JP2003190884A - クリーニング機能付ラベルシート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、例えば、半導体、フラットパネル
ディスプレイ、プリント基板など製造装置や検査装置な
ど、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング機能付ラベ
ルシートを提供する。 【解決手段】 支持体の片面にクリーニング層がその表
面を剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が
通常の粘着剤層を介して長尺のセパレータ上に剥離可能
な状態で間隔を隔てて連続的に設けられてなるクリーニ
ング機能付ラベルシートにおいて、該セパレータを通常
の粘着剤層から引き剥がす際の１８０度引き剥がし剥離
力が０．０５Ｎ／５０ｍｍ以上である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種の基板処理装
置のクリーニング機能付ラベルシートに関し、例えば、
半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板な
ど製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置の
クリーニング機能付ラベルシートに関する。

【０００２】

【従来の技術】基板処理装置は、各搬送系と基板とを物
理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系
に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染する
ことになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする
必要があった。このため、稼動率低下や多大な労力が必
要という問題があった。これらの問題を解決するため、
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板
処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法
（特開平１０−１５４６８６）や板状部材を搬送するこ
とにより基板裏面に付着する異物を除去する方法（特開
平１１−８７４５８）が提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】粘着性の物質を固着し
た基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した
異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服
する有効な方法である。しかしこの方法では、粘着性物
質と装置接触部が強く接着しすぎて剥れない恐れがあ
り、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。特
に、装置のチャックテーブルに減圧吸着機構が使われて
いる場合は問題である。また、板状部材を搬送すること
により異物を除去する方法は、搬送は支障なくできる
が、肝心の除塵性に劣るという問題がある。

【０００４】さらに、これらクリーニング機能付搬送部
材の製造方法に関しては、例えば基板等の搬送部材にク
リーニングシートを貼り合わせてクリーニング用部材を
製造する場合、部材形状より大きいクリーニングシート
を貼り付けた後、部材形状に沿ってクリーニングシート
を切断する（以下本法をダイレクトカット方式と称す）
と、シート切断時にクリーニング層などから切削屑が発
生し、クリーニング用部材や装置に付着してしまい問題
となる。また、あらかじめ部材形状に加工処理しておい
たクリーニング用ラベルシートを搬送部材に貼り合わせ
てクリーニング用部材を製造する場合（プリカット方
式）は、ラベル加工時の切削屑の発生はダイレクトカッ
ト方式に比べて抑えられるが、ラベル切断時にクリーニ
ング層粘着剤が切断面からはみ出してしまい、ラベルの
端部に粘着剤が付着してしまう恐れがある。また、粘着
剤に重合硬化型を用いた場合、シート切断後に硬化させ
ようとすると切断端部の粘着剤は酸素阻害により硬化不
良を起こしてしまうため、基板処理装置の接触部位に対
して粘着剤汚染の恐れがある。

【０００５】加えてラベルシートを打ち抜き加工する
際、クリーニング用ラベルは通常の粘着剤を介して長尺
のセパレータに連続して作製されるが、この場合クリー
ニング層として活性エネルギーを受けて重合硬化する粘
着剤などを用いると、クリーニング層の硬化収縮により
ラベル自体がセパレータから剥れしやすくなっておりセ
パレータと粘着剤の剥離力が小さいとセパレータからク
リーニング用ラベルが剥れてしまう恐れがある。 さら
に、ラベルを保持するセパレータの離型層が不安定であ
ると、ラベルを保管中に剥離力が変化したり、離型層を
構成する成分が粘着剤面に移行しラベルの粘着性特性が
不良となり、最悪の場合、クリーニング用部材使用時に
搬送部材から剥れてしまい装置内にてエラーとなる恐れ
がある。

【０００６】本発明は、このような事情に照らし、基板
処理装置内を確実に搬送でき、付着している異物を簡
便、確実に除去でき、さらにプリカット法においてセパ
レータからのクリーニング用ラベルの剥れを発生させ
ず、しかもラベルの経時安定性と粘着特性に優れたクリ
ーニング機能付ラベルシートを提供することを目的とし
ている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成するために、鋭意検討した結果、プリカット方
式によるクリーニング機能付きラベルシートにおいて、
これに用いるセパレータを特定することにより前記の問
題を生じることなく、さらに異物を簡便、かつ確実に剥
離できることを見出し、この発明を完成するに至った。
即ち本発明は、支持体の片面にクリーニング層がその表
面を剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が
通常の粘着剤層を介して長尺のセパレータ上に剥離可能
な状態で間隔を隔てて連続的に設けられてなるクリーニ
ング機能付ラベルシートにおいて、該セパレータを通常
の粘着剤層から引き剥がす際の１８０度引き剥がし剥離
力が０．０５Ｎ／５０ｍｍ以上であることを特徴とする
クリーニング機能付ラベルシート（請求項１）、支持体
の片面にクリーニング層がその表面を剥離フィルムで保
護された状態で設けられ、他面が通常の粘着剤層を介し
て長尺のセパレータ上に剥離可能な状態で間隔を隔てて
連続的に設けられてなるクリーニング機能付ラベルシー
トにおいて、該セパレータとして日東電工社製No.31Ｂ
テープによる残留接着率が８５％以上であるセパレータ
を用いることを特徴とするクリーニング機能付ラベルシ
ート（請求項２）、クリーニング層の引っ張り弾性率
（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐａ以
上であることを特徴とする請求項１もしくは２いずれか
記載のクリーニング機能付ラベルシート（請求項３）、
クリーニング層が感圧性接着性ポリマーと分子内に不飽
和二重結合を1個以上有する重合性不飽和化合物および
重合開始剤を含んでなる硬化型の粘着剤であるクリーニ
ングシートを用いることを特徴とする請求項１もしくは
２いずれか記載のクリーニング機能付ラベルシート（請
求項４）、請求項４記載の感圧性接着性ポリマーが（メ
タ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしたア
クリル系ポリマーである請求項1もしくは２いずれか記
載のクリーニング機能付ラベルシート（請求項５）など
に係るものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明のクリーニング機能付ラベ
ルシートにおいては、長尺セパレータは通常の粘着剤層
から引き剥がす際の１８０度引き剥がし剥離力が０．０
５Ｎ／５０ｍｍ以上であることが必要で、好ましくは
０．１Ｎ／５０ｍｍ以上、特に好ましくは０．１〜０．
５Ｎ／５０ｍｍ程度である。もしくは該セパレータは日
東電工社製No.31Ｂテープ（品名＝ポリエステル粘着テ
ープ、基材＝ポリエステル、粘着剤＝アクリル）による
残留接着率が８５％以上であることが必要で、好ましく
は９０％以上、特に好ましくは９０〜１１０％程度であ
る。 ここでセパレータの引き剥がし剥離力の測定は、
常態（２３℃、５０％ＲＨ）にて引っ張り試験機を用い
てセパレータをクリーニング用ラベルから１８０度の角
度で速度３００ｍｍ／分で引き剥がすのに要する力（Ａ
Ｓ１６３５、ＦＩＮＡＴ―１０、FＳ―１４７、ＰＳＴ
Ｃ−４に規定）として求める。 またNo.31Ｂテープに
よる残留接着率は、以下の方法（特開平１０−１１４０
３６に記載）にて測定する。 すなわち、日東電工社製
No.31Ｂポリエステル粘着テープを、ＪＩＳ G４３０５
に規定する冷間圧延ステンレス板（ＳＵＳ３０４）に貼
り付けた後、常態（２３℃、５０％ＲＨ）にて１８０度
の角度で剥離力を測定し基礎接着力（Ｆ₀）とする。次
に前記ポリエステル粘着テープを１９．６Ｎ（２ｋｇ）
のローラーで該セパレータに貼りわせ、４９Ｎ（５ｋ
ｇ）の荷重で圧着し２４時間後粘着テープを剥がす。そ
して、この剥がした粘着テープを上記のステンレス板に
貼り、上記と同様にして剥離力を測定し、残留接着力
（Ｆ）を求める。得られた基礎接着力（Ｆ₀）と残留接
着力（Ｆ）とから下記式（１）を用いて残留接着率を求
める。 残留接着率（％）＝（Ｆ／Ｆ₀）×１００ （１）

【０００９】該セパレータの１８０度引き剥がし剥離力
が特定値よりも小さい場合は、クリーニング機能付きラ
ベルシート作製後にクリーニング用ラベルが長尺セパレ
ータから部分的に剥れてしまい、粘着剤の粘着力が変動
したり、粘着剤に異物が混入したりする恐れがある。ま
た１８０度引き剥がし剥離力が０．５Ｎ／５０ｍｍを越
えると、ラベルをセパレータから剥がす際に重剥離とな
り作業性が悪くなる恐れがある。さらに残留接着率が特
定値よりも小さい場合は、ラベルシートを保管中に離型
層成分が粘着剤へ転写しラベルの粘着特性が劣化した
り、ラベルをセパレータから剥がす際の剥離力が不安定
になったりする恐れがあるので好ましくない。またこの
ようなクリーニング用ラベルを搬送部材に貼り付ける
と、異物の混入による貼付不良やクリーニング用ラベル
貼付後のクリーニング機能付き搬送部材の経時安定性が
低下するなどの問題がある。

【００１０】本発明においては上記のごとく長尺セパレ
ータの剥離力が特定値以上であればその材料は特に限定
されないが、例えばシリコーン系、長鎖アルキル系、フ
ッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離
処理されたポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテ
ン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオ
レフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレー
ト、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイ
オノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合
体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、
ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチ
ックフィルムなどが挙げられる。

【００１１】本発明に用いられるクリーニング層につい
ては特に限定されないが、ラベル切断時の問題を発生さ
せないよう、クリーニング層の引っ張り弾性率（試験法
ＪＩＳＫ７１２７）は１０Ｍｐａ以上、好ましくは１０
〜２０００Ｍｐａであることが望ましい。引っ張り弾性
率をかかる特定値以上とすることにより、ラベル切断時
のクリーニング層からの粘着剤はみ出しや切断不良を抑
えることができ、プリカット方式において粘着剤汚染の
ないクリーニング機能付ラベルシートが製造できる。こ
の引張弾性率が２０００Ｍｐａを越えると、搬送系上の
付着異物を除去する性能が低下し、引っ張り弾性率がこ
れら範囲よりも小さいと、切断時の上記問題や搬送時
に、装置内の被クリーニング部位に接着して、搬送トラ
ブルとなる恐れがある。

【００１２】本発明におけるクリーニング層としては、
例えば活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘
着剤が用いられる。クリーニング層に重合硬化する粘着
剤を用いると、クリーニング層が実質的に粘着性がなく
なり、クリーニング用部材を搬送する際に装置接触部と
強く接着することがなく、確実に搬送できるクリーニン
グ用部材を提供できるという効果が得られる。かかる活
性エネルギー源としては、紫外線、熱などが挙げられる
が、紫外線が好ましい。前記クリーニング層は、活性エ
ネルギー源により硬化して分子構造が三次元網状化する
性質を有する限り、その材質等は特に限定されないが、
例えば感圧接着性ポリマーに分子内に不和飽和二重結合
を１個以上有する重合性不飽和化合物および重合開始剤
を含有させてなるものが好ましい。かかる感圧接着性ポ
リマーとしては、例えばアクリル酸、アクリル酸エステ
ル、メタクリル酸、メタクリル酸エステルから選ばれる
（メタ）アクリル酸および／または（メタ）アクリル酸
エステルを主モノマーとしたアクリルポリマーが挙げら
れる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合
モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有す
る化合物を用いるか、あるいは合成後のアクリル系ポリ
マーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基
間の反応で化合結合させるなどして、アクリル系ポリマ
ーの分子内に不飽和二重結合を導入しておくことによ
り、このポリマー自体も活性エネルギーにより重合硬化
反応に関与させるようにすることもできる。

【００１３】ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以
上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）と
しては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以
下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の接着剤層
の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以
下の分子量を有しているのが好ましい。ここで， 重合
性不飽和化合物としては，不揮発性でかつ重量平均分子
量が１００００以下の低分子量体であるのがよく，特に
硬化時のクリーニング層の三次元網状化が効率よくなさ
れるように，５０００以下の分子量を有しているのが好
ましい。このような重合性化合物としては、たとえば、
フエノキシポリエチレングリコ―ル（メタ）アクリレ─
ト、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレ─ト、ポリエ
チレングリコ―ルジ（メタ）アクリレ─ト、ポリプロピ
レングリコ―ルジ（メタ）アクリレ─ト、トリメチロ─
ルプロパントリ（メタ）アクリレ─ト、ジペンタエリス
リト─ルヘキサ（メタ）アクリレ─ト、ウレタン（メ
タ）アクリレ─ト、エポキシ（メタ）アクリレ─ト、オ
リゴエステル（メタ）アクリレ─トなどが挙げられ、こ
れらの中から、１種または２種以上が用いられる。

【００１４】また粘着剤層に添加される重合開始剤は、
特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性エネ
ルギーに熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイ
ド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、
また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチル
エーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテ
ル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサ
ントン、ドデシルチオキサントン、シメチルチオキサン
トン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメ
チルケタール、α―ヒドロキシシクロヒキシルフェニル
ケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，
２−ジメトキシー２−フェニルアセトフェノンなどの光
重合開始剤が挙げられる。

【００１５】上記クリーニング層は、シリコンウェハ
（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力（ＪＩ
Ｓ Ｚ０２３７に準じて測定）が０．２０Ｎ／１０ｍｍ
以下、好ましくは０．０１〜０．１Ｎ／１０ｍｍ程度で
ある。この粘着力が０．２０Ｎ／１０ｍｍを越えると、
搬送時に装置内の被クリーニング部に接触して、搬送ト
ラブルとなる恐れがある。また、クリーニング層の厚み
は特に限定されないが、通常５〜１００μｍ程度であ
る。クリーニング層の保護に用いられる剥離フィルムは
特に限定されないが、例えばシリコーン系、長鎖アルキ
ル系、フッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤な
どで剥離処理されたポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどの
ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合
体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフ
タレート、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合
体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸
共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重
合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプ
ラスチックフィルムなどが挙げられる。

【００１６】また、かかるクリーニング層を支持する支
持体としては、特に限定されないが、例えばポリエチレ
ン、 ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロー
ス、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリイミド、
ポリアミド、ポリカルボジイミド、ナイロンフィルムな
どのプラスチックフィルムが挙げられる。支持フィルム
の厚みは通常１０μｍ〜１００μｍ程度である。

【００１７】本発明によるクリーニング機能付きラベル
シートの作製には、支持体の片面に、上記のクリーニン
グ層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられたク
リーニングシートが用いられる。この他面側の粘着剤層
は、長尺セパレータが上記特定値以上であれば粘着機能
を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の粘
着剤（例えばアクリル系、ゴム系など）を用いることが
できる。かかる構成により、クリーニング用ラベルをセ
パレータから剥離して、通常の粘着剤層により各種基板
などの搬送部材に貼り付けて、クリーニング機能付搬送
部材として装置内を搬送し、被洗浄部位に接触させてク
リーニングすることもできる。また、搬送部材を再利用
する場合、かかる粘着剤層から剥すことになるので、該
粘着剤層の粘着力は、シリコンウェハ（ミラー面）に対
する１８０度引き剥がし粘着力が０．０１〜１０．０Ｎ
／１０ｍｍ、特に０．０５〜５．０Ｎ／１０ｍｍ程度で
あれば、搬送中に剥離することなくクリーニング後に容
易に再剥離できる。

【００１８】クリーニング用ラベルが貼り付けられる搬
送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウェ
ハ、LCD、PDPなどのフラットパネルディスプレイ用基
板、その他コンパクトディスク、MRヘッドなどの基板な
どがあげられる。

【００１９】以下、図面に基づいて本発明をより具体的
に説明するが、本発明はこれに限定されるものではな
い。図１は、本発明のクリーニング機能付きラベルシー
トの一例を示す平面図であって、長尺のセパレータ１上
に複数のクリーニング用ラベルＡが間隔を隔てて連続的
に設けられている。かかるラベルＡは、図２（図１のａ
−ａ線の断面図）の如く支持体２の片面にクリーニング
層３と剥離フィルム４、他面に通常の粘着剤層５が設け
られてなり、この粘着剤層５を介してセパレータ１上に
剥離可能な状態で設けられている。使用時にはクリーニ
ング用ラベルをセパレータ１から剥離して半導体ウエハ
等の搬送部材に貼着し、さらに剥離フィルム４を剥離し
てから装置内に搬送することにより被洗浄部位をクリー
ニングすることができる。

【００２０】以下、本発明を実施例に基づいて説明する
が、本発明はこれに限定されるものではない。なお、以
下、部とあるのは重量部を意味するものとする。 実施例１ アクリル酸２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチ
ル２０部、およびアクリル酸５部からなるモノマー混合
液から得たアクリルポリマー（重量平均分子量７０万）
１００部に対して、ポリエチレングリコール２００ジメ
タクリレート（新中村化学製：商品名：ＮＫエステル４
Ｇ）５０部、ウレタンアクリレート（新中村化学製：商
品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、ポリイソシアネート化合
物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）
３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタ
ール（チバ・スぺシャリティケミカルズ製：商品名：イ
ルガキュアー６５１）３部を均一に混合し、紫外線硬化
型粘着剤溶液Ａを調整した。一方、温度計、攪拌機、窒
素導入管および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌ
の３つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸２−エチル
へキシル７３部、アクリル酸ｎ−ブチル１０部、Ｎ，Ｎ
−ジメチルアクリルアミド１５部およびアクリル酸５
部、重合開始剤として２，２‘−アゾビスイソブチロニ
トリル０．１５部、酢酸エチル１００部を、全体が２０
０ｇになるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間
導入しながら攪拌し、内部の空気を窒素で置換した。そ
の後、内部の温度を５８℃にし、この状態で約４時間保
持して重合を行い、粘着剤ポリマー溶液を得た。粘着剤
ポリマー溶液１００部にポリイソシアネート化合物（日
本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）３部を
均一に混合し、粘着剤溶液Ａを得た。片面がシリコーン
系剥離剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（厚
さ３８μｍ、幅２５０ｍｍ）からなるセパレータＡの剥
離処理面に、上記粘着剤溶液Ａを乾燥後の厚みが１５μ
ｍとなるように塗布し、その粘着剤層上に長尺ポリエス
テルフィルム（厚さ２５μｍ、幅２５０ｍｍ）を積層
し、さらにそのフィルム上に紫外線硬化型粘着剤溶液Ａ
を乾燥後の厚みが４０μｍとなるように塗布してクリー
ニング層としての粘着剤層を設け、その表面に上記同様
の剥離フィルムの剥離処理面を貼合せてシートを得た。
このシートに中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１
０００ｍＪ／ｃｍ²照射して、紫外線硬化したクリーニ
ング層を有するクリーニングシートＡを得た。

【００２１】このクリーニングシートＡの粘着剤層側の
セパレータ以外の積層体である粘着フィルムに、直径２
００ｍｍの円形状の打ち抜きを行い、不要な粘着フィル
ムを連続的に剥離除去して、図１のような本発明のクリ
ーニング機能付きラベルシートＡを作製した。このクリ
ーニング機能付きラベルシートＡの打ち抜き加工は粘着
剤の糸引きや切削屑が全く発生せず問題なく行えた。ま
た作製後、クリーニング機能付きラベルシートＡを観察
したところ、セパレータからのクリーニング用ラベルの
剥れは全く発生しておらず、セパレータ上に保持されて
いた。また通常の粘着剤とラベル端部での粘着剤のはみ
出しやラベル上への粘着剤汚染も全く見られなかった。
さらに、ラベルシートＡを１ヵ月間保管したが、セパレ
ータからのラベル剥れはまったく発生しておらず、経時
安定性が高いこともわかった。

【００２２】このクリーニング機能付きラベルシートＡ
についてセパレータをクリーニング用ラベルから剥離す
る際の１８０度引き剥がし剥離力を測定したところ、
０．１Ｎ／５０ｍｍであった。セパレータの引き剥がし
剥離力の測定は、常態（２３℃、５０％ＲＨ）にて引っ
張り試験機を用いてセパレータをクリーニング用ラベル
から１８０度の角度で速度３００ｍｍ／分で引き剥がす
のに要する力（ＡＳ１６３５、ＦＩＮＡＴ―１０、FＳ
―１４７、ＰＳＴＣ−４に規定）として求めた。また日
東電工社製No.３１Ｂテープ（ポリエステル粘着テー
プ）を用いて残留接着率を測定した。 まず、No.３１
ＢテープをＪＩＳ Ｇ４３０５規定のステンレス板（Ｓ
ＵＳ３０４）に貼り付けた後の剥離力（基礎接着力）を
測定した。基礎接着力は５．２Ｎ／２０ｍｍであった。
次にセパレータＡをNo.３１Ｂテープの粘着面に１９．
６Ｎ（２ｋｇ）のローラーで貼りわせ、４９Ｎ（５ｋ
ｇ）の荷重で圧着し２４時間後粘着テープを剥がした。
そして、この剥がした粘着テープを上記のステンレス板
に貼り、上記と同様にして剥離力を測定し、残留接着力
を求めた。残留接着力は５．４Ｎ／２０ｍｍであり、残
留接着率は１０４％であった。

【００２３】この紫外線硬化型粘着剤Ａについて、引っ
張り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７）を測定したと
ころ、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００
mＪ/cm ²照射した後で４９Ｍｐａであった。この通常の
粘着剤層のシリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０
°引き剥がし粘着力は０．２５Ｎ／１０ｍｍであった。
このクリーニング機能付きラベルシートＡをラベルテー
プ貼付機（日東精機製：ＮＥＬ−ＧＲ３０００）を用い
て８インチシリコンウェハに貼付しクリーニング機能付
き搬送部材Ａを作製した。この時、クリーニング用ラベ
ルは８インチのシリコンウェハのミラー面に貼り付け
た。この操作を２５枚連続して行ったところ、まったく
問題なくウェハへのシート貼付が行え、クリーニング機
能付き搬送用クリーニング機能付き搬送部材Ａが作製で
きた。

【００２４】一方、レーザー式異物測定装置で、新品の
８インチシリコンウェハ４枚のミラー面の０．２μｍ以
上の異物を測定したところ、１枚は５個、２枚目は３
個、３枚目は５個であった。これらのウェハを別々の静
電吸着機構を有する基板処理装置にミラー面を下側にし
て搬送した後、レーザー式異物測定装置で、０．２μｍ
以上の異物を測定したところ、８インチウエハサイズの
エリア内で１つは２９８４５個、２つ目は３２１９４
個、３つ目は３００３６個であった。次いで前記で得た
搬送用クリーニング機能付き搬送部材Ａのクリーニング
層側の剥離フィルムを剥がし、上記の２９８４５個の異
物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内
に搬送したところ、支障なく搬送できた。 その後に新
品の８インチシリコンウェハをミラー面を下側に向けて
搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異
物を測定した。この操作を５回実施し、その結果を表１
に示した。

【００２５】実施例２ クリーニング機能付きラベルシートの長尺セパレータと
して低密度ポリエチレンからなるポリオレフィンフィル
ムＢ（厚み７０μｍ、幅２５０ｍｍ）を用いた以外は実
施例１と同様にして、クリーニング機能付きラベルシー
トＢを作製した。このクリーニング機能付きラベルシー
トＢの打ち抜き加工は粘着剤の糸引きや切削屑が全く発
生せず問題なく行えた。また作製後、クリーニング機能
付きラベルシートＢを観察したところ、セパレータから
のクリーニング用ラベルの剥れは全く発生しておらず、
セパレータ上に保持されていた。また通常の粘着剤とラ
ベル端部での粘着剤のはみ出しやラベル上への粘着剤汚
染も全く見られなかった。さらに、ラベルシートＢを１
ヵ月間保管したが、セパレータからのラベル剥れはまっ
たく発生しておらず、経時安定性が高いこともわかっ
た。このクリーニング機能付きラベルシートＢについて
セパレータをクリーニング用ラベルから剥離する際の１
８０度引き剥がし剥離力を測定したところ、０．１５Ｎ
／５０ｍｍであった。またセパレータＢのNo.３１Ｂテ
ープによる残留接着力を測定したところ、４．７Ｎ／２
０ｍｍであり、残留接着率は９０％であった。

【００２６】このクリーニング機能付きラベルシートＢ
をラベルテープ貼付機（日東精機製：ＮＥＬ−ＧＲ３０
００）を用いて８インチシリコンウェハに貼付しクリー
ニング機能付き搬送部材Ｂを作製した。この時、クリー
ニング用ラベルは８インチのシリコンウェハのミラー面
に貼り付けた。この操作を２５枚連続して行ったとこ
ろ、まったく問題なくウェハへのシート貼付が行え、ク
リーニング機能付き搬送用クリーニング機能付き搬送部
材Ｂが作製できた。次いで前記で得た搬送用クリーニン
グ機能付き搬送部材Ａのクリーニング層側の剥離フィル
ムを剥がし、上記の３２１９４個の異物が付着していた
ウエハステージを持つ基板処理装置内に搬送したとこ
ろ、支障なく搬送できた。その後に新品の８インチシリ
コンウェハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー
式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。こ
の操作を５回実施し、その結果を表１に示した。

【００２７】比較例１ クリーニング機能付きラベルシートの長尺セパレータと
してポリエステルフィルムＣ（厚さ３８μｍ、幅２５０
ｍｍ）を用いた以外は実施例１と同様にして、クリーニ
ング機能付きラベルシートＣを作製した。このクリーニ
ング機能付きラベルシートＣの打ち抜き加工は粘着剤の
糸引きや切削屑が全く発生せず問題なく行えた。しかし
ながら作製後にクリーニング機能付きラベルシートＣを
観察したところ、ほぼ全てのクリーニング用ラベルがセ
パレータから剥れた状態になっており、ラベルシートが
作製できていないことがわかった。このクリーニング機
能付きラベルシートＣについてセパレータをクリーニン
グ用ラベルから剥離する際の１８０度引き剥がし剥離力
を測定したところ、測定するラベルによる剥離力のばら
つきが大きく最大の場合でも０．０３Ｎ／５０ｍｍであ
った。またセパレータＢのNo.３１Ｂテープによる残留
接着力を測定したところ、４．０Ｎ／２０ｍｍであり、
残留接着率は７７％であった。

【００２８】このクリーニング機能付きラベルシートＣ
をラベルテープ貼付機（日東精機製：ＮＥＬ−ＧＲ３０
００）を用いて８インチシリコンウェハに貼付しクリー
ニング機能付き搬送部材Ｃを作製した。この時、クリー
ニング用ラベルは８インチのシリコンウェハのミラー面
に貼り付けた。この操作を２５枚連続して行ったとこ
ろ、貼付装置にてクリーニング用ラベルがセパレータか
ら完全剥れてしてしまい、ウェハへの貼付ミスが多発し
た。また貼付できたクリーニング機能付き搬送部材Ｃに
ついても、貼付け時に気泡（浮き）が混入しており、良
品は１枚も得られなかった。従って、クリーニング機能
付き搬送部材Ｃを用いての基板処理装置内のクリーニン
グを中止した。

【００２９】

【００３０】

【発明の効果】以上のように本発明のクリーニング機能
付ラベルシートによれば、セパレータからのクリーニン
グ用ラベルの剥れのなく、しかも経時安定性の高いクリ
ーニング機能付きラベルシートを作製できるとともに、
基板処理装置内を確実に搬送でき、装置内に付着してい
る異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニング用搬送
部材を製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のクリーニング機能付きラベルシート
の実例を示す平面図である

【図２】 図１のａ−ａ線の断面図である。

【符号の説明】

１．セパレータ、Ａ：クリーニング用ラベル、２：支持
体、３：クリーニング層、４：剥離フィルム、５：通常
の粘着剤層

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持体の片面にクリーニング層がその表
   面を剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が
   通常の粘着剤層を介して長尺のセパレータ上に剥離可能
   な状態で間隔を隔てて連続的に設けられてなるクリーニ
   ング機能付ラベルシートにおいて、該セパレータを通常
   の粘着剤層から引き剥がす際の１８０度引き剥がし剥離
   力が０．０５Ｎ／５０ｍｍ以上であることを特徴とする
   クリーニング機能付ラベルシート。
2. 【請求項２】 支持体の片面にクリーニング層がその表
   面を剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が
   通常の粘着剤層を介して長尺のセパレータ上に剥離可能
   な状態で間隔を隔てて連続的に設けられてなるクリーニ
   ング機能付ラベルシートにおいて、該セパレータとして
   日東電工社製No.31Ｂテープによる残留接着率が８５％
   以上であるセパレータを用いることを特徴とするクリー
   ニング機能付ラベルシート。
3. 【請求項３】 クリーニング層の引っ張り弾性率（試験
   法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐａ以上であ
   ることを特徴とする請求項１もしくは２いずれか記載の
   クリーニング機能付ラベルシート。
4. 【請求項４】 クリーニング層が感圧性接着性ポリマー
   と分子内に不飽和二重結合を1個以上有する重合性不飽
   和化合物および重合開始剤を含んでなる硬化型の粘着剤
   であるクリーニングシートを用いることを特徴とする請
   求項１もしくは２いずれか記載のクリーニング機能付ラ
   ベルシート。
5. 【請求項５】 請求項４記載の感圧性接着性ポリマーが
   （メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし
   たアクリル系ポリマーである請求項1もしくは２いずれ
   か記載のクリーニング機能付ラベルシート。
6. 【請求項６】 請求項４記載の重合開始剤が光重合開始
   剤であって、クリーニング層が光硬化型の粘着剤層であ
   ることを特徴とする請求項１もしくは２いずれか記載の
   クリーニング機能付ラベルシート。