JP2000312862A - クリーニングシ―ト - Google Patents
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Abstract
ディスプレイなどの製造装置や検査装置など、異物を嫌
う基板処理装置のクリーニングシートを提供する。 【解決手段】 支持体に、活性エネルギーを受けた後の
シリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥が
し粘着力が20g/10mm以下である粘着剤層がクリ
ーニング層として設けられてなるクリーニングシートで
ある。
Description
ニングするシートに関し、例えば、半導体、フラットパ
ネルディスプレイなどの製造装置や検査装置など、異物
を嫌う基板処理装置のクリーニングシートに関する。
を物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬
送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染
することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理を
する必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力
が必要になるという問題があった。これらの問題を解決
するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送すること
により基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除
去する方法が提案されている(例えば特開平10−15
4686号)。
た基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した
異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服
する有効な方法である。しかしこの方法では粘着性物質
と装置接触部とが強く接着しすぎて剥れない恐れがあ
り、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。本発
明は、このような事情に照らし、基板処理装置内に基板
を確実に搬送でき、さらに装置内に付着している異物を
簡便、確実に除去できるクリーニングシートを提供する
ことを目的としている。
的を達成するために、鋭意検討した結果、粘着性の物質
を固着したシートあるいはこのシートを固着した基板を
搬送することにより、基板処理装置内の付着した異物を
クリーニング除去するにあたり、クリーニング層として
活性エネルギー源により粘着力を特定値以下とすること
により、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便
かつ確実に除去できることを見出し、本発明を完成する
に至つた。
ーを受けた後のシリコンウエハ(ミラー面)に対する1
80°引き剥がし粘着力が20g/10mm以下である
粘着剤層がクリーニング層として設けられてなるクリー
ニングシート(請求項1)、支持体の片面に、請求項1
の粘着剤層がクリーニング層として設けられ、他面に通
常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート(請
求項2)などに係るものである。
支持体の片面にクリーニング層が設けられ、該クリーニ
ング層は、活性エネルギー源により硬化した粘着剤層か
らなる。 かかる粘着剤層は、活性エネルギー源により
硬化して分子構造が三次元網状化する性質を有する限
り、その材質等は特に限定されないが、例えば感圧接着
性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を1個以上有する
化合物を含有させてなるものが好ましく、かかる感圧接
着性ポリマーとしては、例えばアクリル酸、アクリル酸
エステル、メタクリル酸、メタクリル酸エステルから選
ばれる(メタ)アクリル酸及び/又は(メタ)アクリル
酸エステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが挙
げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共
重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を2個以上
有する化合物を用いるか、あるいは合成後のアクリル系
ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官
能基間の反応で化学結合させるなどして、アクリル系ポ
リマーの分子内に不飽和二重結合を導入しておくことに
より、このポリマー自体も活性エネルギーにより重合硬
化反応に関与させるようにすることもできる。
上有する化合物(以下、重合性不飽和化合物という)と
しては、不揮発性でかつ重量平均分子量が10000以
下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の粘着剤層
の三次元網状化が効率よくなされるように、5000以
下の分子量を有しているのが好ましい。
は、特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性
エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキ
サイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始
剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエ
チルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエ
ーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオ
キサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキ
サントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジル
ジメチルケタール、α−ヒドルキシシクロヒキシルフェ
ニルケトン、2−ヒドロキシジメチルフェニルプロパ
ン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン
などの光重合開始剤が挙げられる。
ー源としては、紫外線、熱などが挙げられるが、紫外線
が好ましい。 かかる粘着剤層は、上記活性エネルギー
源により硬化されてその粘着力が低下したものであり、
例えばシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引
き剥がし粘着力が20g/10mm以下、好ましくは1
〜10g/10mm程度である。 この粘着力が、20
g/mmを超えると、搬送時に装置内の被クリーニング
部に接着して、搬送トラブルとなる恐れがある。また粘
着剤層の厚さは特に限定されないが、通常5〜30μm
程度である。
粘着剤層がクリーニング層として設けられ、他面に通常
の粘着剤層が設けられたクリーニングシートも提供す
る。この他面側の粘着剤層は、粘着機能を満たす限りそ
の材質などは特に限定されず、通常の粘着剤(例えばア
クリル系、ゴム系など)を用いることができる。 かか
る構成とすることにより、クリーニングシートを通常の
粘着剤層により各種基板や他のテープ・シートなどの搬
送部材に貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材
(請求項4)として装置内に搬送して、被洗浄部位に接
触させてクリーニングすること(請求項5)もできる。
例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ア
セチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン、ポリアミドなどのプラスチックフィルムなどが挙げ
られる。 その厚みは通常10〜100μm程度であ
る。
部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエ
ハ、LCD、PDPなどのフラットパネルディスプレイ
用基板、その他コンパクトディスク、MRヘッドなどの
基板などが挙げられる。
が、本発明はこれらに限定されるものではない。 な
お、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。 実施例 アクリル酸−2−エチルヘキシル75部、アクリル酸メ
チル20部、及びアクリル酸5部からなるモノマ―混合
液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量70
万)100部に対して、ポリエチレングリコ―ルジメタ
クリレ―ト50部、ウレタンアクリレ―ト50部、ベン
ジルジメチルケタール3部、及びジフエニルメタンジイ
ソシアネ―ト3部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着
剤溶液とした。一方、上記粘着剤からベンジルジメチル
ケタールを除いた以外は、上記と同様にして得た粘着剤
溶液を、25μm厚みのポリエチレン製支持フィルムの
片面に、乾燥後の厚みが10μmになるように塗布して
通常の粘着剤層を設け、その表面に厚さ38μmのポリ
エステル系剥離フィルムを貼った。 支持フィルムのも
う一方の側に、前記の紫外線硬化型粘着剤溶液を乾燥後
の厚みが10μmになるように塗布してクリーニング層
としての粘着剤層を設け、その表面に同様の剥離フィル
ムを貼った。このシートに中心波長365nmの紫外線
を積算光量1000mJ/cm2照射して、本発明のク
リーニングシートを得た。 このクリーニングシートの
クリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、シリコンウ
エハのミラー面に幅10mmで貼り付け、JISZ02
37に準じてシリコンウエハに対する180°引き剥が
し粘着力を測定した結果、8g/10mmであった。
側の剥離フィルムを剥がし、8inのシリコンウエハの
裏面(ミラー面)にハンドローラで貼り付け、ウエハ外
周に沿ってシートを切断して、クリーニング機能付き搬
送用クリーニングウエハを作製した。
つ取り外し、レーザー式異物測定装置で、0.3μm以
上の異物を測定したところ、8inウエハサイズのエリ
ア内で1つは20000個、もう一つは18000個で
あった。
ハのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の
20000個の異物が付着していたウエハステージを持
つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送でき
た。 その後にウエハステージを取り外し、レーザー式
異物測定装置で0.3μm以上の異物を測定したとこ
ろ、8inウエハサイズ内で3950個であり、クリー
ニング前に付着していた異物数の3/4以上を除去する
ことができた。
量150mJ/cm2にて照射した以外は、実施例と同
様にクリーニングシートを作製し、対シリコンウエハ粘
着力を測定したところ、34g/10mmであった。こ
のクリーニングシートから実施例と同じ方法で作製した
搬送用クリーニングウエハを、18000個の異物が付
着しているウエハステージを持つ基板処理装置内を搬送
したところ、ウエハステージに固着し、搬送できなくな
った。
トによれば、基板処理装置内を確実に搬送できると共
に、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去で
きる。
Claims (5)
- 【請求項1】 支持体に、活性エネルギーを受けた後の
シリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥が
し粘着力が20g/10mm以下である粘着剤層がクリ
ーニング層として設けられてなるクリーニングシート。 - 【請求項2】 支持体の片面に、活性エネルギーを受け
た後のシリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引
き剥がし粘着力が20g/10mm以下である粘着剤層
がクリーニング層として設けられ、他面に通常の粘着剤
層が設けられてなるクリーニングシート。 - 【請求項3】 活性エネルギー源が紫外線であることを
特徴とする請求項1又は2記載のクリーニングシート。 - 【請求項4】 搬送部材に、請求項2又は3記載のクリ
ーニングシートが、通常の粘着剤層により設けられたク
リーニング機能付き搬送部材。 - 【請求項5】 請求項4記載のクリーニング機能付き搬
送部材を、被洗浄部位に搬送接触させることを特徴とす
るクリーニング方法。
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