JP3361196B2 - ペリクル構造体 - Google Patents
ペリクル構造体Info
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペリクル構造体、特には
ペリクル輸送時における異物の発生を防止したペリクル
構造体に関するものである。
ペリクル輸送時における異物の発生を防止したペリクル
構造体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置は高密度化、高集積化
の進展に伴なってパターンの微細化が進行しており、フ
ォトマスク上に付着した微細な異物でも転写パターンの
欠陥になるようになってきたことから、このフォトマス
クへの異物の付着を防止するためにフォトマスクにペリ
クルを装着することが広く行なわれるようになってきて
いる。そして、このペリクルは通常、一般に金属または
樹脂製のペリクル枠の一端面にペリクル膜を接着剤で張
設し、ペリクル枠の他の端面に粘着層を形成し、その粘
着層を離型性を有するシート材料（セパレーターとも称
する）で保護した構造体となっている。
の進展に伴なってパターンの微細化が進行しており、フ
ォトマスク上に付着した微細な異物でも転写パターンの
欠陥になるようになってきたことから、このフォトマス
クへの異物の付着を防止するためにフォトマスクにペリ
クルを装着することが広く行なわれるようになってきて
いる。そして、このペリクルは通常、一般に金属または
樹脂製のペリクル枠の一端面にペリクル膜を接着剤で張
設し、ペリクル枠の他の端面に粘着層を形成し、その粘
着層を離型性を有するシート材料（セパレーターとも称
する）で保護した構造体となっている。
【０００３】このペリクルの使用は、離型性を有するシ
ート状材料を剥離して除去したのち、露出した粘着層を
フォトマスク（レチクルとも称する）の所定の位置に圧
着することによってペリクルをフォトマスクに固定すれ
ばよいが、このように製造したペリクルを出荷する際に
は、ペリクル膜に異物の無いことを確認後、ペリクルを
所定の容器に収納し、異物が混入しないように厳重に包
装し、梱包を行なえばよい。
ート状材料を剥離して除去したのち、露出した粘着層を
フォトマスク（レチクルとも称する）の所定の位置に圧
着することによってペリクルをフォトマスクに固定すれ
ばよいが、このように製造したペリクルを出荷する際に
は、ペリクル膜に異物の無いことを確認後、ペリクルを
所定の容器に収納し、異物が混入しないように厳重に包
装し、梱包を行なえばよい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このペリクル
についてはペリクルを目的地に輸送後、包装・梱包を解
きペリクルを取り出してペリクル膜の異物の有無を確認
すると異物の発生している場合がある。この原因として
はトラックや鉄道、飛行機による輸送時および出荷の積
みおろし時の振動や衝撃により、ペリクル膜以外に潜在
していた異物がペリクル膜に付着したためと考えられ
る。
についてはペリクルを目的地に輸送後、包装・梱包を解
きペリクルを取り出してペリクル膜の異物の有無を確認
すると異物の発生している場合がある。この原因として
はトラックや鉄道、飛行機による輸送時および出荷の積
みおろし時の振動や衝撃により、ペリクル膜以外に潜在
していた異物がペリクル膜に付着したためと考えられ
る。
【０００５】このペリクル膜以外に異物が潜在する可能
性の大きい場所としては、まず第１にペリクル枠の側面
があり、このペリクル枠の側面（特にフォトマスク側に
なる内側面）からの異物の発生を防止する方法としては
ペリクル枠内側面に粘着層を形成する方法（特開昭60-5
7841号公報参照）や、ここに塗膜層を形成する方法（特
開昭64-48052号公報参照）が提案されている。また、こ
の第２についてはペリクルの粘着層としてフォーム基材
両面粘着テープを用いた場合に、そのテープのカットし
たときのカット面があり、このカット面からの異物の発
生を防止するためには、このカット面に粘着物層を設け
る方法（特開平 2-64540号公報参照）が提案されてい
る。
性の大きい場所としては、まず第１にペリクル枠の側面
があり、このペリクル枠の側面（特にフォトマスク側に
なる内側面）からの異物の発生を防止する方法としては
ペリクル枠内側面に粘着層を形成する方法（特開昭60-5
7841号公報参照）や、ここに塗膜層を形成する方法（特
開昭64-48052号公報参照）が提案されている。また、こ
の第２についてはペリクルの粘着層としてフォーム基材
両面粘着テープを用いた場合に、そのテープのカットし
たときのカット面があり、このカット面からの異物の発
生を防止するためには、このカット面に粘着物層を設け
る方法（特開平 2-64540号公報参照）が提案されてい
る。
【０００６】しかし、このようにペリクル枠の内側面に
粘着層や塗装層を形成したり、さらにはフォーム基材両
面粘着テープのカット面に粘着物層を設けたとしても、
ペリクルの輸送時にペリクルにおける異物の発生を完全
に防止することは困難であり、この対策が問題点とされ
ている。
粘着層や塗装層を形成したり、さらにはフォーム基材両
面粘着テープのカット面に粘着物層を設けたとしても、
ペリクルの輸送時にペリクルにおける異物の発生を完全
に防止することは困難であり、この対策が問題点とされ
ている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決したペリクルにおける異物の発生を大
幅に減少することができるペリクル構造体に関するもの
で、これはペリクル枠の一端面に形成された粘着層表面
に、所定形状に切断し、その切断面を溶融処理するか、
その切断面に塗料をコーティングしてなる、離型性を有
するシート材料を貼付してなることを特徴とするもので
ある。
利、問題点を解決したペリクルにおける異物の発生を大
幅に減少することができるペリクル構造体に関するもの
で、これはペリクル枠の一端面に形成された粘着層表面
に、所定形状に切断し、その切断面を溶融処理するか、
その切断面に塗料をコーティングしてなる、離型性を有
するシート材料を貼付してなることを特徴とするもので
ある。
【０００８】すなわち、本発明者らはペリクルの輸送時
における異物の発生を防止する方法について種々検討し
た結果、これについてはペリクル枠の一端面に粘着層を
設け、この粘着層に離型性を有するシート材料を貼付
し、このシート材料を剥離したのち、この粘着層をフォ
トマスクに圧着してペリクルを得るのであるが、このシ
ート材料は貼付するときに適宜の大きさに切断すること
が必要とされるために、この切断時に切断片などが発生
し、これが異物となる可能性があることから、本発明者
らはこの切断面を溶融処理するか、この切断面に塗料を
コーティングしたところ、この切断面に存在している切
断片などが完全に除去されるか、この塗料によって固定
されるために、これが異物になることがなく、したがっ
てペリクル輸送時にペリクルに異物が発生することがな
くなることを見出し、これによればペリクルにおける異
物の発生を大幅に低下させることができることを確認し
て本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
における異物の発生を防止する方法について種々検討し
た結果、これについてはペリクル枠の一端面に粘着層を
設け、この粘着層に離型性を有するシート材料を貼付
し、このシート材料を剥離したのち、この粘着層をフォ
トマスクに圧着してペリクルを得るのであるが、このシ
ート材料は貼付するときに適宜の大きさに切断すること
が必要とされるために、この切断時に切断片などが発生
し、これが異物となる可能性があることから、本発明者
らはこの切断面を溶融処理するか、この切断面に塗料を
コーティングしたところ、この切断面に存在している切
断片などが完全に除去されるか、この塗料によって固定
されるために、これが異物になることがなく、したがっ
てペリクル輸送時にペリクルに異物が発生することがな
くなることを見出し、これによればペリクルにおける異
物の発生を大幅に低下させることができることを確認し
て本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
【０００９】
【作用】本発明はペリクル構造体に関するものであり、
これは前記したようにペリクル枠の一端面に形成された
粘着層表面に、所定形状に切断し、その切断面を溶融処
理するか、その切断面に塗料をコーティングしてなる離
型性を有するシート材料を貼付してなることを特徴とす
るものであり、これによれば所定形状に切断されたシー
ト材料はその切断面が溶融処理されるか、塗料でコーテ
ィングされるのでこの切断面からは微細な切りくずも出
ることもないので、この微細な切りくずに基づく異物の
発生を防止することができ、したがってペリクル輸送時
におけるペリクル面への異物の発生を大幅に減少させる
ことができるという有利性が与えられる。
これは前記したようにペリクル枠の一端面に形成された
粘着層表面に、所定形状に切断し、その切断面を溶融処
理するか、その切断面に塗料をコーティングしてなる離
型性を有するシート材料を貼付してなることを特徴とす
るものであり、これによれば所定形状に切断されたシー
ト材料はその切断面が溶融処理されるか、塗料でコーテ
ィングされるのでこの切断面からは微細な切りくずも出
ることもないので、この微細な切りくずに基づく異物の
発生を防止することができ、したがってペリクル輸送時
におけるペリクル面への異物の発生を大幅に減少させる
ことができるという有利性が与えられる。
【００１０】本発明のペリクル構造体自体は前記したよ
うに、ペリクルを金属または樹脂製のペリクル枠の一端
面にペリクル膜を接着剤で張設し、ペリクル枠の他の端
面に粘着層を形成し、この粘着層を離型性を有するシー
ト材料で保護したものとされている公知の構造体と同一
の構成からなるものとされるが、本発明で使用される離
型性を有するシート材料にはポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン
（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（Ｐ
ＶＣ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、酢酸セルロ
ース、ポリ酢酸アセテート、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリフルオロア
セテート（ＰＦＡ）などのプラスチックフィルムや、ポ
リエチレンラミネート紙のように紙にプラスチックフィ
ルムをラミネートしたもの、アルミニウム蒸着膜のよう
にプラスチックフィルムに金属蒸着膜を形成したもの、
合成紙やグラシン紙のように発塵の少ない紙、アルミニ
ウム箔やステンレス箔、銅箔のような金属箔が例示され
る。
うに、ペリクルを金属または樹脂製のペリクル枠の一端
面にペリクル膜を接着剤で張設し、ペリクル枠の他の端
面に粘着層を形成し、この粘着層を離型性を有するシー
ト材料で保護したものとされている公知の構造体と同一
の構成からなるものとされるが、本発明で使用される離
型性を有するシート材料にはポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン
（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（Ｐ
ＶＣ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、酢酸セルロ
ース、ポリ酢酸アセテート、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリフルオロア
セテート（ＰＦＡ）などのプラスチックフィルムや、ポ
リエチレンラミネート紙のように紙にプラスチックフィ
ルムをラミネートしたもの、アルミニウム蒸着膜のよう
にプラスチックフィルムに金属蒸着膜を形成したもの、
合成紙やグラシン紙のように発塵の少ない紙、アルミニ
ウム箔やステンレス箔、銅箔のような金属箔が例示され
る。
【００１１】しかし、このシート材料についてはこれを
ペリクル枠の一端面に形成された粘着層表面に貼付した
のち、この粘着層をフォトマスクに圧着するためにはこ
のシート材料を剥離することが必要とされることから、
このシート材料は離型性をもつものとすることが必要と
されるので、これについてはその表面にシリコーン樹
脂、フッ素樹脂などの離型剤を塗布することが必要とさ
れるが、この離型剤の塗布はロールコーター法やスクリ
ーン印刷法などの公知の方法で行なえばよい。
ペリクル枠の一端面に形成された粘着層表面に貼付した
のち、この粘着層をフォトマスクに圧着するためにはこ
のシート材料を剥離することが必要とされることから、
このシート材料は離型性をもつものとすることが必要と
されるので、これについてはその表面にシリコーン樹
脂、フッ素樹脂などの離型剤を塗布することが必要とさ
れるが、この離型剤の塗布はロールコーター法やスクリ
ーン印刷法などの公知の方法で行なえばよい。
【００１２】また、この離型層を形成したシート材料
（以下セパレーターと記載する）は粘着層に貼付するた
めに所定の形状に切断されるが、この切断は型刃（また
は打抜き刃）を用いて行えばよく、この形状はペリクル
枠のサイズより 0.1〜0.2mm 程度大きいフレーム状（つ
まり中央部を打ち抜いた形）または四角形状とすればよ
い。しかし、このセパレーターを打ち抜く（つまり切断
する）と切断面に切りくずやバリが発生するので、これ
らは超音波洗浄などでこれを除去するのであるが、この
切断面から微細な切りくずを完全に除去することは困難
であり、この超音波洗浄を必要以上に長時間行なうと切
断部の組織が破壊されて逆に微細なゴミが発生するとい
う不利が生ずる。
（以下セパレーターと記載する）は粘着層に貼付するた
めに所定の形状に切断されるが、この切断は型刃（また
は打抜き刃）を用いて行えばよく、この形状はペリクル
枠のサイズより 0.1〜0.2mm 程度大きいフレーム状（つ
まり中央部を打ち抜いた形）または四角形状とすればよ
い。しかし、このセパレーターを打ち抜く（つまり切断
する）と切断面に切りくずやバリが発生するので、これ
らは超音波洗浄などでこれを除去するのであるが、この
切断面から微細な切りくずを完全に除去することは困難
であり、この超音波洗浄を必要以上に長時間行なうと切
断部の組織が破壊されて逆に微細なゴミが発生するとい
う不利が生ずる。
【００１３】そのため、本発明ではこのセパレーターの
切断面を溶融処理するか、この切断面に塗料をコーティ
ングして切断面における微細なゴミの発生を防止し、こ
れによってこの切断面からの異物の発生を防止するもの
である。このセパレーターの切断面の溶融処理は、セパ
レーターの材質であるフィルムを溶解可能な溶剤を用い
て切断面を溶解させる方法、またはこの切断面をセパレ
ーターの材質であるフィルムの溶融温度以上に加熱して
熱溶融させる方法などで行なえばよい。
切断面を溶融処理するか、この切断面に塗料をコーティ
ングして切断面における微細なゴミの発生を防止し、こ
れによってこの切断面からの異物の発生を防止するもの
である。このセパレーターの切断面の溶融処理は、セパ
レーターの材質であるフィルムを溶解可能な溶剤を用い
て切断面を溶解させる方法、またはこの切断面をセパレ
ーターの材質であるフィルムの溶融温度以上に加熱して
熱溶融させる方法などで行なえばよい。
【００１４】
【００１５】また、この切断面に塗料をコーティングす
る方法は、切断面に塗料をはけ塗り、浸漬法、ロールコ
ーター法などで塗布すればよく、浸漬法による場合には
離型層を形成する前の原反フィルムをそのまま打ち抜い
たものを使用してもよい。ここに使用する塗料の種類に
は特に制限はなく、これには皮膜形成能を有するアクリ
ル系樹脂やポリウレタン系樹脂及び硬化性樹脂などが例
示されるが、これはコーティングしても硬化せず表面に
ベタ付きを有するものであると汚染の原因となるので、
好ましくは反応または加熱により硬化するものとされ
る。
る方法は、切断面に塗料をはけ塗り、浸漬法、ロールコ
ーター法などで塗布すればよく、浸漬法による場合には
離型層を形成する前の原反フィルムをそのまま打ち抜い
たものを使用してもよい。ここに使用する塗料の種類に
は特に制限はなく、これには皮膜形成能を有するアクリ
ル系樹脂やポリウレタン系樹脂及び硬化性樹脂などが例
示されるが、これはコーティングしても硬化せず表面に
ベタ付きを有するものであると汚染の原因となるので、
好ましくは反応または加熱により硬化するものとされ
る。
【００１６】これらのコーティングの厚みには特に制限
はないが、これは切断面を完全にコーティングすること
が必要とされることから、一般には０．５〜１００μｍ
程度のものとすることがよい。
はないが、これは切断面を完全にコーティングすること
が必要とされることから、一般には０．５〜１００μｍ
程度のものとすることがよい。
【００１７】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。
実施例１
ペリクル膜を一方の端部に接着させたアルマイト処理を
した外寸が 200×200mm で幅が２mm、高さ 6.0mmのアル
ミニウム製ペリクル枠の他の端部にシリコーン系粘着剤
・ＫＲ120 ［信越化学工業（株）製商品名］を厚さ 0.5
mmに塗布して粘着層を形成した。
した外寸が 200×200mm で幅が２mm、高さ 6.0mmのアル
ミニウム製ペリクル枠の他の端部にシリコーン系粘着剤
・ＫＲ120 ［信越化学工業（株）製商品名］を厚さ 0.5
mmに塗布して粘着層を形成した。
【００１８】他方、厚みが１２５μｍのポリエチレンテ
レフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に、離型剤・Ｘ
−７０−２０１［信越化学工業（株）製商品名］を厚み
が１．５μｍとなるようにロールコーターを用いて塗布
して、離型性を有するセパレーターを作り、これを外寸
が２００．５×２００．５ｍｍで幅が３．０ｍｍのフレ
ーム状になるように型刃を取りつけたプレス機を用いて
打ち抜いた。
レフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に、離型剤・Ｘ
−７０−２０１［信越化学工業（株）製商品名］を厚み
が１．５μｍとなるようにロールコーターを用いて塗布
して、離型性を有するセパレーターを作り、これを外寸
が２００．５×２００．５ｍｍで幅が３．０ｍｍのフレ
ーム状になるように型刃を取りつけたプレス機を用いて
打ち抜いた。
【００１９】ついで、このフレーム状フィルムを純水下
で超音波洗浄してこれに付着していた異物を除去したの
ち、このフレーム状フィルムの切断部に温度を 300℃に
保った棒状のセラミックスヒーターを接触させて切断部
を熱溶融処理し、このセパレーターの離型層をペリクル
枠の粘着層に貼付した。つぎに得られたセパレーター付
きペリクルを専用の容器に入れて密封後、トラックによ
り 500kmの輸送試験を行ない、輸送試験後ペリクルを容
器から取り出し、ペリクル膜上の異物を暗室内で集光ラ
ンプを用いて測定したところ、これには異物の増加は認
められなかった。
で超音波洗浄してこれに付着していた異物を除去したの
ち、このフレーム状フィルムの切断部に温度を 300℃に
保った棒状のセラミックスヒーターを接触させて切断部
を熱溶融処理し、このセパレーターの離型層をペリクル
枠の粘着層に貼付した。つぎに得られたセパレーター付
きペリクルを専用の容器に入れて密封後、トラックによ
り 500kmの輸送試験を行ない、輸送試験後ペリクルを容
器から取り出し、ペリクル膜上の異物を暗室内で集光ラ
ンプを用いて測定したところ、これには異物の増加は認
められなかった。
【００２０】実施例２
実施例１におけるセパレーターをＰＥＴフィルムの替り
に厚さが 200μｍのポリ塩化ビニルフィルムとし、熱溶
融の替りにテトラヒドラフランをしみ込ませた綿棒を用
いてこれをセパレーターの切断部に接触させて切断部を
溶解させたほかは実施例１と同様の方法でペリクルを処
理し、このペリクルについて実施例１と同様の方法で輸
送試験を行ない、異物の測定を行なったところ、これに
は異物の増加は認められなかった。
に厚さが 200μｍのポリ塩化ビニルフィルムとし、熱溶
融の替りにテトラヒドラフランをしみ込ませた綿棒を用
いてこれをセパレーターの切断部に接触させて切断部を
溶解させたほかは実施例１と同様の方法でペリクルを処
理し、このペリクルについて実施例１と同様の方法で輸
送試験を行ない、異物の測定を行なったところ、これに
は異物の増加は認められなかった。
【００２１】比較例１
比較のために実施例１で用いたＰＥＴフィルムをフィル
ム状に打ち抜いたフィルムの切断部についてその切断面
を溶融処理しなかったほかは実施例１と同様に処理して
得たペリクルについて実施例１と同様の輸送試験を行な
い、その異物の測定を行なったところ、この場合には５
ヶの異物の増加が認められた。
ム状に打ち抜いたフィルムの切断部についてその切断面
を溶融処理しなかったほかは実施例１と同様に処理して
得たペリクルについて実施例１と同様の輸送試験を行な
い、その異物の測定を行なったところ、この場合には５
ヶの異物の増加が認められた。
【００２２】実施例３
ペリクル膜を一方の端部に接着させたアルマイト処理を
した外寸が 200×200mm で幅が２mm、高さが 6.0mmのア
ルミニウム製ペリクル枠の端部にシリコーン粘着剤・Ｋ
Ｒ120 （前出）を厚さ 0.5mmに塗布して粘着層を形成し
た。
した外寸が 200×200mm で幅が２mm、高さが 6.0mmのア
ルミニウム製ペリクル枠の端部にシリコーン粘着剤・Ｋ
Ｒ120 （前出）を厚さ 0.5mmに塗布して粘着層を形成し
た。
【００２３】他方、厚みが１２５μｍのＰＥＴフィルム
の片面に、離型剤・Ｘ−７０−２０１（前出）を厚みが
１．５μｍとなるようにロールコーターを用いて塗布し
て、離型性を有するセパレーターを作り、これを外寸が
２００．５×２００．５ｍｍで幅が３ｍｍのフレーム状
になるように型刃を取りつけたプレス機を用いて打ち抜
いた。
の片面に、離型剤・Ｘ−７０−２０１（前出）を厚みが
１．５μｍとなるようにロールコーターを用いて塗布し
て、離型性を有するセパレーターを作り、これを外寸が
２００．５×２００．５ｍｍで幅が３ｍｍのフレーム状
になるように型刃を取りつけたプレス機を用いて打ち抜
いた。
【００２４】ついで、このフレーム状フィルムを純水下
で超音波洗浄してこれに付着していた異物を除去したの
ち、このフィルムの片面に塗布してある離型剤と同じ離
型剤をしみ込ませた綿棒を用いて、このフレーム状フィ
ルムの切断部断面を完全に覆うようにコーティングし、
120℃に５分間加熱してこの離型剤を硬化させてペリク
ルの粘着層保護用セパレーターを作成した。
で超音波洗浄してこれに付着していた異物を除去したの
ち、このフィルムの片面に塗布してある離型剤と同じ離
型剤をしみ込ませた綿棒を用いて、このフレーム状フィ
ルムの切断部断面を完全に覆うようにコーティングし、
120℃に５分間加熱してこの離型剤を硬化させてペリク
ルの粘着層保護用セパレーターを作成した。
【００２５】つぎに、このセパレーターの離型層をペリ
クル枠の粘着層に貼り合わせ、得られたセパレーター付
きペリクルを専用の容器に入れて密封後、トラックによ
り約500kmの輸送試験を行ない、輸送試験後のペリクル
を容器から取り出してペリクル膜上の異物を暗室内で集
光ランプを用いて測定したところ、これには異物の増加
は認められなかった。
クル枠の粘着層に貼り合わせ、得られたセパレーター付
きペリクルを専用の容器に入れて密封後、トラックによ
り約500kmの輸送試験を行ない、輸送試験後のペリクル
を容器から取り出してペリクル膜上の異物を暗室内で集
光ランプを用いて測定したところ、これには異物の増加
は認められなかった。
【００２６】比較例２
比較のために実施例３で用いたＰＥＴフィルムをフィル
ム状に打ち抜いたフィルムの切断面を離型剤でコーティ
ングしなかったほかは実施例３と同様に処理して得たペ
リクルについて実施例３と同様の輸送試験を行ない、そ
の異物の測定を行なったところ、この場合には５ヶの異
物の増加が認められた。
ム状に打ち抜いたフィルムの切断面を離型剤でコーティ
ングしなかったほかは実施例３と同様に処理して得たペ
リクルについて実施例３と同様の輸送試験を行ない、そ
の異物の測定を行なったところ、この場合には５ヶの異
物の増加が認められた。
【００２７】
【発明の効果】本発明のペリクル構造体はペリクル枠の
一端面に形成された粘着層表面に、所定形状に切断し
た、その切断面を溶融処理するか、また切断面に塗料を
コーティングした離型性を有するシート材料が貼付して
なるものとされるので、これによればこのシート材料の
切断時に発生する微細な切断くずがなくなり、したがっ
てこの切断くずに基づくペリクルへの異物発生がなくな
るという有利性が与えられる。
一端面に形成された粘着層表面に、所定形状に切断し
た、その切断面を溶融処理するか、また切断面に塗料を
コーティングした離型性を有するシート材料が貼付して
なるものとされるので、これによればこのシート材料の
切断時に発生する微細な切断くずがなくなり、したがっ
てこの切断くずに基づくペリクルへの異物発生がなくな
るという有利性が与えられる。
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(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G03F 1/08 - 1/16
H01L 21/027
Claims (4)
- 【請求項１】 ペリクル枠の一端面に形成された粘着層
表面に、所定形状に切断した後、その切断面を溶解可能
な溶剤または加熱により溶融処理してなる離型性を有す
るシート材料を貼付してなることを特徴とするペリクル
構造体。 - 【請求項２】 ペリクル枠の一端面に形成された粘着層
表面に、所定形状に切断した後、その切断面に塗料をコ
ーティングしてなる離型性を有するシート材料を貼付し
てなることを特徴とするペリクル構造体。 - 【請求項３】 離型性を有するシート材料がプラスチッ
クフィルムに離型剤をコーティングしたものである請求
項１又は２に記載したペリクル構造体。 - 【請求項４】 切断面をコーティングする塗料が硬化性
有機化合物である請求項２に記載したペリクル構造体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23463494A JP3361196B2 (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | ペリクル構造体 |
| US08/524,539 US5656342A (en) | 1994-09-29 | 1995-09-07 | End surface-protected frame-supported pellicle for photolithography |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23463494A JP3361196B2 (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | ペリクル構造体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0895235A JPH0895235A (ja) | 1996-04-12 |
| JP3361196B2 true JP3361196B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=16974114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23463494A Expired - Lifetime JP3361196B2 (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | ペリクル構造体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5656342A (ja) |
| JP (1) | JP3361196B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6524754B2 (en) | 2001-01-22 | 2003-02-25 | Photronics, Inc. | Fused silica pellicle |
| US7351503B2 (en) * | 2001-01-22 | 2008-04-01 | Photronics, Inc. | Fused silica pellicle in intimate contact with the surface of a photomask |
| KR20060116152A (ko) * | 2005-05-09 | 2006-11-14 | 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 | 오염이 적은 펠리클 |
| KR100688562B1 (ko) * | 2005-07-25 | 2007-03-02 | 삼성전자주식회사 | 림 타입 포토 마스크의 제조방법 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5271803A (en) * | 1992-01-09 | 1993-12-21 | Yen Yung Tsai | Method of forming finished edge of plural-layer optical membrane |
| JP2657027B2 (ja) * | 1992-05-25 | 1997-09-24 | 信越化学工業株式会社 | リソグラフィー用ペリクルの製造方法 |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP23463494A patent/JP3361196B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-09-07 US US08/524,539 patent/US5656342A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5656342A (en) | 1997-08-12 |
| JPH0895235A (ja) | 1996-04-12 |
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