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001048813A1 (fr) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Ebara Corporation | Procede et dispositif pouvant empecher l'oxydation a la surface d'un substrat |
-
1995
- 1995-12-06 JP JP31780695A patent/JPH09162274A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001048813A1 (fr) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Ebara Corporation | Procede et dispositif pouvant empecher l'oxydation a la surface d'un substrat |
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