JP2002326060A - クリーニング機能付ラベルシ―トの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、例えば、半導体、フラットパネル
ディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置
など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング機能付ラ
ベルシートの製造方法を提供する。 【解決手段】 得られたラベルシートのクリーニング層
からのシリコンウエハへの０．２μｍ以上の異物の転写
が２０個／in²以下であることを特徴とするクリーニン
グ機能付ラベルシートの製造方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種装置をクリー
ニングするラベルシートの製造方法に関し、例えば、半
導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など
の製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置の
クリーニング機能付ラベルシートの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】各種基板処理装置は、各搬送系と基板と
を物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬
送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染
することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理を
する必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力
が必要になるという問題があった。これらの問題を解決
するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送すること
により基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除
去する方法（例えば特開平１０−１５４６８６号など）
や、板状部材を搬送することにより基板裏面に付着する
異物を除去する方法（特開平１１−８７４５８）が提案
されている。

【０００３】粘着性の物質を固着した基板を搬送するこ
とにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング
除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法であ
る。しかしこの方法では粘着性物質と装置接触部とが強
く接着しすぎて剥れない恐れがあり、基板を確実に搬送
できなくなる恐れがあった。 特に、装置のチャックテ
ーブルに減圧吸着機構が使われている場合はこの問題が
顕著である。また、板状部材を搬送することにより異物
を除去する方法は、搬送は支障なくできるが、肝心の除
塵性に劣るという問題がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】また、上記のようなク
リーニング機能付の搬送部材の製造方法に関しては、例
えば基板等の搬送部材にクリーニングシートを貼り合わ
せてクリーニング用搬送部材を製造する場合、搬送部材
より大きなクリーニングシートを貼り付けた後、部材形
状に沿ってクリーニングシートを切断する方式（以下、
ダイレクトカット方式と称す）が知られているが、かか
る方式ではシート切断時にクリーニング層などから切削
屑が発生する恐れがあり、クリーニング部材や装置に付
着してしまう恐れがある。 また、あらかじめ搬送部材
形状に打ち抜き加工処理しておいたクリーニング用ラベ
ルシートを搬送部材に貼り合わせてクリーニング用搬送
部材を製造する方式（以下、プリカット方式と称す）で
は、シート打ち抜き加工時の切削屑の発生はダイレクト
カット方式に比べて抑えられるが、シート打ち抜き加工
時にクリーニング層粘着剤が打ち抜き面からはみ出し、
ラベルの端部に粘着剤が付着してしまう恐れがあり、打
ち抜き不良による外観不良や搬送トラブルを発生させる
場合がある。 さらに、粘着剤に重合硬化型を用いた場
合、シート打ち抜き後に硬化させようとすると、ラベル
端部の粘着剤は酸素阻害による重合阻害により硬化不良
を起こすため、基板処理装置の接触部位に対して粘着剤
汚染の恐れがある。加えて、シート打ち抜き前に硬化さ
せる場合，特にシリコーン離型剤をクリーニング層の表
面保護用の剥離フィルムに使用する場合は，該シリコー
ン成分がクリーニング層表面に移行する恐れがある。本
発明は、このような事情に照らし、基板処理装置内に基
板を確実に搬送でき、装置内に付着している異物を簡
便、確実に除去でき、さらにプリカット方式においてシ
ート打ち抜き時に打ち抜き不良や粘着剤の硬化不良を発
生させないクリーニング機能付ラベルシートの製造方法
を提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成するために、鋭意検討した結果、プリカット方
式によりクリーニング機能付ラベルシートを製造する方
法において、これに用いるクリーニング機能付ラベルシ
ートのクリーニング層を活性エネルギーを受けて重合硬
化する粘着剤とし、クリーニング層粘着剤の重合硬化反
応を行う前に，クリーニング層の第１の剥離フィルムを
剥がし，実質的に酸素の影響を受けない状態でクリーニ
ング層を重合硬化させた後，該クリーニング層表面を第
２の剥離フィルムで保護した後にラベル切断工程を行う
ことにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を
簡便かつ確実に除去できるクリーニング機能付ラベルシ
ートを製造できることを見出し、本発明を完成するに至
った。

【０００６】即ち本発明は、支持体の片面に活性エネル
ギーを受けて重合硬化する粘着剤からなるクリーニング
層がその表面が剥離フィルムで保護された状態で設けら
れ、他面が通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離
可能な状態で設けられてなるクリーニング機能付ラベル
シートの製造方法において、得られたラベルシートのク
リーニング層からのシリコンウエハへの０．２μｍ以上
の異物の転写が２０個／in²以下であることを特徴とす
るクリーニング機能付ラベルシートの製造方法（請求項
１）、支持体の片面に活性エネルギーを受けて重合硬化
する粘着剤からなるクリーニング層がその表面が剥離フ
ィルムで保護された状態で設けられ、他面が通常の粘着
剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられ
てなるクリーニング機能付ラベルシートの製造方法にお
いて、該クリーニング層の粘着剤の重合硬化反応を行う
前に，クリーニング層の第１の剥離フィルムを剥がし、
実質的に酸素の影響を受けない状態でクリーニング層を
重合硬化させた後、該クリーニング層表面を第２の剥離
フィルムで保護した後に、ラベル形状とするためのシー
ト打ち抜き工程を行うことを特徴とする請求項１記載の
クリーニング機能付ラベルシートの製造方法（請求項
２）、クリーニング層の粘着剤の重合硬化反応を行う前
にクリーニング層表面を保護している第１の剥離フィル
ムが、シリコーン系離型剤付きフィルムであることを特
徴とする請求項２記載のクリーニング機能付ラベルシー
トの製造方法（請求項３）、シートのラベル形状への打
ち抜き時のクリーニング層の引張弾性率（試験法ＪＩＳ
Ｋ７１２７に準ずる）が１０ＭＰａ以上であることを
特徴とする請求項１記載のクリーニング機能付ラベルシ
ートの製造方法（請求項４）、クリーニング層が、感圧
接着性ポリマーと分子内に不飽和二重結合を１個以上有
する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含んでなる
硬化型の粘着剤であることを特徴とする請求項１記載の
クリーニング機能付ラベルシートの製造方法（請求項
５）、感圧接着性ポリマーが、（メタ）アクリル酸およ
び／または（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モ
ノマーとしたアクリル系ポリマーであることを特徴とす
る請求項５記載のクリーニング機能付ラベルシートの製
造方法（請求項６）、重合開始剤が光重合開始剤であっ
て、クリーニング層が光硬化型の粘着剤層であることを
特徴とする請求項５記載のクリーニング機能付ラベルシ
ートの製造方法（請求項７）などに係るものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明のクリーニング機能付ラベ
ルシートの製造方法においては、得られたラベルシート
のクリーニング層からのシリコンウエハへの０．２μｍ
以上の異物の転写が２０個／in²以下であることが必要
で、特に好ましくは１０個／in²以下である。 かか
る転写量が２０個／in²を超える場合は、基板処理装置
の接触部位を汚染してしまうという問題がある。本発明
においては上記の如く異物の転写量が特定値以下であれ
ばその製造方法は限定されないが、特にクリーニング層
の粘着剤の重合硬化反応を行う前に，クリーニング層の
第１の剥離フィルムを剥がし、実質的に酸素の影響を受
けない状態でクリーニング層を重合硬化させた後、該ク
リーニング層表面を第２の剥離フィルムで保護した後
に、ラベル形状とするためのシート打ち抜き工程を行う
ことが好ましい。 シート打ち抜き時にクリーニング層
を構成する粘着剤が重合硬化されていないと、クリーニ
ング層を構成する粘着剤層がラベル端部からはみ出した
り打ち抜き面に付着してしまうという問題や、粘着剤が
糸引きしたり打ち抜き深さが不均一となったり、打ち抜
き面が荒れてしまい最悪の場合打ち抜き不良となる。
さらにシート打ち抜き後に重合硬化反応させると打ち抜
き部に面した粘着剤は酸素阻害により重合が阻害されて
しまうため、基板処理装置への粘着剤汚染の原因とな
る。

【０００８】本発明においては、上記シート打ち抜き時
の問題を発生させないように、特にクリーニング層の引
張弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準ずる）が１０
ＭＰａ以上、好ましくは１０〜２０００ＭＰａであるこ
とが望ましい。 引張弾性率をかかる特定値以上とする
ことにより、シート打ち抜き時のクリーニング層からの
粘着剤はみ出しや打ち抜き不良をより抑えることがで
き、プリカット方式において粘着剤汚染のないクリーニ
ング機能付ラベルシートが製造できる。 この引張弾性
率が１０ＭＰａより小さいと、シート打ち抜き時の上記
問題や搬送時に装置内の被クリーニング部位に接着して
搬送トラブルとなる恐れがある。一方、この引張弾性率
が大きすぎると、搬送系上の付着異物を除去する性能が
低下する恐れがある。

【０００９】本発明におけるクリーニング層としては、
活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤が
用いられる。 これによりクリーニング層の粘着性が実
質的になくなり、クリーニング用部材を搬送する際に装
置接触部と強く接着することがなく、確実に搬送できる
クリーニング用部材を提供できるという効果が得られ
る。 かかる活性エネルギー源としては、紫外線、熱な
どが挙げられるが紫外線が好ましい。

【００１０】本発明においては、さらにクリーニング層
の重合硬化反応を行う前に，クリーニング層の第１の剥
離フィルムを剥がし，実質的に酸素の影響を受けない状
態でクリーニング層を重合硬化させることが必要であ
る。 第１の剥離フィルムを剥がさないで重合硬化させ
ると，クリーニング層の最表面に接しているシリコーン
などの離型剤構成成分あるいはその一部がクリーニング
層表面に移行し，クリーニング層からの汚染の一因とな
る。 また、実質的に酸素の影響を受けない状態でクリ
ーニング層を重合硬化させるとは、例えば真空雰囲気下
（圧力１３３Ｐａ程度）で活性エネルギー源を照射する
などにより行うことができる。

【００１１】また、クリーニング層を重合硬化させた
後、該クリーニング層表面を第２の剥離フィルムで保護
した後に、ラベル形状とするためのシート打ち抜き工程
を行う。このクリーニング層表面を保護する第１及び第
２の剥離フィルムは、クリーニングシート製造時又は使
用時に再剥離できる限り限定されないが，後述のセパレ
ータとしてのプラスチックフィルム、あるいは再剥離で
きる粘着シートなどが挙げられる。 また第１及び第２
の剥離フィルムは同じでも異なっていても良いが、本発
明の製造方法は、（００１０）で記載したように特に第
１の剥離フィルムがシリコーン系離型剤付きフィルムで
ある場合に効果がある。

【００１２】本発明におけるクリーニング層は、活性エ
ネルギー源により硬化して分子構造が三次元網状化する
性質を有する限り、その材質等は特に限定されないが、
例えば感圧接着性ポリマーと分子内に不飽和二重結合を
１個以上有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を
含んでなる硬化型の粘着剤が好ましい。

【００１３】かかる感圧接着性ポリマーとしては、例え
ばアクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸、メ
タクリル酸エステルから選ばれる（メタ）アクリル酸及
び／又は（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとし
たアクリル系ポリマーが挙げられる。このアクリル系ポ
リマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に
不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いるか、あ
るいは合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二
重結合を有する化合物を官能基間の反応で化学結合させ
るなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重
結合を導入しておくことにより、このポリマー自体も活
性エネルギーにより重合硬化反応に関与させるようにす
ることもできる。

【００１４】ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以
上有する重合性不飽和化合物（以下、重合性不飽和化合
物という）としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が
１００００以下の低分子量体であるのがよく、特に硬化
時の粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるよう
に、５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。
ここで重合性不飽和化合物としては、不揮発性でかつ重
量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのが
よく、特に硬化時のクリーニング層の三次元網状化が効
率良くなされるように、５０００以下の分子量を有して
いるのが好ましい。 このような重合性不飽和化合物と
しては、例えば、フエノキシポリエチレングリコール
（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン（メタ）ア
クリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）
アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレートな
どが挙げられ、これらの中から１種または2種以上が用
いられる。

【００１５】また、粘着剤層に添加される重合開始剤
は、特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性
エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキ
サイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始
剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエ
チルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエ
ーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオ
キサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキ
サントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジル
ジメチルケタール、α−ヒドルキシシクロヒキシルフェ
ニルケトン、２−ヒドロキシジメチルフェニルプロパ
ン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン
などの光重合開始剤が挙げられる。

【００１６】上記クリーニング層は、活性エネルギー源
により硬化されてその粘着力が低下したものであり、シ
リコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし
粘着力（ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じて測定）が０．２０
Ｎ／１０ｍｍ以下、好ましくは０．０１０〜０．１０Ｎ
／１０ｍｍ程度である。 この粘着力が、０．２０Ｎ／
ｍｍを超えると、搬送時に装置内の被クリーニング部に
接着して、搬送トラブルとなる恐れがある。 またクリ
ーニング層の厚さは特に限定されないが、通常５〜１０
０μｍ程度である。

【００１７】本発明のクリーニング機能付ラベルシート
の製造方法では、支持体の片面に上記の特定の粘着剤か
らなるクリーニング層がその表面が剥離フィルムで保護
された状態で設けられ、他面が通常の粘着剤層を介して
セパレータ上に剥離可能な状態で設けられてなるクリー
ニングシートを、クリーニング層としての硬化型粘着剤
を硬化後に、ラベル形状とするためセパレータ以外のシ
ートの打ち抜き加工を行う。 この際、打ち抜き方法や
加工形態は特に限定されないが、後述の搬送部材の形状
に合わせて打ち抜き加工後、不要なシートを剥離除去し
てラベルを形成したり、またラベル周囲やシート端部に
ラベルと間隔を隔てて補強部としてシートを残した状態
でラベル部と補強部以外の不要なシートを剥離除去して
ラベルを形成したりすることができる。

【００１８】本発明によりクリーニング機能付ラベルシ
ートの製造方法においては、支持体の片面に、上記の特
定のクリーニング層が設けられ、他面側が通常の粘着剤
層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられた
クリーニングシートが用いられる。 この他面側の粘着
剤層は、粘着機能を満たす限りその材質などは特に限定
されず、通常の粘着剤（例えばアクリル系、ゴム系な
ど）を用いることができる。 かかる構成により、クリ
ーニング機能付ラベルを後述のセパレータから剥離し
て、通常の粘着剤層により各種基板などの搬送部材に貼
り付けて、クリーニング機能付搬送部材として装置内に
搬送して、被洗浄部位に接触させてクリーニングするこ
とができる。 また上記の基板などの搬送部材を再利用
するために、クリーニング後に基板をかかる粘着剤層か
ら剥がす場合は、かかる通常の粘着剤層の粘着力は、特
に限定されないが、シリコンウエハ（ミラー面）に対す
る１８０°引き剥がし粘着力が通常０．０１〜１０Ｎ／
１０ｍｍ、特に０．１〜５Ｎ／１０ｍｍ程度であれば、
搬送中に剥離することなく、かつクリーニング後に容易
に再剥離できるので特に好ましい。

【００１９】また上記クリーニング層を支持する支持体
としては特に限定されないが、例えばポリエチレン、ポ
リエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリ
カーボネート、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミ
ド、ポリカルボジイミドなどのプラスチックフィルムな
どが挙げられる。 その厚みは通常１０〜１００μｍ程
度である。

【００２０】また本発明におけるセパレータは、クリー
ニング用ラベルを剥離できる限り特に限定されないが、
例えばシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪
酸アミド系、シリカ系の離型剤などで剥離処理されたポ
リエステル、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジ
エン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ
塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタ
ン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、
エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・
（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、
ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムな
どが挙げられる。 その厚みは特に限定されないが、通
常１０〜１００μｍ程度である。

【００２１】クリーニング用ラベルが貼り付けられる搬
送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエ
ハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ
用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの
基板などが挙げられる。

【００２２】以下、図面に基づいて本発明をより具体的
に説明する。図１は、本発明で得られるクリーニング機
能付ラベルシートの一例を示す平面図であって、長尺の
セパレータ１上に複数のクリーニング用ラベルＡが間隔
を隔てて連続的に設けられている。 かかるラベルＡ
は、図２（図１のａ−ａ線の断面図）の如く支持体２の
片面にクリーニング層３、その表面に剥離フィルム４、
他面に通常の粘着剤層５が設けられてなり、この粘着剤
層５を介してセパレータ１状に剥離可能な状態で設けら
れている、使用時にはクリーニング用ラベルをセパレー
タ１から剥離して半導体ウエハ等の搬送部材に貼着し、
さらに剥離フィルム４を剥離してから装置内に搬送する
ことにより被洗浄部位をクリーニングすることができ
る。

【００２３】またラベルＡの形状は何ら限定されず、貼
り付ける基板などの搬送部材の形状に応じて、例えば円
形状、ウエハ形状、フレーム形状、さらに例えばチャッ
ク部などのための突出部を有する形状などとすることが
できる。

【００２４】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。 な
お、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。 実施例 アクリル酸−２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メ
チル２０部、及びアクリル酸５部からなるモノマ―混合
液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０
万）１００部に対して、ポリエチレングリコ―ル２００
ジメタクリレ―ト（新中村化学社製：商品名：Ｎｋエス
テル４Ｇ）５０部、ウレタンアクリレ―ト（新中村化学
社製：商品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、ポリイソシアネ
ート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネ
ートＬ）３部、および光重合開始剤としてベンジルジメ
チルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商
品名：イルガキュアー６５１）３部を均一に混合し、紫
外線硬化型粘着剤溶液を調整した。一方、上記粘着剤か
らベンジルジメチルケタールを除いた以外は、上記と同
様にして通常の粘着剤溶液を得た。

【００２５】片面がシリコーン系離型剤にて処理された
長尺ポリエステルフィルム（厚さ３８μｍ、幅２５０ｍ
ｍ）からなるセパレータの剥離処理面に、上記通常の粘
着剤溶液を乾燥後の厚みが１０μｍとなるように塗布
し、その粘着剤層上に長尺ポリエステルフィルム（厚さ
２５μｍ、幅２５０ｍｍ）を積層し、さらにそのフィル
ム上に紫外線硬化型の粘着剤溶液を乾燥後の厚みが４０
μｍとなるように塗布してクリーニング層としての粘着
剤層を設け、乾燥後その表面に片面がシリコーン系剥離
剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（厚さ３８
μｍ、幅２５０ｍｍ）からなる第１の剥離フィルムの剥
離処理面を貼り合わせてシートを得た。

【００２６】このシートのクリーニング層上の第１の剥
離フィルムを剥がし，真空雰囲気（１３３Pa）で中心波
長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ²
照射した後、クリーニング層表面に第２の剥離フィルム
として５０μｍ厚みのポリオレフィンフィルム（離型処
理なし）を貼り合わせて、紫外線硬化したクリーニング
層を有するクリーニング用シートを得た。このクリーニ
ング用シートのセパレータ以外の積層体である粘着フィ
ルムに、直径２００ｍｍの円形状の打ち抜きによりシー
ト切断を行い、不要な粘着フィルムを連続的に剥離除去
して、図１のような本発明のクリーニング用ラベルシー
トを作製した。 このクリーニングシートの打ち抜き加
工は、粘着剤の糸引きや切削屑が全く発生せず問題なく
行うことができた。 また作製後、ラベルシートを観察
したところ、ラベル端部での粘着剤のはみ出しやラベル
上への粘着剤汚染も全く見られなかった。またこのクリ
ーニングシートのクリーニング層の紫外線照射による硬
化後、すなわちシート打ち抜き時の引張弾性率は４９Ｍ
Ｐａであった。 ここで引張弾性率は、試験法ＪＩＳ
Ｋ７１２７に準じて測定した。

【００２７】また、このクリーニング用ラベルシートの
クリーニング層表面の第２の剥離フィルムを剥がし、８
インチのシリコンウエハにクリーニング層が接するよう
に貼り付け，剥がした後，この８インチシリコンウェハ
表面をレーザー式異物測定装置で測定したところ，０．
２μｍ以上の異物数は１４個であった。

【００２８】得られたクリーニング機能付ラベルシート
のセパレータからクリーニング用ラベルを剥がし、８ｉ
ｎｃｈのシリコンウエハの裏面（ミラー面）にハンドロ
ーラで貼り付け、クリーニング機能付搬送用クリーニン
グウエハを作製した。 なお、通常の粘着剤層のシリコ
ンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着
力は、２．５Ｎ／１０ｍｍであった。

【００２９】このクリーニング機能付ラベルシートを用
いて、ラベルテープ貼付機（日東精機社製：商品名：Ｎ
ＥＬ−ＧＲ３０００）にて８インチシリコンウエハの裏
面（ミラー面）へのラベルの貼付けを行った。 この操
作を２５枚連続して行ったところ、全く問題なくウエハ
へのシート貼付けが行え、クリーニング機能付搬送用ク
リーニングウエハを作製することができた。 またクリ
ーニング層を、シリコンウエハのミラー面に幅１０ｍｍ
で貼り付け、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じてシリコンウエ
ハに対する１８０°引き剥がし粘着力を測定した結果、
０．０１８Ｎ／１０ｍｍであった。

【００３０】一方、レーザー式異物測定装置で、新品の
８インチシリコンウエハ４枚のミラー面の０．２μｍ以
上の異物を測定したところ、１枚目は６個、２枚目は５
個であった。 これらウエハを別々の静電吸着機構を有
する基板処理装置にミラー面を下側にして搬送した後、
レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定
したところ、８インチウエハサイズのエリア内で１つ目
は３３４５６個、２つ目は３６０９１個であった。

【００３１】次いで前記で得た搬送用クリーニングウエ
ハのクリーニング層側の第２の剥離フィルムを剥がし、
上記の３３４５６個の異物が付着していたウエハステー
ジを持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬
送できた。 その後に新品の８インチシリコンウエハを
ミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装
置で０．２μｍ以上の異物を測定した。 この操作を５
回実施し、異物除去率を表１に示した。

【００３２】比較例１ クリーニング層上の第１の剥離フィルムを剥がさず，大
気中で中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００
ｍＪ／ｃｍ²照射した以外は実施例と同様にしてクリー
ニングシートを作製した。このクリーニング用ラベルシ
ートのクリーニング層の第２の剥離フィルムを剥がし、
８インチのシリコンウエハにクリーニング層が接するよ
うに貼り付け，剥がした後，この８インチシリコンウェ
ハ表面をレーザー式異物測定装置で測定したところ，
０．２μｍ以上の異物数は６２６４個であった。このク
リーニングシートを用いて，実施例と同様にしてクリー
ニングウェハを得た。次いで前記で得た搬送用クリーニ
ングウエハのクリーニング層側の第２の剥離フィルムを
剥がし、上記の３６０９１個の異物が付着していたウエ
ハステージを持つ基板処理装置内に搬送したところ、支
障なく搬送できた。 その後に新品の８インチシリコン
ウェハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異
物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。この操
作を５回実施し、異物除去率を表１に示した。

【００３３】比較例２ 実施例において、クリーニングシートに中心波長３６５
ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ²照射しな
かった以外は、実施例と同様にしてクリーニングシート
を作製し、このクリーニングシートを用いて、実施例と
同様にして直径２００ｍｍの円形状の打ち抜きによりシ
ート切断を行い、クリーニング機能付ラベルシートを作
製した。 この際、クリーニング層が硬化していないた
めクッション材の働きをしてしまい、打ち抜き深さが均
一にならずラベルの打ち抜き不良が多数発生した。 ま
た作製できたラベルを観察したところ、ラベル端部で粘
着剤がはみ出しており、またラベル上には打ち抜き時の
粘着剤の糸引きにより粘着剤の汚染が多数見られた。
また、特にラベル端部のクリーニング層側の第２の剥離
フィルム上には粘着剤が回りこんで付着していた。 ラ
ベル作製後、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１
０００ｍＪ／ｃｍ²照射したが、ラベル端部の粘着剤は
酸素阻害により硬化しておらず粘着性を有していた。
従って、このラベルシートを用いての搬送用クリーニン
グウエハの作製を中止した。

【００３４】

【表１】

【００３５】

【発明の効果】以上のように本発明のクリーニング機能
付ラベルシートの製造方法によれば、ラベル形状とする
ためのシート打ち抜き時の打ち抜き不良がなく粘着剤汚
染のないクリーニング用ラベルシートを製造できるとと
もに、基板処理装置内を確実に搬送でき、装置内に付着
している異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニング
機能付ラベルシートを製造できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明で得られたクリーニング機能付ラベル
シートの実例を示す一部平面図である。

【図２】 図１のａ−ａ線の断面図である。

【符号の説明】

１：セパレータ、Ａ：クリーニング機能付用ラベル、
２：支持体、３：クリーニング層、４：剥離フィルム、
５：通常の粘着剤層

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持体の片面に活性エネルギーを受けて
   重合硬化する粘着剤からなるクリーニング層がその表面
   が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が通
   常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で
   設けられてなるクリーニング機能付ラベルシートの製造
   方法において、得られたラベルシートのクリーニング層
   からのシリコンウエハへの０．２μｍ以上の異物の転写
   が２０個／in²以下であることを特徴とするクリーニン
   グ機能付ラベルシートの製造方法。
2. 【請求項２】 支持体の片面に活性エネルギーを受けて
   重合硬化する粘着剤からなるクリーニング層がその表面
   が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が通
   常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で
   設けられてなるクリーニング機能付ラベルシートの製造
   方法において、該クリーニング層の粘着剤の重合硬化反
   応を行う前に，クリーニング層の第１の剥離フィルムを
   剥がし、実質的に酸素の影響を受けない状態でクリーニ
   ング層を重合硬化させた後、該クリーニング層表面を第
   ２の剥離フィルムで保護した後に、ラベル形状とするた
   めのシート打ち抜き工程を行うことを特徴とする請求項
   １記載のクリーニング機能付ラベルシートの製造方法。
3. 【請求項３】 クリーニング層の粘着剤の重合硬化反応
   を行う前にクリーニング層表面を保護している第１の剥
   離フィルムが、シリコーン系離型剤付きフィルムである
   ことを特徴とする請求項２記載のクリーニング機能付ラ
   ベルシートの製造方法。
4. 【請求項４】 シートのラベル形状への打ち抜き時のク
   リーニング層の引張弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７
   に準ずる）が１０ＭＰａ以上であることを特徴とする請
   求項１記載のクリーニング機能付ラベルシートの製造方
   法。
5. 【請求項５】 クリーニング層が、感圧接着性ポリマー
   と分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽
   和化合物および重合開始剤を含んでなる硬化型の粘着剤
   であることを特徴とする請求項１記載のクリーニング機
   能付ラベルシートの製造方法。
6. 【請求項６】 感圧接着性ポリマーが、（メタ）アクリ
   ル酸および／または（メタ）アクリル酸アルキルエステ
   ルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーであることを
   特徴とする請求項５記載のクリーニング機能付ラベルシ
   ートの製造方法。
7. 【請求項７】 重合開始剤が光重合開始剤であって、ク
   リーニング層が光硬化型の粘着剤層であることを特徴と
   する請求項５記載のクリーニング機能付ラベルシートの
   製造方法。
8. 【請求項８】 長尺のセパレータ上に複数のクリーニン
   グ用ラベルが間隔を隔てて連続的に設けられていること
   を特徴とする請求項１記載のクリーニング機能付ラベル
   シートの製造方法。