JP3981246B2 - クリーニングシ―ト、クリーニング機能付き搬送部材、及びこれらを用いた基板処理装置のクリーニング方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の基板処理装置をクリーニングするシート、クリーニング機能付き搬送部材、及びこれらを用いた基板処理装置のクリーニング方法に関し、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材、及びクリーニング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
各種基板処理装置は、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力が必要になるという問題があった。これらの問題を解決するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法(例えば特開平10−154686号)や、板状部材を搬送することにより基板裏面に付着する異物を除去する方法(特開平11−87458号)が提案されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法である。しかしこの方法では粘着性物質と装置接触部とが強く接着しすぎて剥れない恐れがあり、基板を確実に搬送できない、あるいは搬送装置を破損させる恐れがあった。 特に、装置のチャックテーブルに減圧吸着機構が使われている場合はこの問題が顕著である。
さらに粘着性の物質をクリーニング層に用いる場合は,該粘着性物質表面をシリコーンなどの離型剤を塗布した剥離フィルムで保護するのが一般的である。しかしこの方法では,離型剤成分がクリーニング層表面に移行・転移し,さらに該移行離型剤成分が搬送装置の基板接触部を汚染させる問題がある。
また、板状部材を搬送することにより異物を除去する方法は、搬送は支障なくできるが、肝心の除塵性に劣るという問題がある。
本発明は、このような事情に照らし、基板処理装置内に確実に搬送できると共に、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニングシートやクリーニング機能付き搬送部材を提供することを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するために、鋭意検討した結果、クリーニング層を有するシートあるいはこのシートを固着した基板等の搬送部材を搬送することにより、基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去するにあたり、多孔質を有するシートを、クリーニング層として使用することにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便かつ確実に剥離除去できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0005】
即ち、本発明は、搬送部材に設けられて減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することで上記装置内に付着する異物を除去するための基板処理装置用のクリーニングシートであって、多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層がクリーニング層として設けられていることを特徴とする基板処理装置用のクリーニングシート(請求項1),搬送部材に設けられて減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することで上記装置内に付着する異物を除去するための基板処理装置用のクリーニングシートであって、多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層がクリーニング層として設けられたシート状物の片面に、粘着剤層が設けられていることを特徴とする基板処理装置用のクリーニングシート(請求項2),搬送部材に設けられて減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することで上記装置内に付着する異物を除去するための基板処理装置用のクリーニングシートであって、支持体の片面に、多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層がクリーニング層として設けられていることを特徴とする基板処理装置用のクリーニングシート(請求項3)、搬送部材に設けられて減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することで上記装置内に付着する異物を除去するための基板処理装置用のクリーニングシートであって、支持体の片面に、多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層がクリーニング層として設けられ、他面に粘着剤層が設けられていることを特徴とする基板処理装置用のクリーニングシート(請求項4),多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層が、超高分子量ポリエチレン多孔質膜であることを特徴とする請求項1〜4記載のクリーニングシート(請求項5)に係るものである。
また、本発明は、請求項2又は4記載のクリーニングシートが、粘着剤層を介して搬送部材に設けられていることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材(請求項6)、クリーニングシートの形状が搬送部材の形状より小さく、かつ搬送部材端部よりはみ出していないことを特徴とする請求項6記載のクリーニング機能付き搬送部材(請求項7)、請求項1又は3記載のクリーニングシートあるいは請求項6又は7記載のクリーニング機能付き搬送部材を、減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法(請求項8)に係るものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明のクリーニングシートにおけるクリーニング層(以下、クリーニングシート単体、積層シート、もしくは支持体との積層シートなどの形態としてを含む)は、多孔質を有し、かつその粘着力は実質的にない層からなる。 本発明においては、クリーニング層を多孔質化すること,およびその粘着力を実質的になくする設計にすることにより、搬送トラブルを発生することなく、他方,多孔質を有するクリーニング層により各種サイズの異物を捕集,落下させることなく確実に除去することができる。
本発明において好ましいクリーニング層は、多孔質を有し,その孔の形状,大きさは特に限定されないが,異物のサイズより大きい孔が多すぎると異物の捕獲効果が低下するおそれがある。 例えば異物サイズが1〜10μm程度のパーティクルの場合、通常0.1〜100μmの微細な平均孔径を有する多孔質フィルムが好ましい。 また空隙率は30〜95%程度、特に40〜90%程度が好ましい。
【0007】
また該クリーニング層をシリコンウエハのミラー面に幅10mmで貼り付け、JIS Z0237に準じて測定した、シリコンウエハに対する180°引き剥がし粘着力が、0.05N/10mm以下であることが好ましく、これ以下であれば本発明において実質的に粘着性を有さないといえる。
【0008】
かかるクリーニング層は、多孔質を有しその粘着力が実質的にない限り、その材質や構成などは特に限定されないが,汚染性の観点から,例えばポリエチレン,ポリプロピレン,ポリエステル,ポリウレタンなどの各種プラスチック材料が挙げられる。 また該クリーニング層の厚さは特に限定されないが、通常5〜500μm程度、好ましくは10〜100μmである。
【0009】
本発明においては、クリーニング層としての多孔質を有する層が、特に、超高分子量(通常50万以上)ポリエチレン多孔質膜であることが好ましい。 この膜は,柔軟性に富む上鏡面並みの表面平滑性を持ち,かつ均一な多孔質構造をもつため,異物と極めて密に接触し,また異物全部あるいはその一部が孔部に入り込むことで,確実に異物を捕集できるという効果が得られる。 また,粘着性を実質的に有しないため,クリーニングシート又は後述の搬送部材を搬送する際に装置接触部と強く接着することがなく,確実に搬送できるクリーニングシートなどを提供できるという効果が得られる。
なおかかる超高分子量ポリエチレン多孔質膜の市販品としては、例えば帝人■製、商品名Solupor、日東電工(株)製、商品名サンマップなどを使用することができる。
【0010】
また、かかるクリーニング層の表面を保護するため,弱粘着性を持つ再剥離シートをクリーニング層表面に貼り合わせることが望ましい。 こうすることによりこの再剥離シートを剥がす際、クリーニング層表面上の意図しない異物を除去できるとういう効果も有する。
【0011】
本発明は,多孔質を有する層が設けられたシート状物の片面に、粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート(請求項2),支持体の片面に、多孔質を有する層がクリーニング層として設けられてなるクリーニングシート(請求項3)、支持体の片面に、多孔質を有する層がクリーニング層として設けられ、他面に粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート(請求項4)も提供する。 この粘着剤層は、粘着機能を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の粘着剤(例えばアクリル系、ゴム系など)を用いることができる。 またこの粘着剤層は、両面テープを用いることも可能である。
かかる構成とすることにより、クリーニングシートを粘着剤層により各種基板や他のテープ・シートなどの搬送部材に貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材(請求項7)として装置内に搬送して、被洗浄部位に接触させてクリーニングすること(請求項9)ができる。
【0012】
本発明において上記の基板などの搬送部材を再利用するために、クリーニング後に基板をかかる粘着剤層から剥がす場合は、かかる粘着剤層の粘着力は、シリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.01〜10N/10mm、特に0.10〜5N/10mm程度であれば、搬送中に剥離することなく、かつクリーニング後に容易に再剥離できるので好ましい。
【0013】
上記クリーニングシートは支持体にクリーニング層を設けたものを用いても構わない。この支持体としては特に限定されないが、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカルボジイミドなどのプラスチックフィルムなどが挙げられる。 その厚みは通常10〜100μm程度である。
クリーニングシートが貼り付けられる搬送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエハ、LCD、PDPなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他コンパクトディスク、MRヘッドなどの基板などが挙げられる。
【0014】
本発明においては上記クリーニングシートの形状が搬送部材の形状より小さく、かつ搬送部材端部よりはみ出していないことを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材(請求項8)、及びそれに用いるクリーニング用ラベルシートも提供する。
【0015】
上記のようなクリーニング機能付きの搬送部材の製造方法は、特に限定されず、例えば基板等の搬送部材にクリーニングシートを貼り合わせてクリーニング用搬送部材を製造する場合、搬送部材より大きなクリーニングシートを貼り付けた後、部材形状に沿ってクリーニングシートを切断する方式(以下、ダイレクトカット方式と称す)や、あらかじめ搬送部材形状に切断加工処理しておいたクリーニング用ラベルシートを搬送部材に貼り合わせてクリーニング用搬送部材を製造する方式(以下、プリカット方式と称す)が挙げられるが、ダイレクトカット方式ではシート切断時にクリーニング層などから切削屑が発生する恐れがあり、クリーニング用搬送部材や装置に付着してしまう恐れがあるため、プリカット方式が好ましい。 また、このプリカット方式では、シート切断加工時の切削屑の発生はダイレクトカット方式に比べて抑えられるが、搬送部材の端部までクリーニングラベルシートが貼り合わされていると、搬送装置によっては該端部のラベルシートが搬送部材収納カセットや搬送経路上で引っかかり,ラベルシートのめくれ,位置ズレを起こし,最悪の場合は,搬送不能になる恐れがある。
よって本発明のクリーニング機能付き搬送部材においては、クリーニングシートの形状が搬送部材の形状より小さく、かつ搬送部材端部よりはみ出していないことが好ましい。 クリーニングシートが搬送部材の形状より大きく搬送部材の端部よりはみ出すと、搬送部材収納カセットや搬送経路上で引っかかり、ラベルシートのめくれ、位置ズレを起こし、最悪の場合は搬送不能になる恐れがある。搬送部材収納カセットに引っかかる問題は、クリーニングシート形状が搬送部材と同じ場合でも発生する恐れがある。 小さい程度は特に限定されないが、小さすぎると肝心の異物を除去するための有効面積が減るため、実用的には約5mmぐらいまでが望ましい。
【0016】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。
実施例1
アクリル酸−2−エチルヘキシル75部、アクリル酸メチル20部、及びアクリル酸5部からなるモノマ―混合液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量70万)100部に対して、ウレタンアクリレ―ト50部、及びジフエニルメタンジイソシアネ―ト3部を均一に混合し、通常の粘着剤溶液とした。
この溶液を,幅250mm、厚み25μm,微細孔径0.05〜2μmの多孔質フィルムである超高分子量ポリエチレン(帝人株式会社製 Solupor)の片面に、乾燥後の厚みが10μmになるように塗布して通常の粘着剤層を設け、この粘着剤層の表面と、上記多孔質フィルムからなるクリーニング層の表面とに、厚さ38μmのポリエステル系剥離フィルムを貼り、本発明のクリーニングシートを得た。
【0017】
かかるクリーニング層の表面は実質的に粘着性は有していなかった。 また、このクリーニング層の空隙率は40〜90%であった。 また、クリーニング層をシリコンウエハのミラー面に幅10mmで貼り付け、JIS Z0237に準じてシリコンウエハに対する180°引き剥がし粘着力を測定した結果、0.0009N(0.1g)/10mmで実質的に粘着性を有さないことが確認できた。
また、他面側の粘着剤層をシリコンウエハのミラー面に幅10mmで貼り付け、JIS Z0237に準じてシリコンウエハに対する180°引き剥がし粘着力を測定した結果、2.8N/10mmであった。
【0018】
このクリーニングシートの通常の粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、8inchのシリコンウエハの裏面(ミラー面)にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハ(1)を作製した。
【0019】
一方、レーザー式異物測定装置で、新品の8inchシリコンウエハ2枚のミラー面の0.2μm以上の異物を測定したところ、1枚目は8個、2枚目は12個であった。 これらのウエハを別々の基板処理装置にミラー面を下側に向けて搬送した後、レーザー式異物測定装置でミラー面を測定したところ、8inchウエハサイズのエリア内で1枚目は27890個、2枚目は27003個であった。
【0020】
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハ(1)のクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の27890個の異物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送できた。 その後に0.2μm以上の異物が7個のっていた新品の8inchシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で0.2μm以上の異物を測定したところ、8inchウエハサイズのエリア内で4200個であり、クリーニング前に付着していた異物数の85%を除去することができた。
【0021】
比較例1
実施例1において、多孔質でない超高分子量ポリエチレンフィルムにした以外は、実施例1と同じ方法でクリーニングシートを作製し,このクリーニングシートから実施例1と同じ方法で作製した搬送用クリーニングウエハ(2)を、前述の27003個の異物が付着しているウエハステージを持つ基板処理装置内を搬送したところ、支障なく搬送できた。 その後に0.2μm以上の異物が9個のっていた新品の8inchシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で0.2μm以上の異物を測定したところ、8inchウエハサイズのエリア内で13000個であり、クリーニング前に付着していた異物数の48%しか除去できなかった。
【0022】
実施例2
アクリル酸2−エチルヘキシル75部,アクリル酸メチル20部,およびアクリル酸5部からなるモノマー混合液から得たアクリルポリマー(重量平均分子量70万)100部に対して,ポリエチレングリコール200ジメタクリレート(新中村化学製:商品名:Nkエステル4G)10部,ポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業製:商品名:コロネートL)3部を均一に混合し,粘着剤溶液Aを得た。
片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム(厚さ38μm,幅250mm)からなる剥離フィルムの剥離処理面に,上記粘着剤溶液Aを乾燥後の厚みが10μmとなるように塗布し,その粘着剤層上に超高分子量ポリエチレン多孔質フィルム(日東電工製 サンマップ 厚さ80μm,幅250mm)を積層し,さらにそのフィルム上に上記の剥離フィルムとは別の再剥離フィルム(再剥離用粘着シート)を貼合せて超高分子量ポリエチレン多孔質膜をクリーニング層として有するクリーニングシートAを得た。
このクリーニングシートAの粘着剤側の剥離フィルム以外の積層体であるフィルムに,直径198mmの円形状の打ち抜きを行い,不要なフィルムを連続的に剥離除去して,本発明のクリーニング用ラベルシートAを作製した。
【0023】
また,このクリーニング用ラベルシートAの粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし,8inchのシリコンウエハの裏面(ミラー面)にハンドローラで貼り付け,クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製した。この通常の粘着材層のシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力は5N/10mmであった。
このクリーニング用ラベルシートAを用いて,ラベルテープ貼付機(日東精機製:NEL−GR3000)にて8インチシリコンウエハへのラベルシートの貼付を行った。この時,シートAを8インチのシリコンウエハの裏面(ミラー面)に貼り付けた。この操作を25枚連続して行ったところ,まったく問題なくウエハへのシート貼付が行え,クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハAを作製した。このクリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハAを確認したところ,ラベルシートはすべてシリコンウエハの内側に貼り付けられていた。
【0024】
一方,レーザー式異物測定装置で,新品の8インチシリコンウエハのミラー面の0.2μm以上の異物を測定したところ、6個であった。このウエハを静電吸着機構を有する基板処理装置にミラー面を下側にして搬送した後,レーザー式異物測定装置で,0.2μm以上の異物を測定したところ,8インチウエハサイズのエリア内で、33456個であった。
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハAのクリーニング層側の再剥離フィルムを剥がし,上記の33456個の異物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内に搬送したところ,支障なく搬送できた。その後に新品の8インチシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し,レーザー式異物測定装置で0.2μm以上の異物を測定した。この操作を5回実施し、その結果を表1に示した。
【0025】
【0027】
【発明の効果】
以上のように本発明のクリーニングシート及びクリーニング機能付き搬送部材によれば、基板処理装置内を確実に搬送できると共に、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できる。
Claims (8)
- 搬送部材に設けられて減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することで上記装置内に付着する異物を除去するための基板処理装置用のクリーニングシートであって、多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層がクリーニング層として設けられていることを特徴とする基板処理装置用のクリーニングシート。
- 搬送部材に設けられて減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することで上記装置内に付着する異物を除去するための基板処理装置用のクリーニングシートであって、多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層がクリーニング層として設けられたシート状物の片面に、粘着剤層が設けられていることを特徴とする基板処理装置用のクリーニングシート。
- 搬送部材に設けられて減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することで上記装置内に付着する異物を除去するための基板処理装置用のクリーニングシートであって、支持体の片面に、多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層がクリーニング層として設けられていることを特徴とする基板処理装置用のクリーニングシート。
- 搬送部材に設けられて減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することで上記装置内に付着する異物を除去するための基板処理装置用のクリーニングシートであって、支持体の片面に、多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層がクリーニング層として設けられ、他面に粘着剤層が設けられていることを特徴とする基板処理装置用のクリーニングシート。
- 多孔質を有しかつシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が0.05N/10mm以下であるプラスチックフィルム層が、超高分子量ポリエチレン多孔質膜であることを特徴とする請求項1〜4記載のクリーニングシート。
- 請求項2又は4記載のクリーニングシートが、粘着剤層を介して搬送部材に設けられていることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材。
- クリーニングシートの形状が搬送部材の形状より小さく、かつ搬送部材端部よりはみ出していないことを特徴とする請求項6記載のクリーニング機能付き搬送部材。
- 請求項1又は3記載のクリーニングシートあるいは請求項6又は7記載のクリーニング機能付き搬送部材を、減圧吸着機構または静電吸着機構を有する基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
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