JPH01310565A - 固体撮像装置封止用接着剤の形成体 - Google Patents
固体撮像装置封止用接着剤の形成体Info
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- JPH01310565A JPH01310565A JP63140442A JP14044288A JPH01310565A JP H01310565 A JPH01310565 A JP H01310565A JP 63140442 A JP63140442 A JP 63140442A JP 14044288 A JP14044288 A JP 14044288A JP H01310565 A JPH01310565 A JP H01310565A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、COD (Charge Coupled
Device)、MOS (酸化金属半導体)などの固
体撮像素子を容器に収納し、透光性キャップガラスで封
止する際に用いられる固体撮像装置封止用接着剤の形成
体に関する。
Device)、MOS (酸化金属半導体)などの固
体撮像素子を容器に収納し、透光性キャップガラスで封
止する際に用いられる固体撮像装置封止用接着剤の形成
体に関する。
〈従来の技術〉
固体撮像装置の製法としては、固体描像素子をセラミッ
クパッケージ製容器の底部に収納したのち、周辺部に接
着剤を塗布したキャップガラスで容器を封止する方法が
知られている。この方法ではキャップガラス収納用ケー
スに納められているキャップガラスをピンセット等で取
り出して容器の開口部に設置したのち加熱して接着剤を
溶融し、容器とキャップガラスを接着させている。
クパッケージ製容器の底部に収納したのち、周辺部に接
着剤を塗布したキャップガラスで容器を封止する方法が
知られている。この方法ではキャップガラス収納用ケー
スに納められているキャップガラスをピンセット等で取
り出して容器の開口部に設置したのち加熱して接着剤を
溶融し、容器とキャップガラスを接着させている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
この製法においては、キャンプガラス透光部の汚れが問
題となっている。この汚れはキャップガラスへの接着剤
の塗布工程、乾燥工程で微量の接着剤が飛散するために
生ずる。また接着剤を塗布したキャップガラスの搬送時
に振動によって接着剤粉末が発生し、これが汚れの原因
となることもある。このような汚れのあるキャップガラ
スを用いると、撮像装置の機能が存なわれる。このため
キャップガラス透光部の汚れの除去及び防止に慎重な扱
いが要求され、作業性が著しく低下し、自勧化も困難と
なっている。
題となっている。この汚れはキャップガラスへの接着剤
の塗布工程、乾燥工程で微量の接着剤が飛散するために
生ずる。また接着剤を塗布したキャップガラスの搬送時
に振動によって接着剤粉末が発生し、これが汚れの原因
となることもある。このような汚れのあるキャップガラ
スを用いると、撮像装置の機能が存なわれる。このため
キャップガラス透光部の汚れの除去及び防止に慎重な扱
いが要求され、作業性が著しく低下し、自勧化も困難と
なっている。
また、これらの問題を解決するべく枠状の接着剤を成形
し、固体損保装置用パッケージとキャップガラスを接着
する直前まで、接着剤とキャップガラスを分離してとり
扱う目的で、枠状接着剤単体を用いる方法はすでに考案
(実願昭63−36312)されているが、この方法で
は、パッケージとキャンプガラスを接着する段階で、枠
状の接着剤をどう取り扱うかなど、特に封止の自動化に
あたって問題を有するものであった。
し、固体損保装置用パッケージとキャップガラスを接着
する直前まで、接着剤とキャップガラスを分離してとり
扱う目的で、枠状接着剤単体を用いる方法はすでに考案
(実願昭63−36312)されているが、この方法で
は、パッケージとキャンプガラスを接着する段階で、枠
状の接着剤をどう取り扱うかなど、特に封止の自動化に
あたって問題を有するものであった。
く問題点を解決するための手段〉
本発明は、熱硬化性樹脂および硬化剤を含有する半硬化
状の接着剤を、剥離シート上に枠状に形成した固体↑最
像装置封土用接着剤の形成体である。
状の接着剤を、剥離シート上に枠状に形成した固体↑最
像装置封土用接着剤の形成体である。
本発明を構成する棒状接着剤を製造するに際しては、ま
ず熱硬化性樹脂に硬化剤、充填材、溶剤型等を加えて混
合し接着剤を調製する。
ず熱硬化性樹脂に硬化剤、充填材、溶剤型等を加えて混
合し接着剤を調製する。
熱硬化性樹脂としてはエポキシ樹脂、例えばビスフェノ
ールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹
脂、脂環式エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポ
キシ樹脂、タレゾールノボラック型エポキシ樹脂等、な
らびにこれらの混合物が用いられる。硬化剤としては、
ジシアンジアミド、イミダゾール等のアミン系化合物、
芳香族系酸無水物、脂肪族系無水物等、ならびにこれら
の混合物が用いられる。充填剤としてはシリカ、石英粉
、アルミナ、炭酸カルシウム、酸化マグネシウム等の無
機質粉末が好ましい。
ールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹
脂、脂環式エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポ
キシ樹脂、タレゾールノボラック型エポキシ樹脂等、な
らびにこれらの混合物が用いられる。硬化剤としては、
ジシアンジアミド、イミダゾール等のアミン系化合物、
芳香族系酸無水物、脂肪族系無水物等、ならびにこれら
の混合物が用いられる。充填剤としてはシリカ、石英粉
、アルミナ、炭酸カルシウム、酸化マグネシウム等の無
機質粉末が好ましい。
次いでこの接着剤をスクリーン印刷等により剥離シート
の上に枠状の接着剤パターンとして形成し、しかる後に
半硬化状(Bステージ)に加熱処理すると本発明の枠状
接着剤の形成体が得られる。
の上に枠状の接着剤パターンとして形成し、しかる後に
半硬化状(Bステージ)に加熱処理すると本発明の枠状
接着剤の形成体が得られる。
この場合半硬化状の枠状接着剤の厚さは20〜200μ
m、好ましくは50〜150μmになるように設ける。
m、好ましくは50〜150μmになるように設ける。
なお、本発明でいう剥離シートは、必要によりシリコー
ン樹脂等で離型性を付与したポリエチレンテレフタレー
トフィルム、ポリプロピレンフィルム、弗素樹脂系フィ
ルム、離型処理した紙などが適用され、前記した枠状接
着剤が貼着はするが、容易に剥離することができる性質
を持つもので、離型処理は片面2両面いづれでもよい。
ン樹脂等で離型性を付与したポリエチレンテレフタレー
トフィルム、ポリプロピレンフィルム、弗素樹脂系フィ
ルム、離型処理した紙などが適用され、前記した枠状接
着剤が貼着はするが、容易に剥離することができる性質
を持つもので、離型処理は片面2両面いづれでもよい。
この場合該剥離シートは長尺状であってもよいし、又・
、枚葉シート状であってもよく、その形状はとくに限定
されない。
、枚葉シート状であってもよく、その形状はとくに限定
されない。
以下図面により詳述する。
第1図(イ)、(ロ)は本発明の固体撮像装置封止用接
着剤の形成体の一例である。すなわち第1図(イ)は長
尺シートからなる剥離シート1の上に複数個の枠状接着
剤2を形成したものである。
着剤の形成体の一例である。すなわち第1図(イ)は長
尺シートからなる剥離シート1の上に複数個の枠状接着
剤2を形成したものである。
この場合において、枠状接着剤2を形成した剥離シート
1の長尺シートの長手方向に沿った両縁端部にスプロケ
ット加工部分3が施されていることが好ましい。なぜな
らばキャップガラスを設置もしくは接着剤パターンが印
刷された剥離フィルムを搬送するための位置合わせ用の
スプロケット加工を施すことで、キャップガラスの設置
、転写後の剥離、搬送など自動化が容易となる。
1の長尺シートの長手方向に沿った両縁端部にスプロケ
ット加工部分3が施されていることが好ましい。なぜな
らばキャップガラスを設置もしくは接着剤パターンが印
刷された剥離フィルムを搬送するための位置合わせ用の
スプロケット加工を施すことで、キャップガラスの設置
、転写後の剥離、搬送など自動化が容易となる。
一方、第1図(ロ)は枚葉シート状の剥離シート1の上
に複数個の枠状接着剤2を設けた例である。なお、上記
第1図(イ)、(ロ)における枠状接着剤の個数は特に
限定されるものではない。
に複数個の枠状接着剤2を設けた例である。なお、上記
第1図(イ)、(ロ)における枠状接着剤の個数は特に
限定されるものではない。
次に本発明の固体撮像装置封止用接着剤の形成体を用い
てキャップガラスに枠状接着剤を設ける工程を示すと第
2図のとおりである。
てキャップガラスに枠状接着剤を設ける工程を示すと第
2図のとおりである。
すなわち、まず第2図(イ)に示すように剥離シート1
の上に形成された枠状接着剤2を有する本発明の固体撮
像装置封止用接着剤の形成体の上に精密に洗浄したキャ
ップガラス4を設置する。
の上に形成された枠状接着剤2を有する本発明の固体撮
像装置封止用接着剤の形成体の上に精密に洗浄したキャ
ップガラス4を設置する。
次に第2図(ロ)に示すようにキャップガラス4の裏面
から押圧用治具5により押圧しながら半硬化状の枠状接
着剤2を剥離シート1を介して加熱体6により加熱溶融
させて枠状接着剤2をキャップガラス4に熱転写させる
。しかるのち第2図(ハ)に示すように剥離シート1を
剥離することにより、キャップガラス上に枠状接着剤を
形成することができる。
から押圧用治具5により押圧しながら半硬化状の枠状接
着剤2を剥離シート1を介して加熱体6により加熱溶融
させて枠状接着剤2をキャップガラス4に熱転写させる
。しかるのち第2図(ハ)に示すように剥離シート1を
剥離することにより、キャップガラス上に枠状接着剤を
形成することができる。
なお、本発明の固体撮像装置封止用接着剤の形成体を用
いてキャップガラスに枠状接着剤を設ける工程は第2図
に限定されるものではなく、例えば第2図(イ)の段階
で、先に枠状接着剤を剥離シートから分離しておいて、
然るのちキャンプガラスに載置してもよい。
いてキャップガラスに枠状接着剤を設ける工程は第2図
に限定されるものではなく、例えば第2図(イ)の段階
で、先に枠状接着剤を剥離シートから分離しておいて、
然るのちキャンプガラスに載置してもよい。
以上の工程により枠状接着剤が形成されたキャップガラ
スを固体撮像装置に設置する状態を第3図に示す。
スを固体撮像装置に設置する状態を第3図に示す。
つまり第3図は本発明によって得られた枠状接着剤を使
った固体撮像装置の部品の斜視図であって、固体撮像装
置を製造する場合は、セラミック製パッケージ7の底部
に固体撮像素子9を収納したのち、開口部8の上に枠状
接着剤2を有するキャップガラス4を載置し、そのまま
あるいは加圧しながら加熱して半硬化状の接着剤を溶融
し、パンケージ7とキャップガラス4を接着することに
より固体撮像装置が封止される。
った固体撮像装置の部品の斜視図であって、固体撮像装
置を製造する場合は、セラミック製パッケージ7の底部
に固体撮像素子9を収納したのち、開口部8の上に枠状
接着剤2を有するキャップガラス4を載置し、そのまま
あるいは加圧しながら加熱して半硬化状の接着剤を溶融
し、パンケージ7とキャップガラス4を接着することに
より固体撮像装置が封止される。
又、前記第2図(ハ)の工程において剥離シートを剥離
する際剥離がスムースに行えるように、第4図(イ)に
示すように長尺シートからなる剥離シート1の長手方向
に対して、枠状接着剤2を予め斜めに傾斜して設けてお
くと進行方向Aにて剥離する場合、剥離がスムースにで
きるし、又、第4図(ロ)に示すように枠状接着剤2が
その一辺が長尺シート1の両縁端部と平行の場合は、角
度αが20°〜70’になるように進行方向Bにて剥離
すれば剥離がスムースにおこなうことができる。
する際剥離がスムースに行えるように、第4図(イ)に
示すように長尺シートからなる剥離シート1の長手方向
に対して、枠状接着剤2を予め斜めに傾斜して設けてお
くと進行方向Aにて剥離する場合、剥離がスムースにで
きるし、又、第4図(ロ)に示すように枠状接着剤2が
その一辺が長尺シート1の両縁端部と平行の場合は、角
度αが20°〜70’になるように進行方向Bにて剥離
すれば剥離がスムースにおこなうことができる。
さらに又、キャップガラスに枠状接着剤を熱転写、剥離
後、鋭角になった接着剤の形状を再度加熱することによ
り溶融させて、枠状接着剤の角をとることにより接着剤
が脱落しにくい形状にすることも可能である。
後、鋭角になった接着剤の形状を再度加熱することによ
り溶融させて、枠状接着剤の角をとることにより接着剤
が脱落しにくい形状にすることも可能である。
なお本発明において剥離シートとして長尺シートを使用
する場合は、得られた固体撮像装置封止用接着剤の形成
体は、必要によりリールに巻回した型態で供給すること
もできる。
する場合は、得られた固体撮像装置封止用接着剤の形成
体は、必要によりリールに巻回した型態で供給すること
もできる。
〈実施例〉
以下実施例により本発明を詳述する。なお配合部数は全
て重量部を示すものとする。
て重量部を示すものとする。
実施例1
エポキシ当1450 g/e qのビスフェノールA型
エポキシ樹脂(油化シェルエポキシ社製、エピコート1
001)100部及び硬化剤として2−ウンデシルイミ
ダゾール(四国ファインケミカル社製、キュアゾールc
、、Z)5部をメチルエチルケトン20部に溶解し、さ
らに充填剤として酸化マグネシウム150部を配合し、
三本ロールにて混線分散して接着剤を調製した。得られ
た接着剤をスクリーン印刷法にて、厚さ75μmのシリ
コーン離型剤処理を施したポリエチレンテレフタレート
フィルムのシリコーン面に、透光性キヤ・7プガラスと
セラミックパッケージの接着シール部に対応した枠状の
形状になるように、150μmの厚さに塗布し、真空中
にて80℃で60分間加熱して溶剤を除去して剥離フィ
ルム上で半硬化状の枠状接着剤を作成した。
エポキシ樹脂(油化シェルエポキシ社製、エピコート1
001)100部及び硬化剤として2−ウンデシルイミ
ダゾール(四国ファインケミカル社製、キュアゾールc
、、Z)5部をメチルエチルケトン20部に溶解し、さ
らに充填剤として酸化マグネシウム150部を配合し、
三本ロールにて混線分散して接着剤を調製した。得られ
た接着剤をスクリーン印刷法にて、厚さ75μmのシリ
コーン離型剤処理を施したポリエチレンテレフタレート
フィルムのシリコーン面に、透光性キヤ・7プガラスと
セラミックパッケージの接着シール部に対応した枠状の
形状になるように、150μmの厚さに塗布し、真空中
にて80℃で60分間加熱して溶剤を除去して剥離フィ
ルム上で半硬化状の枠状接着剤を作成した。
このようにして得られた本発明による枠状接着剤の運送
中の発塵性を評価するために、固体撮像装置封止用接着
剤の形成体を一旦密封梱包し振幅30m1、振とう速度
60回/minで12時間振とうした後開封した。
中の発塵性を評価するために、固体撮像装置封止用接着
剤の形成体を一旦密封梱包し振幅30m1、振とう速度
60回/minで12時間振とうした後開封した。
キャンプガラスをよく洗浄したのち、剥離フィルム上の
枠状接着剤の上部にキャップガラスを載せ、ヒートブロ
ックを用いて接着剤を加熱しながらキャップガラスを押
圧し、接着剤を熱転写した。
枠状接着剤の上部にキャップガラスを載せ、ヒートブロ
ックを用いて接着剤を加熱しながらキャップガラスを押
圧し、接着剤を熱転写した。
次に剥離フィルムを前記第4図(ロ)のαが45度の角
度になるよう剥離させ、棒状接着剤付きキャップガラス
を得た。
度になるよう剥離させ、棒状接着剤付きキャップガラス
を得た。
実施例2
実施例1で用いた接着剤を同様にスクリーン印刷後、真
空中で乾燥することにより枠状接着剤パターンを得、同
様に振とうをおこなった。
空中で乾燥することにより枠状接着剤パターンを得、同
様に振とうをおこなった。
精密洗浄したキャップガラスを剥離フィルム上の接着剤
パターン部に設置し実施例1と同じ条件で接着剤パター
ンをキャップガラスに熱転写した。
パターン部に設置し実施例1と同じ条件で接着剤パター
ンをキャップガラスに熱転写した。
今度は、実施例1と異なり剥離フィルムを剥離する際第
4図(ロ)のαが90°になるように剥離させた。
4図(ロ)のαが90°になるように剥離させた。
実施例3
実施例1及び2と同様にして剥離フィルム上に半硬化状
の枠状接着剤を得た。
の枠状接着剤を得た。
これを今度は、キャップガラスに転写せずに、すなわち
枠状接着剤単体として剥離フィルムから剥離させ、これ
を梱包ケースに収納したのち、実施例1と同様に振とう
を行なった。
枠状接着剤単体として剥離フィルムから剥離させ、これ
を梱包ケースに収納したのち、実施例1と同様に振とう
を行なった。
精密洗浄したキャップガラスを用意し、単体の枠状接着
剤をキャップガラス上に設置し加熱して接着剤を溶融さ
せてキャンプガラス上に固定させた。
剤をキャップガラス上に設置し加熱して接着剤を溶融さ
せてキャンプガラス上に固定させた。
実施例4
実施例1,2と同様に剥離フィルム上の枠状接着剤を得
、振とうを行なう前に洗浄後のキャップガラスに熱転写
した。これを実施例1と同様に45度の角度で剥離フィ
ルムより剥離し、得られた接着剤付きキャップガラスの
有効面を汚さないように接着剤部分を加熱して接着剤を
再度溶融させ、塗布された接着剤の形状の角張った部分
の改善を行なった。これを梱包ケースに収納したのち、
実施例1と同様の振とう条件により振とうして接着剤付
きキャップガラスを得た。
、振とうを行なう前に洗浄後のキャップガラスに熱転写
した。これを実施例1と同様に45度の角度で剥離フィ
ルムより剥離し、得られた接着剤付きキャップガラスの
有効面を汚さないように接着剤部分を加熱して接着剤を
再度溶融させ、塗布された接着剤の形状の角張った部分
の改善を行なった。これを梱包ケースに収納したのち、
実施例1と同様の振とう条件により振とうして接着剤付
きキャップガラスを得た。
比較例1
実施例1と同じ組成の接着剤を、スクリーン印刷法によ
り、精密洗浄した透光性キャップガラスの接着面上にス
クリーン印刷により直接塗布した。
り、精密洗浄した透光性キャップガラスの接着面上にス
クリーン印刷により直接塗布した。
実施例1と同じ条件で乾燥して接着剤付きキャップガラ
スを得た。これを−旦梱包ケースに収納したのち、実施
例1と同様の振とう条件により振とうした。
スを得た。これを−旦梱包ケースに収納したのち、実施
例1と同様の振とう条件により振とうした。
実施例1〜4及び比較例1について、転写後最終的に得
られた接着剤付きキャップガラスの有効面を実体顕微鏡
を用いて観察したガラス面への異物の数を表1に示す。
られた接着剤付きキャップガラスの有効面を実体顕微鏡
を用いて観察したガラス面への異物の数を表1に示す。
表1
〈発明の効果〉
以上のように本発明によれば、固体撮像装置用キャンプ
ガラスの有効面を汚すことなしに接着剤を塗布すること
ができ、枠状接着剤を載せた剥離シートごと輸送するこ
とで、接着工程の自動化にも有利となり、不良率を減少
させることができる。
ガラスの有効面を汚すことなしに接着剤を塗布すること
ができ、枠状接着剤を載せた剥離シートごと輸送するこ
とで、接着工程の自動化にも有利となり、不良率を減少
させることができる。
第1図(イ)、(ロ)は本発明の固体↑最像装置封止用
接着剤の形成体の一例を示す図であり、第2図はキャン
プガラスに枠状接着剤を形成する工程の一例を示す図で
あり、第3図は、本発明により得られた枠状接着剤付き
キャップガラスを固体撮像装置に封止する状態を示す図
であり、又、第4図は剥離シートを枠状接着剤から効率
的に剥離する状態を示す図である。 5・・・押圧用治具 6・・・加熱体7・・・
パッケージ 8・・・開口部9・・・固体撮像
素子。 第1図 第2図 を 第3図
接着剤の形成体の一例を示す図であり、第2図はキャン
プガラスに枠状接着剤を形成する工程の一例を示す図で
あり、第3図は、本発明により得られた枠状接着剤付き
キャップガラスを固体撮像装置に封止する状態を示す図
であり、又、第4図は剥離シートを枠状接着剤から効率
的に剥離する状態を示す図である。 5・・・押圧用治具 6・・・加熱体7・・・
パッケージ 8・・・開口部9・・・固体撮像
素子。 第1図 第2図 を 第3図
Claims (2)
- (1)熱硬化性樹脂及び硬化剤を含有する半硬化状の接
着剤を剥離シートの上に枠状に形成したことを特徴とす
る固体撮像装置封止用接着剤の形成体。 - (2)前記剥離シートが長尺シートからなり、かつ該長
尺シートの長手方向に沿った両縁端部にスプロケット加
工が施されていることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の固体撮像装置封止用接着剤の形成体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63140442A JPH01310565A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 固体撮像装置封止用接着剤の形成体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63140442A JPH01310565A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 固体撮像装置封止用接着剤の形成体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01310565A true JPH01310565A (ja) | 1989-12-14 |
JPH0379866B2 JPH0379866B2 (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=15268736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63140442A Granted JPH01310565A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 固体撮像装置封止用接着剤の形成体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01310565A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005093826A1 (en) | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Device and method for joining substrates |
JP2010114466A (ja) * | 2004-03-26 | 2010-05-20 | Fujifilm Corp | 基板接合装置及び方法 |
JP2012033569A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Toshiba Corp | レチクルチャッククリーナー |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP63140442A patent/JPH01310565A/ja active Granted
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005093826A1 (en) | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Device and method for joining substrates |
US7678211B2 (en) | 2004-03-26 | 2010-03-16 | Fujifilm Corporation | Device and method for joining substrates |
JP2010114466A (ja) * | 2004-03-26 | 2010-05-20 | Fujifilm Corp | 基板接合装置及び方法 |
US7988803B2 (en) | 2004-03-26 | 2011-08-02 | Fujifilm Corporation | Device and method for joining substrates |
JP2012033569A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Toshiba Corp | レチクルチャッククリーナー |
US9034467B2 (en) | 2010-07-28 | 2015-05-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Reticle chuck cleaner |
US9884350B2 (en) | 2010-07-28 | 2018-02-06 | Toshiba Memory Corporation | Reticle chuck cleaner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0379866B2 (ja) | 1991-12-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |